JPH0311904A - インバータの変調方法 - Google Patents
インバータの変調方法Info
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- JPH0311904A JPH0311904A JP1146027A JP14602789A JPH0311904A JP H0311904 A JPH0311904 A JP H0311904A JP 1146027 A JP1146027 A JP 1146027A JP 14602789 A JP14602789 A JP 14602789A JP H0311904 A JPH0311904 A JP H0311904A
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- 230000001052 transient effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
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- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/60—Other road transportation technologies with climate change mitigation effect
- Y02T10/72—Electric energy management in electromobility
Landscapes
- Electric Propulsion And Braking For Vehicles (AREA)
- Control Of Ac Motors In General (AREA)
- Inverter Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば誘導電動機を駆動制御する３相イン
バータ等のインバータの変調方法に関するものである。
バータ等のインバータの変調方法に関するものである。
第２図ないし第４図は、例えば昭和５３年電気四学会連
合大会論文７３「車両用誘導電動機のインバータ制御に
ついて（その２）」に記載されたこの種従来のインバー
タの変調方法を説明するもので、第２図はインバータの
主回路構成を示す回路図、第３図はその制御回路構成を
示すブロック図、第４図はその動作波形を示すタイムチ
ャートである。
合大会論文７３「車両用誘導電動機のインバータ制御に
ついて（その２）」に記載されたこの種従来のインバー
タの変調方法を説明するもので、第２図はインバータの
主回路構成を示す回路図、第３図はその制御回路構成を
示すブロック図、第４図はその動作波形を示すタイムチ
ャートである。
図において、（１）は直流電源、■は主回路を入切する
開閉器、θ）および（２）は逆り形フィルタ回路を構成
するそれぞれフィルタリアクトルおよびフィルタコンデ
ンサ、（５Ｕ）〜（５Ｚ）は３相ブリツジに接続されて
インバータを構成するスイッチング素子としてのサイリ
スタ等の半導体スイッチ、（６）は誘導電動機、（７）
は誘導電動機（６）の電流を検出する電流検出器、（８
）は誘導電動機（６）の回転周波数を検出するパルス発
生器である。
開閉器、θ）および（２）は逆り形フィルタ回路を構成
するそれぞれフィルタリアクトルおよびフィルタコンデ
ンサ、（５Ｕ）〜（５Ｚ）は３相ブリツジに接続されて
インバータを構成するスイッチング素子としてのサイリ
スタ等の半導体スイッチ、（６）は誘導電動機、（７）
は誘導電動機（６）の電流を検出する電流検出器、（８
）は誘導電動機（６）の回転周波数を検出するパルス発
生器である。
（９）は制御の入力条件となる運転指令、００）は運転
指令（９）からの指令に基づき電流指令ｒｐを発生する
電流指令発生部、（１１）は同じく運転指令（９）から
の指令に基づきすべり周波数指令ｆｓｐを発生する周波
数指令発生部、（１２）は電流指令発生部αＯ）の出力
と電流検出器（２）で検出した誘導電動機（６）の電流
ｒＭの信号とからインバータの出力電圧Ｖを演算する電
流制御部、（１３）は周波数指令発生部（１１）の出力
と電流ＩＭの信号とから誘導電動機（６）のすべり周波
数ｆｓを演算するすべり制御部、（１４）はパルス発生
器（ａからの回転周波数ｆＭとすべり制御部（１３）か
らのすべり周波数ｆｓとからインバータの出力周波数Ｆ
を演算する加算器、（１５）は出力電圧■と出力周波数
Ｆとを目標に各半導体スイッチ（５Ｕ）等へゲート信号
を送出する変調回路である。
指令（９）からの指令に基づき電流指令ｒｐを発生する
電流指令発生部、（１１）は同じく運転指令（９）から
の指令に基づきすべり周波数指令ｆｓｐを発生する周波
数指令発生部、（１２）は電流指令発生部αＯ）の出力
と電流検出器（２）で検出した誘導電動機（６）の電流
