JP2703073B2

JP2703073B2 - 変換素子駆動装置

Info

Publication number: JP2703073B2
Application number: JP27160189A
Authority: JP
Inventors: 協赤城; 正昭二本; 文雄釘屋; 芳徳宮村; 公史 ▲高▼野; 好文松田; 幹夫鈴木; 武司仲尾
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1989-10-20
Filing date: 1989-10-20
Publication date: 1998-01-26
Anticipated expiration: 2013-01-26
Also published as: JPH03134873A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、磁気デイスク装置，磁気テープ装置，光磁
気デイスク装置，磁気カード装置等の情報記録装置の変
換素子駆動装置に係り、目的のデータトラツクに高精度
に位置決めする必要のある、特に高トラツク密度を狙う
大容量記憶装置に適用される変換素子駆動装置に関す
る。

〔従来の技術〕

従来の情報記録装置、例えば磁気デイスク装置は、大
容量化に伴いビツト密度と共にトラツク密度も高くなつ
ている。トラツクの高密度化により、トラツクピツチは
今や数μｍのオーダーとなつており、変換素子（磁気ヘ
ツド）位置決めの高精度化はますます重要な課題となつ
てきている。従来の比較的位置決め精度の高いサーボ面
サーボ方式は、装置内の局部的な温度変化やアクチュエ
ータ等の変形などによつて、サーボ情報読み出し用変換
素子（以下サーボヘツド）とデータ読み出し、書き込み
用変換素子（以下データヘツド）との位置決め偏差が生
じることにより、位置決め誤差が発生する。そこでサー
ボ方式の位置決め高精度化の一つの手法に、サーボヘツ
ドとデータヘツドとの位置偏差の補正手段として、ヘツ
ドアクチュエータによる位置決め手段とは別に、ヘツド
素子部分のみの位置決め手段を設ける方法があり、例え
ば「特開昭62−250570」に示されている。これは従来の
VCMによるアクチュエータ駆動を粗動の位置決め用に使
用し、磁気ヘツドに近い部分に微動の位置決め用アクチ
ュエータを配するものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが上記技術は、データ面以外にサーボ面を持つ
ことが前提であり、サーボヘツドにより位置決めしたヘ
ツド位置と、実際のデータトラツクとの位置偏差とを比
較して補正することを目的としているため、サーボヘツ
ドからデータヘツド間の振動伝達特性や温度差等を考慮
したトラツク巾設計、制御系設計が必要となり、高トラ
ツク密度化に対しては伝達関数や補償回路の条件は厳し
いものとなつている。

本発明の目的は、上記位置偏差を小さくし、伝達特性
を良好にした変換素子駆動装置を提供するところにあ
る。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は次のようにして達成させることができる。
同一スライダ上にサーボヘツドとデータヘツドを搭載し
たヘツドを構成する。ここで、サーボヘツドはスライダ
上に固定され、データヘツドはマイクロアクチュエータ
によつて、サーホヘツドに対して相対移動が可能な構成
となつている。この際、マイクロアクチュエータの動作
特性は、100Hz〜数十kHzと広帯域である必要がある。こ
れに対して粗動用アクチュエータのサーボ帯域は、その
可動質量の大きさやベアリングガイドの摩擦などの機械
的特性によつて、最大でも数百Hz〜数kHzのクロスオー
バー周波数を持つ。このため、アクセスは粗動用アクチ
ュエータが担当し、整定時のセトリング振動や、フォロ
イング追従動作はマイクロアクチュエータが担当する構
成にする。

一方、データ面上には、例えば所定の巾のデータゾー
ン間に、サーボ情報が１トラツクずつ記録されるような
パターンが媒体に記録される。または２層膜媒体におい
て、データ情報とサーボ情報を各々別の層に記録するこ
とも考えられ、媒体面の利用効率を考えると、後者の方
が有望である。

