JPH03121971A

JPH03121971A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH03121971A
Application number: JP25958889A
Authority: JP
Inventors: Junichi Usui; 臼井　純一
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 1989-10-03
Filing date: 1989-10-03
Publication date: 1991-05-23

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、密閉筒状体内をその長さ方向に自走する搬送
用移動体により被搬送物を搬送するようにした搬送装置
に関するものである。

（従来の技術及びその問題点）この種の搬送装置としては、密閉筒状体内に於いてカプ
セル形の搬送用移動体を空気圧により走行させるように
構成したものが知られているが、半導体業界でのシリコ
ン・ウェハ等やバイオテクノロジ業界での組織培養物等
、軽量小型ではあるが、極めてクリーンな雰囲気中での
搬送が必須条件となる被搬送物の搬送には活用すること
が出来ない。

嗜即ち、この種の被搬送物は、外界から遮断されたクリー
ンな密閉筒状体内で搬送しなければならず、従って、こ
の密閉筒状体内での搬送に使用する搬送用移動体の走行
時に、例えば車輪の転勤や給電レールと集電子との摺接
等に伴って、塵埃が発生するようなこともあってはなら
ない。

従来、このような条件を満足し得る搬送装置は考えられ
ていなかった。

（課題を解決するための手段）本発明は上記のような従来の問題点を解決するために、
密閉筒状体内を磁気浮上形リニアモーターによって浮上
状態で自走する搬送用移動体を設げ、この搬送用移動体
に、当該搬送用移動体に設けられている浮上用電磁石の
電源となるソーラバッテリーを搭載し、このソーラーバ
ッテリー用の光源を前記密閉筒状体の外部に配設して、
当該光源からの光線が前記密閉筒状体の透明壁を介して
前記ソーラーバッテリーの受光部を照射するように構成
して成る搬送装置を提案するものである（実施例）以下に本発明の一実施例を添付の例示図に基ついて説明
する。

第１図に於いて、■は搬送経路を形成する透明ガラス製
の密閉筒状体、２，３は前記密閉筒状体■の両端に接続
された荷出し入れ用ステーション、４は前記密閉筒状体
ｌ内を自走する搬送用移動体である。前記両荷出し入れ
用ステーション２゜３は、荷出し入れ作業時に開くこと
の出来る開閉自在な気密扉５，６を備え、これら荷出し
入れ用ステーション２，３と前記密閉筒状体ｌとの間に
は、搬送用移動体４が通過するときに開く開閉自在な気
密扉７，８が設けられている。前記密閉筒布一対前後２
組の電磁石１５ａ、１５ｂと、磁気浮上手段が作動して
いないときに前記帯状鉄板ｌ］、ａ、ｌｌｂの表面上を
転勤し得る補助車輪１６とが配設されている。尚、前記
アルミニウム板１４の上側に鉄板を張設して、前記左右
一対の帯状鉄板１０ａ、ｌＯｂを省くことも出来る。

又、前記搬送用移動体４．の車体１３には、前記密閉筒
状体ｌの内周面に沿うように多数枚のソーラーバッテリ
ー１７が張設されている。このソーラーバッテリーＩ７
は、必要なコントローラーを介して前記磁気浮上手段形
成用の電磁石１５ａ。

１５ｂに接続されている。

前記密閉筒状体１の外側には、この密閉筒状体１内を走
行する前記搬送用移動体４のソーラーバッチＩＪ−１７
の受光部（感光面）に、前記密閉筒状体１の透明壁を通
じて光線を照射し得るように、蛍光灯等の適当な光源１
８が適当な間隔で配設されている。

尚、前記リニアモーター用本体９、リニアモーター２欠
溝体形成用の帯状鉄板１０ａ、１０ｂ、状体１には、図
示省略しているが排気手段が接続されている。

前記密閉筒状体１内には、第２図及び第３図に示すよう
に、リニアモーター用本体９が密閉筒状体１内の底部中
央で長さ方向適当間隔おきに配設されると共に、このリ
ニアモーター用本体９の上側に、当該リニアモーター用
本体９との間に一定間隙を隔てて、リニアモーター２欠
溝体形成用の左右一対の帯状鉄板１０ａ、１０ｂが架設
されている。又、前記帯状鉄板１０ａ、１０ｂよりも更
に」二側に、磁気浮上手段形成用の左右一対の帯状鉄板
１１．ａ、ｌｌｂが同一レベルで水平状に架設されてい
る。

