JPH0317054Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、互いに直角な水平方向であるＸ軸方
向およびＺ軸方向に、載置物を移動しうる２軸ス
ライダに関するものであり、スライダ自体の移動
重量が軽量で、駆動力が少なくてすみ、応答性大
かつ高精度の位置決めが可能な２軸スライダを提
供することを目的とする。[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to a two-axis slider that can move a placed object in the X-axis direction and the Z-axis direction, which are horizontal directions perpendicular to each other, and the slider itself has a light moving weight. It is an object of the present invention to provide a two-axis slider that requires less driving force, has high responsiveness, and can perform highly accurate positioning.

従来の２軸スライダは一方のスライダの上に該
スライダと直角方向に移動する別のスライダが駆
動モータを含む駆動系ごと載置されていたため、
スライダ自体の移動部分全体としての重量が大で
あつた。そのため移動部分全体の重量に対応し特
に始動、停止、反転の際のイナーシヤおよび機械
抵抗に対応する出力の大きな駆動モータを取付け
る必要があり、消費電力、始動停止の応答性、高
精度位置決め等の諸点で問題があり、また駆動モ
ータ等駆動系の大型化のため、機械装置全体が大
きくなり、装置の取付スペースも広く要求され、
工場内の取付スペースの制約が大となるとい問題
もあり、更にスライダの潤滑系統の配管、給油の
構造も複雑で、そのメインテナンスが特に必要で
あり、前述の諸欠点のない２軸スライダの出現が
望まれていた。 In conventional two-axis sliders, another slider that moves in a direction perpendicular to one slider is mounted along with the drive system including the drive motor.
The entire moving portion of the slider itself was heavy. Therefore, it is necessary to install a drive motor with a large output that can handle the weight of the entire moving part and especially the inertia and mechanical resistance during starting, stopping, and reversing. There are various problems, and as the drive system such as the drive motor becomes larger, the entire mechanical device becomes larger, and a larger installation space is required for the device.
There is a problem in that the installation space in the factory is severely restricted, and the piping and oil supply structure of the slider's lubrication system are complex, requiring special maintenance.The advent of a two-axis slider that does not have the above-mentioned drawbacks. was desired.

本考案はスライダ自体の移動部分の重量を小と
するため、駆動モータおよび駆動系の一部を移動
部分から取り外し、固定することにより、重量軽
減をはかることができ、駆動系のスライダのベー
ス下に内蔵せしめることにより小型化をはかるこ
とが可能となり、摺動部分をすべてリニアベアリ
ング化することによりグリース潤滑によるメイン
テナンスの軽減をはかることができ、スライダ自
体の移動部分の重量が軽減化されたため、駆動系
の小型化が可能となり、高精度の位置決め、高速
応答性が良好となつたものであり、その構成につ
いて以下図面により説明する。 In order to reduce the weight of the moving part of the slider itself, this invention can reduce the weight by removing the drive motor and part of the drive system from the moving part and fixing it. By incorporating it into the slider, it is possible to make it more compact, and by using linear bearings for all sliding parts, it is possible to reduce the maintenance required due to grease lubrication, and the weight of the moving parts of the slider itself is reduced. The drive system can be downsized, and highly accurate positioning and high-speed response are achieved.The configuration will be explained below with reference to the drawings.

図中に示すごとく、直角にＸ軸方向、Ｚ軸方向
をとる。 As shown in the figure, the X-axis direction and the Z-axis direction are taken at right angles.

