JPH03134873A - 変換素子駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク装置、磁気テープ装置。

光磁気ディスク装置、磁気カー１〜装置等の情報記録装
置の変換素子駆動装置に係り、目的のデータトラックに
高精度に位置決めする必要のある、特に高１〜ランク密
度を狙う大容量記憶装置に適用される変換素子駆動装置
に関する。

（４） 〔従来の技術〕 従来の情報記録装置、例えば磁気ディスク装置は、大容
量化に伴いビット密度と共にトラック密度も高くなって
いる。１へラックの高密度化により、トラックピッチは
今や数μｍのオーダーとなっており、変換素子（磁気ヘ
ッド）位置決めの高精度化はますます重要な課題となっ
てきている。従来の比較的位置決め精度の高いサーボ面
サーボ方式は、装置内の局部的な温度変化やアクチュエ
ータ等の変形などによって、サーボ情報読み出し用変換
素子（以下サーボヘッド）とデータ読み出し、書き込み
用変換素子（以下データヘッド）との位置決め偏差が生
じることにより、位置決め誤差が発生する。そこでサー
ボ方式の位置決め高精度化の一つの手法に、サーボヘッ
ドとデータヘッドとの位置偏差の補正手段として、ヘッ
ドアクチュエータによる位置決め手段とは別に、ヘッド
素子部分のみの位置決め手段を設ける方法があり、例え
ば「特開昭６２−２５０５７０Ｊに示されている。これ
は従来のＶＣＭによるアクチュエータ駆動を粗動の位（
５） 置決め用に使用し、磁気ヘッドに近い部分に微動の位置
決め用アクチュエータを配するものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが上記技術は、データ面以外にサーボ面を持つこ
とが前提であり、サーボヘッドにより位置決めしたヘッ
ド位置と、実際のデータトラックとの位置偏差とを比較
して補正することを目的としているため、サーボヘッド
からデータヘッド間の振動伝達特性や温度差等を考慮し
た１〜ラックｌ−１］設計、制御系設計が必要となり、
高トラツク密度化に対しては伝達関数や補償回路等の条
件は厳しいものとなっている。

本発明の目的は、上記位置偏差を小さくし、伝達特性を
良好にした変換素子駆動装置を提供するところにある。

〔課題を解決するための手段〕 上記目的は次のようにして達成させることができる。同
一スライダ上にサーボヘッドとデータヘッドとを搭載し
たヘッドを構成する。ここで、サーボヘッドはスライダ
上に固定され、データヘラ（６） ドはマイクロアクチュエータによって、サーボヘッドに
対して相対移動が可能な構成となっている。

この際、マイクロアクチュエータの動作特性は、１００
Ｈｚ〜数十ｋ　Ｈｚと広帯域である必要がある。これに
対して粗動用アクチュエータのサーボ帯域は、その可動
質量の大きさやベアリングガイドの摩擦などの機械的特
性によって、最大でも数百Ｈｚ〜数ｋ　Ｈｚのクロスオ
ーバー周波数を持つ。

このため、アクセスは粗動用アクチュエータが担当し、
整定時のセｌ−リング振動や、フォロイング追従動作は
マイクロアクチュエータが担当する構成にする・ 一方、データ面上には、例えば所定のｌ］のデータゾー
ン間に、サーボ情報が１トラツクずつ記録されるような
パターンが媒体に記録される。または２層膜媒体におい
て、データ情報とサーボ情報を各々別の層に記録するこ
とも考えられ、媒体面の利用効率を考えると、後者の方
が有望である。

〔作用〕

目標トラックへのアクセス指令を受けたサーボ（７） ヘッドは、所定の速度カーブに従って、目標データトラ
ックゾーンを受は持つ目標サーボトラックへ、位置決め
動作を行なう。サーボヘッドが目標位置へ整定時、デー
タヘッドを動かすマイクロアクチュエータにも目標デー
タトラックへのアクセス指令が出され、それを受けてデ
ータヘッドが所定のアドレス情報をもとに、マイクロア
クチュエータの動作によって目標データトラックへ高速
、高精度に整定される。フォロイング時には、サーボヘ
ッドは粗動用アクチュエータの伝達特性に従ってサーボ
トラックへの追従を行い、データヘッドはマイクロアク
チュエータの伝達特性に従って目標データトラックへの
追従を行う。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。

