JPS635183A - ピエゾポンプ - Google Patents
ピエゾポンプInfo
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- JPS635183A JPS635183A JP14670386A JP14670386A JPS635183A JP S635183 A JPS635183 A JP S635183A JP 14670386 A JP14670386 A JP 14670386A JP 14670386 A JP14670386 A JP 14670386A JP S635183 A JPS635183 A JP S635183A
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- piezoelectric ceramic
- ceramic plate
- electrode
- voltage
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 45
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 18
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000003350 kerosene Substances 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
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- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、交流電圧の印加により伸びと縮みを交互に繰
り返す圧電セラミック仮を貼着した振動板により、ポン
プ室の容積を交互に増減させて、吸入口から吸入した流
体を吐出口から吐出するようにしたピエゾポンプに関す
る。
り返す圧電セラミック仮を貼着した振動板により、ポン
プ室の容積を交互に増減させて、吸入口から吸入した流
体を吐出口から吐出するようにしたピエゾポンプに関す
る。
従来の技術及び発明が解決しようとする問題点このよう
なピエゾポンプの振動板の駆動用に用いられる圧電セラ
ミック板は、−般に、−定電圧を印加した場合において
、その伸び量と縮み量が高温領域で大きく低温領域で小
さい温度特性を有しており、従って、高温領域では振動
板の撓み量が大きくてポンプ室の容積変化が大きく、低
温領域では振動板の撓み量が小さくてポンプ室の容積変
化が小さいことから、温度の違いにより流体の流量にば
らつきができる不具合がある。
なピエゾポンプの振動板の駆動用に用いられる圧電セラ
ミック板は、−般に、−定電圧を印加した場合において
、その伸び量と縮み量が高温領域で大きく低温領域で小
さい温度特性を有しており、従って、高温領域では振動
板の撓み量が大きくてポンプ室の容積変化が大きく、低
温領域では振動板の撓み量が小さくてポンプ室の容積変
化が小さいことから、温度の違いにより流体の流量にば
らつきができる不具合がある。
そこで、温度の変化に拘らず流体の流量を一定に制御す
るために、特開昭60−230574号公報に記載され
ているように、金属板の一面に圧電セラミック板を貼着
した弾性片の先端に接触子を形成した歪センサをポンプ
本体に取り付けて、接触子をポンプの圧電セラミック板
の表面に接触させ、ポンプの圧電セラミック板が歪んで
振動板が撓んだ量を、歪センサの圧電セラミック板の歪
量から電圧として取り出し、この歪センサの出力電圧が
一定となるように、ポンプの圧電セラミック板に印加さ
れる交流電圧を制御して、振動板の撓み量、すなわち、
流体の流量を一定に保つようにしたものが知られている
が、振動板の撓み量を検出する部分の構造が、歪センサ
の接触子が圧電セラミック板の表面に押し付けられた構
造であることから、振動板の撓みが規制されて流体の流
量を大きく取ることができないばかりでなく、歪センサ
の圧電セラミック板自体にも温度特性があることから、
撓み量の検出が不正確であり、さらに、わずか数10μ
程度の変位量を検出するのであるから、歪センサに高い
精度が要求され、製造コストが高くつく不具合があった
。
るために、特開昭60−230574号公報に記載され
ているように、金属板の一面に圧電セラミック板を貼着
した弾性片の先端に接触子を形成した歪センサをポンプ
本体に取り付けて、接触子をポンプの圧電セラミック板
の表面に接触させ、ポンプの圧電セラミック板が歪んで
振動板が撓んだ量を、歪センサの圧電セラミック板の歪
量から電圧として取り出し、この歪センサの出力電圧が
一定となるように、ポンプの圧電セラミック板に印加さ
れる交流電圧を制御して、振動板の撓み量、すなわち、
流体の流量を一定に保つようにしたものが知られている