床面に取付けられているメインベース（図示せ
ず）に固定されているベース１上のＸ軸方向の両
側寄りのＺ軸方向に、Ｚ軸リニアベアリング２の
スライドベース３がそれぞれ取付けられ、前記ベ
ース１上に載置されるＺ軸スライダ４の下面Ｘ軸
方向の両側寄りの、前記Ｚ軸リニアベアリング２
のスライドベース３に対応する位置に、Ｚ軸リニ
アベアリング２の走行部５がそれぞれ取付けら
れ、前記Ｚ軸スライダ４は、前記両Ｚ軸リニアベ
アリング２を介して、Ｚ軸方向に進退自在に、前
記ベース１上に載置結合されている。また、前記
Ｚ軸スライダ４上には、同様に、Ｚ軸方向の一端
寄り（図中右寄り）のＸ軸方向に、Ｘ軸リニアベ
アリング６のスライドベース７が間隔を存して１
対取付けられ、前記Ｚ軸スライダ４上に載置され
るＸ軸スライダ８の下面Ｚ軸方向の両側寄りで、
前記Ｘ軸リニアベアリング６のスライドベース７
に対応する位置に、Ｘ軸リニアベアリング６の走
行部９が、それぞれ取付けられ、前記Ｘ軸スライ
ダ８は、前記両Ｘ軸リニアベアリング６を介し
て、Ｘ軸方向に進退自在に、前記Ｚ軸スライダ４
上に載置、結合されている。 Slide bases 3 of Z-axis linear bearings 2 are respectively installed in the Z-axis direction on both sides of the X-axis direction on the base 1 fixed to the main base (not shown) attached to the floor surface. The Z-axis linear bearings 2 are located on both sides of the lower surface of the Z-axis slider 4 placed on the base 1 in the X-axis direction.
The running portions 5 of the Z-axis linear bearings 2 are respectively attached to positions corresponding to the slide bases 3, and the Z-axis slider 4 can freely move forward and backward in the Z-axis direction via both the Z-axis linear bearings 2. The base 1 is mounted and coupled thereto. Similarly, on the Z-axis slider 4, a slide base 7 of an X-axis linear bearing 6 is positioned at a distance of 1 in the X-axis direction toward one end in the Z-axis direction (right side in the figure).
On the lower surface of the X-axis slider 8 mounted on the Z-axis slider 4, on both sides in the Z-axis direction,
Slide base 7 of the X-axis linear bearing 6
The running portions 9 of the X-axis linear bearings 6 are respectively attached to positions corresponding to the X-axis linear bearings 6, and the X-axis slider 8 moves forward and backward in the X-axis direction via both the X-axis linear bearings 6. slider 4
placed on top and combined.

前記Ｚ軸スライダ４のＸ軸リニアベアリング６
の両スライドベース７，７の間には、前記Ｚ軸リ
ニアベアリングの両走行部間に、Ｘ軸方向に長い
長方形のＸ軸空腔１０が穿設れており、前記Ｘ軸
スライダ８は、前記Ｘ軸空腔１０内において、前
記Ｚ軸スライダ４に当接することなく、スペーサ
１１、ブロツク１２を介して、Ｚ軸方向に進退自
在なリニアガイド１３の走行体１４に固着されて
いる。 X-axis linear bearing 6 of the Z-axis slider 4
A rectangular X-axis cavity 10, which is long in the X-axis direction, is bored between both slide bases 7, 7 between both running parts of the Z-axis linear bearing, and the X-axis slider 8 is Within the X-axis cavity 10, the linear guide 13 is fixed to the traveling body 14 of a linear guide 13, which is movable back and forth in the Z-axis direction, through a spacer 11 and a block 12, without coming into contact with the Z-axis slider 4.

図示例では、前記スペーサ１１は、Ｘ軸スライ
ダ８の、前記Ｘ軸リニアベアリング６の走行部
９，９の略中央に穿設された嵌合孔１５に、前記
ブロツク１２と共に嵌合され、前記スペース１１
は、嵌合孔１５を被覆するカバー１６に係止さ
れ、前記ブロツク１２は前記走行体１４に係止さ
れている。従つて該走行体１４は、Ｘ軸スライダ
８との関係位置を変えることはなく、かつＸ軸ス
ライダ８がＺ軸スライダ４上をＸ軸方向に移動し
ても、前記走行体１４は前記Ｘ軸空腔１０内を軸
方向に移動し、従つて前記走行体１４はＺ軸スラ
イダ４と当接することもない。メインベースに固
定されている前記ベース１のＺ軸リニアベアリン
グ２の両スライドベース３，３の間にはＺ軸方向
に長く、かつＸ軸方向にも幅広の長方形のＺ軸空
腔１７が穿設され、該Ｚ軸空腔１７の、前記Ｚ軸
スライダにおけるＸ軸空腔の穿設されている側の
一端寄りに、該Ｚ軸空腔１７を横断してＸ軸方向
にブリツジ部１８が前記ベース１に設けられてい
る。 In the illustrated example, the spacer 11 is fitted together with the block 12 into a fitting hole 15 of the X-axis slider 8, which is formed approximately in the center of the running parts 9, 9 of the X-axis linear bearing 6. space 11
is locked to a cover 16 covering the fitting hole 15, and the block 12 is locked to the traveling body 14. Therefore, the traveling body 14 does not change its relative position with the X-axis slider 8, and even if the X-axis slider 8 moves on the Z-axis slider 4 in the X-axis direction, the traveling body 14 does not change its position relative to the X-axis slider 8. The traveling body 14 moves in the axial direction within the shaft cavity 10, so the traveling body 14 does not come into contact with the Z-axis slider 4. A rectangular Z-axis cavity 17 that is long in the Z-axis direction and wide in the X-axis direction is bored between both slide bases 3, 3 of the Z-axis linear bearing 2 of the base 1 fixed to the main base. A bridge portion 18 extends in the X-axis direction across the Z-axis cavity 17 near one end of the Z-axis cavity 17 on the side where the X-axis cavity in the Z-axis slider is bored. It is provided on the base 1.