ｒＭの信号とからインバータの出力電圧Ｖを演算する電
流制御部、（１３）は周波数指令発生部（１１）の出力
と電流ＩＭの信号とから誘導電動機（６）のすべり周波
数ｆｓを演算するすべり制御部、（１４）はパルス発生
器（ａからの回転周波数ｆＭとすべり制御部（１３）か
らのすべり周波数ｆｓとからインバータの出力周波数Ｆ
を演算する加算器、（１５）は出力電圧■と出力周波数
Ｆとを目標に各半導体スイッチ（５Ｕ）等へゲート信号
を送出する変調回路である。
次に動作について説明する。運転指令（９）からの指令
で電流指令発生部００）で発生された電流指令１ｐは電
流制御部（１２）で電流信号ＩＭと比較増幅され、誘導
電動機（６）に印加すべきインバータの出力電圧■とな
って変調回路（１５）に入力される。また、運転指令（
９）からの指令で周波数指令発生部（１１）で発生され
たすべり周波数指令ｆｓｐはすべり制御部（１３）で電
流信号ＩＭと比較増幅され、誘導電動機（６）のすべり
周波数ｆｓとなって加算器（１４）に入力される。加算
器（１４）は、このすべり周波数ｆｓとパルス発生器（
８からの回転周波数ｆＭと３入力し、下式により、誘導
電動ｆｉ ［６１の加速時には加算、回生時には減算し
てインバータの出力周波数Ｆを変調回路（１５）へ送出
する。
で電流指令発生部００）で発生された電流指令１ｐは電
流制御部（１２）で電流信号ＩＭと比較増幅され、誘導
電動機（６）に印加すべきインバータの出力電圧■とな
って変調回路（１５）に入力される。また、運転指令（
９）からの指令で周波数指令発生部（１１）で発生され
たすべり周波数指令ｆｓｐはすべり制御部（１３）で電
流信号ＩＭと比較増幅され、誘導電動機（６）のすべり
周波数ｆｓとなって加算器（１４）に入力される。加算
器（１４）は、このすべり周波数ｆｓとパルス発生器（
８からの回転周波数ｆＭと３入力し、下式により、誘導
電動ｆｉ ［６１の加速時には加算、回生時には減算し
てインバータの出力周波数Ｆを変調回路（１５）へ送出
する。
Ｆ＝ｆＭ：ｔｈ：ｆｓ ・・・・・・・・（１）
変調回路（１５）は指令された出力周波数Ｆおよび出力
電圧■に基づき、予め定められたモードによる正弦波状
のＵ相変調波（１６）と三角波状の搬送波（１７）とを
、例えば第４図に示すように設定する。
変調回路（１５）は指令された出力周波数Ｆおよび出力
電圧■に基づき、予め定められたモードによる正弦波状
のＵ相変調波（１６）と三角波状の搬送波（１７）とを
、例えば第４図に示すように設定する。
そして、Ｕ相変調波（１６）と搬送波（１７）との両波
形を比較しその交点で反転するＵ相変調信号（１８）を
得る。このＵ相変調信号（１８）の出力レベルに応じて
第２図で示す半導体スイッチ（５Ｕ）および（５Ｘ）の
オン、オフのタイミングを決定する。
形を比較しその交点で反転するＵ相変調信号（１８）を
得る。このＵ相変調信号（１８）の出力レベルに応じて
第２図で示す半導体スイッチ（５Ｕ）および（５Ｘ）の
オン、オフのタイミングを決定する。
同様にして、Ｕ相から１２０°遅れた図示しないＶ相変
調波と搬送波（１７）とから■相変調信号（１９）を得
、このＶ相変調信号（１９）の出力レベルに応じて半導
体スイッチ（５Ｖ）および（５Ｙ）のオン、オフのタイ
ミングを決定する。Ｕ相変調信号（１８）および■相変
調信号（１９）に基づく半導体スイッチの点弧動作から
゛インバータの出力電圧として、例えばＵＶ相間出力電
圧（２０）が得られる訳である。
調波と搬送波（１７）とから■相変調信号（１９）を得
、このＶ相変調信号（１９）の出力レベルに応じて半導
体スイッチ（５Ｖ）および（５Ｙ）のオン、オフのタイ
ミングを決定する。Ｕ相変調信号（１８）および■相変
調信号（１９）に基づく半導体スイッチの点弧動作から
゛インバータの出力電圧として、例えばＵＶ相間出力電
圧（２０）が得られる訳である。
ところで、誘導電動機（６）の加速が進み出力周波数Ｆ
が上昇していくと、これに応じてインバータを構成する
半導体スイッチのスイッチング周波数も増大させる必要
がある。しかし、半導体スイッチにはそのスイッチング
性能や使用条件等からそのスイッチング周波数に上限が
存在し、このため、出力周波数Ｆの上昇に伴ってインバ
ータの出力電圧波形に含まれる出力パルスの数を階段状
に低減していく方法が一最的に採用されている０例えば
、昭和６２年６月発行電気学会技術報告■部２５１号「
電気車の交流電動機駆動・インバータ制御方式」２．３
８〜３９には、非同期→２１パルス→１５パルス→９パ
ルス→５パルス→３パルス→１パルスの各モードで出力
パルスを切換える方法が紹介されている。
が上昇していくと、これに応じてインバータを構成する
半導体スイッチのスイッチング周波数も増大させる必要
がある。しかし、半導体スイッチにはそのスイッチング
性能や使用条件等からそのスイッチング周波数に上限が
存在し、このため、出力周波数Ｆの上昇に伴ってインバ
ータの出力電圧波形に含まれる出力パルスの数を階段状
