JPH032781Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH032781Y2 JPH032781Y2 JP1981147125U JP14712581U JPH032781Y2 JP H032781 Y2 JPH032781 Y2 JP H032781Y2 JP 1981147125 U JP1981147125 U JP 1981147125U JP 14712581 U JP14712581 U JP 14712581U JP H032781 Y2 JPH032781 Y2 JP H032781Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- valve
- seal rubber
- circumferential direction
- screws
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
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- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 2
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本考案は圧電素子弁に関する。詳しくは、本考
案は、核融合装置のガス注入装置において、特に
核融合装置用真空容器内に原料ガスを注入する圧
電素子弁に関する。
案は、核融合装置のガス注入装置において、特に
核融合装置用真空容器内に原料ガスを注入する圧
電素子弁に関する。
而して、圧電素子弁は、圧電素子、圧電素子の
中心に取り付けられたシールゴム部材、弁本体、
弁本体の中心に位置する弁座、セラミツクス台、
調整バネ、ビス、電流導入端子から構成されたも
のである。
中心に取り付けられたシールゴム部材、弁本体、
弁本体の中心に位置する弁座、セラミツクス台、
調整バネ、ビス、電流導入端子から構成されたも
のである。
(従来の技術)
従来の圧電素子弁は、圧電素子の中心にシール
ゴム部材をシリコン系樹脂接着剤で接着し、その
圧電素子を固定台にシリコン系樹脂接着剤で不均
等な三方向を接着固定し、固定台は、その下に円
盤状の板バネを配置し、弁本体に三方向をビスに
よつて取り付けられた構造のものであつた。
ゴム部材をシリコン系樹脂接着剤で接着し、その
圧電素子を固定台にシリコン系樹脂接着剤で不均
等な三方向を接着固定し、固定台は、その下に円
盤状の板バネを配置し、弁本体に三方向をビスに
よつて取り付けられた構造のものであつた。
また、圧電素子の上部には、シール性を増すた
めに、固定台に二方向を固定した短冊形の押えバ
ネが、圧電素子の中心を押さえるように配置され
た構造のものもあつた。
めに、固定台に二方向を固定した短冊形の押えバ
ネが、圧電素子の中心を押さえるように配置され
た構造のものもあつた。
しかしながら、このような圧電素子弁において
は、その注入量やシートリーク量は、弁座とシー
ルゴムとの間の面圧を短冊形の押えバネの力を可
変することによつて、調整されるので、弁座とシ
ールゴムに、僅かな力でも、不均等に力がかかる
と、固定台と圧電素子を接着しているシリコン系
樹脂接着剤が剥離する恐れがある。また、このよ
うな圧電素子弁は、その取り付け方向によつて
は、圧電素子の自重や機械的振動によつて、弁座
とシールゴム部材との芯ずれを起こし、シートリ
ークする欠点がある。
は、その注入量やシートリーク量は、弁座とシー
ルゴムとの間の面圧を短冊形の押えバネの力を可
変することによつて、調整されるので、弁座とシ
ールゴムに、僅かな力でも、不均等に力がかかる
と、固定台と圧電素子を接着しているシリコン系
樹脂接着剤が剥離する恐れがある。また、このよ
うな圧電素子弁は、その取り付け方向によつて
は、圧電素子の自重や機械的振動によつて、弁座
とシールゴム部材との芯ずれを起こし、シートリ
ークする欠点がある。
(考案が解決しようとする問題点)
本考案の目的は、このような問題点や欠点のな
い圧電素子弁を提供することにある。すなわち、
本考案の目的は、大きい変位を得るために、2枚
の圧電素子を貼り合わせる時に用いる電極板を圧
電素子の固定板として兼用して、弁本体に直接固
定するのではなく、一端セラミツクス台に固定ビ
スで固定し、調整バネを介して調整ビスで調整す
ることによつて、注入量やシートリーク量の調整
が行えるようにすると共に、圧電素子の自重や機
械的振動により、弁座とシールゴム部材との芯ず
れを起こさないで方向性なしに取り付けられる圧
電素子弁を提供することにある。
い圧電素子弁を提供することにある。すなわち、
本考案の目的は、大きい変位を得るために、2枚
の圧電素子を貼り合わせる時に用いる電極板を圧
電素子の固定板として兼用して、弁本体に直接固
定するのではなく、一端セラミツクス台に固定ビ
スで固定し、調整バネを介して調整ビスで調整す
ることによつて、注入量やシートリーク量の調整
が行えるようにすると共に、圧電素子の自重や機
械的振動により、弁座とシールゴム部材との芯ず
れを起こさないで方向性なしに取り付けられる圧
電素子弁を提供することにある。
(問題点を解決するための手段)
本願考案者等は、この目的達成のため鋭意研究
の結果、貼り合わされた2枚の圧電素子2,2の
内側に挿入された電極板11を、該圧電素子の円
周方向に引き出し、該圧電素子の円周方向を均等
に三分した三方向を固定ビス6によつてセラミツ
クス台3に固定し、セラミツクス台3は、その円
周方向を均等に三分した三方向を、調整パネ5を
介して調整ビス4によつて弁本体1に取り付けて