第１図は本発明の第１〜第３実施例の基本構成を示した
図である。サーボヘッド１はデータヘッド２と微動マイ
クロアクチュエータ３を介して接続されており、これら
がひとつの剛体、例えばス（８） ライダ６上に搭載されている。このスライダ６は、粗動
用の、例えばＶＣＭアクチュエータ４にシンバルバネ７
等を介して接続されている。ＶＣＭアクチュエータ４は
、筐体５に直接、またはバネ９を介して固定されている
。また、サーボヘッド１及びデータヘッド２は、記憶媒
体、例えば高速回転する磁気ディスク８と所定の間隔で
保持されている。ここでサーボヘッド１はスライダ６に
固定されているが、データヘッド２は微動マクロアクチ
ュエータ３によってスライダ６及びサーボヘッド１と相
対的に運動することが可能である。相対運動のストロー
クの望ましい値は、サーボ情報とデータ情報のパターン
に関係し、これについては次に述べる。

第２図は、磁気ディスク８上のサーボ１−ラックとデー
タトラックのパターンを模式的に表わした図である。サ
ーボトラック９ａ、９ｂ、９ｃは所定の間隔で規則的に
並び、定まった数のデータトラック本数ｎ本を含むデー
タゾーン１０ａ、１０ｂがそれらの間に配される。デー
タゾーンの巾は、（９） データのトラックピッチをｐとすれば、はぼｎＸｐで表
わされる。この大きさは、該マイクロアクチュエータ３
のストロークにほぼ等しい。

サーボ信号の高品質化を考えると、サーボトラック幅は
、データトラック幅に対して比較的広くした方が都合が
よい。この場合、サーボ領域に多く面積を取られるため
、媒体面の利用効率が悪くなる。有効な媒体面利用につ
いては、後はど詳しく述べる。

第３図は、本発明の２段結合サーボ系のブロック図であ
る。目標値Ｘ、データヘッドの変位をＸｓとし、誤差を
Ｘｅｒ、微動アクチュエータの安定性を補償する補償回
路３１の特性をａｃｌ（ｓ）とする。その出力をｅＳと
し、微動マイクロアクチュエータ系では、特性がａ　１
４（Ｓ　）の補償回路３２とこれに加わる外乱Ｆｃｌ、
微動マイクロアクチュエータの伝達関数３３をＧｆ＋ｎ
ｅ（Ｓ）とすると微動マイクロアクチュエータによる変
位はＸｆとなる。一方、粗動アクチュエータ系は、特性
がＧｃ３（ｓ）の補償回路３４とこれに加わる外乱（１
０） Ｆｄ　’、粗動アクチュエータの伝達関数３５をＧｃｏ
ａｒｓｅ（ｓ）　とすると、粗動アクチュエータによる
変位はＸｃとなる。出力Ｘｓは、微動アクチュエータに
よるデータヘッドの移動量Ｘｆと、粗動アクチュエータ
によるサーボヘッドの移動量Ｘｃの和として表せる。こ
のような構成にすると、アクチュエータの摩擦、外部か
らの振動といった低周波の変動を、粗動アクチュエータ
の制御ループによって抑圧することが出来る。

また、例えばディスクリート媒体のような媒体面に固定
されたサーボパターントラックへの追従が要求される場
合、トラック偏心の主成分である低周波大振幅成分に、
粗動アクチュエータが追従することが出来る。

第４図（ａ）には、従来のサーボ面サーボ方式のアクチ
ュエータのオープンループ特性を模式的に示し、第４図
（ｂ）には本発明の粗動用アクチュエータのオープンル
ープ特性を、（ｃ）には本発明の微動用マイクロアクチ
ュエータのオープンループ特性を、各々模式的に表した
。従来のアクチュエ（１１） −タの伝達特性は、１　ｋ、　Ｈｚ弱のクロスオーバー
周波数４１で、５０°以」−の位相余裕をもたせている
。本発明においては、粗動用のアクチュエータは第４図
（ａ）に近い特性をもたせるが、特に低域周波数４２の
ゲインを高くとっておく。一方、微動用のアクチュエー
タは、クロスオーバー周波数４３が数ｋ　Ｈｚで、数十
〇の位相余裕をもたせることができる。低域周波数領域
を、粗動用アクチュエータに分担させ、高域周波数領域
を微動用アクチュエータに分担させるようにすれば、広
い帯域に渡って常に安定した特性が得られる。従って、
これら（ａ）と（ｂ）の特性を組み合わせれば、十分帯
域の大きいサーボ系を設計することができる。

