JPH03224111A - 浮動型磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明はハードディスク型の記録媒体に対して用いられ
る浮動型磁気ヘッドに関する。

（ロ）従来の技術 近年、ハードディスクドライブ装置においても、小型化
の要求が著しく記録媒体への高密度記録が重要な問題に
なっている。このため、従来の酸化物の塗布型の磁気デ
ィスクに代って抗磁力（ＨＣ）の高い金属薄膜型の磁気
ディスクが記録媒体として開発されている。この様な金
属薄膜型の磁気ディスクに対応する磁気ヘッドとしては
、例えば特開昭６２−２９５２０７号公報（ＧＩＩＢ５
　／’　２３　）等に開示されているように従来のモノ
ノシック型やコンポジット型の浮動型磁気ヘッドのギャ
ップ衝き合わせ面にセンダストやアモルファス磁性合金
等の高飽和磁束密度材料をスパッタリングによって成膜
したＭ　Ｉ　Ｇ型（メタル・イン・ギャップ型）の浮動
型磁気ヘッドが提案されている。。

第５図はＭＩＧ型の浮動型磁気ヘッドの外観を示す斜視
図である。

図中、（１）は非磁性材料よりなるスライダーであり、
該スライダー＜１）のコア収納凹所（２）内には磁気ギ
ャップ（３１）を有するコアチップ（３）が低融点ガラ
ス（４）により接合固定されている。

次に、−上記浮動型磁気ヘッドの製造方法について説明
する。

先ず、第６図（ａ）（ｂ）に示すようにＭ　ｎ　−Ｚ　
ｒ＋フェライト等の強磁性酸化物材料よりなる第１、第
２基板（５ａ）（５ｂ）のうち、一方の第１基板（５ａ
）のギャップ形成面上に巻線溝（６）、ガラス棒挿入溝
（７）及びガラス充填溝（８）を形成する。また、他方
の第２基板（５ｂ）のギャップ形成面上にセンダスト等
よりなる帯状の強磁性金属薄膜（９）をスパッタリング
等により被着７形成し、該強磁性金属薄膜（９）上にＳ
ｉｎ、等の非磁性絶縁材料よりなるギャップスペーサ（
１０）を被着形成する。

次に、第７図に示すように前記一対の第１、第２の基板
（５ａ）（５ｂ）のギャップ形成面同士を前記強磁性金
属薄膜（９）及びギャップスペーサ（１０）を介して衝
き合わせ、前記ガラス棒挿入溝（７）にガラス棒（１１
）を挿入した後、前記一対の第１、第２基板（５ａ）（
５ｂ）を加圧、加熱することにより前記ガラス棒（１１
）を溶融して前記ガラス充填溝（８）に高融点ガラス（
１２）を充填し、前記第１、第２基板（５ａ）（５ｂ）
を接合固定する。

次に、第７図に示す接合休園を破線Ａ−Ａ’に沿って切
断することにより第８図に示すようにコアブロック（１
４）を形成する。

次に、第９図に示すように前記コアブロック■Ｕの媒体
摺接側の端面（１４ａ）にトラック幅規制溝（１５）を
形成して磁気ギャップ（３１）のトラック幅と等しい幅
ｔを有する媒体対向突部（１６）を形成する。

次に、前記コアブロック皿を破線Ｂ−Ｂ“に沿って切断
することにより第１Ｏ図に示すコアチップＣ」が完成す
る。

最後に、前記コアチップΩ］を前記スライダー（１）の
収納凹所（２）内に嵌め込み前記トラック幅規制溝（１
６）内に低融点ガラス（４）を充填固化することにより
前記コアチップ工を前記収納凹所（２）内に固定して第
５図に示す浮動型磁気ヘッドが完成する。

しか乍ら、上述の浮動型磁気ヘッドでは、強磁性金属薄
膜（９）と第２基板（５ｂ）を構成する強磁性酸化物材
料との熱膨張係数の差により、両者の間に歪が生じ第１
１図に示すように前記強磁性金属薄膜（９）が前記磁気
コア半体を構成する第２基板（５ｂ）から剥離する虞れ
がある。

