JPH03227251A - 多色ルーフシューター型印字ヘッド - Google Patents
多色ルーフシューター型印字ヘッドInfo
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
ド、より詳細には4色ルーフシュータ−型印字ヘッドに
関するものである。また本発明は、単色または多色サー
マルインクジェット印字ヘッドの複数の発熱体の動作を
制御するため、スイッチング回路網を使用している。
ッドには、太き(分けて2つの形態がある。1つは、た
とえば米国特許第4,601,777号に開示されてい
る印字ヘッドのように、印字ヘッドの気泡発生用発熱体
の表面と平行に、かつインクチャンネル内のインクの流
れと平行な方向に、ノズルからインチ滴を発射するもの
である。この形態は、「サイドシュータ−」とも呼ばれ
る。他の1つは、たとえば米国特許第4 、568 、
953号や同第4.789,425号に開示されている
印字ヘッドのように、気泡発生用発熱体の表面に垂直な
方向にノズルからインク滴を発射するものである。この
第2の形態は「ルーフシュータ−」とも呼ばれる。
通してノズルへインクを供給することが望ましい、印字
ヘッドと用紙が近接しているために他の設計アプローチ
が難しいので、これは最善の選択である。Hewlet
t−Packard CompanyからTHINK
JETとして販売されているドロップオンデマンド式サ
ーマルインクジェットプリンタでは、印字ヘッドが発熱
体板とインク分配板から成っている。発熱体板は表面に
発熱体とアドレッシング電極が作られたガラス板である
。発熱体板を通してインク分配板の浅いリザーバへイン
クを供給するため、発熱体板にはドリルまたは等方性エ
ツチングで孔があけられる。インク分配板は三次元マン
ドレルの上にニッケルなどの物質を電鋳して作られる。
レル上に形成した厚膜レジストのスポットパターンによ
って形成される。発熱体板とインク分配板を整合して接
着すると、インク分配板の外形が、上記の浅いリザーバ
ーと、インク滴発射ノズルまでのインクチャンネルを形
成する。
板の平面を横切り、アドレッシング電極を横切ってノズ
ルに向かって動く。この形態には、2つの大きな欠点が
ある。1つは、もしパッシベーション層にピンホールが
存在すれば、電極がインクにさらされることである。第
2は、電鋳によって作らなければならないので、インク
リザーバーが非常に浅いことである。浅いリザーバーは
ノズル内のインクを干上がらせる傾向があるので、ファ
ーストドロップ問題を起こす。
ーフシュータ−」型印字ヘッドでは、印字ヘッドがシリ
コン発熱体板とインク分配構造部材から成っている。発
熱体板は発熱体の直線アレイ、関連するアドレッシング
電極、および前記発熱体アレイと平行な細長いインク供
給溝孔を有する。インク分配構造部材は、少なくとも1
個の凹部、複数のノズル、および前記凹部内の複数の平
行壁を含んでいる。複数の平行壁はインクをノズルへ導
く個々のインクチャンネルを形成している。凹部と供給
溝孔は相互に通じていて、印字ヘッドの内部にインクリ
ザーバーを作っている。供給溝孔のインク保有容量は凹
部のそれよりも大きい、供給溝孔は異方性エツチングに
よって発熱体板内に位置決めされ、精密に形成される。
ラットニッケル電鋳、あるいは1フォトレジスト層と1
段フラットニッケル電鋳のいずれから作ることができる
。
印字ヘッドの発熱体板を改造して、4色印字ヘッドを得
ることができる。多色印字ヘッドを製作する場合は、第
1図に示すように、発熱体板28は各色(通常は、黒色
、マゼンタ色、シアン色および黄色)ごとに供給溝孔2
0と関連する発熱体アレイ34を備えていなければなら
ない。
されている「受動抵抗体アレイ」を使用する場合は、各
抵抗発熱体34のリード線33が供給溝孔20のすぐそ
ばまで延びていなければならないし、各抵抗発熱体34
にはその自身のアドレッシング電極32が必要である。
、アドレッシング電極37で終わっている。多色の場合
は、各カラーアレイが互いに良好に一直線に並ぶように
、同一チップ上に配置することが望ましい。しかし、各
発熱体アレイが、各シリコンウェーハの上面に大きな表