第５図は、本発明の第１実施例のスライダ部分を模式的
に表わした図である。サーボヘッド５１は、スライダ５
５」二に固定されており、データヘッド５２は積層ピエ
ゾ素子等のアクチュエータ５３を介して、可動部材５４
」二に搭載されている。

可動部材５４は、アクチュエータ５３と衝撃吸収（１２
） 材５６によって支持されており、スライダの走行方向、
すなわち１−ラック方向に直角に動くことができる。し
かし、アクチュエータとしての積層ピエゾ素子は、スラ
イダ５５上にこの実施例の方法で実装できる程度の大き
さのものであると、ストロークが数μｍと非常に小さく
、機械振動等に起因するサブミクロン程度の位置決め誤
差を吸収することは可能であるが、データトラックのア
クセスや、偏心等への追従には不向きである。

第６図（ａ）は、本発明の第２実施例のスライダ部分を
模式的に表わした図である。サーボヘッド６１は、スラ
イダ６４上に固定されており、データヘッド６２はマイ
クロアクチュエータ６３上に搭載されている。マイクロ
アクチュエータ６３は、半導体技術を応用したマイクロ
ッアプリケーション技術によって作られた、静電リニア
モータの可動部である。このアクチュエータだと、数ｍ
ｌｎ角の寸法でストロークが数ｍｍと稼げるため、アク
セス用のアクチュエータとして十分使用できる。

第６図（ｂ）は、本発明の第３実施例のスライダ（１３
） 部分を模式的に表わした図である。サーボヘッド６５は
スライダ６８上に固定されており、データヘッド６６　
ａ　、　６６　ｂ　、　６６　ｃ　、−は、上記と同様
のマイクロアクチュエータ６７−１−に搭載されている
。各データヘッド間の距離は、データ１〜ラツクピツチ
の整数倍とすると、一つのデータヘッドが所定のトラッ
クに整定されたときに、他の残りのデータヘッドも同時
にそれぞれのデータトラックに整定させることができる
。即ち、位置決めされたデータヘッドはあたかも全て一
つのシリンダ上にあるかのごとくみなすことができる。

従って、この構成にした場合、スループットの向上が期
待される。

第７図は、本発明の微動マイクロアクチュエータとして
使用されるリニア静電モータの例を、模式的に表した図
である。第７図（ａ）はその第１例で、リニア静電モー
タの断面を表した図である。

サーボヘッド７１は静電モータのいわゆるステータ部分
７４上、またはステータ７４とともにスライダ７３に固
定される。データヘッド７２は、静（１４） 電モータのいわゆるロータ部分７５上に形成される。ロ
ータ７５は、適当な剛性を持つバネ部材７６によって、
スライダ７３上に結合されている。

ステータ７４とロータ７５に電荷を蓄えることにより、
静電力によってロータ７４とステータ７５との電極の有
効電場面積が変化し、バネ７６と釣り合いを保ちつつロ
ータ７２が移動する。

第７図（ｂ）はリニア静電モータの第２例で、スライダ
上に形成する形状を正面から見た図である。

データヘッド７７はガイドレール８０に沿って直線移動
する静電モータのロータ７８上に形成されており、ステ
ータ７９はスライダ上に固定される。

ロータ７８上に形成されている電極７８１　、７８２゜
・・は、ステータ上に形成されている電極７９１゜７９
２．７９３．・・・と少しずつ位相がずれており、隣あ
う電極の極性を順次切り替えることによって、静電力に
よりロータ７８が移動する。このような構造は、半導体
技術により磁気ヘッド７７とともに一度に形成すること
ができる。

第８図は、本発明の適用方法の一実施例を示しく１５） た図である。まず、所定のデータトラックへのアドレス
指定８１が出されたとき、そのデータトラックを含むゾ
ーンを受は持つサーボトラックへ、サーボヘッドがクロ
ストラックカウントしながらアクセス８２する。サーボ
ヘッドがサーボトラックへ位置決め８３し、閉ループ制
御しながら整定してから後、データヘッドは所定のアド
レス情報に従って、サーボヘッドを基準とした位置から
の距離を算出して移動８４し１位置決め、整定８５する
。この方法は、サーボヘッドがサーボトラックへ整定８
３してから先が開ループ制御となっており、超高トラッ
ク密度化には不向きである。

第９図は、本発明の適用方法の別の実施例を示した図で
ある。まず、所定のデータトラックへのアドレス指令９
１が出されたとき、そのデータトラックを含むゾーンを
受は持つサーボ１〜ラツクへ、サーボヘッドがアクセス
９２する。サーボヘッドがサーボｌ−ラックへ位置決め
９３し、閉ループ制御しながら整定してから後、データ
ヘッドは、ゾーン内のセクタサーボ情報、または埋め込
みサー（１６） ボ情報をもとに所定のデータゾーラツクに移動９４して
精密位置決めし、閉ループ制御しながら整定する。

