JPH0311889Y2 - - Google Patents
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- JPH0311889Y2 JPH0311889Y2 JP1989127927U JP12792789U JPH0311889Y2 JP H0311889 Y2 JPH0311889 Y2 JP H0311889Y2 JP 1989127927 U JP1989127927 U JP 1989127927U JP 12792789 U JP12792789 U JP 12792789U JP H0311889 Y2 JPH0311889 Y2 JP H0311889Y2
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- cassettes
- wafers
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 78
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 20
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、半導体の製造工程におけるウエハの
姿勢を所要の向きに整列させる装置に関し、特
に、ウエハを収容した一対のカセツトから、次段
の工程へウエハを搬送する際に、ウエハが搬送用
クリツプに確実に保持されるように、ウエハに形
成されたオリエンテーシヨン・フラツトを一定方
向に向けて、整列させるための装置に関する。
姿勢を所要の向きに整列させる装置に関し、特
に、ウエハを収容した一対のカセツトから、次段
の工程へウエハを搬送する際に、ウエハが搬送用
クリツプに確実に保持されるように、ウエハに形
成されたオリエンテーシヨン・フラツトを一定方
向に向けて、整列させるための装置に関する。
一般に半導体ウエハは、プラスチツク等のカセ
ツトに収容しておき、加工処理に際して1個ずつ
カセツトから取りだして、処理手段に搬送する。
この場合、カセツトの対向する側板に多数対の垂
直な溝を刻設し、この溝にウエハを挿入して保持
するタイプのカセツトにあつては、第4図示の如
く、カセツト3の下面の開口からリフター4を挿
入して、所望のウエハ1を所定の高さまで持ち上
げ、搬送用クリツプ5に保持させる。
ツトに収容しておき、加工処理に際して1個ずつ
カセツトから取りだして、処理手段に搬送する。
この場合、カセツトの対向する側板に多数対の垂
直な溝を刻設し、この溝にウエハを挿入して保持
するタイプのカセツトにあつては、第4図示の如
く、カセツト3の下面の開口からリフター4を挿
入して、所望のウエハ1を所定の高さまで持ち上
げ、搬送用クリツプ5に保持させる。
この際、ウエハ1に形成されているオリエンテ
ーシヨン・フラツト2が、鎖線示のようにクリツ
プ5の保持部に対面する位置にあると、確実な保
持ができず、搬送されなかつたり、あるいは搬送
中に取落したりする事故が生じる。したがつてリ
フター4を作動させる以前に、あらかじめ実線示
の如く、オリエンテーシヨン・フラツト2がクリ
ツプ5による保持に支障のない位置をとるよう
に、ウエハ1を適宜回転させておく必要がある。
ーシヨン・フラツト2が、鎖線示のようにクリツ
プ5の保持部に対面する位置にあると、確実な保
持ができず、搬送されなかつたり、あるいは搬送
中に取落したりする事故が生じる。したがつてリ
フター4を作動させる以前に、あらかじめ実線示
の如く、オリエンテーシヨン・フラツト2がクリ
ツプ5による保持に支障のない位置をとるよう
に、ウエハ1を適宜回転させておく必要がある。
これを行うための手段としては、たとえば特開
昭54−34774号公報(発明の名称「物品移換装
置」)に記載されたものがある。これはウエハを
収容したカセツトの底部から、ウエハの面に対し
て垂直方向をなす回動軸を、収容されたウエハの
円周外縁には接触するが、オリエンテーシヨン・
フラツトには接触しない位置まで挿入し、この回
動軸を回転させることにより、ウエハをカセツト
に収容した位置で回転させ、オリエンテーシヨ