〔作用〕

目標トラツクへのアクセス指令を受けたサーボヘツド
は、所定の速度カーブに従つて、目標データトラツクゾ
ーンを受け持つ目標サーボトラツクへ、位置決め動作を
行なう。サーボヘツドが目標位置へ整定時、データヘツ
ドを動かすマイクロアクチュエータにも目標データトラ
ツクへのアクセス指令が出され、それを受けてデータヘ
ツドが所定のアドレス情報をもとに、マイクロアクチュ
エータの動作によつて目標データトラツクへ高速、高精
度に整定される。フォロイング時には、サーボヘツドは
粗動用アクチュエータの伝達特性に従つてサーボトラツ
クへの追従を行い、データヘツドはマイクロアクチュエ
ータの伝達特性に従つて目標データトラツクへの追従を
行う。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。

第１図は本発明の第１〜第３実施例の基本構成を示し
た図である。サーボヘツド１はデータヘツド２と微動マ
イクロアクチュエータ３を介して接続されており、これ
らがひとつの剛体、例えばスライダ６上に搭載されてい
る。このスライダ６は、粗動用の、例えばVCMアクチュ
エータ４にシンバルバネ７等を介して接続されている。
VCMアクチュエータ４は、筐体５に直接、またはバネ９
を介して固定されている。また、サーボヘツド１及びデ
ータヘツド２は、記憶媒体、例えば高速回転する磁気デ
ィスク８と所定の間隔で保持されている。ここでサーボ
ヘツド１はスライダ６に固定されているが、データヘツ
ド２は微動マイクロアクチュエータ３によつてスライダ
６及びサーボヘツド１と相対的に運動することが可能で
ある。相対運動のストロークの望ましい値は、サーボ情
報とデータ情報のパターンに関係し、これについては次
に述べる。

第２図は、磁気ディスク８上のサーボトラツクとデー
タトラツクのパターンを模式的に表わした図である。サ
ーボトラツク9a,9b,9cは所定の間隔で規則的に並び、定
まつた数のデータトラツク本数ｎ本を含むデータゾーン
10a,10bがそれらの間に配される。データゾーンの巾
は、データのトラツクピツチをｐとすれば、ほぼｎ×ｐ
で表わされる。この大きさは、該マイクロアクチュエー
タ３のストロークにほぼ等しい。

サーボ信号の高品質化を考えると、サーボトラツク幅
は、データトラツク幅に対して比較的広くした方が都合
がよい。この場合、サーボ領域に多く面積を取られるた
めに、媒体面の利用効率が悪くなる。有効な媒体面利用
については、後ほど詳しく述べる。

第３図は、本発明の２段結合サーボ系のブロツク図で
ある。目標値Ｘ、データヘツド２の変位をXsとし、誤差
をXer、微動アクチュエータの安定性を補償する補償回
路31の特性をG_c1（ｓ）とする。その出力をe_sとし、微
動マイクロアクチュエータ系では、特性がG_c2（ｓ）の
補償回路32とこれに加わる外乱Fd、微動マイクロアクチ
ュエータの伝達関数33をG_fine（ｓ）とすると、微動マ
イクロアクチュエータによる変位はXfとなる。一方、粗
動アクチュエータ系は、特性がG_c3（ｓ）の補償回路34
とこれに加わる外乱Fd′、粗動アクチュエータの伝達関
数35をG_coarse（ｓ）とすると、粗動アクチュエータに
よる変位はXcとなる。出力Xsは、微動アクチュエータに
よるデータヘツドの移動量Xfと、粗動アクチュエータに
よるサーボヘツドの移動量Xcの和として表せる。このよ
うな構成にすると、アクチュエータの摩擦、外部からの
振動といつた低周波の変動を、粗動アクチュエータの制
御ループによつて抑圧することが出来る。

また、例えばディスクリート媒体のような媒体面に固
定されたサーボパターントラツクへの追従が要求される
場合、トラツク偏心の主成分である低周波大振幅成分
に、粗動アクチュエータが追従することが出来る。

第４図（ａ）には、従来のサーボ面サーボ方式のアク
チュエータのオープンループ特性を模式的に示し、第４
図（ｂ）には本発明の粗動用アクチュエータのオープン
ループ特性を、（ｃ）には本発明の微動用マイクロアク
チュエータのオープンループ特性を、各々模式的に表し
た。従来のアクチュエータの伝達特性は、1kHz弱のクロ
スオーバー周波数41で、50゜以上の位相余裕をもたせて
いる。本発明においては、粗動用のアクチュエータは第
４図（ａ）に近い特性をもたせるが、特に低域周波数42
のゲインを高くとつておく。一方、微動用のアクチュエ
ータは、クロスオーバー周波数43が数kHzで、数十゜の
位相余裕をもたせることができる。低域周波数領域を、
粗動用アクチュエータに分担させ、高域周波数領域を微
動用アクチュエータに分担させるようにすれば、広い帯
域に渡つて常に安定した特性が得られる。従つて、これ
ら（ａ）と（ｂ）の特性を組み合わせれば、十分帯域の
大きいサーボ系を設計することができる。

