JPH03209173A - コンタクトプローブ - Google Patents

コンタクトプローブ

Info

Publication number
JPH03209173A
JPH03209173A JP2003406A JP340690A JPH03209173A JP H03209173 A JPH03209173 A JP H03209173A JP 2003406 A JP2003406 A JP 2003406A JP 340690 A JP340690 A JP 340690A JP H03209173 A JPH03209173 A JP H03209173A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
contact probe
holder
contact
supported
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003406A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuaki Kobayashi
信昭 小林
Hiroshi Maruta
丸田 寛
Shinji Miyashita
宮下 新司
Toshio Nakamura
敏雄 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Organ Needle Co Ltd
Original Assignee
Organ Needle Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Organ Needle Co Ltd filed Critical Organ Needle Co Ltd
Priority to JP2003406A priority Critical patent/JPH03209173A/ja
Publication of JPH03209173A publication Critical patent/JPH03209173A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] 本発明は、プリント基板などに実装された微細な回路網
の一部に圧接させて電気的接続を得て、該凹路網の断線
,ショートや集積回路網の特定部分だけの抵抗値を測定
したり、その他デバイスの有無,装着方向等を検査する
に適したコンタクトプローブに関するものである。
〔従来の技術〕
−mに、コンタクトプローブは構成部品にL7金属等の
IF i7性材料を使用しているため、♂11定用リー
ド線に重冶が通しるとブローブの先QJiにまで』mし
るものであり、被θり定金属に接1るブローブ先端が被
測定金屈部分に弾性的に接触するようにコイルスプリン
グを内装して措戒されていた。
このようなコイルスプリングの伸縮1’Lを利用して、
複数本のプ[1−ブをハーインソりノトに配列すること
によって、ブリン1火板QこII iMされたデハイス
の有!『(,装着方向等を検・知4−ることか行われて
いた。
〔発明が解決しようとする課槓〕
しかしながら、従来のコンククI・ブU−ブを所定ピン
チごとに多数本配備したハーインソケノトでは、微細な
回路網に対応さセるためには各コンタクトプローブの密
度も濃く各ビノチを極めて小さくする必要があり、従来
のコイルスプリングを内装したものでは限界があって、
ビノチ間隔が人きく満足できないし、しかもコイルスプ
リングタイプのプローブではファインタイプのものでは
タッチのni+:上支障があり、保守点検や製作加工が
顧る煩?1t . ■1Bであるなど問題があった。
本発明は、これら従来の問題点を排除しようとするもの
で、微細同路網のチェノクを容易適確に行え、プローブ
先端のタノチも円滑安全で長期使用にillilえるほ
か、組立加工製作も簡便なコンタクl・ブ[J−ブを提
{Itすることを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
木発I!I1は、コンタクトプローブを、ホルダーにそ
の一端をホルダーから突出して嵌挿したものであって、
ハ不胛性素材からなる針杆状の導電性芯+1の少なくと
も両端部に金メ,キ層を施してコンタクトプローブとし
、このコンタクトプローブのi】央部分を一定方向に撓
わま一仕るようにコンタクトプローブの一端部をホルダ
ーに固定支持するか、又は固定位置より間隔をおいて他
端部を固定支待点より偏心さセてホルダーに![支持し
たことを特徴とするコンタクトプローブである。
(作 用〕 本発明のコンタクトプローブは、その先端が不使用時に
は、ホルダーより垂直方向に突出配備されていて、該先
端の一端部に垂直荷重が加わったときにコンタクトプロ
ーブの他端部がホルダーに固定されているので、ホルダ
ーの支承部間にあるハネ弾性の芯杆の中央部分が指向さ
れた一方同に変形して1たみ、fi嵌支持されているプ
ローブ先端をホルダー内にガイトして押込むこととなっ
て、微細な回路網の所要個所にソフトなタノチで接触さ
れてlJJ1測定乃至検知することができるし、重直荷
重を除くと芯杆の撓みがなくなり、ハ不弾性で直線状に
復元されて先端が旧位置にガイトされて円滑に復帰する
ことになる。
そして、多数本が密に配列されたコンタクトプローブが
、それぞれホルダー間に撓んでもその方がそれぞれ一定
方向にtfbがってしなり、各ブローブ同志が接触しな
いようになっていて電気的ショートにならないし、必要
に応しこの部分表面に絶縁層をコーティングしてあれば
安全に用いられ、各コンタクトプローブの機能をはたし
、微細な集栢凹路網のItJi線.ンヨート等を点検す
るための通常の二1ンタクトプ[1−ブとしても利用す
ることができる。
〔実施例] 本発明の一実施例を第1〜4図例について説明すると、
コンタクトプローブlを、ホルダー2に複数間隔をおい
て配列し、各コンタクl−プローフの一端をホルダー2