面積(シリコン不動産と呼ばれる)を占めることが問題
である。
ータ−型印字ヘッドを設計する方法の1つを示す。印字
ヘッドは2つのバンクに分けられる。各バンクは2個の
供給溝孔を有する(すなわち、第2図の上方の第1パン
クは黒色供給溝孔20Bとマゼンタ色供給溝孔20M、
下方の第2のバンクはシアン色供給溝孔20Cと黄色供
給溝孔20Yを有する)。この設計は、1個のウェーハ
チップSに4個のカラーアレイを置(ことができるけれ
ども、2バンクであるから、プリンタは、1本の走査線
ではなく、2本の走査線に関する情報を記憶する必要が
ある。望ましいのは4個のカラーアレイの全部を1つの
バンク内に配置することであるが、すべてのリード線を
溝孔のそばまで延ばさなければならないため、内側のカ
ラーアレイがかなりの量のシリコン表面積を占めるから
、これは実現不能である。
重された体積をもつインク滴で印字することによる8レ
ベル中間調サーマルインクジェット印字方法および装置
を開示している。各色ごとに3側御組の加重滴発生器を
備えた4色ルーフシュータ−型印字ヘッドは、4色で8
レベル中間調印字を行うことができる。
ンク滴を追加して発射する4色インクジェット印字ヘッ
ドを開示している。この印字ヘッドは各色ごとに複数の
ノズルを備えている。しかし、本発明の発熱体板の構造
は開示されていない。
より高速でインク滴を供給できる多ノズル・ドロップオ
ンデマンド式インクジェット印字ヘッドを開示している
。この印字ヘッドは駆動トランスジューサを使用して滴
を発生させているが、本発明の多色印字ヘッド構造とは
異なる。
ト印字ヘッドを開示している。この印字ヘッドは複数の
ノズル群を有し、各ノズル群は異なる色に使用される。
あるノズル群を構成するノズルの数は他のノズル群より
多い。本発明はこの米国特許にも示唆されていない。
つかの不利益がある。第1図に示すように、受動抵抗体
アレイを使用して複数の発熱体34をアドレスする場合
は、リード線を供給溝孔20のそばまで延ばさなければ
ならない。このため、供給溝孔20とチップ28の端と
の間にかなりの隙間Aが生じる。2個のチップを互いに
突き合わせてチップアレイを作ると(すなわち、ページ
幅印字ヘッドを製作する場合)、隣り合う供給溝孔20
同士の隙間はAの2倍になる。この結果、単位長さ当た
りのノズル数が減少するので、達成可能な解像度が大幅
に低下する。
した多色インクジェット印字ヘッドを提供することであ
る。
んだ多色ルーフシュータ−型サーマルインクジェット印
字ヘッドを提供することである。
がら、高品質、高速印字を行うことが可能な多色インク
ジェット印字ヘッドを提供することである。
サーマルインクジェット印字ヘッドを提供することであ
る。
印字ヘッドを提供することである。
たとえば能動ドライバーマトリックスを使用している。
発熱体をアドレスするのに必要なリード線の数が少なく
て済む、抵抗体とスイッチング回路網は従来使用された
受動抵抗器アレイよりも占有する表面積が小さいので、
本発明によれば、4個の異なるカラー印字ヘッドを1個
のチップすなわちウェーハに効率よ(配列することがで
きるので、シリコンの不動産(表面積)が保存される。
り小さいので、1個のウェーハに、多数のカラーアレイ
たとえば4個のカラーアレイを1つのバンク内に配置す
ることができるから、プリンタは一度に1走査線に関す
る情報のみを記憶すればよい、さらに、4個のカラーア
レイの全部を1つのバンク内に配置することにより、4
個のカラーアレイをうまく一直線に配列することが可能
である。高品質、高速の4色インクジェットインクジェ
ットを製作するために必要なシリコンウェーハの表面積
を減らすことにより、製造コストが下がるので、使い捨
て4色刷印字ヘッドが可能である。また単色インクジェ
ット印字ヘッドにスイッチング回路網を使用することに
より、抵抗体のリード線をチップのそばまで延ばす必要
がないので、解像度または動作速度のより高い印字へラ
ドアレイを製作することが可能である。
1個またはそれ以上のカラーアレイたとえば単色または
多色カラーアレイに使用することができる。
ンクジェット印字ヘッドの発熱体板28を示す。発熱体
板2日は、各カラーインク(黒色、マゼンタ色、シアン
