JPH03255215A - 真空用玉軸受およびそれを用いたターボ分子ポンプ - Google Patents

真空用玉軸受およびそれを用いたターボ分子ポンプ

Info

Publication number
JPH03255215A
JPH03255215A JP2054497A JP5449790A JPH03255215A JP H03255215 A JPH03255215 A JP H03255215A JP 2054497 A JP2054497 A JP 2054497A JP 5449790 A JP5449790 A JP 5449790A JP H03255215 A JPH03255215 A JP H03255215A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ball bearing
stainless steel
balls
grease
turbo
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2054497A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2913061B2 (ja
Inventor
Kazuya Suzuki
数也 鈴木
Yuichi Takii
滝井　裕一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koyo Seiko Co Ltd
Original Assignee
Koyo Seiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koyo Seiko Co Ltd filed Critical Koyo Seiko Co Ltd
Priority to JP2054497A priority Critical patent/JP2913061B2/ja
Priority to US07/661,199 priority patent/US5139396A/en
Priority to EP91103096A priority patent/EP0446723B1/en
Priority to DE69109901T priority patent/DE69109901T2/de
Publication of JPH03255215A publication Critical patent/JPH03255215A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2913061B2 publication Critical patent/JP2913061B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/303—Parts of ball or roller bearings of hybrid bearings, e.g. rolling bearings with steel races and ceramic rolling elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/32—Balls
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/58—Raceways; Race rings
    • F16C33/62—Selection of substances
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/66—Special parts or details in view of lubrication
    • F16C33/6603—Special parts or details in view of lubrication with grease as lubricant
    • F16C33/6633—Grease properties or compositions, e.g. rheological properties
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/72—Sealings
    • F16C33/76—Sealings of ball or roller bearings
    • F16C33/78—Sealings of ball or roller bearings with a diaphragm, disc, or ring, with or without resilient members
    • F16C33/784—Sealings of ball or roller bearings with a diaphragm, disc, or ring, with or without resilient members mounted to a groove in the inner surface of the outer race and extending toward the inner race
    • F16C33/7843—Sealings of ball or roller bearings with a diaphragm, disc, or ring, with or without resilient members mounted to a groove in the inner surface of the outer race and extending toward the inner race with a single annular sealing disc
    • F16C33/7846—Sealings of ball or roller bearings with a diaphragm, disc, or ring, with or without resilient members mounted to a groove in the inner surface of the outer race and extending toward the inner race with a single annular sealing disc with a gap between the annular disc and the inner race
    • F16C33/785—Bearing shields made of sheet metal
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2240/00—Specified values or numerical ranges of parameters; Relations between them
    • F16C2240/40—Linear dimensions, e.g. length, radius, thickness, gap
    • F16C2240/70—Diameters; Radii
    • F16C2240/80—Pitch circle diameters [PCD]
    • F16C2240/82—Degree of filling, i.e. sum of diameters of rolling elements in relation to PCD