に低減していく方法が一最的に採用されている０例えば
、昭和６２年６月発行電気学会技術報告■部２５１号「
電気車の交流電動機駆動・インバータ制御方式」２．３
８〜３９には、非同期→２１パルス→１５パルス→９パ
ルス→５パルス→３パルス→１パルスの各モードで出力
パルスを切換える方法が紹介されている。
第５図は上記パルスモードの切換えのうち、特に９パル
スから５パルスのモードに切換える場合の各波形を示し
たものである０図において、搬送波（１７）はＡに示す
時点で不連続的にその波形を変化させている。即ち、時
点ＡまでのＵＶ相間出力電圧（２０）の波形はその半周
期中の１８０°の範囲に９パルスを分配させた第１のモ
ードに、そして時点Ａ以降のＵＶ相間出力電圧（２０）
の波形はその１２０°の範囲に５パルスを分配させた第
２のモードになっており、この時点Ａで第１のモードが
ら第２のモードへの切換えが行われている訳である。
スから５パルスのモードに切換える場合の各波形を示し
たものである０図において、搬送波（１７）はＡに示す
時点で不連続的にその波形を変化させている。即ち、時
点ＡまでのＵＶ相間出力電圧（２０）の波形はその半周
期中の１８０°の範囲に９パルスを分配させた第１のモ
ードに、そして時点Ａ以降のＵＶ相間出力電圧（２０）
の波形はその１２０°の範囲に５パルスを分配させた第
２のモードになっており、この時点Ａで第１のモードが
ら第２のモードへの切換えが行われている訳である。
なお、第５図の（２１）は正弦波状のＶ相変調波である
。
。
従来のインバータの変調方法では、以上のように、１８
０°の範囲に９パルスを分布させた第１のモードから、
１２０°の範囲に５パルスを分布させた第２のモードへ
直接切換えるため大きなパルス幅変動が発生し、誘導電
動機（６）の電流や出力トルクが急変して乗心地等が悪
化するという問題点があった。
０°の範囲に９パルスを分布させた第１のモードから、
１２０°の範囲に５パルスを分布させた第２のモードへ
直接切換えるため大きなパルス幅変動が発生し、誘導電
動機（６）の電流や出力トルクが急変して乗心地等が悪
化するという問題点があった。
この発明は以上のような問題点を解消するためになされ
たもので、特に９パルスと５パルスとの変調モードの切
換えをスムーズに行い、パルス幅変動を小さくして電動
機電流や出力トルクの急変を防止することができるイン
バータの変調方法を得ることを目的とする。
たもので、特に９パルスと５パルスとの変調モードの切
換えをスムーズに行い、パルス幅変動を小さくして電動
機電流や出力トルクの急変を防止することができるイン
バータの変調方法を得ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段および作用〕この発明に係
るインバータの変調方法は、第１のモードと第２のモー
ドとの間に以下の過渡モードを設定したものである。
るインバータの変調方法は、第１のモードと第２のモー
ドとの間に以下の過渡モードを設定したものである。
即ち、第１のモードにおける出力電圧の０°および１８
０°の位相の各々に存在する一対の出力パルスの各パル
ス幅およびパルス間隔を順次低減するとともに、上記第
１のモードにおける出力電圧の６０°および１２０°の
位相における零出力幅をスイッチング素子のスイッチン
グ性能から定まる所定の最小時間幅まで順次低減する。
０°の位相の各々に存在する一対の出力パルスの各パル
ス幅およびパルス間隔を順次低減するとともに、上記第
１のモードにおける出力電圧の６０°および１２０°の
位相における零出力幅をスイッチング素子のスイッチン
グ性能から定まる所定の最小時間幅まで順次低減する。
この過渡モードが完了した後、第２のモードに切換える
。第２のモードから第１のモードへ戻るときは上記した
順序と逆の動作を行う。
。第２のモードから第１のモードへ戻るときは上記した
順序と逆の動作を行う。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図は従来の第５図に対応してこの実施例における各波形
を示したもので、図中、各波形には従来と同一の符号を
付けている。図において、時点Ａ以前は９パルスの第１
のモードで、従来の第５図の時点Ａ以前と同一の動作で
ある０時点Ｂ以降は５パルスの第２のモードで、従来の
第５図の時点Ａ以降と同一の動作である。但し、従来の
場合と比較すると、ＵＶ相間出力電圧（２０）で半周期
弁ずれた位相から始まっている。そして、時点Ａから時
点Ｂに至る部分が、今回者たに挿入した過渡モードで、
図示を簡単にするため第１図では半周期の期間で終了し
ているが、実際は更に長い期間をとり徐々に変化させる
ようにする。
図は従来の第５図に対応してこの実施例における各波形
を示したもので、図中、各波形には従来と同一の符号を
付けている。図において、時点Ａ以前は９パルスの第１
のモードで、従来の第５図の時点Ａ以前と同一の動作で