色および黄色)がインク源からインクノズルへ流れる通
路として、インク供給溝孔20B、20M、20C,2
0Yを有する。
が好ましいが、他の方法を用いてもよい。
4B、34M、34C,34Yが配置されている。完全
な印字ヘッドを作るため、発熱体板28を組み立てると
、各発熱体はノズルと一直線に並ぶ、抵抗体すなわち発
熱体に電流が流れると、発熱体は接触しているインクを
蒸発させ、その力でノズルからインク滴を噴射させる。
シング電極(第1図参照)を必要とするもの)を使用す
る代わりに、本発明は各抵抗体アレイごとにスイッチン
グ回路網15.25.35゜45を使用する。スイッチ
ング回路網は、本発明の目的のため、決められた数の発
熱体に必要な接触パッドの敞を減らすあらゆる手段を言
う。たとえば、スイッチング回路網の1つのタイプは能
動ドライバーマトリックスである。これらの能動ドライ
バーマトリックスは各抵抗体アレイの各抵抗体にアドレ
スすることができるが、アドレスするために必要なアド
レッシング電極は少ないで済む。
有するドライバーマトリックスを示す。
ング回路網の1タイプを示す、各発熱体はゲートとソー
スをもつ駆動トランジスタを有する。第3A図のマトリ
ックスの左側には、駆動トランジスタのゲート群をアド
レスする4個のゲートアドレッシングパッドPI、P2
.P3.P4がある。たとえば、パッドP1は駆動トラ
ンジスタT1.T2.T3.T4のゲートGl、G2゜
G3.G4をスイッチする。第3A図のマトリックスの
右側には、駆動トランジスタのソースライン群をアドレ
スする4個のゲートアドレッシングパッドP5.P6.
P7.P8がある。たとえば、パッドP5は、駆動トラ
ンジスタT4.T8゜TI2.T16のソースラインS
4.S8゜S12.S16をスイッチする。したがって
、発熱体H4を作動させたい場合には、アドレスパッド
P1とP5を起動して、発熱体H4だけを起動させる。
、マトリックスの一部として、駆動トランジスタのドレ
インライン群を使用してもよい。
レイの組合せを「能動抵抗体アレイ」と呼ぶことにする
。能動ドライバーマトリックスと抵抗体アレイを組み合
わせることにより、必要な接触リード線が大幅に減るう
え、それらのリード線を供給溝孔のそばを通して外へ出
すことが可能になる。この結果、受動抵抗体アレイを使
用する従来のカラーアレイに比べて、供給溝孔/抵抗体
アレイ、能動ドライバーマトリックス、および接触リー
ド線を有する1個のカラーアレイが占めるシリコン不動
産(表面積)は小さいので、複数のカラーアレイを互い
に近接して配置することができ、したがって相対的な滴
の配置がより容易になる。
4月7日出11i)または米国特許第4,651,16
4号に開示されている能動ドライバーマトリックスを本
発明に使用するとかできる。能動ドライバーマトリック
ス(少なくとも1個のドライバーチップを有する)を使
用すれば、各抵抗発熱体34ごとに、アドレッシング電
極32を設ける必要はない、その代わり、複数の抵抗体
からの電極が、能動ドライバーマトリックスの出力パッ
ドに接続された第1組のリード線に接続される。能動ド
ライバーマトリックスの信号パッドおよび接地パッドに
接続された第2組のリード線は、供給溝孔のそばに露出
される。第2組のリード線は、たとえばプリンタのキャ
リフジ上のドーター(娘)ボードに取りつけられたアド
レッシング電極32を有する。このアドレッシング電極
32は、印字ヘッドの作動を制御する制御信号を能動ド
ライバーマトリックスに与える。能動トイラバーマトリ
ックスに必要なアドレッシング電極32の数は、制御す
る抵抗発熱体の数の平方根の約2倍である(すなわち、
81個の発熱体には、9×9マトリツクスと18個の電
極が必要である)。能動ドライバーマトリックスは、能
動ドライバーマトリックスを使用しない場合に必要な抵
抗発熱体リード線よりも必要な面積が小さいので、かな
りのシリコン不動産(表面積)が保存される。実際には
、1バンク内に4個のカラーアレイの全部があっても、
1個のシリコンチップ上に、4色印字ヘッドを製作する
ことができる。
列した発熱体アレイを有する4色ルーフシュータ−型印
字ヘッドを作ることが可能になった。