ン・フラツトが下部に向いて、回動軸と接触しな
くなつた位置で停止するようにし、各ウエハをそ
れぞれのオリエンテーシヨン・フラツトが下方を
向いた位置に揃えるようにするものである。
昭54−34774号公報(発明の名称「物品移換装
置」)に記載されたものがある。これはウエハを
収容したカセツトの底部から、ウエハの面に対し
て垂直方向をなす回動軸を、収容されたウエハの
円周外縁には接触するが、オリエンテーシヨン・
フラツトには接触しない位置まで挿入し、この回
動軸を回転させることにより、ウエハをカセツト
に収容した位置で回転させ、オリエンテーシヨ
ン・フラツトが下部に向いて、回動軸と接触しな
くなつた位置で停止するようにし、各ウエハをそ
れぞれのオリエンテーシヨン・フラツトが下方を
向いた位置に揃えるようにするものである。
さらに該公報には、第2の整列手段として、上
面が水平な棒部材をカセツトの底部から適宜の高
さまで挿入して、ウエハをやや持ち上げることに
より、ほぼ下方を向いたオリエーシヨン・フラツ
トを棒部材の上面に倣う位置に整列する手段を記
載している。これは、たとえば次の熱処理工程に
おける均一性を得るためである。
面が水平な棒部材をカセツトの底部から適宜の高
さまで挿入して、ウエハをやや持ち上げることに
より、ほぼ下方を向いたオリエーシヨン・フラツ
トを棒部材の上面に倣う位置に整列する手段を記
載している。これは、たとえば次の熱処理工程に
おける均一性を得るためである。
また、同様にカセツトの底部に回転軸を挿入し
てウエハを回転させることにより、オリエンテー
シヨン・フラツトを下方に向けて整列させる手段
は、特開昭56−43718号公報(発明の名称「半導
体ウエハ出入装置」)、実開昭57−108338号公報
(考案の名称「フアセツト揃え装置」)、特開昭58
−21352号公報(発明の名称「半導体ウエハの方
向決め方式」)にも記載されている。
てウエハを回転させることにより、オリエンテー
シヨン・フラツトを下方に向けて整列させる手段
は、特開昭56−43718号公報(発明の名称「半導
体ウエハ出入装置」)、実開昭57−108338号公報
(考案の名称「フアセツト揃え装置」)、特開昭58
−21352号公報(発明の名称「半導体ウエハの方
向決め方式」)にも記載されている。
上述各先願手段によれば、オリエンテーシヨ
ン・フラツトは、それぜれ下方を向いて整列する
ことになるが、次工程におけるウエハの処理の態
様によつては、オリエンテーシヨン・フラツトを
上方に向けて整列させることが必要な場合があ
る。
ン・フラツトは、それぜれ下方を向いて整列する
ことになるが、次工程におけるウエハの処理の態
様によつては、オリエンテーシヨン・フラツトを
上方に向けて整列させることが必要な場合があ
る。
上述各先願手段の中、第1のものは、第2整列
手段の棒部材によりオリエンテーシヨン・フラツ
トを揃えた後、全体を180度回転させることによ
り、この要求を充たすように説明しているが、こ
れはウエハを一旦カセツトからバツフアと称する
別の支持手段に移しかえ、このバツフアを回転さ
せるようにしたものであり、装置全体が大がかり
なものとなつて、設備コストが高価につき、ま
た、多数のウエハをカセツトからバツフアに移し
かえ、180度回転させた後、再びカセツトに収容
する手間がかかり、能率が悪い問題がある。
手段の棒部材によりオリエンテーシヨン・フラツ
トを揃えた後、全体を180度回転させることによ
り、この要求を充たすように説明しているが、こ
れはウエハを一旦カセツトからバツフアと称する
別の支持手段に移しかえ、このバツフアを回転さ
せるようにしたものであり、装置全体が大がかり
なものとなつて、設備コストが高価につき、ま
た、多数のウエハをカセツトからバツフアに移し
かえ、180度回転させた後、再びカセツトに収容
する手間がかかり、能率が悪い問題がある。
また、上述先願の中、特開昭56−43718号及び
実開昭57−108338号両公報には、上記回転につい
ては記載がない。
実開昭57−108338号両公報には、上記回転につい
ては記載がない。
また、上述先願の特開昭58−21352号公報記載
の手段においては、下方を向いて整列したオリエ