第５図は、本発明の第１実施例のスライダ部分を模式
的に表わした図である。サーボヘツド51は、スライダ55
上に固定されており、データヘツド52は積層ピエゾ素子
等のアクチュエータ53を介して、可動部材54上に搭載さ
れている。可動部材54は、アクチュエータ53と衝撃吸収
材56によつて支持されており、スライダの走行方向、す
なわちトラツク方向に直角に動くことができる。しか
し、アクチュエータとしての積層ピエゾ素子は、スライ
ダ55上にこの実施例の方法で実装できる程度の大きさの
ものであると、ストロークが数μｍと非常に小さく、機
械振動等に起因するサブミクロン程度の位置決め誤差を
吸収することは可能であるが、データトラツクのアクセ
スや、偏心等への追従に不向きである。

第６図（ａ）は、本発明の第２実施例のスライダ部分
を模式的に表わした図である。サーボヘツド61は、スラ
イダ64上に固定されており、データヘツド62はマイクロ
アクチュエータ63上に搭載されている。マイクロアクチ
ュエータ63は、半導体技術を応用したマイクロファブリ
ケーション技術によつて作られた、静電リニアモータの
可動部である。このアクチュエータだと、数mm角の寸法
でストロークが数mmと稼げるため、アクセス用のアクチ
ュエータとして十分使用できる。

第６図（ｂ）は、本発明の第３実施例のスライダ部分
を模式的に表わした図である。サーボヘツド65はスライ
ダ68上に固定されており、データヘツド66a,66b,66c,…
は、上記と同様のマイクロアクチュエータ67上に搭載さ
れている。角データヘツド間の距離は、データトラツク
ピツチの整数倍とすると、一つのデータヘツドが所定の
トラツクに整定されたときに、他の残りのデータヘツド
も同時にそれぞれのデータトラツクに整定させることが
できる。即ち、位置決めされたデータヘツドはあたかも
全て一つのシリンダ上にあるかのごとくみなすことがで
きる。従つて、この構成にした場合、スループツトの向
上が期待される。

第７図は、本発明の微動マイクロアクチュエータとし
て使用されるリニア静電モータの例を、模式的に表した
図である。第７図（ａ）はその第１例で、リニア静電モ
ータの断面を表した図である。サーボヘツド71は静電モ
ータのいわゆるステータ部分74上、またはステータ74と
ともにスライダ73に固定される。データヘツド72は、静
電モータのいわゆるロータ部分75上に形成される。ロー
タ75は、適当な剛性を持つバネ部材76によつて、スライ
ダ73上に結合されている。ステータ74とロータ75に電荷
を蓄えることにより、静電力によつてロータ74とステー
タ75との電極の有効電場面積が変化し、バネ76と釣り合
いを保ちつつロータ72が移動する。

第７図（ｂ）はリニア静電モータの第２例で、スライ
ダ上に形成する形状を正面から見た図である。データヘ
ツド77はガイドレール80に沿つて直線移動する静電モー
タのロータ78上に形成されており、ステータ79はスライ
ダ上に固定される。ロータ78上に形成されている電極78
1,782,…は、ステータ上に形成されている電極791,792,
793,…と少しずつ位相がずれており、隣あう電極の極性
を順次切り替えることによつて、静電力によりロータ78
が移動する。このような構造は、半導体技術により磁気
ヘツド77とともに一度に形成することができる。