前記Ｚ軸スライダ４の下面の、前記Ｘ軸空腔１
０を除くＺ軸リニアベアリング２の両走行部５，
５の略中央には、Ｚ軸方向に軸心を有するＺ軸ナ
ツトハウジング１９が前記ベース１の下まで突出
して、結合部材１９′を介して固着されており、
該Ｚ軸ナツトハウジング１９は、前記ブリツジ部
１８に当接しない範囲で、前記Ｚ軸空腔１７内を
（図中該Ｚ軸空腔左寄り内を）Ｚ軸方向に走行自
在とされ、また前記Ｚ軸ナツトハウジング１９
は、Ｚ軸方向に進退可能にＺ軸ボールスクリユ２
０に嵌挿螺合されており、該Ｚ軸ボールスクリユ
２０は前記メインベース上の前記ベース１のＺ軸
空腔１７の中央下のＺ軸方向に固定支承され、同
様に前記ベース１の下に前記Ｚ軸ボールスクリユ
２０と同軸の固定位置にあるＺ軸駆動モータ２１
に直結接続され、左右いずれの方向へも、すなわ
ち前記Ｚ軸ナツトハウジング１９の進退いずれの
方向へも回転自在とされている。 The X-axis cavity 1 on the lower surface of the Z-axis slider 4
Both running parts 5 of the Z-axis linear bearing 2 excluding 0,
5, a Z-axis nut housing 19 having an axis in the Z-axis direction protrudes below the base 1 and is fixed via a coupling member 19',
The Z-axis nut housing 19 is movable in the Z-axis direction within the Z-axis cavity 17 (within the left side of the Z-axis cavity in the figure) within the range where it does not come into contact with the bridge portion 18, and Z-axis nut housing 19
The Z-axis ball screw 2 can move forward and backward in the Z-axis direction.
0, and the Z-axis ball screw 20 is fixedly supported in the Z-axis direction below the center of the Z-axis cavity 17 of the base 1 on the main base. a Z-axis drive motor 21 located at a fixed position coaxial with the Z-axis ball screw 20;
The Z-axis nut housing 19 is directly connected to the housing 19 and is rotatable in either the left or right direction, that is, in any direction in which the Z-axis nut housing 19 moves forward or backward.

前記走行体１４がＺ軸方向に走行自在に載置さ
れている前記リニアガイド１３のレール部２２
は、Ｚ軸方向にコネクタ２３に載置固定され、前
記走行体１４は、前記レール部２２上を、Ｚ軸方
向に進退自在とされ、前記コネクタ２３は、前記
ブリツジ部１８を跨架してＸ軸ナツトハウジング
２４上に固着されている。該Ｘ軸ナツトハウジン
グ２４の上面には、サブＸ軸リニアベアリング２
５の走行部２６，２６が取付けられ、該走行部２
６，２６は前記ブリツジ部１８の下面両側に設け
られているサブＸ軸リニアベアリング２５のスラ
イドベース２７と離脱することなく、Ｘ軸方向に
のみ進退自在に結合されている。従つて前記コネ
クタ２３にはブリツジ部１８上を、該ブリツジ部
１８に当接することなく、前記Ｘ軸ナツトハウジ
ング２４と共に、前記ブリツジ部１８を抱持する
形でＺ軸空腔１７内をＸ軸方向に走行自在とされ
ている。 A rail portion 22 of the linear guide 13 on which the traveling body 14 is placed so as to be freely movable in the Z-axis direction.
is placed and fixed on the connector 23 in the Z-axis direction, the traveling body 14 is movable forward and backward in the Z-axis direction on the rail section 22, and the connector 23 straddles the bridge section 18. It is fixed on the X-axis nut housing 24. A sub-X-axis linear bearing 2 is provided on the upper surface of the X-axis nut housing 24.
5 running parts 26, 26 are attached, and the running parts 2
6 and 26 are connected to a slide base 27 of a sub-X-axis linear bearing 25 provided on both sides of the lower surface of the bridge portion 18 so as to be movable back and forth only in the X-axis direction without coming off. Therefore, the connector 23 has the bridge part 18 on the X-axis inside the Z-axis cavity 17 in a form that holds the bridge part 18 together with the X-axis nut housing 24 without contacting the bridge part 18. It is said that it can run freely in any direction.