ンテーシヨン・フラツトを上方に向けて回転させ
る手段として、ローラーを、オリエンテーシヨ
ン・フラツトに接触する第2の位置に配置して回
転させるように記載し、その具体的実施例とし
て、オリエンテーシヨン・フラツトを下向きに整
列させる第1の位置のローラーから、より大径の
ローラーに交換するか、又、カセツトを大径のロ
ーラーによつて駆動される位置へ移動させること
によつて、行なうようにしている。
の手段においては、下方を向いて整列したオリエ
ンテーシヨン・フラツトを上方に向けて回転させ
る手段として、ローラーを、オリエンテーシヨ
ン・フラツトに接触する第2の位置に配置して回
転させるように記載し、その具体的実施例とし
て、オリエンテーシヨン・フラツトを下向きに整
列させる第1の位置のローラーから、より大径の
ローラーに交換するか、又、カセツトを大径のロ
ーラーによつて駆動される位置へ移動させること
によつて、行なうようにしている。
この手段は、サイズが異なる2種のローラーを
必要に応じて交換すること、あるいはカセツトを
各ローラーによる駆動位置に移動させることが必
要となる。
必要に応じて交換すること、あるいはカセツトを
各ローラーによる駆動位置に移動させることが必
要となる。
すなわち、上述先願手段は、大小2種の駆動ロ
ーラーを必要とし、かつ、ウエハの汚損防止のた
めの、ローラーのウエハに接触する部分の洗浄作
業ないしローラーの交換が簡単には実施できず、
また、ウエハの規格寸法が異なるものに適用する
ために、ローラーを交換することも容易ではな
い。
ーラーを必要とし、かつ、ウエハの汚損防止のた
めの、ローラーのウエハに接触する部分の洗浄作
業ないしローラーの交換が簡単には実施できず、
また、ウエハの規格寸法が異なるものに適用する
ために、ローラーを交換することも容易ではな
い。
さらに上述先願手段は、いずれも一時に適用可
能なカセツト個数が一個のみであり、複数個のカ
セツトに収容した多数のウエハを、一括的に同時
に回転させて整列させることができない。作業能
率向上させるためには、可及的に多数のウエハを
一括して処理できることが望ましく、複数個のカ
セツトについて、収容したウエハの整列処理がで
きることが要望されており、これは、たとえばカ
セツトに収容したウエハを処理液に浸漬して表面
処理を行なう場合等に、複数個のカセツト内のウ
エハを、一括してオリエンテーシヨン・フラツト
の向きを整列させ、搬送用カセツトから浸漬用カ
セツトに移しかえることが可能であることが望ま
しいが、上述各先願手段では、この要求に応じる
ことはできない。
能なカセツト個数が一個のみであり、複数個のカ
セツトに収容した多数のウエハを、一括的に同時
に回転させて整列させることができない。作業能
率向上させるためには、可及的に多数のウエハを
一括して処理できることが望ましく、複数個のカ
セツトについて、収容したウエハの整列処理がで
きることが要望されており、これは、たとえばカ
セツトに収容したウエハを処理液に浸漬して表面
処理を行なう場合等に、複数個のカセツト内のウ
エハを、一括してオリエンテーシヨン・フラツト
の向きを整列させ、搬送用カセツトから浸漬用カ
セツトに移しかえることが可能であることが望ま
しいが、上述各先願手段では、この要求に応じる
ことはできない。
本考案は、上述課題を解決する手段を提供する
ものである。
ものである。
本考案装置においては、一対のカセツトの下方
で、ウエハの面に対してほぼ直交するように、軸
受けの両側に対称的に突出し、水平方向に片持ち
支持されて軸回りに回転駆動される一対の主軸
と、各主軸の外面にこれと一体的に、かつ、交換
可能に環装された摩擦係数の大きいスリーブとか
らなる駆動軸を設け、この駆動軸を、ウエハを回
転させるためにカセツト下方の基準位置からカセ
ツトの底部に挿入し、かつ、ウエハの外周縁には
当接するが、オリエンテーシヨン・フラツトを下
方に向いたときにはこれに接触しない高さの第1
の位置と、それから更に上昇してオリエンテーシ
ヨン・フラツトにも接触する高さの第2の位置と
の、二段階に上昇できるようにし、まず、第1の
位置において上述各従来手段に準じてオリエンテ