第１０図は、本発明の適用方法の別の実施例を示した図
である。まず、所定のデータトラックへのアドレス指令
１０１が出されたとき、そのデータトラックを含むゾー
ンを受は持つサーボトラックへ、サーボヘッドがアクセ
ス１０２する。サーボヘッドはサーボトラックへ粗位置
決め１０３し、閉ループ制御しながら整定する。これと
並行してデータヘッドは所定のデータトラックへアクセ
ス動作１０４を行ない、精密位置決めをゾーン内のセク
タサーボ情報、または埋め込みサーボ情報をもとに、閉
ループ制御しながら行ない、整定する。

第１１図は、第９図、または第１０図で示した実施例に
適用される媒体面のフォーマツ１へ例の一つを模式的に
表わした図である。記録情報のパターンは、本発明のサ
ーボトラックゾーン１１１と、セクタサーボ情報１１２
と、データゾーン１１３とで構成される。アクセス時は
、サーボヘッドが（］７） サーボトラック１１１をクロストラックカウントするの
で、従来のセクタサーボ方式に比べて、シーク時間は大
幅に短縮される。

第１２図は、第９図、または第１０図に示した実施例に
適用される媒体の、別の例の構造を表わした図である。

媒体の表層部にはデータ１２１を、下層部にサーボ情報
１２２を記録する構造になっている。各ゾーンを受は持
つサーボ１へランクは、媒体表層部１２３にも記録され
る。すなわち、サーボトラック１２３はサーボヘッドが
追従するためのトラックであり、サーボトラック１２２
はデータヘッドが正しくトラック」二にフオロイングす
るためのトラックである。

第１３図は、第９図、または第１０図で示した実施例に
適用される媒体の別の構造の例を表わした図である。媒
体表層部にはデータ１３１のみを記録する。この方法で
は、下層のサーボ情報１３２の」二にもデータ情報を記
録することができ、媒体面の利用効率がよい。尚、第１
２図〜第１３図で説明した埋込サーボ方式を使用する場
合には、デ（１８） −タ信号とサーボ信号の書き込み周波数を変え、−度に
読み込まれる両方の信号をフィルター回路によって選り
分ける必要がある。また、データ層とサーボ層の磁性膜
の特性、例えば保磁力や飽和磁化を変えたり、データヘ
ラＩ−とサーボヘッドの形状や材質、例えばギャップ長
や飽和磁束密度を適当に設定することによって、品質の
よいサーボ信号を取り出すことができる。−例として、
下層のサーボ層の磁性膜には上層のデータ層の磁性膜に
比べて、保磁力の小さいものを使い、サーボヘッドのギ
ャップ長と飽和磁束密度が、データヘッドのギャップ長
と飽和磁束密度に比べて大きいものを使用すると、特性
の良いヘラ１り／媒体系が得られる。

媒体がスタック（積層）された装置においては、データ
面サーボにおいて問題点が生じる。第１４図はスタック
装置におけるデータ面サーボ方式の問題点を説明するた
めの図である。サーボヘッド１４１ａが所定のサーボト
ラック１４２ａに位置決めされたとしても、他のサーボ
ヘッド１４　］、　ｂ　。

（１９） １４−１　ｃは、熱変位等の原因により、サーボトラッ
ク１４．２ｂ、１４．２ｃに正確に位置決めするとは限
らない。各ヘッドが同一シリンダ上にあれば、各ヘッド
より情報を一度に読みだすことによって、スループット
は向上する。従ってサーボヘッド位置ずれを起こしたと
しても、各データヘッドが同一シリンダ上にあればよい
。従って、サーボヘッドは最適の位置に位置決めされて
いなくても、データヘッドが所定トラックに位置決めさ
れれば良いのであるから、各サーボヘッドは、各々のサ
ーボヘッドの位置ずれ量に基づいたデータヘッドの位置
決めを、各々のスライダごとに行なえばよい。