    • F16C2240/84—Degree of filling, i.e. sum of diameters of rolling elements in relation to PCD with full complement of balls or rollers, i.e. sum of clearances less than diameter of one rolling element
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00—Engines or pumps
    • F16C2360/44—Centrifugal pumps
    • F16C2360/45—Turbo-molecular pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Rolling Contact Bearings (AREA)
  • Lubricants (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、真空用玉軸受およびそれを用いたターボ分
子ポンプに関する。
従来の技術および発明の課題 ターボ分子ポンプ用玉軸受として、従来、保持器を備え
たグリース潤滑軸受が知られている。
ところで、ターボ分子ポンプ用グリース潤滑玉軸受は、
たとえば７５０００　ｒｐｍ程度の高速回転で使用され
るため、保持器のポケット部や保持器と軌道輪との案内
面までグリースが十分に供給されない。さらに、真空中
であるため、軸受の回転によって生じる摩擦熱が外部に
伝わりに＜＜、軸受内部に熱が残る。このため、保持器
のポケット部と玉との間や保持器の外周と外輪内周の案
内面との間で早期に焼付が発生したり、グリースが早期
に劣化したりしていた。
その結果、軸受は大気中よりも許容温度の面からも寿命
的な制限を受けて、寿命が短くなり、ひいてはターボ分
子ポンプの寿命が短いという問題が生じていた。
この発明の目的は、上記の問題を解決した寿命の長い真
空用玉軸受およびそれを用いたターボ分子ポンプを提供
することにある。
課題を解決するための手段 この発明による真空用玉軸受は、ステンレス鋼製の内輪
および外輪、窒化ケイ素を主体とするセラミックス製の
玉、ならびにステンレス鋼製のシールド板よりなる密封
型総玉軸受であり、低揮発性剤製のグリースが封入され
ているものである。
好ましくは、グリースが、ジエステル系合成油の基油、
有機系凝縮剤および四フッ化エチレン樹脂系添加剤を含
むものである。
この発明によるターボ分子ポンプは、 ケーシング内に軸方向に多段に設けられた固定翼と、上
記ケーシング内に玉軸受を介して支持され電動機により
回転させられる回転体と、この回転体に設けられ上記固
定翼と軸方向に対向する多段の回転翼とを備えたターボ
分子ポンプにおいて、 上記回転体を支持する玉軸受が、ステンレス鋼製の内輪
および外輪、窒化ケイ素を主体とするセラミックス製の
玉、ならびにステンレス鋼製のシールド板よりなる密封
型総玉軸受であり、軸受内に封入されるグリースが、ジ
エステル系合成油の基油、有機系凝縮剤および四フッ化
エチレン樹脂系添加剤を含むことを特徴とするものであ
る。
作　　　用 保持器のない密封型の総玉軸受であるから、従来のよう
な保持器の部分の焼付の問題がない。
保持器がないため、軸受内の無攪拌容積が増大し、グリ
ース封入量が増す。保持器がないため、グリースが外輪
内周に多く付着し、玉と軌道輪との間のグリース供給性
が良くなる。従来のような保持器と玉との間および保持
器と外輪内周の案内面との間のすべりがなくなるので、
トルクが小さくなり、軸受自体の発熱が少なく、電動機
の発熱も少なくなるため、グリースの蒸発量が少なくな
る。しかも、グリースが低揮発性剤製であるから、グリ
ースの蒸発はきわめて少ない。
玉がセラミックス製であるから、玉相互間の焼付が生じ
ない。セラミックス製の玉は軽量であるため、ジャイロ
すべりが少なく、摩擦トルクが減少する。このため、前
記同様、軸受自体および電動機の発熱が少なく、グリー
スの蒸発量が少なくなって、グリース寿命がのびる。さ
らに、軌道輪とシールド板が耐食性のあるステンレス鋼
で形成され、玉も耐食性のあるセラミックスで形成され
ているため、ターボ分子ポンプのように真空環境下で使
用された場合、従来、鋼製の材料で問題となっていた防
錆用オイルの揮発による装置内汚染も解消できる。
実　　施　　例 以下、図面を参照して、この発明の詳細な説明する。
第２図は、ターボ分子ポンプの主要部を概略的に示す。
第２図において、上部に軸方向に多段に設けられた回転
翼（１〉を備えた回転体（２）の軸（３）が２個の玉軸
受（４）によってケーシング（５）内に回転支持されて
いる。ケーシング（５）内の上部には、回転体（２）お
よび回転翼（１〉と同心で回転翼（１）と軸方向に対向
する多段の固定翼（６）が固定されている。ケーシング
（５）の上端部に吸気口（７）が、下部に排気口（８）
が設けられている。ケーシング（５）内の下部にたとえ
ば高周波電動機（１５）のモータステータ（９〉が設け
られ、軸（３）の下部にこれと対をなすモータロータ〈
１０）が設けられている。そして、軸（３〉のモータロ
ータ（１０）の上下の部分が、軸受（４〉によって支持
されている。
上記のターボ分子ポンプは、以下のように動作する。す
なわち、ケーシング（５）の吸気口（７）と接続される
チャンバ（図示路）、ケーシング（５〉、さらに粗引き
用ロータリポンプ（図示路）とつながる排気口（８〉で
真空系が構成されており、まず、粗引き用ロータリポン
プを運転して真空系全体を低真空雰囲気に維持する。次
に、電動機（１５）を始動し軸（３）を回転すると、回
転翼（（）と固定翼（６）との相互作用により、上記チ
ャンバ内およびターボ分子ポンプ内の気体分子を排気口
（８）から連続排気し、双方内に高真空雰囲気を実現す
るようになっている。
第１図は、軸受（４〉の１例を示す。
第１図において、軸受（４〉は、カウンタボアが形成さ
れた内輪（ｔｌ〉、カウンタボアが形成されていない外
輪（１２Ｌ玉（１３）および外輪（１２）の両端部に取
付けられたシールド板（１４）よりなるアンギュラコン
タクト総玉軸受である。
内輪（１１）、外輪（１２）およびシールド板（１４）
は、ステンレス鋼製である。玉（１３）は、窒化ケイ素
を主体とするセラミックス製である。そして、内輪（１
１）と外輪（１２〉の間に、低揮発性剤製のグリース（
蒸気圧７．５ＸＩＣ１−６Ｔｏｒｒ（２０℃））、好ま
しくは、従来のフッ素系基油に比べ高温・高速潤滑性に
優れたジエステル系合成油の基油、たとえばベントンな
どの有機系凝縮剤１％および高温での安定性が良好で潤
滑性に優れる四フッ化エチレン樹脂系添加剤２９％を含
むグリースが封入されている。とくにこのようなグリー
スを用いた場合、従来のフッ素系基油のグリースを用い
た場合に比べて寿命がより長くなった。
発明の効果 この発明によれば、上述のように、玉軸受内に封入され
たグリースの蒸発が少なく、長期間にわたって良好な潤
滑性が保たれ、焼付も生しにくく、したがって、玉軸受
の寿命が向上し、ひいてはターボ分子ポンプの寿命が向
上する。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の実施例を示すターボ分子ポンプ用玉
軸受の要部縦断面図、第２図は第１図の玉軸受を使用し
たターボ分子ポンプの１例を概略的に示す要部縦断面図
である。 （１）・・・回転翼、（２）・・・回転体、（４）・・
・玉軸受、（５〉・・・ケーシング、（６）・・・固定
翼、（１１）・・・内輪、（１２）・・・外輪、（１３
）・・・玉、〈１４）・・・シールド板、（１５）・・
・電動機。 以　　上 ９