第８図は、本発明の適用方法の一実施例を示した図で
ある。まず、所定のデータトラツクへのアドレス指定81
が出されたとき、そのデータトラツクを含むゾーンを受
け持つサーボトラツクへ、サーボヘツドがクロストラツ
クカウントしながらアクセス82する。サーボヘツドがサ
ーボトラツクへ位置決め83し、閉ループ制御しながら整
定してから後、データヘツドは所定のアドレス情報に従
つて、サーボヘツドを基準とした位置からの距離を算出
して移動84し、位置決め、整定85する。この方法は、サ
ーボヘツドがサーボトラツクへ整定83してから先が開ル
ープ制御となつており、超高トラツク密度化には不向き
である。

第９図は、本発明の適用方法の別の実施例を示した図
である。まず、所定のデータトラツクへのアドレス指令
91が出されたとき、そのデータトラツクを含むゾーンを
受け持つサーボトラツクへ、サーボヘツドがアクセス92
する。サーボヘツドがサーボトラツクへ位置決め93し、
閉ループ制御しながら整定してから後、データヘツド
は、ゾーン内のセクタサーボ情報、または埋め込みサー
ボ情報をもとに所定のデータトラツクに移動94して精密
位置決めし、閉ループ制御しながら整定する。

第10図は、本発明の適用方法の別の実施例を示した図
である。まず、所定のデータトラツクへのアドレス指令
101が出されたとき、そのデータトラツクを含むゾーン
を受け持つサーボトラツクへ、サーボヘツドがアクセス
102する。サーボヘツドはサーボトラツクへ粗位置決め1
03し、閉ループ制御しながら整定する。これと並行して
データヘツドは所定のデータトラツクへアクセス動作10
4を行ない、精密位置決めをゾーン内のセクタサーボ情
報、または埋め込みサーボ情報をもとに、閉ループ制御
しながら行ない、整定する。

第11図は、第９図、または第10図で示した実施例に適
用される媒体面のフオーマツト例の一つを模式的に表わ
した図である。記録情報のパターンは、本発明のサーボ
トラツクゾーン111と、セクタサーボ情報112と、データ
ゾーン113とで構成される。アクセス時は、サーボヘツ
ドがサーボトラツク111をクロストラツクカウントする
ので、従来のセクタサーボ方式に比べて、シーク時間は
大幅に短縮される。

第12図は、第９図、または第10図に示した実施例に適
用される媒体の、別の例の構造を表した図である。媒体
の表層部にはデータ121を、下層部にサーボ情報122を記
録する構造になつている。各ゾーンを受け持つサーボト
ラツクは、媒体表層部123にも記録される。すなわち、
サーボトラツク123はサーボヘツドが追従するためのト
ラツクであり、サーボトラツク122はデータヘツドが正
しくトラツク上にフォロイングするためとトラツクであ
る。

第13図は、第９図，または第10図で示した実施例に適
用される媒体の別の構造の例を表わした図である。媒体
表層部にはデータ131のみを記録する。この方法では、
下層のサーボ情報132の上にもデータ情報を記録するこ
とができ、媒体面の利用効率がよい。尚、第12図〜第13
図で説明した埋込サーボ方式を使用する場合には、デー
タ信号とサーボ信号の書き込み周波数を変え、一度に読
み込まれる両方の信号をフィルター回路によつて選り分
ける必要がある。また、データ層とサーボ層の磁性膜の
特性、例えば保磁力や飽和磁化を変えたり、データヘツ
ドとサーボヘツドの形状や材質、例えばギャツプ長や飽
和磁束密度を適当に設定することによつて、品質のよい
サーボ信号を取り出すことができる。一例として、下層
のサーボ層の磁性膜には上層のデータ層の磁性膜に比べ
て、保磁力の小さいものを使い、サーボヘツドのギャツ
プ長と飽和磁束密度が、データヘツドのギャツプ長と飽
和磁束密度に比べて大きいものを使用すると、特性の良
いヘツド／媒体系が得られる。