成り、圧電素子2の中心に取り付けられたシール
ゴム部材7は弁本体1の中心に位置している弁座
8と面接触している圧電素子弁を考案するに到つ
た。
の結果、貼り合わされた2枚の圧電素子2,2の
内側に挿入された電極板11を、該圧電素子の円
周方向に引き出し、該圧電素子の円周方向を均等
に三分した三方向を固定ビス6によつてセラミツ
クス台3に固定し、セラミツクス台3は、その円
周方向を均等に三分した三方向を、調整パネ5を
介して調整ビス4によつて弁本体1に取り付けて
成り、圧電素子2の中心に取り付けられたシール
ゴム部材7は弁本体1の中心に位置している弁座
8と面接触している圧電素子弁を考案するに到つ
た。
本考案の圧電素子弁においては、セラミツクス
台3を、その円周方向を均等に三分された位置に
ある調整バネ5及び調整ビス4によつて、シール
性能が真空力や加圧力に耐えられるように調整さ
れ、シール性が維持される。そして、圧電素子弁
として開作動の時には、圧電素子に直流電圧を印
加すると、圧電素子の上方向に変位を生じて、シ
ールゴム部材と弁座の間に隙間ができてガスが流
れる。また、閉作動の時は、圧電素子は、無電圧
となり、シールゴム部材と弁座との間がシールさ
れているのである。
台3を、その円周方向を均等に三分された位置に
ある調整バネ5及び調整ビス4によつて、シール
性能が真空力や加圧力に耐えられるように調整さ
れ、シール性が維持される。そして、圧電素子弁
として開作動の時には、圧電素子に直流電圧を印
加すると、圧電素子の上方向に変位を生じて、シ
ールゴム部材と弁座の間に隙間ができてガスが流
れる。また、閉作動の時は、圧電素子は、無電圧
となり、シールゴム部材と弁座との間がシールさ
れているのである。
すなわち、本考案の圧電素子弁の動作は、圧電
素子2に直流電圧を印加すると、中央部に上方向
に歪が生じ、圧電素子に取り付けられたシールゴ
ム部材7も一緒に作動し、その時、シールゴム部
材7と弁座8との間に隙間ができて、原料ガスが
流れるようになつており、印加している間は、流
量が得られ、印加する直流電圧を可変することに
より、流量を制御することができる。この直流電
圧は、2枚の圧電素子2が電極板11を介して直
列に接続されており、圧電素子2の両面と電極板
11間にリード線10、電流導入端子9を介して
印加される。リード線10は、圧電素子の両面と
電極板にハンダ付けされている。
素子2に直流電圧を印加すると、中央部に上方向
に歪が生じ、圧電素子に取り付けられたシールゴ
ム部材7も一緒に作動し、その時、シールゴム部
材7と弁座8との間に隙間ができて、原料ガスが
流れるようになつており、印加している間は、流
量が得られ、印加する直流電圧を可変することに
より、流量を制御することができる。この直流電
圧は、2枚の圧電素子2が電極板11を介して直
列に接続されており、圧電素子2の両面と電極板
11間にリード線10、電流導入端子9を介して
印加される。リード線10は、圧電素子の両面と
電極板にハンダ付けされている。
(実施例)
本考案の一具体例を図面について説明する。
第1図及び第2図において、圧電素子2は、固
定ビス6によつてセラミツクス台3に固定され、
セラミツクス台3は、調整バネ5を介して調整ビ
ス4によつて弁本体1に取り付けられている。そ
して、圧電素子2に接着されたシールゴム部材7
と弁本体1の弁座8は、調整ビス4によつて三方
向から、原料ガスの注入量及びシートリーク量の
調整を行うものである。
定ビス6によつてセラミツクス台3に固定され、
セラミツクス台3は、調整バネ5を介して調整ビ
ス4によつて弁本体1に取り付けられている。そ
して、圧電素子2に接着されたシールゴム部材7
と弁本体1の弁座8は、調整ビス4によつて三方
向から、原料ガスの注入量及びシートリーク量の
調整を行うものである。
また、本考案における圧電素子は、バイモルフ
型の圧電素子で、第3図に示すごとく、圧電素子
2,2には内側に電極板11がサンドイツチされ
て接着されており、電極板は円周方向に引き出さ
れている。圧電素子は、静電容量であるため、1
枚の圧電素子にもプラス(+)とマイナス(−)
の極性があり、それを極性により貼り合わせるこ
とと、電極板と両サイドの電極への直流電圧の印
加により、変位の方向、変位量及び変位力が決定
できる。
型の圧電素子で、第3図に示すごとく、圧電素子
2,2には内側に電極板11がサンドイツチされ
て接着されており、電極板は円周方向に引き出さ
れている。圧電素子は、静電容量であるため、1
枚の圧電素子にもプラス(+)とマイナス(−)
の極性があり、それを極性により貼り合わせるこ
とと、電極板と両サイドの電極への直流電圧の印
加により、変位の方向、変位量及び変位力が決定
できる。
一般に、圧電素子は、特性上固定されていない
部分に変位が生じるが、本考案の圧電素子弁にお
いては、圧電素子は、三等分した三方向を固定す
ることによつて、中心に変位が生じるようにされ
ており、弁座との芯ずれが防止される。
部分に変位が生じるが、本考案の圧電素子弁にお
いては、圧電素子は、三等分した三方向を固定す
ることによつて、中心に変位が生じるようにされ
ており、弁座との芯ずれが防止される。
(効果)
本考案の圧電素子弁は、大きな変位を得るため
に、貼り合わされた2枚の圧電素子の内側に挿入
された電極板を、圧電素子の円周方向に引き出し
て、接着剤を使用することなく、セラミツクス台
に固定ビスにより均等分した三方向を固定し、調
整バネを介して調整ビスで調整することにより、
僅かな力にも耐えられるようになつた。また、圧
電素子弁の取り付け方向によつて起こる圧電素子
の自重や機械的振動によるシールゴム部材と弁座
との芯ずれを起こさないようにすることができ