上述の問題を解決する方法としては、強磁性金属薄膜（
９）をフロントギャップ側とバックギャップ側とに分断
することにより前述の歪を小さくして前記強磁性金属薄
膜（９）の剥離を防止する方法がある。

しかし乍ら、この方法においても、前記強磁性金属薄膜
（９）の端部（９ａ）に歪が集中するため、第１２図に
示すように前記強磁性金属薄膜（９）の端部（９ａ）が
トラック幅規制溝（１６）内にある場合、トランク幅規
制溝（１６）加工により第１３図（ａ）（ｂ）に示すよ
うに、磁気コア半体（５ｂ）にヒビ（１７）や欠け（１
８）が発生し、また、第１４図に示すようにトラック幅
規制溝（１６）加工前の状態において磁気コア半体（５
ｂ）の厚み方向全域に強磁性金属薄膜（９）が存在し、
その端部（９ａ）が巻線溝（６）内の高融点ガラス（１
２）の外部にある場合、磁気コア半体−強磁性金属薄膜
（９）間、及び強磁性金属薄膜（９）−高融点ガラス（
１２）間で強磁性金属薄膜（９）の剥離が生じるため、
磁気コア半体にヒビや割れが発生する。しかも後者の場
合、高融点ガラス（１２）は強磁性金属薄膜（９）に対
して濡れ性が悪いため、磁気コア半体間の接合強度が弱
いという問題も生じる。尚、センダストの熱膨張係数は
約１４０Ｘ１０−’／’Ｃ、フェライトの熱膨張係数は
約１２０Ｘ１０−’、／’Ｃ１高融点ガラスの熱膨張係
数は約１００　ｘ　ｔ　Ｏ−’／”Ｃである。

（ハ）発明が解決しようとする課題 本発明は上記従来例の欠点に鑑み為されたものであり、
強磁性金属薄膜の剥離及び磁気コア半体の破損を防止し
、且つ磁気コア半体同士の接合強度が強固であるコアチ
ップを有する浮動型磁気ヘッドを提供することを目的と
するものである。

（ニ）課題を解決するための手段 本発明はギャップ形成面に巻線溝が形成された第１コア
半体と、ギャップ形成面に強磁性金属薄膜が形成された
第２コア半体とを有し、前記第１、第２コア半体のギャ
ップ形成面同士が前記強磁性金属薄膜及びギャップスペ
ーサを介して接合材により接合固定され、媒体対向面側
の端面に媒体対向突部の幅を規定するトラック幅規制溝
が形成されたコアチップを非磁性材料よりなるスライダ
ーに固定してなる浮動型磁気ヘッドにおいて、前記コア
チップは前記強磁性金属薄膜が前記巻線溝を中心に媒体
摺接面側に位置する第１強磁性金属薄膜と媒体摺接面と
反対側に位置する第２強磁性金属薄膜とに分断されてお
り、前記第１強磁性金属薄膜の前記巻線溝側の下方端部
が前記トラック幅規制溝の外部にあり、前記接合材が前
記第２コア半体に直接接していることを特徴とする。

更に、前記第１強磁性金属薄膜は第２コア半体の厚み方
向全域に被着しており、前記第１強磁性金属薄膜の前記
下方端部が前記接合材の内部に位置することを特徴とす
る。

（ホ）作　用 上記構成に依れば、歪が集中している強磁性金属薄膜の
端部がトラック幅規制溝の加工部分にはなく、且つ、接
合材が馴染みのよい強磁性酸化物材料よりなる第２磁気
コア半体に直接接する。