前記Ｘ軸ナツトハウジング２４は、Ｘ軸方向に
進退可能にＸ軸ボールスクリユ２８に嵌挿螺合さ
れ、該Ｘ軸ボールスクリユ２８は前記メインベー
ス上に前記ブリツジ部１８の中央下でＸ軸方向に
固定支承され、同様に前記メインベース上に固着
され、前記ブリツジ部１８の中央下でＸ軸方向の
固定位置にあるＸ軸駆動モータ２９に直結接続さ
れ、左右いずれの方向へも、すなわち前記Ｘ軸ナ
ツトハウジング２４の進退いずれの方向へも回転
自在とされている。 The X-axis nut housing 24 is fitted into and screwed into an X-axis ball screw 28 so as to be movable in the X-axis direction, and the X-axis ball screw 28 is fixed on the main base under the center of the bridge portion 18 in the X-axis direction. The X-axis drive motor 29 is directly connected to the X-axis drive motor 29, which is also fixed on the main base and located at a fixed position in the X-axis direction under the center of the bridge part 18, so that it can be moved in either the left or right direction, that is, the X-axis The nut housing 24 is rotatable in either direction.

次に本考案の作動について説明する。 Next, the operation of the present invention will be explained.

Ｘ軸スライダ８はＸ軸方向およびＺ軸方向へ独
立して走行可能である。 The X-axis slider 8 can move independently in the X-axis direction and the Z-axis direction.

Ｘ軸スライダ８のＺ軸方向への進退は、メイン
ベース上に固定されているＺ軸モータ２１を左右
いずれかの回転方向に駆動することにより、該Ｚ
軸モータ２１に直結接続されている前記メインベ
ースに固定支承されているＺ軸ボールスクリユ２
０を回転せしめ、該Ｚ軸ボールスクリユ２０に螺
合しているＺ軸ナツトハウジング１９をＺ軸方向
に進退せしめ、該Ｚ軸ナツトハウジング１９に係
合されているＺ軸スライダ４を前記メインベース
上に固定されているベース１上でＺ軸リニアベア
リング２，２を介してＺ軸方向に進退せしめるこ
とにより、前記Ｚ軸スライダ４上にＸ軸リニアベ
アリング６，６を介してＸ軸方向にのみ走行自在
に載置されているＸ軸スライダ８を、前記Ｚ軸ス
ライダ４と共にＺ軸方向へ進退せしめることによ
り実現される。この場合前記Ｘ軸スライダ８に固
着されるブロツク１２および走行体１４は前記リ
ニアガイド１３のレール部２２上をＺ軸方向へ走
行自在とされ、前記Ｘ軸スライダ８のＺ軸スライ
ダ４上のＸ軸方向の位置如何に拘らず、前記Ｘ軸
スライダ８のＺ軸方向への進退は実現される。 The X-axis slider 8 is moved forward and backward in the Z-axis direction by driving the Z-axis motor 21 fixed on the main base in either the left or right rotation direction.
a Z-axis ball screw 2 fixedly supported on the main base that is directly connected to the shaft motor 21;
0, the Z-axis nut housing 19 screwed onto the Z-axis ball screw 20 moves forward and backward in the Z-axis direction, and the Z-axis slider 4 engaged with the Z-axis nut housing 19 is moved onto the main base. By moving the slider forward and backward in the Z-axis direction via the Z-axis linear bearings 2, 2 on the base 1 fixed to the This is realized by moving the X-axis slider 8, which is mounted so as to be freely movable, back and forth in the Z-axis direction together with the Z-axis slider 4. In this case, the block 12 and the traveling body 14 fixed to the X-axis slider 8 are allowed to run freely on the rail portion 22 of the linear guide 13 in the Z-axis direction, and the X-axis on the Z-axis slider 4 of the X-axis slider 8 Regardless of the axial position, the X-axis slider 8 can be moved forward and backward in the Z-axis direction.

また前記Ｘ軸スライダ８のＸ軸方向への進退
は、前記メインベース上に固定されているＸ軸モ
ータ２９を左右いずれかの回転方向に駆動するこ
とにより、該Ｘ軸モータ２９に直結接続され前記
メインベース上に固定支承されているＸ軸ボール
スクリユ２８を回転せしめ、該Ｘ軸ボールスクリ
ユ２８に螺合しているＸ軸ナツトハウジング２４
をＸ軸方向に進退せしめ、該Ｘ軸ナツトハウジン
グ２４に係合されているコネクタ２３を、サブＸ
軸リニアベアリング２５を介して前記ブリツジ部
１８に沿つて、Ｘ軸方向に進退せしめることによ
り、該コネクタ２３上にリニアガイド１３、ブロ
ツク１２、スペーサ１１を介してＺ軸方向に走行
自在に係合されているＸ軸スライダ８を前記リニ
アガイド１３と共にＸ軸方向へ進退せしめること
により実現される。 Further, the X-axis slider 8 can be moved forward and backward in the X-axis direction by driving the X-axis motor 29 fixed on the main base in either the left or right rotational direction, which is directly connected to the X-axis motor 29. an X-axis nut housing 24 that rotates an X-axis ball screw 28 that is fixedly supported on the main base and is screwed onto the X-axis ball screw 28;
is moved forward and backward in the X-axis direction, and the connector 23 engaged with the X-axis nut housing 24 is moved into the sub-X
By moving forward and backward in the X-axis direction along the bridge portion 18 via the shaft linear bearing 25, it is engaged on the connector 23 so as to be freely movable in the Z-axis direction via the linear guide 13, block 12, and spacer 11. This is realized by moving the X-axis slider 8, which is shown in FIG.

前述のごとく、Ｘ軸スライダ８のＺ軸方向への
進退は、該Ｘ軸スライダ８のＺ軸スライダ４に対
するＸ方向の関係位置如何に拘らず実現可能であ
り、また前記Ｘ軸スライダ８のＸ軸方向への進退
は、該Ｘ軸スライダ８のコネクタ２３に対するＺ
方向の関係位置如何に拘らず実現可能である。 As described above, the X-axis slider 8 can be moved forward and backward in the Z-axis direction regardless of the relative position of the X-axis slider 8 in the X-direction with respect to the Z-axis slider 4. Moving forward and backward in the axial direction is performed by moving the X-axis slider 8 to the connector 23.
This can be realized regardless of the relative position in the direction.

換言すれば、Ｘ軸スライダ８のＺ軸方向への動
きのＸ軸方向への影響はリニアガイド１３の走行
体１４とレール部２２との間でクリアされてお
り、同じくＸ軸方向への動きのＺ軸方向への影響
はＸ軸ナツトハウジング２４、サブＸ軸リニアベ
アリング２５、コネクタ２３、ベース１のブリツ
ジ部１８でクリアされている。従つてＸ軸スライ
ダ８はＸ軸、Ｚ軸両方向へ全く独立して進退可能
である。 In other words, the influence of the movement of the X-axis slider 8 in the Z-axis direction on the X-axis direction is cleared between the traveling body 14 of the linear guide 13 and the rail part 22, and the influence of the movement in the X-axis direction The influence on the Z-axis direction is eliminated by the X-axis nut housing 24, the sub-X-axis linear bearing 25, the connector 23, and the bridge portion 18 of the base 1. Therefore, the X-axis slider 8 can move back and forth completely independently in both the X-axis and Z-axis directions.

前述のＺ軸リニアベアリング２、Ｘ軸リニアベ
アリング６、リニアガイド１３およびサブＸ軸リ
ニアベアリング２５は、所謂クロスローラベアリ
ングのごとき、極めて摩擦損失に少ない直進ベア
リングにより構成されており、従つてＸ軸ボール
スクリユ２８、Ｚ軸ボールスクリユ２０も含めて
可動部の各種摩擦抵抗は少なく、Ｘ軸駆動モータ
２９およびＺ軸駆動モータ２１の出力は少なくて
すみ、またＸ軸駆動モータ２９、Ｘ軸ボールスク
リユ２８およびＺ軸駆動モータ２１、Ｚ軸ボール
スクリユ２０の駆動系統はいずれも可動部分に取
付けられておらず固定されているため可動部分の
全質量が極めて小となり、可動部分の剛性を小と
することができるため可動部分の質量が更に軽減
され、Ｘ軸駆動モータ２９およびＺ軸駆動モータ
２１の出力は更に少なくてすむ。また固定されて
いる前記駆動系統は小型のものですむため、ベー
ス１の下に内蔵可能である。 The aforementioned Z-axis linear bearing 2, X-axis linear bearing 6, linear guide 13, and sub-X-axis linear bearing 25 are composed of linear bearings with extremely low friction loss, such as so-called cross roller bearings. The various frictional resistances of the movable parts including the ball screw 28 and the Z-axis ball screw 20 are small, and the output of the X-axis drive motor 29 and the Z-axis drive motor 21 is small. The drive systems for the shaft drive motor 21 and the Z-axis ball screw 20 are not attached to any movable parts and are fixed, so the total mass of the movable parts is extremely small, and the rigidity of the movable parts can be made small. The mass of the moving parts is further reduced, and the outputs of the X-axis drive motor 29 and the Z-axis drive motor 21 are further reduced. Further, since the fixed drive system only needs to be small, it can be built under the base 1.

本考案は、実用新案登録請求の範囲に記載され
た構成をなすものであり、Ｚ軸スライダとベース
との間のＺ軸リニアベアリング、Ｚ軸スライダと
Ｘ軸スライダとの間のＸ軸リニアベアリング、Ｘ
軸スライダとＸ軸ナツトハウジングの間のリニア
ベアリング、Ｘ軸ボールスクリユ、Ｚ軸ボールス
クリユはいずれも摩擦損失の極めて少ない構成の
ものとされ、従つてＸ軸駆動モータおよびＺ軸駆
動モータは出力が少なく小型のものですみ、また
Ｘ軸駆動系統およびＺ軸駆動系統はいずれも可動
部分に取付けられておらず固定位置に保持されて
いるため、可動部分の全質量が極めて小となり、
可動部分が軽量化されるため、可動部分の剛性を
小とすることが可能となり、可動部分の質量が更
に軽減され、その結果Ｘ軸駆動モータ、Ｚ軸駆動
モータともその出力は更に少なくてすみ、Ｘ軸駆
動系統もＺ軸駆動系統も更に小型、小剛性、小出
力のもので充分となり、消費電力も軽減され、両
駆動系統はベース下に内蔵可能となるため、切削
粉、飛散油等に混在する微小の塵等から保護可能
となり、従来のこれら保護機能を有しないものに
比べ格段と実用性の優れた構造とすることがで
き、２軸スライダ全体がコンパクトとなり、また
可動部分の移動質量が小となるため、慣性が小と
なり、そのため前後進および停止の運動切換時の
応答性が良好となり、また前述のベアリング、ボ
ールスクリユ等はいずれもグリース給油とされ外
部潤滑系統を省くことが可能となつたため、２軸
スライダ全体としてメインテナンスフリーの実現
が可能となつたという各種の効果を奏することが
でき、Ｘ軸方向、Ｚ軸方向に移動自在なＸ軸スラ
イダに移動体を固定することにより、該移動体を
同一平面上でＸ軸、Ｚ軸のいずれの方向にも移動
可能とする２軸スライダの実現が可能となつたも
のである。 The present invention has the configuration described in the claims for utility model registration, and includes a Z-axis linear bearing between the Z-axis slider and the base, and an X-axis linear bearing between the Z-axis slider and the X-axis slider. ,X
The linear bearing between the axis slider and the X-axis nut housing, the X-axis ball screw, and the Z-axis ball screw are all configured to have extremely low friction loss, so the X-axis drive motor and Z-axis drive motor have low output and are small. Also, since both the X-axis drive system and the Z-axis drive system are not attached to moving parts and are held in fixed positions, the total mass of the moving parts is extremely small.
Since the moving parts are lighter, it is possible to reduce the rigidity of the moving parts, further reducing the mass of the moving parts, and as a result, the output of both the X-axis drive motor and the Z-axis drive motor can be further reduced. , the X-axis drive system and the Z-axis drive system can be made smaller, have less rigidity, and have a lower output. Power consumption is also reduced, and both drive systems can be built under the base, reducing cutting powder, flying oil, etc. The structure is much more practical than conventional ones that do not have these protection functions, the entire two-axis slider is compact, and the movable parts can be moved easily. Since the mass is small, the inertia is small, which improves responsiveness when switching motion between forward and backward movement and stopping.Also, the bearings, ball screws, etc. mentioned above are all grease-lubricated, making it possible to eliminate the need for an external lubrication system. As a result, the two-axis slider as a whole can be made maintenance-free.By fixing the movable body to the X-axis slider that can move freely in the X-axis direction and the Z-axis direction, , it has become possible to realize a two-axis slider that allows the movable body to move in either the X-axis or Z-axis direction on the same plane.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は実施例の各部構成を示す分解斜視図、
第２図は同上一部側面図を含むＺ軸駆動モータお
よびＺ軸ボールスクリユの軸心における組立縦断
面図、第３図は一部側面図を含む、第２図中−
線で示す組立縦断面図、第４図は第２図中−
線で示す組立縦断面図である。 １：ベース、２：Ｚ軸リニアベアリング、３：
スライドベース、４：Ｚ軸スライダ、５：走行
部、６：Ｘ軸リニアベアリング、７：スライドベ
ース、８：Ｘ軸スライダ、９：走行部、１０：Ｘ
軸空腔、１３：リニアガイド、１４：走行体、１
７：Ｚ軸空腔、１８：ブリツジ部、１９：Ｚ軸ナ
ツトハウジング、２０：Ｚ軸ボールスクリユ、２
１：Ｚ軸駆動モータ、２２：レール部、２３：コ
ネクタ、２４：Ｘ軸ナツトハウジング、２５：サ
ブＸ軸リニアベアリング、２６：走行部、２７：
スライドベース、２８：Ｘ軸ボールスクリユ、２
９：Ｘ軸駆動モータ。 FIG. 1 is an exploded perspective view showing the configuration of each part of the embodiment;
Fig. 2 is an assembled longitudinal cross-sectional view of the Z-axis drive motor and Z-axis ball screw at the axis including a partial side view of the same as above, and Fig. 3 is a partially side view of the Z-axis drive motor and the Z-axis ball screw.
The vertical cross-sectional view of the assembly shown by lines, Figure 4 is in Figure 2 -
FIG. 3 is an assembled vertical sectional view shown by lines. 1: Base, 2: Z-axis linear bearing, 3:
Slide base, 4: Z-axis slider, 5: Running section, 6: X-axis linear bearing, 7: Slide base, 8: X-axis slider, 9: Running section, 10: X
Shaft cavity, 13: Linear guide, 14: Traveling body, 1
7: Z-axis cavity, 18: Bridge portion, 19: Z-axis nut housing, 20: Z-axis ball screw, 2
1: Z-axis drive motor, 22: Rail part, 23: Connector, 24: X-axis nut housing, 25: Sub-X-axis linear bearing, 26: Running part, 27:
Slide base, 28: X-axis ball screw, 2
9: X-axis drive motor.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 互に直交するＸ軸とＺ軸との２軸方向に移動可
能な２軸スライダにおいて、固定されているベー
ス上のＸ軸方向の両側寄りの、Ｚ軸方向に、Ｚ軸
リニアベアリングのスライドベースがそれぞれ取
付けられ、Ｚ軸スライダの下面Ｘ軸方向の両側寄
りの前記Ｚ軸リニアベアリングのスライドベース
に対応する位置に、Ｚ軸リニアベアリングの走行
部がそれぞれ取付けられ、前記Ｚ軸スライダは、
前記両Ｚ軸リニアベアリングを介してＺ軸方向に
進退自在に前記ベース上に載置、結合され、更に
前記Ｚ軸スライダ上には、Ｚ軸方向の一端寄りの
Ｘ軸方向に、Ｘ軸リニアベアリングのスライドベ
ースが、間隔を存して１対取付けられ、Ｘ軸スラ
イダの下面Ｚ軸方向の両側寄りで、前記Ｘ軸リニ
アベアリングのスライドベースに対応する位置
に、Ｘ軸リニアベアリングの走行部がそれぞれ取
付けられ、前記Ｘ軸スライダは前記両Ｘ軸リニア
ベアリングを介してＸ軸方向に進退自在に、前記
Ｚ軸スライダ上に載置、結合されており、また前
記Ｚ軸スライダのＸ軸リニアベアリングの両スラ
イドベースの間には、前記Ｚ軸リニアベアリング
の両走行部の間に、Ｘ軸方向に長い長方形のＸ軸
空腔が穿設され、前記Ｘ軸スライダは、前記Ｘ軸
空腔内において、前記Ｚ軸スライダに当接するこ
となくＺ軸方向に進退自在なリニアガイドの走行
体に固着され、前記ベースのＺ軸リニアベアリン
グの両スライドベースの間には、Ｚ軸方向に長
く、かつＸ軸方向にも幅広の長方形のＺ軸空腔が
穿設され、該Ｚ軸空腔の、前記Ｚ軸スライダにお
けるＸ軸空腔の穿設されている側の一端寄りに、
該Ｚ軸空腔を横断してＸ軸方向にブリツジ部が設
けられ、前記Ｚ軸スライダの下面の、前記Ｚ軸リ
ニアベアリングの両走行部の略中央には、Ｚ軸方
向に軸心を有するＺ軸ナツトハウジングが前記ベ
ースの下まで突出して固着され、該Ｚ軸ナツトハ
ウジングは、前記ブリツジ部に当接しない範囲
で、前記Ｚ軸空腔内をＺ軸方向に走行自在とさ
れ、また前記Ｚ軸ナツトハウジングは、Ｚ軸方向
に進退可能にＺ軸ボールスクリユに螺合され、該
Ｚ軸ボールスクリユは、前記ベースのＺ軸空腔の
中央下に、Ｚ軸方向に回動自在に固定支承され、
同様に、前記ベース下に前記Ｚ軸ボールスクリユ
と同軸の固定位置にあるＺ軸駆動モータに直結さ
れ、前記リニアガイドのレール部は、Ｚ軸方向に
コネクタに載置固定され、前記走行体は、前記レ
ール部上をＺ軸方向に進退自在とされ、前記コネ
クタは、前記ブリツジ部を跨架してＸ軸ナツトハ
ウジング上に固着され、該Ｘ軸ナツトハウジング
の上面には、サブＸ軸リニアベアリングの走行部
が取付けられ、該走行部は、前記ブリツジ部の下
面両側に設けられているサブＸ軸リニアベアリン
グのスライドベースと、離脱することなく、Ｘ軸
方向にのみ進退自在に結合され、前記コネクタ
は、前記ブリツジ部上を該ブリツジ部に当接する
ことなく、前記Ｘ軸ナツトハウジングと共に、前
記ブリツジ部を抱持する形で、前記Ｚ軸空腔内を
Ｘ軸方向に走行自在とされ、前記Ｘ軸ナツトハウ
ジングは、Ｘ軸方向に進退可能にＸ軸ボールスク
リユに螺合され、該Ｘ軸ボールスクリユは、前記
ベースのブリツジ部の中央下で、Ｘ軸方向に回動
自在に固定支承され、同様に前記ベース下に、前
記Ｘ軸ボールスクリユと同軸に固定されているＸ
軸駆動モータに直結されていることを特徴とする
２軸スライダ。 In a two-axis slider that is movable in two axes, the X-axis and the Z-axis, which are orthogonal to each other, the slide base of the Z-axis linear bearing is moved in the Z-axis direction on both sides of the fixed base in the X-axis direction. are respectively attached, and running portions of the Z-axis linear bearing are respectively attached to positions corresponding to the slide bases of the Z-axis linear bearing on both sides of the lower surface of the Z-axis slider in the X-axis direction, and the Z-axis slider is
The Z-axis slider is mounted on and coupled to the base so as to be movable back and forth in the Z-axis direction via both the Z-axis linear bearings, and furthermore, on the Z-axis slider, an X-axis linear A pair of slide bases of the bearings are installed with a gap between them, and the running portion of the are mounted on the Z-axis slider, and the X-axis slider is mounted on and coupled to the Z-axis slider so as to be movable back and forth in the X-axis direction via both the X-axis linear bearings, and the X-axis linear bearing of the Z-axis slider A rectangular X-axis cavity long in the X-axis direction is bored between both slide bases of the bearing and between both running parts of the Z-axis linear bearing, and the X-axis slider is inserted into the X-axis cavity. The Z-axis linear bearing is fixed to the traveling body of the linear guide that can move forward and backward in the Z-axis direction without contacting the Z-axis slider, and between the slide bases of the Z-axis linear bearing of the base is a long one in the Z-axis direction; A rectangular Z-axis cavity is also bored in the X-axis direction, and near one end of the Z-axis cavity on the side of the Z-axis slider where the X-axis cavity is bored,
A bridge portion is provided in the X-axis direction across the Z-axis cavity, and a bridge portion having an axis in the Z-axis direction is provided on the lower surface of the Z-axis slider at approximately the center of both running portions of the Z-axis linear bearing. A Z-axis nut housing protrudes below the base and is fixed to the base, and the Z-axis nut housing is movable in the Z-axis direction within the Z-axis cavity within the range where it does not come into contact with the bridge portion. The Z-axis nut housing is screwed to a Z-axis ball screw so as to be movable in the Z-axis direction, and the Z-axis ball screw is fixedly supported under the center of the Z-axis cavity of the base so as to be rotatable in the Z-axis direction. ,
Similarly, the traveling body is directly connected to a Z-axis drive motor located at a fixed position coaxial with the Z-axis ball screw under the base, the rail portion of the linear guide is mounted and fixed on a connector in the Z-axis direction, and the traveling body is The connector is movable back and forth in the Z-axis direction on the rail portion, and is fixed on the X-axis nut housing while straddling the bridge portion, and has a sub-X-axis linear bearing on the upper surface of the X-axis nut housing. A running section is attached to the running section, and the running section is connected to the slide base of the sub-X-axis linear bearing provided on both sides of the lower surface of the bridge section so as to be movable forward and backward only in the X-axis direction without separating. The connector is capable of freely running in the X-axis direction within the Z-axis cavity while holding the bridge portion together with the X-axis nut housing without coming into contact with the bridge portion; The X-axis nut housing is screwed onto an X-axis ball screw so as to be movable in the X-axis direction, and the X-axis ball screw is fixedly supported under the center of the bridge portion of the base so as to be rotatable in the X-axis direction, Similarly, an X
A two-axis slider characterized by being directly connected to a shaft drive motor.