が、振動板の撓み量を検出する部分の構造が、歪センサ
の接触子が圧電セラミック板の表面に押し付けられた構
造であることから、振動板の撓みが規制されて流体の流
量を大きく取ることができないばかりでなく、歪センサ
の圧電セラミック板自体にも温度特性があることから、
撓み量の検出が不正確であり、さらに、わずか数10μ
程度の変位量を検出するのであるから、歪センサに高い
精度が要求され、製造コストが高くつく不具合があった
。
問題点を解決するための手段
上記の問題点を解決するための手段として、本発明のピ
エゾポンプは、圧電セラミック板に、圧電セラミック板
の伸びと縮みによってその表裏両面の間に生ずる電圧を
検出する端子を接続した構成とした。
エゾポンプは、圧電セラミック板に、圧電セラミック板
の伸びと縮みによってその表裏両面の間に生ずる電圧を
検出する端子を接続した構成とした。
作用及び効果
本発明は上記の構成になり、圧電セラミック板が伸び縮
みする際に、その伸び量と縮み量に応じた電圧が検出用
の端子に取り出されるのであって、圧電セラミック板が
歪むとその歪み量に対応した電圧が生じる性質を利用し
て、圧電セラミック板から直接に伸びと縮みの検出電圧
を取り出すようにしたから、圧電セラミック板の伸び量
と縮み量の変化を正確に検出することができ、また、従
来の歪センサを装着した場合にように、振動板の撓みが
規制されないから、振動板の撓み量が大きく取れて流体
流量を大きく取ることができるとともに、歪センサ、し
かも高い精度の要求される歪センサを不要にできること
から、構造を簡単にできかつ製造コストを大巾に下げる
ことができる効果がある。
みする際に、その伸び量と縮み量に応じた電圧が検出用
の端子に取り出されるのであって、圧電セラミック板が
歪むとその歪み量に対応した電圧が生じる性質を利用し
て、圧電セラミック板から直接に伸びと縮みの検出電圧
を取り出すようにしたから、圧電セラミック板の伸び量
と縮み量の変化を正確に検出することができ、また、従
来の歪センサを装着した場合にように、振動板の撓みが
規制されないから、振動板の撓み量が大きく取れて流体
流量を大きく取ることができるとともに、歪センサ、し
かも高い精度の要求される歪センサを不要にできること
から、構造を簡単にできかつ製造コストを大巾に下げる
ことができる効果がある。
そして、例えば、圧電セラミック板から得られた検出電
圧が一定となるように、圧電セラミック板に印加される
交流電圧を制御すれば、振動板の撓み量を一定にできて
ポンプ室の容積変化が一定に保たれ、これにより、安定
した流体流量を得ることが可能となる。
圧が一定となるように、圧電セラミック板に印加される
交流電圧を制御すれば、振動板の撓み量を一定にできて
ポンプ室の容積変化が一定に保たれ、これにより、安定
した流体流量を得ることが可能となる。
実施例
以下、本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
第1図において、lはポンプ本体を構成する合成樹脂製
の枠であって、この枠1内の厚さ方向の中央部に、真直
な流通路3となるスリットを直径方向に形成した取付板
2が形成され、枠1の流通路3の両端部の外側に、逆止
弁4を装着した流体の吸入口5と吐出口6とが形成され
て、夫々連通孔7,7によって流通路3に連通されてい
るとともに、取付板2の上下両面に、金属薄板からなる
一対の振動板9.9がシールリング10を介して当てら
れて、その外側をリング形の抑圧体11で押し付けられ
て張設され、両振動板9.9の間にポンプ室12が形成
されている。
の枠であって、この枠1内の厚さ方向の中央部に、真直
な流通路3となるスリットを直径方向に形成した取付板
2が形成され、枠1の流通路3の両端部の外側に、逆止
弁4を装着した流体の吸入口5と吐出口6とが形成され
て、夫々連通孔7,7によって流通路3に連通されてい
るとともに、取付板2の上下両面に、金属薄板からなる
一対の振動板9.9がシールリング10を介して当てら
れて、その外側をリング形の抑圧体11で押し付けられ
て張設され、両振動板9.9の間にポンプ室12が形成
されている。
各振動板9の外側の面には、交流電圧を印加することに
より半径方向の伸びと縮みを生ずる円板形の圧電セラミ
ック板14が貼着されており、各圧電セラミック板14
の裏面には、第1電極被膜16が、表面には、中心に円
形の切除部分17を形成した第2電極被膜18が夫々溶
着されているとともに、第2図に示すように、各圧電セ
ラミック板14の表面の第2電極被膜18を切除した部
分に、この第2電極被膜18と電気的に遮断された第3
電極被膜19が溶着されており、枠1に植設された3本
の電極棒21乃至23のうちの左側の第1電極捧21に
、各振動板9,9がリード線24で、右側の第2電極捧
22に各第2電極被膜18.18がリードtlA25で
、また、真中の第3電極捧23に各第3電極被膜19.