から突出して+A降自在に嵌挿したものであって、ハネ
弾性素材からなる直径0.1〜0.5φの針杆状の導竜
性心杆3の少なくとも両端部に高良導性金属、例えば金
メ,ツキ層4を施してコンタクトプローブ1とし、この
コンタクトプローブlの中央部分を一定方向に撓わませ
るようにコンタクトプローブ1の一砧部をホルダ2に接
着剤1嵌合構造その他の固定手段で固定支持するか、又
は固定位置より間隔をおいて他端部を固定支持点より偏
心d例えばセンターを0.5〜1.0富―程度偏心させ
てホルダー2に&嵌支持し、前記恵電性芯杆3の先端3
IをA降自在に配備したコンタクトプローブとしてある
この場合、前記導霊性芯杆3の全長にわたって金メノー
l−層4を施してもよく、その両端部の金メ7十屑を残
して中央部分に絶縁性層5をコーティング配IJ’Gず
るか、奪色縁外層5のコーディング後に金メ,キ層4を
施ず表面処理をすることができる。
また、i”+ii記コンタクトプローブlが、上下に隔
ス11したホルダー2の上板と下板とに支承したもので
一端を下仮の支承7L6に固着し、かつ−1二板に形成
された支承孔7に11通して他端を上板の表面Lに突出
装備するのがよい。
]1;j記コンタクトプローブ1が、軸方I;リの外力
に対して径方l?rjに廃む指向性を持たせる5X形断
面とした二一ドルピンを用いることもできる。なお、こ
のコンタクトプローブ1としては、その先5;+.i面
をIll電ノ川工.ケガキ,ヤスリ、その他ファインカ
7ターで接触点として多数のポイントのある粗面、例え
ばギザギザ,平面やへこみその他凹凸形状にしたものを
使用することが配慮される。この場合、導′4性芯杆を
多数本束にして加工するのがよい。
なお、前記コンタクトプローブ1の固定支持には軸方l
′ir]への荷重が加わったときに、ずれ動かないよう
に接着剤9で固定するほかに芯杆端部にプレス加工で張
出耳部8を形成し、接着剤9に埋設するか、別部材の固
着子(図示せず)を嵌着固定化するか、或いは張出耳部
8をホルダー2の支承孔7に形成した凹部に芯杆を回転
したのち、耳部8を定位置に嵌人固定化することも選ん
ででき、いずれにしてもコンタクトプローブ1が変形し
てしなりが発生するときの支えとなるように構威してあ
る。
さらに、高密度に多数本配列されたコンタクトプIコー
ブ1群は荷重を受けてシナリが発生して藺がってち、そ
の方向がランダムとならないように芯杆同志が接触しな
いように配慮してあり、表面に絶縁性層5があれば一応
安全に用いられる。
また、前記コンタクトプローブ1の偏心配備には、同一
中心線上にある上下の支承孔6.7に各コンタクトプロ
ーブ1を嵌挿したのちにホルダー2の上板又は下板の少
なくとも一方を偏心距離だけずらして固定化すれば、各
ブローブのしなりに方向性を持たせられる組立製作が極
めて容易であり、また異形断面のコンタクトプローブ1
の場合には偏心位置しなくてもよいが、方向性を持た吐
た位置に配列、例えば切除又はプレスした平坦面を一方
向に揃えて組立配備することが考慮される。
一方、前記57,性芯杆3の表面には金メッキ層4のほ
かに.Jl−要に応し各種のメッキ層4lを被覆したも
のを用いることもできる。
第5図例では、前記導電性芯杆3の両端部に金屈メ,」
一層4.4を施し、中央部分に砲縁性層5をコーティン
グしたもので、低コストのコンタクトプローブとするこ
とができる。
第6図例では、導電性芯杆3の全体に金メッキ層4又は
両端に金メッキ層4と中間部に他のメッキ層4,とを施
したのちに絶縁11層5をコーティングしたもので、こ
の場合、絶縁層4を先に施したのち両端に金メッキ層を
施すこともできる。
第7図A.r3の例ではそれぞれ前記導電性芯杆3を巽
形断面にプレス又は引き抜き加工したものに金メ,キ層
4を施したもので、丸棒の長手方向一側又は両側を平坦
に切除又はプレスしてその平坦面の一つをfQみ方向に
したものであるが、断面角形,楕円形、その他しなりに
方向性を持たせるのに有効な断面形状が選ばれる。
〔発四の効果〕
本発明は、ハネ弾性素材からなる針杆状の導電性芯杆の
少なくとも両端部に金メッキ層を施してコンタクトプロ
ーブとし、このコンタクトプローブの中央部分を一定方
向に撓わませるようにコンタクトプローブの一端部をホ
ルダーに固定支持するか、又は固定位置より間隔をおい
て他端部を固定支持点より偏心さーQてホルダーに遊嵌
支持したことにより、コンタクトプローブの接触の際に
、その先端に乗直荷重が加わったときにコンタクトプロ
ーブの他端部がホルダーに固定されているので、ホルダ
ーの支承部間にあるバネ弾性の芯杆の中央部分が指向さ
れた一方向に変形して撓み、遊嵌支持されているブロー
ブ先端をホルダー内にガイドして押込むこととなって微
細な四陀網の所要個所にソフトなタッチで接触されてi
通測定乃至検知することができ、プリンt4板に実装さ
れた微細回路網やデハイスのfj’M.装着方同等をも
著しく安全容易に検知することができ、フィクスチャ部
材に取り付ける場合にも?iX雑なホルダーを必要とせ
ずに節単に取り付けられ、組立,加工.製作も簡便でフ
ィクスチャ部材の厚さも薄くて済みコンパクト化に役立
ら、使用も容易となり、さらにプローブ先端のタノチも
lT]7{7安全であり、長朋使用によっても劣化現象
もなく安定しており、微細里積回路網の断線.シーJ−
 1・E9を点検作業を良好に行うことができるなどの
多くのイf用なる勅果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す疋而断面図、第2図は
横断面図、第3図は使用状態の斜視図、第4図は一部の
拡大切断説明側面図、第5図及び第6図は他の実施例の
縦断面図、第7図A−Bは他例の拡大横断面図である。 l・・・コンタクトプローブ、2・・・ホルダー、3・
・・導電性芯杆、4・・金メソーt−層、41・・メ,
キ層、5・・・絶縁性層、6,7・・・支承孔、8・・
・耳部、9・接着剤。 特許出I願人