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）ステンレス鋼製の内輪および外輪、窒化ケイ素を
    主体とするセラミックス製の玉、ならびにステンレス鋼
    製のシールド板よりなる密封型総玉軸受であり、低揮発
    性剤製のグリースが封入されている真空用玉軸受。
  2. （２）上記グリースが、ジエステル系合成油の基油、有
    機系凝縮剤および四フッ化エチレン樹脂系添加剤を含む
    請求項（１）の真空用玉軸受。
  3. （３）ケーシング内に軸方向に多段に設けられた固定翼
    と、上記ケーシング内に玉軸受を介して支持され電動機
    により回転させられる回転体と、この回転体に設けられ
    上記固定翼と軸方向に対向する多段の回転翼とを備えた
    ターボ分子ポンプにおいて、 上記回転体を支持する玉軸受が、ステンレス鋼製の内輪
    および外輪、窒化ケイ素を主体とするセラミックス製の
    玉、ならびにステンレス鋼製のシールド板よりなる密封
    型総玉軸受であり、軸受内に封入されるグリースが、ジ
    エステル系合成油の基油、有機系凝縮剤および四フッ化
    エチレン樹脂系添加剤を含むことを特徴とするターボ分
    子ポンプ。
JP2054497A 1990-03-05 1990-03-05 真空用玉軸受およびそれを用いたターボ分子ポンプ Expired - Fee Related JP2913061B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2054497A JP2913061B2 (ja) 1990-03-05 1990-03-05 真空用玉軸受およびそれを用いたターボ分子ポンプ
US07/661,199 US5139396A (en) 1990-03-05 1991-02-27 Ball bearing for use in vacuum and turbo-molecular pump incorporating same
EP91103096A EP0446723B1 (en) 1990-03-05 1991-03-01 Ball bearing for use in vacuum and turbo-molecular pump incorporating same
DE69109901T DE69109901T2 (de) 1990-03-05 1991-03-01 Vakuum-Kugellager und Turbomolekularpumpe, ausgerüstet mit einem solchen Lager.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2054497A JP2913061B2 (ja) 1990-03-05 1990-03-05 真空用玉軸受およびそれを用いたターボ分子ポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03255215A true JPH03255215A (ja) 1991-11-14
JP2913061B2 JP2913061B2 (ja) 1999-06-28