19がリード線26で夫々接続されており、枠lの上下
両面に蓋板28が被せられて図示しない締結具で締め付
けられている。
より半径方向の伸びと縮みを生ずる円板形の圧電セラミ
ック板14が貼着されており、各圧電セラミック板14
の裏面には、第1電極被膜16が、表面には、中心に円
形の切除部分17を形成した第2電極被膜18が夫々溶
着されているとともに、第2図に示すように、各圧電セ
ラミック板14の表面の第2電極被膜18を切除した部
分に、この第2電極被膜18と電気的に遮断された第3
電極被膜19が溶着されており、枠1に植設された3本
の電極棒21乃至23のうちの左側の第1電極捧21に
、各振動板9,9がリード線24で、右側の第2電極捧
22に各第2電極被膜18.18がリードtlA25で
、また、真中の第3電極捧23に各第3電極被膜19.
19がリード線26で夫々接続されており、枠lの上下
両面に蓋板28が被せられて図示しない締結具で締め付
けられている。
そして、第3図に示すように、第1電極捧21及び第2
電極捧22が、圧電セラミック板14に印加される交流
電圧を制御する制御装置31を介して交流電源32に接
続されているとともに、第3電極捧23と共通端子であ
る第1電極棒21が。
電極捧22が、圧電セラミック板14に印加される交流
電圧を制御する制御装置31を介して交流電源32に接
続されているとともに、第3電極捧23と共通端子であ
る第1電極棒21が。
圧電セラミック板14の伸びと縮みによって生ずる電圧
を検出する検出装置33に接続されており、この検出装
置33の検出電圧に応じて上記の制御装置31で圧電セ
ラミック板14への印加電圧を制御するようになってい
る。
を検出する検出装置33に接続されており、この検出装
置33の検出電圧に応じて上記の制御装置31で圧電セ
ラミック板14への印加電圧を制御するようになってい
る。
次に、本実施例の作動を説明する。
第1電極!121及び第2電極n22から、両圧電セラ
ミック仮14.14に交流電圧を印加すると、両圧電セ
ラミック板14が半径方向の伸びと縮みを交互に生じて
、両振動板9.9が外側に膨らんで撓み、内側に凹んで
撓むのを交互に繰り返して、ポンプ室12の容積が交互
に増減し、これにより、吸入口5からポンプ室12内に
吸入された流体が流通路3を通って吐出口6から吐出さ
れるのであって、ここに1両圧電セラミック板14に印
加される交流電圧が一定であると、第4図(a)に示す
ように、低温領域Xでは、圧電セラミック板14の持つ
温度特性により、圧電セラミック板14の伸び量と縮み
量が小さくなることから振動板9の撓み量が小さくなり
、ポンプ室12の容積変化が小さくなって流体の流量が
小さくなり、逆に、高温領域Yでは、圧電セラミック板
14の伸び量と縮み量が大となって振動板9の撓み量が
大となり、ポンプ室12の容積変化が大となって流体の
流量が大きくなり、温度によって流体の流量にばらつき
がでるのであるが、本実施例では、圧電セラミック板1
4の伸びと縮みによってその表裏両面の間に生ずる電圧
を、第3電極被膜19に接続された第3電極棒23と、
振動板9を介して第1電極被膜16に接続された第1電
極棒21から検出装置33に取り出すようになっており
、第4図(b)に示すように、圧電セラミック板14の
伸び量と縮み量が小さい低温領域Xでは小さな交流電圧
が、伸び量と縮み量が大きい高温領域Yでは大きな交流
電圧が取り出され、同図(c)に示すように、直流に整
流したのち、この検出電圧を制御装置31に入力して、
検出電圧が一定となるように圧電セラミック板14に印
加される交流電圧を制御すると、同図(d)に示すよう
に、低温領域Xでは設定電圧よりも大きい交流電圧が、
高温領域Yでは逆に小さい交流電圧が印加され、これに
より、圧電セラミック板14の温度特性により伸び量と
縮み量が変化した分が補償され、振動板9の撓み量が一
定となってポンプ室12の容積変化が一定に保たれ、同
図(e)に示すように、温度の変化に拘らず流体の流量
が一定に維持される。
ミック仮14.14に交流電圧を印加すると、両圧電セ
ラミック板14が半径方向の伸びと縮みを交互に生じて
、両振動板9.9が外側に膨らんで撓み、内側に凹んで
撓むのを交互に繰り返して、ポンプ室12の容積が交互
に増減し、これにより、吸入口5からポンプ室12内に
吸入された流体が流通路3を通って吐出口6から吐出さ
れるのであって、ここに1両圧電セラミック板14に印
加される交流電圧が一定であると、第4図(a)に示す
ように、低温領域Xでは、圧電セラミック板14の持つ
温度特性により、圧電セラミック板14の伸び量と縮み