ーシヨン・フラツトが下方を向くまでウエハを回
転させ、次いで、駆動軸を第2の位置に上昇させ
て、あらかじめ定めた回数だけ回転させる。この
回数は、駆動軸に接触して回転させられるウエハ
が180度回転するように、ウエハと駆動軸の外径
比に応じて選定する。
で、ウエハの面に対してほぼ直交するように、軸
受けの両側に対称的に突出し、水平方向に片持ち
支持されて軸回りに回転駆動される一対の主軸
と、各主軸の外面にこれと一体的に、かつ、交換
可能に環装された摩擦係数の大きいスリーブとか
らなる駆動軸を設け、この駆動軸を、ウエハを回
転させるためにカセツト下方の基準位置からカセ
ツトの底部に挿入し、かつ、ウエハの外周縁には
当接するが、オリエンテーシヨン・フラツトを下
方に向いたときにはこれに接触しない高さの第1
の位置と、それから更に上昇してオリエンテーシ
ヨン・フラツトにも接触する高さの第2の位置と
の、二段階に上昇できるようにし、まず、第1の
位置において上述各従来手段に準じてオリエンテ
ーシヨン・フラツトが下方を向くまでウエハを回
転させ、次いで、駆動軸を第2の位置に上昇させ
て、あらかじめ定めた回数だけ回転させる。この
回数は、駆動軸に接触して回転させられるウエハ
が180度回転するように、ウエハと駆動軸の外径
比に応じて選定する。
第1の位置に上昇した駆動軸を、所要時間回転
駆動することにより、一対のカセツト内の各ウエ
ハは、それぞれオリエンテーシヨン・フラツトが
下方を向く姿勢まで回転する。次いで、駆動軸を
第2の位置まで上昇させて、下方を向いたオリエ
ンテーシヨン・フラツトに当接させ、所定の回数
回転させることにより、各オリエンテーシヨン・
フラツトが上方を向く姿勢に回転させることがで
きる。
駆動することにより、一対のカセツト内の各ウエ
ハは、それぞれオリエンテーシヨン・フラツトが
下方を向く姿勢まで回転する。次いで、駆動軸を
第2の位置まで上昇させて、下方を向いたオリエ
ンテーシヨン・フラツトに当接させ、所定の回数
回転させることにより、各オリエンテーシヨン・
フラツトが上方を向く姿勢に回転させることがで
きる。
また、一対のカセツトに、対応する一対の駆動
軸を下方から挿入し、一対のカセツト内のすべて
のウエハを一括して、それらのオリエンテーシヨ
ン・フラツトを上方を向く姿勢に整列させること
ができる さらに、一対の駆動軸を片持ち式に支持して、
それぞれスリーブを還装してあるので、スリーブ
を容易に着脱することができ、洗浄ないし交換が
きわめて容易である。
軸を下方から挿入し、一対のカセツト内のすべて
のウエハを一括して、それらのオリエンテーシヨ
ン・フラツトを上方を向く姿勢に整列させること
ができる さらに、一対の駆動軸を片持ち式に支持して、
それぞれスリーブを還装してあるので、スリーブ
を容易に着脱することができ、洗浄ないし交換が
きわめて容易である。
第1図は、本考案装置の1実施例の要部断面
図、第2図は、同装置の駆動部の構成を示す斜視
図である。
図、第2図は、同装置の駆動部の構成を示す斜視
図である。
ウエハ1を収容するカセツト6は、前後一対の
面板7を下部が内方へ傾斜した左右一対の側板8
で連接し、函状に形成される。側板8の内面に
は、多数の張出し部9が左右対向して突設し、ウ
エハ1を保持する溝を形成する。面板7の下部の
側板8の外方には、カセツト6を固定するための
受座10が突設してある。
面板7を下部が内方へ傾斜した左右一対の側板8
で連接し、函状に形成される。側板8の内面に
は、多数の張出し部9が左右対向して突設し、ウ
エハ1を保持する溝を形成する。面板7の下部の
側板8の外方には、カセツト6を固定するための
受座10が突設してある。
カセツト座板11は、水平に固定してあり、そ
の上面に適数個の当り12を突設し、カセツト6
がこれに当接して、定位置に載置されるようにし
てある。また、装置の適所に固設した軸受13の
軸14に、上端部にストツパー16を立設したレ
バー15を搖動可能に軸支し、レバー15の中段
に設けたピン17と、カセツト座板11の下面に
垂設したピン18とに架設したスプリング19に
より、レバー15を内方に向けて付勢し、ストツ
パー16がカセツト面板7の受座10を押えて、