Family

ID=12972273

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2054497A Expired - Fee Related JP2913061B2 (ja) 1990-03-05 1990-03-05 真空用玉軸受およびそれを用いたターボ分子ポンプ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5139396A (ja)
EP (1) EP0446723B1 (ja)
JP (1) JP2913061B2 (ja)
DE (1) DE69109901T2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007262344A (ja) * 2006-03-30 2007-10-11 Nippon Oil Corp グリース組成物
JP2014040927A (ja) * 2013-12-01 2014-03-06 Coo Space Co Ltd 転がり装置、及びその使用方法
JP2014134168A (ja) * 2013-01-11 2014-07-24 Shimadzu Corp 真空ポンプ
CN114576181A (zh) * 2022-05-05 2022-06-03 成都高真科技有限公司 一种高真空涡轮分子泵

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5368390A (en) * 1993-03-01 1994-11-29 General Signal Corporation Mixer systems
DE19729450C2 (de) * 1997-07-10 1999-12-09 Fag Aircraft Gmbh Wälzlager, insbesondere Notlager für magnetisch gelagerte Vakuumpumpen
US6135641A (en) * 1997-10-30 2000-10-24 Honeywell International Inc. Hybrid duplex bearing assembly having thermal compensation
US6318899B1 (en) 1998-12-14 2001-11-20 Ceramic Engineering Consulting, Inc. Non-lubricated rolling element ball bearing
DE29904410U1 (de) 1999-03-10 2000-07-20 Ghh Rand Schraubenkompressoren Schraubenkompressor
DE19955517A1 (de) * 1999-11-18 2001-05-23 Leybold Vakuum Gmbh Schnelllaufende Turbopumpe
NL1019860C2 (nl) * 2002-01-30 2003-08-05 Skf Ab Wentellager met een keramisch wentelelement en stalen binnen- of buitenring.
GB0309830D0 (en) * 2003-04-29 2003-06-04 Boc Group Plc A vacuum pump
DE102006019982A1 (de) * 2006-04-29 2007-10-31 Schaeffler Kg Wälzlager-Drehverbindung
DE102007033905A1 (de) 2007-07-20 2009-01-22 Schaeffler Kg Vollkugeliges Schrägkugellager
US8529136B2 (en) * 2009-03-30 2013-09-10 Wafertech, Llc High temperature ball bearing
DE102011119907A1 (de) * 2011-12-01 2013-06-06 Pfeiffer Vacuum Gmbh Wälzlager für eine Vakuumpumpe
CN102937137B (zh) * 2012-11-20 2015-01-14 浙江大学 压电发电滚动轴承单元