前記搬送用移動体４は、第２図及び第３図に示すように
、被搬送物１２を支持し得るように構成された車体１３
の底部に、前記リニアモーター用本体９と左右一対の帯
状鉄板１０ａ、１０ｂとの間に位置する、リニアモータ
ー２欠溝体形成用のアルミニウム板１４と、前記帯状鉄
板１１ａ、１１ｂの下側に位置する、磁気浮上手段形成
用の左及び磁気浮上手段形成用の帯状鉄板１１ａ、１１
ｂは、荷出し入れ用ステーション２，３内にも配設され
ている。

荷出し入れ用ステーション２又は３内に位置する搬送用
移動体４に対し被搬送物１２を出し入れする際には、気
密扉７又は８を閉じた状態で気密扉５，６が開かれる。

被搬送物１２を搭載した搬送用移動体４を走行させると
きは、前記気密扉５又は６を閉じた後に気密扉７又は８
を開き、リニアモーター用本体９を通電励磁させる。こ
の結果、リニアモーター用本体９から搬送用移動体４側
のアルミニウム板１４を貫通して帯状鉄板１０ａ１０ｂ
に至る磁力線により前記アルミニウム板１４に渦電流が
発生し、搬送用移動体４に所定の方向の推力が作用し、
当該搬送用移動体４が、荷出し入れ用ステーション２又
は３から反対側の荷出し入れ用ステーション３又は２に
向かって密閉筒状体１内を走行することになる。

密閉筒状体ｌ内を走行する搬送用移動体４のソーラーバ
ッチ！Ｊ−１７は、密閉筒状体ｌ外で点灯している光源
１８からの光線を受けて発電し、その電力により磁気浮
上手段形成用の電磁石１５ａ１５１）が励磁されるので
、当該電磁石１５ａ。

］、　５１）とその上側の帯状鉄板１１ａ、Ｉｌｂとの
間に作用する磁気吸引力により搬送用移動体４が重力に
抗して若干浮−卜し、補助車輪１６が帯状鉄板１１ａ、
ｌｌｂの表面から浮き上がった状態で走行することにな
る。換言すれば、搬送用移動体４は何物にも接触しない
状態で密閉筒状体１内を走行することになる。しかも密
閉筒状体ｌ内は排気されて真空状態又はこれに近い減圧
状態にあるから、搬送用移動体１は、完全にクリーンな
雰囲気中を走行することになる。

前記電磁石１５ａ、１５ｂとその上側の帯状鉄板１１ａ
、ｌｌｂとの間に作用する磁気吸引力は、搬送用移動体
４が密閉筒状体１内で左右横方向に移動するのを防止す
る自動調心力としても作用するので、搬送用移動体４の
左右横振れを防止するガイトロ・−ラー等を併用する必
要はない。

尚、上記実施例のように、リニアモーター川水うに、半
導体業界でのシリコン・ウェハ等やバイオテクノロジ業
界での組織培養物等、軽量小型ではあるが、極めてクリ
ーンな雰囲気中での搬送が必須条件となる被搬送物の搬
送に十分に活用することが当来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は概略側面図、第２図は要部の拡大縦断側面図、
第３図は縦断正面図である。１・・・透明ガラス製の密閉筒状体、２，３・・・荷出
し入れ用ステーション、４・・・搬送用移動体、・５〜
８・・・気密扉、９・・・リニアモーター用本体、１０
ａ１０ｂ・・・リニアモーター２次琳体形成用の帯状鉄
板、ｌｌａ、ｌｌｂ・・・磁気浮上手段形成用の帯状鉄
板、１２・・・被搬送物、１４・・・リニアモーター２
欠溝体形成用のアルミニウム板、１５ａ、１５ｂ・・・
磁気浮上手段形成用の電磁石、１６・・・補助車輪、１
７・・・ソーラーバッテリー、１８・・・ソーラーバッ
テリー用光源。

Claims

【特許請求の範囲】

密閉筒状体内を磁気浮上形リニアモーターによって浮上
状態で自走する搬送用移動体を設け、この搬送用移動体
に、当該搬送用移動体に設けられている浮上用電磁石の
電源となるソーラーバッテリーを搭載し、このソーラー
バッテリー用の光源を前記密閉筒状体の外部に配設して
、当該光源からの光線が前記密閉筒状体の透明壁を介し
て前記ソーラーバッテリーの受光部を照射するように構
成して成る搬送装置。