量が小さくなることから振動板9の撓み量が小さくなり
、ポンプ室12の容積変化が小さくなって流体の流量が
小さくなり、逆に、高温領域Yでは、圧電セラミック板
14の伸び量と縮み量が大となって振動板9の撓み量が
大となり、ポンプ室12の容積変化が大となって流体の
流量が大きくなり、温度によって流体の流量にばらつき
がでるのであるが、本実施例では、圧電セラミック板1
4の伸びと縮みによってその表裏両面の間に生ずる電圧
を、第3電極被膜19に接続された第3電極棒23と、
振動板9を介して第1電極被膜16に接続された第1電
極棒21から検出装置33に取り出すようになっており
、第4図(b)に示すように、圧電セラミック板14の
伸び量と縮み量が小さい低温領域Xでは小さな交流電圧
が、伸び量と縮み量が大きい高温領域Yでは大きな交流
電圧が取り出され、同図(c)に示すように、直流に整
流したのち、この検出電圧を制御装置31に入力して、
検出電圧が一定となるように圧電セラミック板14に印
加される交流電圧を制御すると、同図(d)に示すよう
に、低温領域Xでは設定電圧よりも大きい交流電圧が、
高温領域Yでは逆に小さい交流電圧が印加され、これに
より、圧電セラミック板14の温度特性により伸び量と
縮み量が変化した分が補償され、振動板9の撓み量が一
定となってポンプ室12の容積変化が一定に保たれ、同
図(e)に示すように、温度の変化に拘らず流体の流量
が一定に維持される。
なお、上記実施例は、圧電セラミック板14の温度特性
によりその伸び量と縮み量が変化するのを、圧電セラミ
ック板14への印加電圧を制御して補償することによっ
て、流体の流量を一定に保つようにしたものであるが1
例えば、このピエゾポンプを、ストーブの灯油供給用の
ポンプとして使用した場合に、ストーブに装置した室温
センサや流量センサからの信号を基準電圧として制御装
置31に入力し、この基準電圧に圧電セラミック板14
から得られた検出電圧が一致するように。
によりその伸び量と縮み量が変化するのを、圧電セラミ
ック板14への印加電圧を制御して補償することによっ
て、流体の流量を一定に保つようにしたものであるが1
例えば、このピエゾポンプを、ストーブの灯油供給用の
ポンプとして使用した場合に、ストーブに装置した室温
センサや流量センサからの信号を基準電圧として制御装
置31に入力し、この基準電圧に圧電セラミック板14
から得られた検出電圧が一致するように。
圧電セラミック板14に印加される交流電圧を制御する
ことにより、室温センサや流量センサからの信号に応じ
て灯油の流量を自動的に調節するように用いることも可
能である。
ことにより、室温センサや流量センサからの信号に応じ
て灯油の流量を自動的に調節するように用いることも可
能である。
また、検出電圧により灯油の流量が判るから、この検出
電圧に基づいて、燃焼用空気の供給量を、灯油の流量に
適した量に自動調節することも可能である。
電圧に基づいて、燃焼用空気の供給量を、灯油の流量に
適した量に自動調節することも可能である。
また、前記実施例では、第2電極被膜18の中心に切除
部分17を設けてそこに第3@極被膜19を形成したの
であるが、この第3電極被膜19を形成する場所は、第
2電極被膜18の周縁部等の他の場所であっても良い。
部分17を設けてそこに第3@極被膜19を形成したの
であるが、この第3電極被膜19を形成する場所は、第
2電極被膜18の周縁部等の他の場所であっても良い。
第1図は本発明の一実施例の断面図、第2図はその振動
板の表面の部分平面図、第3図はその制御系統を示すブ
ロック図であり、第4図(a)は印加電圧が一定のとき
の流体流量を示す線図、同図(b)は検出電圧の波形図
、同図(C)はその整流後の波形図、同図(d)は制御
された印加電圧の波形図、同図(e)は印加電圧を制御
したときの流体流量を示す線図である。 1:枠 5:吸入口 6:吐出口 9:振動板12:ポ
ンプ室 14:圧電セラミック板 16:第1電極被膜
18:第2f!!極被膜 19:第3電極被膜 21
:第1電極棒 22:第2電極捧 23:第3電極捧
32:交流電源33:検出装置 出願人 シーケーデイコントロールズ株式会社代理人
弁理士 野 口 宏寡20
板の表面の部分平面図、第3図はその制御系統を示すブ
ロック図であり、第4図(a)は印加電圧が一定のとき
の流体流量を示す線図、同図(b)は検出電圧の波形図
、同図(C)はその整流後の波形図、同図(d)は制御
された印加電圧の波形図、同図(e)は印加電圧を制御
したときの流体流量を示す線図である。 1:枠 5:吸入口 6:吐出口 9:振動板12:ポ