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4183592A (en) * 1977-05-13 1980-01-15 Hisao Hasunuma Sealed rolling bearing
DE2853742A1 (de) * 1978-12-13 1980-10-02 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Turbomolekularvakuumpumpe
FR2446934A1 (fr) * 1979-01-19 1980-08-14 Cit Alcatel Pompe rotative a vide eleve
US4486319A (en) * 1982-09-27 1984-12-04 Armco, Inc. Microporous ionomer polymer lubricating composition
JPH0726358B2 (ja) * 1986-01-31 1995-03-22 ア−ス製薬株式会社 水解性不織布
JPS63317977A (ja) * 1987-06-22 1988-12-26 Shinano Totsuki Kk 磁気ディスク用モ−タの防塵シ−ル構造
JP2681182B2 (ja) * 1987-12-15 1997-11-26 光洋精工株式会社 玉軸受
JPH01275914A (ja) * 1988-04-28 1989-11-06 Ulvac Corp 真空中駆動機構
JPH01285696A (ja) * 1988-05-10 1989-11-16 Mitsubishi Electric Corp ターボ分子ポンプ
US4966552A (en) * 1989-05-08 1990-10-30 Den-Tal-Ez, Inc. Sterilizable non-lubricated rotary instrument for dental and medical use
US4957417A (en) * 1989-07-14 1990-09-18 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Vertical oilless screw vacuum pump
DE3926577A1 (de) * 1989-08-11 1991-02-14 Leybold Ag Vakuumpumpe mit einem rotor und mit unter vakuum betriebenen rotorlagerungen

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007262344A (ja) * 2006-03-30 2007-10-11 Nippon Oil Corp グリース組成物
JP2014134168A (ja) * 2013-01-11 2014-07-24 Shimadzu Corp 真空ポンプ
JP2014040927A (ja) * 2013-12-01 2014-03-06 Coo Space Co Ltd 転がり装置、及びその使用方法
CN114576181A (zh) * 2022-05-05 2022-06-03 成都高真科技有限公司 一种高真空涡轮分子泵
CN114576181B (zh) * 2022-05-05 2022-07-05 成都高真科技有限公司 一种高真空涡轮分子泵

Also Published As

Publication number Publication date
EP0446723B1 (en) 1995-05-24
DE69109901T2 (de) 1996-02-22
DE69109901D1 (de) 1995-06-29
US5139396A (en) 1992-08-18
EP0446723A1 (en) 1991-09-18
JP2913061B2 (ja) 1999-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH03255215A (ja) 真空用玉軸受およびそれを用いたターボ分子ポンプ
US4579508A (en) Turbomolecular pump
US5069603A (en) Bearings for use in negative-pressure environments
US9714661B2 (en) Vacuum pump
JPS58150096A (ja) 高真空回転式ポンプ
US20060140794A1 (en) Vacuum pumping arrangement
JP6924244B2 (ja) 真空ポンプにおける合成オイルの使用、および真空ポンプ
JPH01167495A (ja) 真空ポンプ
JPS61132797A (ja) タ−ボ分子ポンプの軸受装置
JPH0216389A (ja) ターボ分子ポンプ
JP2006509953A (ja) 真空ポンプ排出装置及びその作動方法
JPS63259191A (ja) タ−ボ分子ポンプ
JP2022552208A (ja) アキシャル磁気軸受及び気体フォイルラジアル軸受を備える真空ポンプ
JP2002339970A (ja) 磁気軸受装置及びターボ分子ポンプ
JPS6375387A (ja) セラミツクス製オイルフリ−・ハイブリツド真空ポンプ
JPS6045792A (ja) タ−ボ分子ポンプ
JPH01285696A (ja) ターボ分子ポンプ
JPS63255594A (ja) タ−ボ分子ポンプ
JPS62288386A (ja) タ−ボ分子ポンプ装置
JPH02176199A (ja) ターボ分子ポンプ
JP2022112866A (ja) 転がり軸受及びこれを備えた真空ポンプ
JP2006153240A (ja) タッチダウン軸受
JPS63255592A (ja) タ−ボ分子ポンプ
JPS63255593A (ja) タ−ボ分子ポンプ
JPS63255596A (ja) タ−ボ分子ポンプ

Legal Events

Date Code Title Description
S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080416

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090416

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees