JPH03142382A - 高周波デバイスの特性測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 皮栗圭色赴里公立 本発明は高周波デバイスの特性測定装置に関するもので
、被テストデバイスを装着する治具に関するものである
。

丈来坐技恵 近年、ＧａＡｌＡｓ／ＧａＡｓの性質を有効に活用した
ＨＥ旧を初めとして、化合物半導体ＭＥＳＦＥＴの高性
能化が急速に進み、直接衛星放送受信機の需要の進展に
伴ってこの種の半導体装置の効率的な量産化が検討され
ている。

ところでデバイスの量産化においては、工程を終了した
デバイスが所定の特性を示すことが必要であり、いずれ
のデバイスにおいても出荷に際して特性試験及びその結
果に基づいた選別が行われる。特にＨＥＭＴのような高
周波デバイスでは直流特性は必要不可欠なテスト項目で
あり、そのため工程終了にあたって各デバイス毎にテス
ト信号を入力して直流特性のテストが行われている。

ＨＥＭＴめように高周波帯域まで高利得を持つデバイス
では、直流特性を測定する場合、通常の半導体デバイス
に使用する測定治具では予期せぬループが形成され、こ
のループによる帰還のために不定な周波数における発振
現象が起こり、デバイスの直流特性が正確に測定できな
いという不都合があった。

上記発振現象の発生原因は白色雑音等の雑音電力が帰還
されるためであるとして、従来から不要な交流信号を除
去するためにコイル容量或はフェライトビーズ等を入出
力端子に接続したり、測定系の特性インピーダンスで終
端させて不要な反射波の発生を防止する等の工夫を施し
た測定治具が提案されている。

発明が解決しようとする課題 上記工夫された測定治具でも遮断周波数が数十Ｇ１１ｚ
に及ぶＩＩＥＭＴのような高周波デバイスでは、発振を
抑制するには十分ではなく、加えて測定治具自身が大掛
かりになって多数のデバイスを短時間に測定することが
困難であり、量産に適用できないという問題があった。

本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、高周波デ
バイスの量産化に通した直流特性測定装置を提供するこ
とを目的とする。

還延吏紅決工１亙泰婁王段 上記目的を達成するために本発明は、複数の高周波デバ
イスを搭載する位置を形成した電磁吸収体からなる本体
と、上記本体に搭載された高周波デバイスを覆う電磁吸
収体からなる蓋体と、本体又は蓋体の少なくとも一方に
形成した上記搭載位置にある高周波デバイスの電極に達
する測定端子導入孔とによって測定治具を構成する。

在−里 測定治具が電磁吸収体で形成されているため雑音は遮断
され、そのため被測定デバイスの入出力端子に達するこ
とはほとんどなく、発振現象を伴うことなく直流特性の
測定を行うことができる。

また本体に複数のデバイス搭載位置を形成するため、同
じ測定工程で複数のデバイスに対応することができ、量
産時の特性測定に適する。

夫」「班 本実施例による測定治具は本体とこの本体を覆う蓋体と
からなり、両者間に形成される空間に被測定物である高
周波デバイスが収納されて、直流特性の測定がなされる
。

第１図（ａ）は測定治具の本体ｌの平面図を示し、第１
図（ｂ）は蓋体２の平面図を示す。上記本体ｌは電磁吸
収体からなり、はぼ平坦な上面には複数の高周波デバイ
ス３．３・・・を搭載するための位置４．４・・・が形
成されている。この位置４は、第２図（ａ）の断面図に
示すように高周波デバイス３の搭載及び位置合わせ等が
より容易に行えるように、デバイス外形に対応する窪み
として形成されている。上記各位置４に装着されたデバ
イス３のソース電極３ｓが位置する部分には、それらソ
ース電極３３間を共通に接続するための金属電極５が、
本体ｌの周囲を巡る形態で設けられている。本体ｌには
また後述する蓋体２との結合を確実にするため位置合わ
せ凹部６が、デバイス３の搭載に支障を来さない領域に
設けられている。

上記構造からなる本体ｌに対して、蓋体２も同様に電磁
吸収体からなり、本体ｌに装着された状態で本体ｌのデ
バイス搭載空間を外部から遮蔽する。本体１との結合を
確実にするため、第２図（ｂ）に示すように上記四部６
に嵌まり込む凸部７が設けられている。蓋体２には更に
本体ｌに搭載されたデバイス４に測定信号を供給するた
め、測定端子導入孔８が各デバイス４のゲート、ドレイ
ン雷極位置に対応させて形成され、また共通ソース電極
となる金属電極５に達する測定端子導入孔９が形成され
ている。

上記測定端子導入孔８，９に測定装置のプローブ針が通
され、先端が各電極に接触して直流特性を測定するため
の信号が転送される。上記蓋体２は、本体１に搭載した
デバイス４の位置合せ及び固定機能を高めるために、第
４図に示すようにデバイス４の形状に対応して押え部材
３３を形成することもできる。

第３図は上記測定治具を用いた高周波デバイスの直流特
性測定装置のブロック図である。測定治具２１の各位置
４に装着された高周波デバイス３の電極は、治具２１の
蓋体２に形成された測定端子導入孔８，９を通して差し
込まれたプローブ２２ｄ、　２２ｇ、　２２ｓの先端と
当接して電気的接続され、テスト信号が供給される。上
記プローブ２２ｄ、　２２ｇ、　２２Ｓはプローバ２２
に支持され、切り換えスイッチ２３との間が配線されて
いる。上記切り換えスイッチ２３は、測定治具２１に複
数の高周波デバイス３が装着されていることに対応して
、効率的に測定作業を実施するために配置されている。

即ち直流特性測定装置２４から出力されるデバイステス
トのためのドレインＤ、ゲートＧ、　　ソースＳ電極の
一組の測定信号を、治具２１に装着されたデバイス３に
それぞれに順次切り換えて人力するために設けられてい
る。スイッチの切り換えはコントローラ２５からの指令
で測定装置２４との同期を図りながら行われ、デバイス
３からの出力が測定値として測定装置２４に与えられ、
デバイスが所定の特性を確保しくするか否かの判別及び
ランク分けが行われる。このように上記測定装置では一
度の作業で複数のデバイスに対して測定評価を実施する
ことができる。

上記実施例ではプローブ２２ｄ、　２２ｇ、　２２ｓの
先端を治具の蓋体に形成した孔に直接挿入する形態につ
いて説明したが、蓋体の基孔に予め第４図に示すように
電気抵抗の小さい金属柱３１を、先端が本体側に突出し
かつ搭載位置のデバイスの電極に達するように寸法調整
して設けることもできる。この構造では、蓋体の上面に
現れた金属柱３１の先端にプローブ２２ｄ、　２２ｇ、
　２２ｓの先端が取り付は易いように凹部３２を形成す
ることが望ましい。

発１しじ握里 以上のように本発明によれば、被測定物を電磁吸収体に
収納して測定することができるため、直流特性を測定す
る際の発振を充分に抑制することができ、正確な測定を
行うことができて、精度向上が図れるだけでなく、多数
の被測定物を同し測定作業に供給することができ、スル
ープットの大幅な向上が図れ、量産時におけるデバイス
テストの作業性を著しく改善することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例の平面図、第２図は同実
施例のＡ−Ａ“断面図、第３図は同実施例を適用した直
流特性測定装置のブロック図、第４図は本発明による他
の実施例の要部断面図である。 １−本体、２−蓋体、３−高周波デバイス。 ４−搭載位置、５−金属電極。 ６−位置合せ凹部、７−位置合せ凸部。 ８．９−一電極端子導入孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の高周波デバイスを搭載するための位置を形
   成した電磁吸収体からなる本体と、上記本体に搭載され
   た高周波デバイスを覆う電磁吸収体からなる蓋体と、本
   体又は蓋体の少なくとも一方に形成した上記搭載位置に
   ある高周波デバイスの電極に達する測定端子導入孔とを
   備えてなることを特徴とする高周波デバイスの特性測定
   装置。