ンプ室 14:圧電セラミック板 16:第1電極被膜
18:第2f!!極被膜 19:第3電極被膜 21
:第1電極棒 22:第2電極捧 23:第3電極捧
32:交流電源33:検出装置 出願人 シーケーデイコントロールズ株式会社代理人
弁理士 野 口 宏寡20
Claims (1)
- 交流電圧の印加により伸びと縮みを交互に繰り返す圧電
セラミック板を貼着した振動板により、ポンプ室の容積
を交互に増減させて、吸入口から吸入した流体を吐出口
から吐出するようにしたピエゾポンプにおいて、前記圧
電セラミック板に、該圧電セラミック板の伸びと縮みに
よつてその表裏両面の間に生ずる電圧を検出する端子を
接続したことを特徴とするピエゾポンプ
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61146703A JP2632308B2 (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | ピエゾポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61146703A JP2632308B2 (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | ピエゾポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS635183A true JPS635183A (ja) | 1988-01-11 |
JP2632308B2 JP2632308B2 (ja) | 1997-07-23 |
Family
ID=15413638
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61146703A Expired - Fee Related JP2632308B2 (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | ピエゾポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2632308B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100726395B1 (ko) | 2006-08-02 | 2007-06-11 | 한국기계연구원 | 초음파 압전 펌프 |
CN105317665A (zh) * | 2015-12-08 | 2016-02-10 | 河北大学 | 一种压电泵 |
CN112267985A (zh) * | 2020-10-28 | 2021-01-26 | 燕山大学 | 多源驱动可控式合成射流泵***及其控制方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60230575A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 給油ポンプ装置 |
-
1986
- 1986-06-23 JP JP61146703A patent/JP2632308B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60230575A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 給油ポンプ装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100726395B1 (ko) | 2006-08-02 | 2007-06-11 | 한국기계연구원 | 초음파 압전 펌프 |
CN105317665A (zh) * | 2015-12-08 | 2016-02-10 | 河北大学 | 一种压电泵 |
CN112267985A (zh) * | 2020-10-28 | 2021-01-26 | 燕山大学 | 多源驱动可控式合成射流泵***及其控制方法 |
CN112267985B (zh) * | 2020-10-28 | 2021-07-30 | 燕山大学 | 多源驱动可控式合成射流泵***及其控制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2632308B2 (ja) | 1997-07-23 |
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