媒体がスタツク（積層）された装置においては、デー
タ面サーボにおいて問題点が生じる。第14図はスタツク
装置におけるデータ面サーボ方式の問題点を説明するた
めの図である。サーボヘツド141aが所定のサーボトラツ
ク142aに位置決めされたとしても、他のサーボヘツド14
1b,141cは、熱変位等の原因により、サーボトラツク142
b,142cに正確に位置決めするとは限らない。各ヘツドが
同一シリンダ上にあれば、各ヘツドより情報を一度に読
み出すことによつて、スループツトは向上する。従つて
サーボヘツド位置ずれを起こしたとしても、各データヘ
ツドが同一シリンダ上にあればよい。従つて、サーボヘ
ツドは最適の位置に位置決めされていなくても、データ
ヘツドが所定トラツクに位置決めされれば良いのである
から、各サーボヘツドは、各々のサーボヘツドの位置ず
れ量に基づいたデータヘツドの位置決めを、各々のスラ
イダごとに行なえばよい。この時、サーボヘツドの位置
ずれ量がデータヘツドの可動範囲にあるならば、データ
ヘツドは位置決めできる。しかし、位置ずれ量がデータ
ヘツドの可動範囲よりも大きいところにあると、データ
ヘツドの位置決めはできなくなる。