この時、サーボヘッドの位置ずれ量がデータヘッドの可
動範囲にあるならば、データヘッドは位置決めできる。

しかし、位置ずれ量がデータヘッドの可動範囲よりも大
きいところにあると、データヘッドの位置決めはできな
くなる。

上記データ面サーボ方式の問題点の別の解決方法として
は、第１５図に示されるように、第１の粗動用アクチュ
エータ１５１に、磁気ディスク（２０） １５７ａ、１５７ｂ、１５７ｃ上に浮上する各スライダ
１５６　ａ　、　１５６　ｂ　、　１−５６　ｃ　、　
−、に接続するスライダ支持部材上に粗動用の第２のア
クチュエータ］−５２ａ　、　１５２　ｂ　、　　１５
２　ｃ　、　−を設け、各スライダ上に設けられたサー
ボヘッド１５４　ａ、１５４ｂ、１５４ｃ、−、微動ア
クチュエータ１５３　ａ　、　１５３　ｂ　、　１５３
　ｃ　、　−、データヘッド１５５ａ、１５５ｂ、１５
５ｃ。

を、該粗動用アクチュエータ１．５２　ａ　、　］、　
５２　ｂ　。

１５２ｃ、・・・、によって、ぞれぞれのスライダごと
に個別に動かすものとする。各サーボヘッドの位置ずれ
量は検知され、それぞれのスライダごとに粗動用第２ア
クチユエータによってただちに補正される。この時、粗
動用アクチュエータ１５２ａ。

１５２ｂ、１５２ｃ、・・・は、サーボヘッドの位置ず
れが生じたときにのみ移動する。または、第１の粗動用
アクチュエータ１５１と、第２の粗動用アクチュエータ
１．５２　ａ　、　　１５２　ｂ　、　１５２　ｃ　。