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)コンタクトプローブを、ホルダーにその一端をホ
    ルダーから突出して嵌挿したものであって、バネ弾性素
    材からなる針杆状の導電性芯杆の少なくとも両端部に金
    メッキ層を施してコンタクトプローブとし、このコンタ
    クトプローブの中央部分を一定方向に撓わませるように
    コンタクトプローブの一端部をホルダーに固定支持する
    か、又は固定位置より間隔をおいて他端部を固定支持点
    より偏心させてホルダーに遊嵌支持したことを特徴とす
    るコンタクトプローブ。
  2. (2)前記コンタクトプローブが、導電性芯杆の全長に
    わたり金メッキ層を施し、これの両端部の金メッキ層を
    残して中央部分に絶縁性層をコーティング配備したニー
    ドルピンである請求項1記載のコンタクトプローブ。
  3. (3)前記コンタクトプローブが、上下に隔離したホル
    ダーの上板と下板とに支承したもので、一端を下板の支
    承孔に固着し、かつ上板に形成された支承孔に貫通して
    他端を上板の表面上に突出装備されている請求項1又は
    2記載のコンタクトプローブ。
  4. (4)前記コンタクトプローブが、軸方向の外力に対し
    て径方向に撓む指向性を持たせる異形断面としたニード
    ルピンである請求項1又は2記載のコンタクトプローブ
  5. (5)前記コンタクトプローブが、その先端面を放電加
    工、ケガキ、ヤスリ、その他ファインカッターで粗面に
    したものである請求項3又は4記載のコンタクトプロー
    ブ。
JP2003406A 1990-01-12 1990-01-12 コンタクトプローブ Pending JPH03209173A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003406A JPH03209173A (ja) 1990-01-12 1990-01-12 コンタクトプローブ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003406A JPH03209173A (ja) 1990-01-12 1990-01-12 コンタクトプローブ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03209173A true JPH03209173A (ja) 1991-09-12