記憶すればよい。
サーマルインクジェット印字ヘッドを製作することがで
きる。印字ヘッドは、4個の発熱体アレイ34B、34
M、34C,34Yと4個の対応する細長い供給溝孔2
0B、20M20C,20Yをもつ共通発熱体板28(
第3図)と、発熱体板28の上に重ねられた、4個のノ
ズルアレイ12B、12M、12C,12Yをもつ共通
チャンネル板14 (第4図)とから成る。各発熱体ア
レイは、対応する供給溝孔のそばに配置されている。各
ノズルアレイ12B、12M。
20M、20C,20Yの1つと通じている。各ノズル
アレイは隣のノズルアレイから隔離されており、各ノズ
ルアレイの各ノズル12は対応する発熱体アレイの対応
する発熱体34の上に一直線に並んでいる。(個々の発
熱体34または供給溝孔20は、チャンネル板14によ
って不明確になるので、第4図には図示してない、)4
個の発熱体アレイ34B、34M、34C。
5,35.45のうちの対応するマトリックスによって
個別にアドレスされ、駆動される。
する発熱体アレイのそばに配置されている。
のアドレッシング電極32だけを図示してある、)各能
動ドライバーマトリックスは、第3図に示すように、供
給溝孔の位置と交互に発熱体板上に配置することができ
る。
り、多アレイ単色印字ヘッドを、単一アレイの最大滴発
射周波数より4倍高い滴発射周波数で動作させることが
可能である。この理由は、印字ヘッドの走査方向に、1
本の走査線と列をなす4個の発熱体は、それぞれがその
走査線内の画素の1/4のみをアドレスすればよいから
である。
ッドを使用している米国特許第4,833,491号(
1989年5月3日発行)に記載されている0本発明は
、複数のルーフシュータ−型発熱体/ノズルアレイが1
個の印字ヘッドと一体構造で作られている点が、上記米
国特許第4.833.491号とは異なる。米国特許出
願第303 、620号(1989年1月30日出願)
は、「サイドシュータ−」方式の一体構造アレイの4色
または単色印字ヘッドを開示している。しかし、本発明
は、「ルーフシュータ−」型サーマルインクジェット印
字ヘッドである点が上記米国特許出願第303 、62
0号とは異なる。
接するアレイに対して1/4画素だけアレイの方向に順
次オフセットさせれば、一体構造の多アレイ単色印字ヘ
ッドを、単一アレイのアドレス可能な最大解像度の4倍
の解像度をもつことが可能である。たとえば、仮に単一
プレイの最大解像度が200ノズル/インチとすれば、
4アレイ1/4画素ジグザグ配置単色印字ヘッドの最大
解像度は800ノズル/インチになるであろう。
に1個のアレイを備えていれば、発熱体/ノズルアレイ
の総数は8個で、アドレス可能最大解像度は供給溝孔の
片側の単一アレイの解像度の8倍である。前述のように
、これらの8個のアレイを使用すれば、印字ヘッドの動
作周波数を単一アレイの最大滴発射周波数より8倍速(
することができるであろう。
るルーフシエータ−型サーマルインクジェット印字ヘッ
ドの製作方法を開示している0本発明は、発熱体アレイ
を構成する集積回路網に、能動ドライバーマトリックス
を組み入れていれることにより、1個のシリコンチップ
に4組の発熱体アレイを製作できる点が上記米国特許第
4,789.425号とは異なる。
、本発明によって製作された発熱体板の一部の断面図で
ある。製作される各カラーアレイは同一であることがわ
かる。 (100)シリコンウェーハ36(第5A図)
を入手し、その両面に窒化シリコンのマスク膜15を堆
積する0次にエツチング口29を通してアライメント孔
のパターンをウェーハの2または3か所に部分的に異方
性エツチングし、凹部38が約2ミルすなわち50ミク
ロンの深さに達したら、エツチングを停止する(第5B
図)。これらのアライメント孔は、発熱体板上に供給溝
孔20と発熱体アレイ34のパターンを精密に整合する
ために使用される、この結果、1個のウェーハから複数
個のウェーハチップを作ることができる(第5E図)。
供給溝孔パターンをもつマスクを整合し、アライメント
孔の凹部38を含むウェーハ面に像形成を行う0次にア
ライメント孔38がウェーハを完全に貫通し、ウェーハ
を覆っている透明なマスク膜15のみが残るまで、再び