ある０時点Ｂ以降は５パルスの第２のモードで、従来の
第５図の時点Ａ以降と同一の動作である。但し、従来の
場合と比較すると、ＵＶ相間出力電圧（２０）で半周期
弁ずれた位相から始まっている。そして、時点Ａから時
点Ｂに至る部分が、今回者たに挿入した過渡モードで、
図示を簡単にするため第１図では半周期の期間で終了し
ているが、実際は更に長い期間をとり徐々に変化させる
ようにする。
次に、この過渡モードにおける変調回路（１５）の具体
的な動作を第１図に従って説明する。出力周波数Ｆが９
パルスモードの上限値に達すると（時点Ａ）、変調回路
（１５）はこれを検出して過渡モードに移行するべく、
搬送波（１７）の波形を順次変形していく、即ち、ＵＶ
相間出力電圧（２０）の位相０°、６０°、 ！２０’
、 １８０°（０”）、・・・における搬送波（１７）
の頂点位置を徐々に下げていく、但し、図に示すように
、半導体スイッチ（５Ｕ）等のスイッチング性能等から
定まる所定の最小時間幅ΔＴの部分は残して三角波とし
ての頂点位置を下げていく。
的な動作を第１図に従って説明する。出力周波数Ｆが９
パルスモードの上限値に達すると（時点Ａ）、変調回路
（１５）はこれを検出して過渡モードに移行するべく、
搬送波（１７）の波形を順次変形していく、即ち、ＵＶ
相間出力電圧（２０）の位相０°、６０°、 ！２０’
、 １８０°（０”）、・・・における搬送波（１７）
の頂点位置を徐々に下げていく、但し、図に示すように
、半導体スイッチ（５Ｕ）等のスイッチング性能等から
定まる所定の最小時間幅ΔＴの部分は残して三角波とし
ての頂点位置を下げていく。
そして、同時に当該頂点と逆極性の隣接する両頂点間の
時間幅ＴＷを徐々に広げていく、過渡モードの位相６０
°の部分に一部点線で示す三角波形は、９パルスモード
のときの搬送波（１７）の波形を参考までに示したもの
である。
時間幅ＴＷを徐々に広げていく、過渡モードの位相６０
°の部分に一部点線で示す三角波形は、９パルスモード
のときの搬送波（１７）の波形を参考までに示したもの
である。
以上の搬送波（１７）の波形繰作により、ＵＶ相間出力
電圧（２０）の位相６０°および１２０°における零出
力幅は徐々に低減しやがて最小時間幅ΔＴに至る（図中
Ｃで示す）、また、ＵＶ相間出力電圧（２０）の位相０
゛および１８０°の部分には、元々、即ち９パルスモー
ドでは一対の出力パルス（２２）（２３）が存在してい
るが、上記下搬送波（１７）の操作により、これら出力
パルス（２２） （２３）の各パルス幅およびパルス間
隔が徐々に低減し、やがて消滅する（図中りで示す）。
電圧（２０）の位相６０°および１２０°における零出
力幅は徐々に低減しやがて最小時間幅ΔＴに至る（図中
Ｃで示す）、また、ＵＶ相間出力電圧（２０）の位相０
゛および１８０°の部分には、元々、即ち９パルスモー
ドでは一対の出力パルス（２２）（２３）が存在してい
るが、上記下搬送波（１７）の操作により、これら出力
パルス（２２） （２３）の各パルス幅およびパルス間
隔が徐々に低減し、やがて消滅する（図中りで示す）。
そして、搬送波（１７）の頂点位置が零レベルに至り、
時間幅ＴＷが５パルスモードのそれに一致した時点で過
渡モードは終了し、つづいて５パルスモードに移行する
。逆に、５パルスモードから９パルスモードへ切換える
場合は上記と逆の操作を行えばよい。
時間幅ＴＷが５パルスモードのそれに一致した時点で過
渡モードは終了し、つづいて５パルスモードに移行する
。逆に、５パルスモードから９パルスモードへ切換える
場合は上記と逆の操作を行えばよい。
この過渡モードの周期数を適当に設定することにより、
９パルスの第１モードと５パルスの第２のモードとの間
の切換えを連続的にスムーズに行うことができ、電動機
電流や出力トルクの急変を防止することができる。
９パルスの第１モードと５パルスの第２のモードとの間
の切換えを連続的にスムーズに行うことができ、電動機
電流や出力トルクの急変を防止することができる。
なお、上記で説明した搬送波（１７）の波形の操作は、
例えば、変調回路（１５）に内蔵するＲＯＭに必要な波
形データを記憶させておき、必要に応じて取出すように
すればよい。
例えば、変調回路（１５）に内蔵するＲＯＭに必要な波
形データを記憶させておき、必要に応じて取出すように
すればよい。
また、上記実施例では、Ｕ相変調波（１６）を正弦波と
したが方形波としてもよく、搬送波（１７）も三角波に
限らず例えば特開昭５８−１７９１７６号公報に記載さ
れたような種々な波形のものを採用してもよい。
したが方形波としてもよく、搬送波（１７）も三角波に
限らず例えば特開昭５８−１７９１７６号公報に記載さ
れたような種々な波形のものを採用してもよい。
以上のように、この発明では、９パルスの第１のモード
と５パルスの第２のモードとの間に所定の過渡モードを
設定して変調するようにしたので、第１と第２とのモー
ド切換えによるパルス幅変動が小さくなり、インバータ