Family

ID=11556505

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003406A Pending JPH03209173A (ja) 1990-01-12 1990-01-12 コンタクトプローブ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03209173A (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002075059A (ja) * 2000-08-23 2002-03-15 Toshiba Corp レニウムタングステン線、それを用いたプローブピン、コロナ放電用チャージワイヤ、蛍光表示管用フィラメントおよびその製造方法
US6528759B2 (en) 2001-02-13 2003-03-04 Medallion Technology, Llc Pneumatic inductor and method of electrical connector delivery and organization
US6530511B2 (en) 2001-02-13 2003-03-11 Medallion Technology, Llc Wire feed mechanism and method used for fabricating electrical connectors
US6584677B2 (en) 2001-02-13 2003-07-01 Medallion Technology, Llc High-speed, high-capacity twist pin connector fabricating machine and method
US6716038B2 (en) 2002-07-31 2004-04-06 Medallion Technology, Llc Z-axis connection of multiple substrates by partial insertion of bulges of a pin
US6729026B2 (en) 2001-02-13 2004-05-04 Medallion Technology, Llc Rotational grip twist machine and method for fabricating bulges of twisted wire electrical connectors
JP2005351846A (ja) * 2004-06-14 2005-12-22 Micronics Japan Co Ltd プローブ針
WO2007029791A1 (ja) * 2005-09-09 2007-03-15 Nhk Spring Co., Ltd. 導電性接触子および導電性接触子の製造方法
US8613622B2 (en) 2011-02-15 2013-12-24 Medallion Technology, Llc Interconnection interface using twist pins for testing and docking
JPWO2014087906A1 (ja) * 2012-12-04 2017-01-05 日本電子材料株式会社 電気的接触子
JP2018054427A (ja) * 2016-09-28 2018-04-05 株式会社日本マイクロニクス プローブ、プローブカード及び接触検査装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6196471A (ja) * 1984-10-17 1986-05-15 Agency Of Ind Science & Technol 高速信号入力用探針
JPS62142852U (ja) * 1986-02-28 1987-09-09
JPS6435382A (en) * 1987-07-31 1989-02-06 Tokyo Electron Ltd Probe card
JPH01150861A (ja) * 1987-12-08 1989-06-13 Seiko Epson Corp コンタクトプロープ
JPH03209738A (ja) * 1990-01-11 1991-09-12 Tokyo Electron Ltd プローブカード

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6196471A (ja) * 1984-10-17 1986-05-15 Agency Of Ind Science & Technol 高速信号入力用探針
JPS62142852U (ja) * 1986-02-28 1987-09-09
JPS6435382A (en) * 1987-07-31 1989-02-06 Tokyo Electron Ltd Probe card
JPH01150861A (ja) * 1987-12-08 1989-06-13 Seiko Epson Corp コンタクトプロープ
JPH03209738A (ja) * 1990-01-11 1991-09-12 Tokyo Electron Ltd プローブカード