ウェーハを異方性エツチングし、そのあとウェーハの厚
さより約2ミルすなわち50ミクロンだけ短い細長い供
給溝孔20を残し、エツチングを停止する。2または3
個のアライメント孔(マスク膜で被覆された)を除いて
、ウェーハの表面30は固体である。
膜に、複数組の気泡発生用発熱体34とその関連する電
極32をパターニングする(第5E図)。本発明は、こ
れまで発熱体回路網を製作するために必要とされたほど
のシリコン表面積を必要としないので、1個のウェーハ
チップに、4個の供給溝孔とそれらの関連発熱体回路網
を製作することが可能である。電極32と発熱体34を
シリコンウェーへの固体表面にパターニングしたあと、
米国特許出願第07/336 、624号(1989年
4月7日出II)または米国特許第4,651,164
号に記載されている方法で、能動ドライバーマトリック
ス15,25,35.45をウェーハの表面に製作する
。電極保護のため、1ミクロンの厚さの燐ドープ化学気
相蒸着(CVD)シリコン酸化1l127を、複数組の
発熱体、能動ドライバーマトリックスおよびアドレッシ
ング電極の上に蒸着する(第5E図)。最後にCVD
二酸化シリコンパッシベーション皮膜を蒸着したあと
、うニームを、二酸化シリコン食刻速度またはシリコン
食刻速度が遅い異方性エツチング剤たとえばエチレンジ
アミンピロカテコール(EDP)の中に入れる。この方
向依存性エツチングが細長いインク供給溝孔20の方向
依存性エツチングを完成するので、このエツチングされ
た溝孔の底は、第5F図に示すように、バンシヘーショ
ン層27とマスク膜15(または代替アンダーグレーズ
層)のみで覆われている。次に、第5G図に示すように
、アドレッシング電極32、発熱体34、アライメント
孔38および細長いインク供給溝孔20から、バッジベ
ージジン層とマスク膜をエツチングで除去する。
に共通チャンネル板14を形成する。これは、米国特許
第4 、789 、425号に記載されているいろいろ
な方法で形成することができる。第6A図〜第6C図に
、1つの方法を示す、エツチングしたシリコン発熱体板
28に、ドライフィルム形式のパターニング可能材料層
21を形成する。このパターニング可能材料は、感光化
、露光、および現像の諸工程によって、あるいはパター
ンマスクによるウェットエツチングまたはドライエツチ
ングによって図形描写が可能な材料である。たとえば、
Duppont社のVECRELのような製品を使用し
て、怒光層としてポリイミド材料をドライフィルムの形
で塗布することができる。そのあと、紫外線パターンで
露光し、現像し、硬化させる0次に、第6B図に示すよ
うに、パターニング可能材料層21から、空洞壁22お
よびチャンネル壁17のパターンを整合し、像形成し、
現像する。次に、第6C図に示すように、パターニング
可能材料層21の上に、ドライフィルムフォトレジスト
23を置いて、整合し、像形成し、現像して内部にノズ
ル12のアレイを有するルーフ24を形成する。
タ−型印字ヘッドにも応用することができる。第7図は
、単色ルーフシュータ−型印字ヘッド用の発熱体板を示
す0発熱体板は、供給溝孔20、関連する発熱体アレイ
34、および共通帰線35を有する。スイッチング回路
網たとえば能動ドライバーマトリックス55を使用して
発熱体34をアドレスするやり方により、必要なアドレ
ッシング電極32の数が大幅に減る。このようにアドレ
ッシング電極32の数を減らすことにより、リード線が
供給溝孔20のそばまで延びていない配列法が可能であ
る。これにより供給溝孔20をほぼ発熱体板の全幅まで
広げることができるので、端と端を突き合わせて大型印
字へラドアレイを作ったとき、隣接する発熱体板の供給
溝孔20同士の隙間が狭くなる。本発明は、1個のチッ
プ上により長いノズルアレイを配置することができるの
で、シリコン不動産(表面積)を保存しながら、解像度
のより高い印字品質が得られる。第7図に示した発熱体
板はルーフシュータ−型印字ヘッド用であるが、単色サ
イドシュータ−型印字ヘッドに応用しても、同様な利益
を得ることができる。
例は発明を明らかにするためのものであり、発明を限定
するものではない、上述の説明から多くの修正態様や変