（へ）実施例 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を詳細に説明
する。

第１図は本実施例の浮動型磁気ヘッドのコアチップの外
観を示す斜視図、第２図はコアチップの側面図である。

図中、（１９ａ）（１９ｂ）はＭ　ｎ　−Ｚ　ｎフェラ
イト等の強磁性酸化物材よりなる第１、第２コア半体で
あり、第１コア半体（１９ａ）のギャップ形成面上には
巻線溝（２０）及びガラス充填溝（２１）が形成されて
いる。前記巻線溝（２０）の上方及びガラス充填溝（２
１）には高融点ガラス（２２）が充填されており、前記
巻線溝（２０）のガラス未充填部により窟線窓（２３）
が構成されている。前記第２コア半体（１９ｂ）のギャ
ップ形成面上にはコアの厚み方向全域に亘ってセンダス
ト等よりなる第１、第２強磁性金属薄膜（２４１）（２
４２）が被着形成されており、該第１、第２強磁性金属
薄膜（２４１）（２４２）上には夫々Ｓｉｎ。等の非磁
性絶縁材料よりなるギャップスペーサ（２５１）（２５
２）が被着形成されている。前記第１、第２コア半体（
１９ａ）（１９ｂ）は前記第１、第２強磁性金属薄膜（
２４１）（２４２）及びギャップスペーサ（２５１）（
２５２）を介して衝き合わされており、両者は前記高融
点ガラス（２２）により接合固定されている。このコア
チップの媒体対向側の端面には、媒体対向突部（２６）
が形成されており、該媒体対向突部（２６）の幅ｔはト
ラック幅規制溝（２７）により規定されている。

前記第１強磁性金属薄膜（２４１）は前記巻線窓（２３
）よりも媒体摺接面側である上方に位置しており、その
下方端部（２４１ａ）は前記高融点ガラス（２２）内に
位置している。このため、前記高融点ガラス（２２）は
第２コア半体（１９ｂ）に直接接している。前記第１強
磁性金属薄膜（２４１）上に被着しているギャップスペ
ーサ（２５１）は磁気ギャップ（２８）となり、該磁気
ギャップ（２８）のギャップ深さ方向の下端は前記巻線
溝（２０）の上端（２０ａ）により規定されている。ま
た、前記磁気ギャップ（２８）のトラック幅は前記媒体
対向突部（２６）の幅ｔとなる。前記第２強磁性金属薄
膜（２４２）は前記巻線溝（２０）よりも下方に位置し
ており、その上に形成されたギャップスペーサ（２５２
）がパックギャップ部となる。

次に、上記浮動型磁気ヘッドの製造方法について説明す
る。

先ず、第３図（ａ）（ｂ）に示すようにＭ　ｎ　−Ｚ　
ｎフェライト等の強磁性酸化物材料よりなる第１、第２
基板（２９ａ）（２９ｂ）のうち一方の第１基板（２９
ａ）のギヤ・ノブ形成面上に巻線溝（２０）、ガラス捧
挿入溝（３０）及びガラス充填溝（２１）を形成する。

また、他方の第２基板（２９ｂ）のギャップ形成面上に
センダスト等よりなる強磁性金属薄膜（２４）を被着形
成し、該強磁性金属薄膜（２４）上にギャップスペーサ
（２５）を被着形成する。前記強磁性金属薄膜（２４）
及びギャップスペーサ（２５）は前記第２基板（２９ｂ
）のギャップ形成面全域に薄膜を形成した後、イオンビ
ームエツチング等を行うことにより細長の島状に分断さ
れている。この際、前記強磁性金属薄膜（２４）及びギ
ャップスペーサ（２５）の幅Ｗは所望のトラック幅より
も少許大きく、長さ２はコアチップ完成体において第１
強磁性金属薄膜（２４１）の下方端部（２４１ａ）が第
２図に示すようにトラック幅規制溝（２７）よりも下方
に位置し、高融点ガラス（２２）内に位置するように規
定されている。

以後は、従来例と同様に第６図〜第９図に示すＪＪＤ工
を行うことにより第１図に示す本実施例のコアチン１国
が完成する。

最後に、前記コアチン１国をスライダーの収納凹所内に
嵌め込み、前記トラック幅規制溝（２７）内に低融点ガ
ラスを充填固化することにより本実施例の浮動型磁気ヘ
ッドが完成する。