・・・、及び微動用アクチュエータ１．５３ａ、１５３
ｂ。

１５３ｃ、　　・・に、各々低周波数領域、中周波数頭
（２１） 域、高周波数領域を受は持たせて駆動する、３段アクチ
ュエータとして使用することも考えられるが、回路構成
が複雑になる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、例えばスタックされた磁気ディスク装
置のデータ１〜ランクへの位置決め精度を著しく向上さ
せ、また高ＴＰＩにおけるデータのアクセス速度の向上
が期待できる。これは、磁気記録ファイルのトラック密
度を高める可能性を大きくする重要な技術要因であり、
装置の高性能化に大きく寄与するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１〜第３実施例の模式図、第２図は
本発明の実施例のサーボトラックとデータトラックの書
き込みパターンの基本構成を模式的に表した図、第３図
は本発明の２段結合サーボ系のブロック図、第４図は各
サーボ系のオーブンループ特性を表すクラブの図、第５
図及び第６図は、本発明の第１から第３実施例の２段結
合サーボ系の構成を模式的に表した図、第７図は本発明
（２２） の微動マイクロアクチュエータの構造と動作を説明する
ための模式図、第８図〜第１０図は、本発明の実施例の
適用方法を表した流れ図、第１１図及び第１２図、第１
３図は、本発明のサーボ及びデータトラックパターンの
種々の例を模式的に表した図、第１４図は、媒体スタッ
ク装置における本発明適用の問題点を説明するための模
式図、第１５図は、上記問題点の解決方法の一例を説明
するための装置の構成図である。 トサーボヘッド、２・・・データヘラｌ−’、３・微動
マイクロアクチュエータ、４・・粗動マイクロアクチュ
エータ、５・・筐体、６・・スライダ、８・ディスク、
９　ａ　、　９　ｂ　、　９　ｃ−サーボトラック、１
０ａ。 １０ｂ・データ１ヘラツクゾーン、３１，３２．３４・
・・補償回路、３３・・・微動アクチュエータの伝達関
数、３５・・・粗動アクチュエータの伝達関数、４１・
従来装置のクロスオーバー周波数、４３・本発明微動マ
イクロアクチュエータのクロスオーバー周波数、５１．
．６１．６５・・サーボヘッド、５２゜６２　、６６　
ａ　、　６６　ｂ　、　６６　ｃ−データヘッド、（２
３） ５３．６３．６７・・・アクチュエータ、５５，６４゜
６８・・スライダ、７１・・・サーボヘッド、７２゜７
７・・・データヘッド、７４．７９　　・ステータ、７
２．７８・　ロータ、８１．　９４．、　１１１−・　
アドレス指定、８２，９２，１１２　　アクセス（クロ
ス１〜ランクカウント）、８３，９３，１１３　・サー
ボヘッド整定、８４．．９４．．１１４　　・データへ
ラドシーク動作、８５，９５，１１．５・・データヘッ
ド整定、１０１．．１２３・・サーボ１〜ラツク、１０
２・・・セクタサーボ情報、１２２，１３２・・・埋込
サーボ情報、１０３，１．２１，１３１・・データトラ
ック、１４］ａ、１４−１．ｂ、１４１ｃ、１５４ａ。 １５４１）　、　１５４ｃ、−サーボ八ツ１く、１．４
２　ａ　。 ］−４２ｂ　、　１４２　ｃ−サーボ１〜ラツク、１．
５１−第」−の粗動用アクチュエータ、１．５２ａ、１
５２ｂ、、］、、５２ｏ、・・・第２の粗動用アクチュ
エータ、］、　５３　ａ　、　］　５３　ｂ　、　１−
５３　ｃ　、　−微動用アクチュエータである。 （２４） 第 Ｕ 図 図 （（２−） Ｚｆ二Ｚ （ｂ） 奮 ■ 図 （０−ジ ￥９ 図 特開平 １３４８７３　（１０） 冨 １ 図 ｌｌ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、サーボ情報の書き込まれた記録媒体上に配置され、
   上記記録媒体と相対的に移動する変換素子を用いて情報
   の読み出し又は書き込みを行う情報記録装置に用いる変
   換素子駆動装置において、データ読み出し、書き込み用
   の変換素子と、サーボ情報読み出し用の変換素子が一つ
   の剛体上に搭載され、かつ該データ用変換素子が該サー
   ボ用変換素子に対して相対移動するように構成されてい
   ることを特徴とする、変換素子駆動装置。 ２、情報を記録したデータトラックが、定まつたトラッ
   ク数で記録データ領域を形成し、各領域間にサーボ情報
   を記録したサーボトラックが配されている記録媒体に、
   請求項１記載の変換素子駆動装置を用いてデータ用変換
   素子を所定のデータトラック上に位置決めすることを特
   徴とする変換素子位置決め装置。 ３、記録媒体上の記録データ領域にデータ読み出し、書
   き込み用変換素子を位置決めするサーボ装置であつて、
   上記記録媒体上にあつてサーボ情報を有するサーボトラ
   ックに位置決めするためのサーボ用変換素子と、該サー
   ボ用変換素子に近接して配置され、これと相対的に移動
   可能なデータ用変換素子と上記サーボ用変換素子及びデ
   ータ用変換素子を搭載する剛体と、該剛体を移動させる
   ための粗動機構と、上記サーボ用変換素子を上記記録媒
   体上の所定のサーボトラックに位置決めして整定する第
   １のサーボ手段と、上記データ用変換素子を所定のデー
   タトラックに位置決めする第２のサーボ手段を有するこ
   とを特徴とするサーボ装置。 ４、前記記録データ領域内に、一定のトラック間隔でサ
   ーボ情報を含むサーボトラックを設け、前記サーボ用変
   換素子がサーボトラックに追随し、データ用変換素子が
   目的のデータトラックに位置決めする際、上記サーボ変
   換素子の位置を基準として、該データ用変換素子を予め
   定められた距離だけ相対移動させる手段を有することを
   特徴とする特許請求範囲第１項から第３項に記載のサー
   ボ装置。 ５、前記記録データ領域内に、サーボ情報を含むセクタ
   領域を複数設け、前記サーボ用変換素子がサーボトラッ
   クに追随し、データ用変換素子が目的のデータトラック
   に位置決めする際、上記サーボ用変換素子の位置を基準
   として上記データ用変換素子を複数のセクタに分けられ
   た位置決め情報により位置決めする手段を有することを
   特徴とする特許請求範囲第３項に記載のサーボ装置。 ６、少なくとも前記記録データ領域内は、サーボ情報を
   記録した層とデータを記録した層の２層構造とし、上記
   サーボ用変換素子がサーボトラックに追随し、データ用
   変換素子が目的のデータトラックに位置決めする際、該
   サーボ変換素子の位置を基準として該データ変換素子を
   サーボ層の位置決め情報により位置決めする手段を有す
   ることを特徴とする特許請求範囲第３項に記載のサーボ
   装置。 ７、前記サーボ用変換素子と相対的に移動する前記デー
   タ用変換素子は、圧電素子を用いた圧電アクチュエータ
   又は、微細加工技術や半導体技術を用いた静電モータに
   より相対移動されるこことを特徴とする特許請求範囲第
   １項から第６項のうちいずれかに記載のサーボ装置。 ８、前記データ用変換素子は、前記剛体上に複数個実装
   されることを特徴とする特許請求範囲第１項から第７項
   のうちいずれかに記載のサーボ装置。