更態様を容易に思いつがれるであろうが、それらはすべ
て本発明の範囲に含まれる。たとえば、良好に整列した
一連の密集ノズルアレイをもつことが望ましいどんな形
式の多色インクジェット印字ヘッドにでも、本発明を使
用することができる。したがって、特許請求の範囲に記
載した本発明の精神と範囲内で、本発明の多数の変型を
作ることができる。
字ヘッド用の発熱体板の平面図、第2図は、受動抵抗体
アレイを使用する4色印字ヘッド用の発熱体板の平面図
、 第3図は、本発明に係る4色ルーフシュータ−型印字ヘ
ッド用の発熱体板の平面図、 第3A図は、第3図のスイッチング回路網の略回路図、 第4図は、本発明に係る4色ルーフシュータ−型印字ヘ
ッドの平面図、 第5A図〜第5G図は、単色アレイ用の発熱体板を作る
工程を示すシリコンウェーハの断面図、第6A図〜第6
C図は、ルーフシュータ−型印字ヘッドのチャンネル板
を作る工程を示す拡大平面図、および 第7図は、供給溝穴とスイッチング回路網を含む、単色
印字ヘッド用の発熱体板の平面図である。 符号の説明 12・・・ノズルアレイ、14・・・チャンネル板、1
7・・・チャンネル壁、20・・・供給溝穴、15・・
・窒化シリコンマスク膜、21・・・バターニング可能
材料層、22・・・空洞壁、23・・・フォトレジスト
、24・・・ルーフ、27・・・バンシベーシゴン層、
28・・・発熱体板、29・・・エツチング口、30・
・・固体表面、32・・・アドレッシング電極、33・
・・リード線、34・・・発熱体、35・・・共通帰線
、36・・・(100)シリコンウェーハ、37・・・
アドレッシング電極、38・・・アライメント孔、15
,25,35.45・・・能動スイッチング回路網、5
5・・・能動ドライバーマトリックス、P1〜P8・・
・ゲートアドレスパッド、01〜G16・・・ゲート、
T1−T16・・・駆動トランジスタ、31〜316・
・・ソースライン、H1〜H16・・・発熱体、S・・
・ウェーハチップ。 FIG、 2 手 続 補 正 書(方式) 1、事件の表示 平成2年特許願第320554号 2、発明の名称 多色ルーフシュータ−型印字ヘッド 3、補正をする者 事件との関係
Claims (1)
- (1)(a)少なくとも2個の発熱体アレイと、前記発
熱体アレイのそばに配置された対応する数の細長い供給
溝穴とを有する共通発熱体板と、 (b)前記発熱体板の上に積層され、前記各発熱体アレ
イに対応するノズルアレイを有する共通チャンネル板か
ら成り、 各ノズルアレイは発熱体板の供給溝穴の1つと通じてい
ること、各ノズルアレイは隣りのノズルアレイから分離
されていること、各ノズルアレイの各ノズルは発熱体ア
レイの対応する発熱体の上に一直線に並んでいること、
そして少なくとも2個の発熱体アレイは、それぞれ対応
するスイッチング回路網で個別にアドレスされ、駆動さ
れること、各スイッチング回路網は発熱体板の上に対応
する発熱体アレイのそばに配置されていること、各スイ
ッチング回路網は対応する発熱体アレイの発熱体に接続
された第1の数の出力端と、制御信号を受け取る前記第
1の数より少ない第2の数の入力端を有することを特徴
とする多色サーマルインクジェット印字ヘッド。
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1990
- 1990-11-22 JP JP2320554A patent/JP2966919B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08207291A (ja) * | 1994-07-14 | 1996-08-13 | Hitachi Koki Co Ltd | インク噴射記録ヘッドの製造方法および記録装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5030971B1 (en) | 2000-11-28 |
US5030971A (en) | 1991-07-09 |
JP2966919B2 (ja) | 1999-10-25 |
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