上述のような本実施例の浮動型磁気ヘッドでは、第２コ
ア半体（１９ｂ）に被着している強磁性金属薄膜（２４
）が第１強磁性金属薄膜（２４１）と第２強磁性金属薄
膜（２４２）とに分断されているため、第２コア半体（
１９ｂ）と強磁性金属薄膜との熱膨張係数の差による歪
は分断され、強磁性金属薄膜の剥離は抑えられる。また
、媒体摺接面側に位置する第１強磁性金属１膜（２４１
）の下方端部（２４１８）がトラック幅規制溝（２７）
よりも下方に位置し、高融点ガラス（２２）内に位置す
るため、トラック幅規制溝（２７）加工による第２磁気
コア半体（１９ｂ）の破損は防止され、しかも高融点ガ
ラス（２２）が第２コア半体（１９ｂ）に直接後してい
るため前記第１、第２コア半体（１９ａ）（１９ｂ）は
強固に接合固定される。

また、第２コア半体（１９ｂ）のコアの厚み方向全域で
はなく、中央部分のみに強磁性金属薄膜を有するコアチ
ップの場合においては、第４図に示すように第１強磁性
金属薄膜（２４１）の下方端部（２４１ａ）が高融点ガ
ラス（２２）の外部にある場合においても高融点ガラス
（２２）が直接第２コア半体（１９ｂ）に接するため、
上述と同様の効果を得ることが出来る。

（ト）発明の効果 本発明に依れば、強磁性金属薄膜の剥離や磁気コア半体
の破損が抑えられ、且つ機械的強度に優れたコアチップ
を有する浮動型磁気ヘッドを提供し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明に係り、第１図はコアチップ
の外観を示す斜視図、第２図はコアチップの側面図、第
３図は製造方法を示す斜視図、第４図は池の実施例のコ
アチップの斜視図である。 第５図乃至第１４図は従来例に係り、第５図は浮動型磁
気ヘッドの外観を示す斜視図、第６図、第７図、第８図
、第９図は夫々製造方法を示す斜視図、第１０図はコア
チップの外観を示す斜視図、第１１図はコアチップの膜
剥れを示す図、第１２図はコアチップの要部斜視図、第
１３図はコアチップの破損を示す図、第１４図はコアチ
ップの加工前の状態を示す斜視図である。 （１）・・・スライダー、（１９ａ）・・・第１コア半
体、（１９ｂ）・・・第２コア半体、（２０）・・・巻
線窓、（２２）・・・高融点ガラス、（２４）・・・強
磁性金属薄膜、（２４１）・・・第１強磁性金属薄膜、
（２４１ａ）・・・下方端部、（２４２）・・・第２強
磁性金属薄膜、（２５）（２５１）（２５２）・・・ギ
ャップスペーサ、（２６）・・・媒体対向突部、（２７
）・・・トラック幅規制溝、（２８）・・・磁気ギャッ
プ、（３２）・−・コアチップ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ギャップ形成面に巻線溝が形成された第１コア半
   体と、ギャップ形成面に強磁性金属薄膜が形成された第
   ２コア半体とを有し、前記第１、第２コア半体のギャッ
   プ形成面同士が前記強磁性金属薄膜及びギャップスペー
   サを介して接合材により接合固定され、媒体対向面側の
   端面に媒体対向突部の幅を規定するトラック幅規制溝が
   形成されたコアチップを非磁性材料よりなるスライダー
   に固定してなる浮動型磁気ヘッドにおいて、前記コアチ
   ップは前記強磁性金属薄膜が前記巻線溝を中心に媒体摺
   接面側に位置する第１強磁性金属薄膜と媒体摺接面と反
   対側に位置する第２強磁性金属薄膜とに分断されており
   、前記第１強磁性金属薄膜の前記巻線溝側の下方端部が
   前記トラック幅規制溝の外部にあり、前記接合材が前記
   第２コア半体に直接接していることを特徴とする浮動型
   磁気ヘッド。
2. （２）前記第１強磁性金属薄膜は第２コア半体の厚み方
   向全域に被着しており、前記第１強磁性金属薄膜の前記
   下方端部が前記接合材の内部に位置することを特徴とす
   る請求項（１）記載の浮動型磁気ヘッド。