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002075059A (ja) * 2000-08-23 2002-03-15 Toshiba Corp レニウムタングステン線、それを用いたプローブピン、コロナ放電用チャージワイヤ、蛍光表示管用フィラメントおよびその製造方法
US6528759B2 (en) 2001-02-13 2003-03-04 Medallion Technology, Llc Pneumatic inductor and method of electrical connector delivery and organization
US6530511B2 (en) 2001-02-13 2003-03-11 Medallion Technology, Llc Wire feed mechanism and method used for fabricating electrical connectors
US6584677B2 (en) 2001-02-13 2003-07-01 Medallion Technology, Llc High-speed, high-capacity twist pin connector fabricating machine and method
US6729026B2 (en) 2001-02-13 2004-05-04 Medallion Technology, Llc Rotational grip twist machine and method for fabricating bulges of twisted wire electrical connectors
US6971415B2 (en) 2001-02-13 2005-12-06 Medallion Technology, Llc Rotational grip twist machine and method for fabricating bulges of twisted wire electrical connectors
US6716038B2 (en) 2002-07-31 2004-04-06 Medallion Technology, Llc Z-axis connection of multiple substrates by partial insertion of bulges of a pin
JP2005351846A (ja) * 2004-06-14 2005-12-22 Micronics Japan Co Ltd プローブ針
WO2007029791A1 (ja) * 2005-09-09 2007-03-15 Nhk Spring Co., Ltd. 導電性接触子および導電性接触子の製造方法
JP2007078371A (ja) * 2005-09-09 2007-03-29 Nhk Spring Co Ltd 導電性接触子および導電性接触子の製造方法
KR101012083B1 (ko) * 2005-09-09 2011-02-07 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자의 제조방법
US7956288B2 (en) 2005-09-09 2011-06-07 Nhk Spring Co., Ltd. Conductive contact and method of manufacturing conductive contact
US8613622B2 (en) 2011-02-15 2013-12-24 Medallion Technology, Llc Interconnection interface using twist pins for testing and docking
JPWO2014087906A1 (ja) * 2012-12-04 2017-01-05 日本電子材料株式会社 電気的接触子
JP2018091870A (ja) * 2012-12-04 2018-06-14 日本電子材料株式会社 電気的接触子
JP2018054427A (ja) * 2016-09-28 2018-04-05 株式会社日本マイクロニクス プローブ、プローブカード及び接触検査装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11131690B2 (en) Contact probe for testing head
JPH03209173A (ja) コンタクトプローブ
US6507207B2 (en) Contact probe pin for wafer probing apparatus
JP4823617B2 (ja) 導電性接触子および導電性接触子の製造方法
DE69831491T2 (de) Leitender kontakt
KR102015798B1 (ko) 검사장치용 프로브
KR101101892B1 (ko) 검사용 프로브
JP2018513389A (ja) 様々な動作状態での試験ヘッドでのプローブ保持を適正化し、各々のガイドホールでのスライドを改善するバーチカルプローブをもつ試験ヘッド
JP7254450B2 (ja) プローブ、検査治具、検査装置、及びプローブの製造方法
KR101606206B1 (ko) 전기적 접속체
JP5562983B2 (ja) 超高密度コネクタ
US9893450B2 (en) Electrical connecting member and electrical connector having the same
JPWO2012067126A1 (ja) コンタクトプローブおよびプローブユニット
US11862880B2 (en) Compressible electrical contacts with divaricated-cut sections
JP4951355B2 (ja) 端子金具の寸法測定方法及び寸法測定装置
CN104515880A (zh) 检测用夹具、电极部、探针及检测用夹具的制造方法
JPH03209174A (ja) コンタクトプローブ
KR20220043183A (ko) 전자 소자의 프로브 헤드용 콘택 프로브를 제조하기 위한 제조방법 및 그에 상응하는 콘택 프로브
DE102018131742B4 (de) Coriolis-Messaufnehmer eines Coriolis-Messgeräts und ein Coriolis-Messgerät
CN106353541A (zh) 探针的保持结构
KR101820267B1 (ko) 처짐 방지를 위한 트러스형 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법
KR101907270B1 (ko) 프로브 회전 방지 기능을 구비한 수직형 프로브 모듈
CN213986588U (zh) 一种测试高精密的弹簧针
KR101790931B1 (ko) 처짐 방지를 위한 보강형 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법
JP4476416B2 (ja) 極細コンタクトプローブの製造法