出力の急変が防止される。
と５パルスの第２のモードとの間に所定の過渡モードを
設定して変調するようにしたので、第１と第２とのモー
ド切換えによるパルス幅変動が小さくなり、インバータ
出力の急変が防止される。
第１図はこの発明の一実施例による変調動作を説明する
ための各波形のタイムチャート、第２図はインバータの
主回路構成を示す回路図、第３図はその制御回路構成を
示すブロック図、第４区はその基本動作を説明するため
のタイムチャート、第５図は従来の変調動作を説明する
ためのタイムチャートである。 図において、（５Ｕ）〜（５ｚ）はスイッチング素子と
しての半導体スイッチ、（１５）は変調回路、（１６）
はＵ相変調波、（１７）は搬送波、（２０）はＵＶ相間
出力電圧、（２１）は■相変調波、（２２） （２３）
は一対の出力パルス、ΔＴは最小時間幅である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
ための各波形のタイムチャート、第２図はインバータの
主回路構成を示す回路図、第３図はその制御回路構成を
示すブロック図、第４区はその基本動作を説明するため
のタイムチャート、第５図は従来の変調動作を説明する
ためのタイムチャートである。 図において、（５Ｕ）〜（５ｚ）はスイッチング素子と
しての半導体スイッチ、（１５）は変調回路、（１６）
はＵ相変調波、（１７）は搬送波、（２０）はＵＶ相間
出力電圧、（２１）は■相変調波、（２２） （２３）
は一対の出力パルス、ΔＴは最小時間幅である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 所定のモードで変調波と搬送波とを設定し、上記両波の
比較から得られるゲート信号でインバータのスイッチン
グ素子をオンオフ制御して可変電圧・可変周波数の出力
電圧を得るインバータの変調方法であって、上記出力電
圧の１８０゜の範囲に９パルスを分配させる第１のモー
ドから上記出力電圧の１２０゜の範囲に５パルスを分配
させる第２のモードへ切換える場合において、 上記第１のモードにおける出力電圧の０゜および１８０
゜の位相の各々に存在する一対の出力パルスの各パルス
幅およびパルス間隔を順次低減するとともに、上記第１
のモードにおける出力電圧の６０°および１２０°位相
における零出力幅を上記スイッチング素子のスイッチン
グ性能から定まる所定の最小時間幅まで順次低減する過
渡モードを、上記第１のモードと第２のモードとの間に
設定したことを特徴とするインバータの変調方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1146027A JPH0311904A (ja) | 1989-06-07 | 1989-06-07 | インバータの変調方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1146027A JPH0311904A (ja) | 1989-06-07 | 1989-06-07 | インバータの変調方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0311904A true JPH0311904A (ja) | 1991-01-21 |
Family
ID=15398450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1146027A Pending JPH0311904A (ja) | 1989-06-07 | 1989-06-07 | インバータの変調方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0311904A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7902482B2 (en) * | 2002-06-14 | 2011-03-08 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining apparatus and control method for the apparatus |
-
1989
- 1989-06-07 JP JP1146027A patent/JPH0311904A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7902482B2 (en) * | 2002-06-14 | 2011-03-08 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining apparatus and control method for the apparatus |
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