上記データ面サーボ方式の問題点の別の解決方法とし
ては、第15図に示されるように、第１の粗動用アクチュ
エータ151に、磁気ディスク157a,157b,157c上に浮上す
る各スライダ156a,156b,156c,…，に接続するスライダ
支持部材上に粗動用の第２のアクチュエータ152a,152b,
152c,…を設け、各スライダ上に設けられたサーボヘツ
ド154a,154b,154c,…，微動アクチュエータ153a,153b,1
53c,…，データヘツド155a,155b,155c,…，を、該粗動
用アクチュエータ152a,152b,152c,…，によつて、それ
ぞれのスライダごとに個別に動かすものとする。各サー
ボヘツドの位置ずれ量は検知され、それぞれのスライダ
ごとに粗動用第２アクチュエータによつてただちに補正
される。この時、粗動用アクチュエータ152a,152b,152
c,…は、サーボヘツドの位置ずれが生じたときにのみ移
動する。または、第１の粗動用アクチュエータ151と、
第２の粗動用アクチュエータ152a,152b,152c,…，及び
微動用アクチュエータ153a,153b,153c,…に、各々低周
波数領域、中周波数領域、高周波数領域を受け持たせて
駆動する、３段アクチュエータとして使用することも考
えられるが、回路構造が複雑になる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、例えばスタツクされた磁気ディスク
装置のデータトラツクへの位置決め精度を著しく向上さ
せ、また高TPIにおけるデータのアクセス速度の向上が
期待できる。これは、磁気記録ファイルのトラツク密度
を高める可能性を大きくする重要な技術要因であり、装
置の高性能化に大きく寄与するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１〜第３実施例の模式図、第２図は
本発明の実施例のサーボトラツクとデータトラツクの書
き込みパターンの基本構成を模式的に表した図、第３図
は本発明の２段結合サーボ系のブロツク図、第４図は各
サーボ系のオープンループ特性を表すグラフの図、第５
図及び第６図は、本発明の第１から第３実施例の２段結
合サーボ系の構成を模式的に表した図、第７図は本発明
の微動マイクロアクチュエータの構造と動作を説明する
ための模式図、第８図〜第10図は、本発明の実施例の適
用方法を表した流れ図、第11図及び第12図、第13図は、
本発明のサーボ及びデータトラツクパターンの種々の例
を模式的に表した図、第14図は、媒体スタツク装置にお
ける本発明適用の問題点を説明するための模式図、第15
図は、上記問題点の解決方法の一例を説明するための装
置の構成図である。１……サーボヘツド、２……データヘツド、３……微動
マイクロアクチュエータ、４……粗動マイクロアクチュ
エータ、５……筐体、６……スライダ、８……ディス
ク、9a,9b,9c……サーボトラツク、10a,10b……データ
トラツクゾーン、31,32,34……補償回路、33……微動ア
クチュエータの伝達関数、35……粗動アクチュエータの
伝達関数、41……従来装置のクロスオーバー周波数、43
……本発明微動マイクロアクチュエータのクロスオーバ
ー周波数、51,61,65……サーボヘツド、52,62,66a,66b,
66c……データヘツド、53,63,67……アクチュエータ、5
5,64,68……スライダ、71……サーボヘツド、72,77……
データヘツド、74,79……ステータ、72,78……ロータ、
81,94,111……アドレス指定、82,92,112……アクセス
（クロストラツクカウント）、83,93,113……サーボヘ
ツド整定、84,94,114……データヘツドシーク動作、85,
95,115……データヘツド整定、101,123……サーボトラ
ツク、102……セクタサーボ情報、122,132……埋込サー
ボ情報、103,121,131……データトラツク、141a,141b,1
41c,154a,154b,154c,……サーボヘツド、142a,142b,142
c……サーボトラツク、151……第１の粗動用アクチュエ
ータ、152a,152b,152c,……第２の粗動用アクチュエー
タ、153a,153b,153c,……微動用アクチュエータであ
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者宮村芳徳東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 ▲高▼野公史東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者松田好文東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者鈴木幹夫東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者仲尾武司東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (56)参考文献実開昭61−199761（ＪＰ，Ｕ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】サーボ情報の書き込まれた記録媒体上に配
置され、上記記録媒体と相対的に移動する変換素子を用
いて情報の読み出し又は書き込みを行う情報記録装置に
用いる変換素子駆動装置において、データ読み出し、書
き込み用の変換素子と、サーボ情報読み出し用の変換素
子が一つの剛体上に搭載され、かつ該データ用変換素子
が該サーボ用変換素子に対して相対移動するように構成
されていることを特徴とする、変換素子駆動装置。
【請求項２】情報を記録したデータトラツクが、定まつ
たトラック数で記録データ領域を形成し、各領域間にサ
ーボ情報を記録したサーボトラツクが配されている記録
媒体に、請求項１記載の変換素子駆動装置を用いてデー
タ用変換素子を所定のデータトラツク上に位置決めする
ことを特徴とする変換素子位置決め装置。
【請求項３】記録媒体上の記録データ領域にデータ読み
出し、書き込み用変換素子を位置決めするサーボ装置で
あつて、上記記録媒体上にあつてサーボ情報を有するサ
ーボトラツクに位置決めするためのサーボ用変換素子
と、該サーボ用変換素子に近接して配置され、これと相
対的に移動可能なデータ用変換素子と上記サーボ用変換
素子及びデータ用変換素子を搭載する剛体と、該剛体を
移動させるための粗動機構と、上記サーボ用変換素子を
上記記録媒体上の所定のサーボトラツクに位置決めして
整定する第１のサーボ手段と、上記データ用変換素子を
所定のデータトラツクに位置決めする第２のサーボ手段
を有することを特徴とするサーボ装置。
【請求項４】前記記録データ領域内に、一定のトラツク
間隔でサーボ情報を含むサーボトラツクを設け、前記サ
ーボ用変換素子がサーボトラツクに追随し、データ用変
換素子が目的のデータトラツクに位置決めする際、上記
サーボ変換素子の位置を基準として、該データ用変換素
子を予め定められた距離だけ相対移動させる手段を有す
ることを特徴とする特許請求範囲第１項から第３項に記
載のサーボ装置。
【請求項５】前記記録データ領域内に、サーボ情報を含
むセクタ領域を複数設け、前記サーボ用変換素子がサー
ボトラツクに追随し、データ用変換素子が目的のデータ
トラツクに位置決めする際、上記サーボ用変換素子の位
置を基準として上記データ用変換素子を複数のセクタに
分けられた位置決め情報により位置決めする手段を有す
ることを特徴とする特許請求範囲第３項に記載のサーボ
装置。
【請求項６】少なくとも前記記録データ領域内は、サー
ボ情報を記録した層とデータを記録した層の２層構造と
し、前記サーボ用変換素子がサーボトラツクに追随し、
データ用変換素子が目的のデータトラツクに位置決めす
る際、該サーボ変換素子の位置を基準として該データ変
換素子をサーボ層の位置決め情報により位置決めする手
段を有することを特徴とする特許請求範囲第３項に記載
のサーボ装置。
【請求項７】前記サーボ用変換素子と相対的に移動する
前記データ用変換素子は、圧電素子を用いた圧電アクチ
ュエータ又は、微細加工技術や半導体技術を用いた静電
モータにより相対移動されるこことを特徴とする特許請
求範囲第１項から第６項のうちいずれかに記載のサーボ
装置。
【請求項８】前記データ用変換素子は、前記剛体上に複
数個実装されることを特徴とする特許請求範囲第１項か
ら第７項のうちいずれかに記載のサーボ装置。