た。
に、貼り合わされた2枚の圧電素子の内側に挿入
された電極板を、圧電素子の円周方向に引き出し
て、接着剤を使用することなく、セラミツクス台
に固定ビスにより均等分した三方向を固定し、調
整バネを介して調整ビスで調整することにより、
僅かな力にも耐えられるようになつた。また、圧
電素子弁の取り付け方向によつて起こる圧電素子
の自重や機械的振動によるシールゴム部材と弁座
との芯ずれを起こさないようにすることができ
た。
すなわち、本願考案により、注入量やシートリ
ーク量の調整は、圧電素子をビス等によよて固定
したことにより、接着剤の剥離する恐れがなくな
り、圧電素子に取り付けられたシールゴム部材と
弁座との接触をセラミツクス台の三方向のビスを
調整することによつて容易にすることが可能にな
つた。
ーク量の調整は、圧電素子をビス等によよて固定
したことにより、接着剤の剥離する恐れがなくな
り、圧電素子に取り付けられたシールゴム部材と
弁座との接触をセラミツクス台の三方向のビスを
調整することによつて容易にすることが可能にな
つた。
第1図は、本考案の圧電素子弁の一具体例の説
明図である。第2図は、第1図のA−A断面図で
ある。第3図は、本考案における圧電素子の説明
図である。 図において、1……弁本体、2……圧電素子、
3……セラミツクス台、4……調整ビス、5……
調整バネ、6……固定ビス、7……シールゴム部
材、8……弁座、9……電流導入端子、10……
リード線、11……電極板。
明図である。第2図は、第1図のA−A断面図で
ある。第3図は、本考案における圧電素子の説明
図である。 図において、1……弁本体、2……圧電素子、
3……セラミツクス台、4……調整ビス、5……
調整バネ、6……固定ビス、7……シールゴム部
材、8……弁座、9……電流導入端子、10……
リード線、11……電極板。
Claims (1)
- 貼り合わされた2枚の圧電素子2,2の内側に
挿入された電極板11を、該圧電素子の円周方向
に引き出し、該圧電素子の円周方向を均等に三分
した三方向を固定ビス6によつてセラミツクス台
3に固定し、セラミツクス台3は、その円周方向
を均等に三分した三方向を、調整バネ5を介して
調整ビス4によつて弁本体1に取り付けて成り、
圧電素子2の中心に取り付けられたシールゴム部
材7は弁本体1の中心に位置している弁座8と面
接触している圧電素子弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1981147125U JPS5851295U (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 圧電素子弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1981147125U JPS5851295U (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 圧電素子弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5851295U JPS5851295U (ja) | 1983-04-07 |
JPH032781Y2 true JPH032781Y2 (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=29939996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1981147125U Granted JPS5851295U (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 圧電素子弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5851295U (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59131668U (ja) * | 1983-02-24 | 1984-09-04 | 日本原子力研究所 | 圧電素子弁 |
JPS6075775U (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-27 | 株式会社小金井製作所 | 電子弁 |
JP2548224Y2 (ja) * | 1992-04-30 | 1997-09-17 | 株式会社イトーキクレビオ | 無支柱式壁装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5158720A (ja) * | 1974-11-19 | 1976-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ryuryochosetsuben |
-
1981
- 1981-10-05 JP JP1981147125U patent/JPS5851295U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5158720A (ja) * | 1974-11-19 | 1976-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ryuryochosetsuben |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5851295U (ja) | 1983-04-07 |
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