カセツト6を固定するように構成する。
の上面に適数個の当り12を突設し、カセツト6
がこれに当接して、定位置に載置されるようにし
てある。また、装置の適所に固設した軸受13の
軸14に、上端部にストツパー16を立設したレ
バー15を搖動可能に軸支し、レバー15の中段
に設けたピン17と、カセツト座板11の下面に
垂設したピン18とに架設したスプリング19に
より、レバー15を内方に向けて付勢し、ストツ
パー16がカセツト面板7の受座10を押えて、
カセツト6を固定するように構成する。
レバー15の下部20は、くの字状に下方に延
伸し、その下端にローラー21を軸示する。この
ローラー21は、後述する第1昇降板25の縁端
部に垂設したカム30の傾斜面30’に当接して
従動し、第1昇降板25が上昇した実線示の位置
では、レバー15が内方に回動してストツパー1
6がカセツト6を固定し、第1昇降板25が下降
した位置では二点鎖線示の如く、レバー15が外
方へ回動して、カセツト6が解放される。
伸し、その下端にローラー21を軸示する。この
ローラー21は、後述する第1昇降板25の縁端
部に垂設したカム30の傾斜面30’に当接して
従動し、第1昇降板25が上昇した実線示の位置
では、レバー15が内方に回動してストツパー1
6がカセツト6を固定し、第1昇降板25が下降
した位置では二点鎖線示の如く、レバー15が外
方へ回動して、カセツト6が解放される。
なお、第1図示実施例では、カセツト6を固定
する手段として、カセツト6の側板8の下部に突
設した受座10をストツパー16で押圧すように
しているが、これは他の手段でもよく、たとえば
面板7の下部に受座を設けるようにしてもよい。
する手段として、カセツト6の側板8の下部に突
設した受座10をストツパー16で押圧すように
しているが、これは他の手段でもよく、たとえば
面板7の下部に受座を設けるようにしてもよい。
次に第2図のおいて、下部に示すベース板22
は装置に固定されており、その上方に第1昇降板
25及び第2昇降板31を重畳して配置する。第
2昇降板31には、適数個のガイド棒24を下方
へ向けて垂設してあり、これからのガイド棒24
は、ベース板22及び第1昇降板25にそれぞれ
嵌設したブツシユ23及び26に挿入される。か
くして、第1及び第2昇降板25,31は、垂直
方向に昇降可能に支持される。
は装置に固定されており、その上方に第1昇降板
25及び第2昇降板31を重畳して配置する。第
2昇降板31には、適数個のガイド棒24を下方
へ向けて垂設してあり、これからのガイド棒24
は、ベース板22及び第1昇降板25にそれぞれ
嵌設したブツシユ23及び26に挿入される。か
くして、第1及び第2昇降板25,31は、垂直
方向に昇降可能に支持される。
第1昇降板25の下面にはU字状のブラケツト
27を設け、ベース板22に取付けた第1エアシ
リンダ28のロツト29を、これに接続する。ま
た、第1昇降板25には、第2エアシリンダ32
を取付け、そのロツト33を第2昇降板31に接
続する。
27を設け、ベース板22に取付けた第1エアシ
リンダ28のロツト29を、これに接続する。ま
た、第1昇降板25には、第2エアシリンダ32
を取付け、そのロツト33を第2昇降板31に接
続する。
かくして、第1エアシリンダ28が作動する
と、第1及び第2昇降板25,31が一体的に昇
降し、一方、第2エアシリンダ32が作動する
と、第2昇降板31のみが昇降する。
と、第1及び第2昇降板25,31が一体的に昇
降し、一方、第2エアシリンダ32が作動する
と、第2昇降板31のみが昇降する。
第1エアシリンダ28の作動ストロークは、前
述の搖動レバー15を、カセツト6を固定する位
置と解放する位置とに回動させるために必要な量
に選定し、また、その上限位置は、第2エアシリ
ンダ32が縮んだ状態で、後述する回動軸36
が、カセツト6内のウエハ1の外縁円周部の下端
には当接するが、オリエンテーシヨン・フラツト
が下方を向いた場合には、これから離間する高さ
になるように選定する。なお、第1エアシリンダ
28が縮んだ状態では、回動軸36はカセツト6
の下方に離間した基準位置に置かれる。
述の搖動レバー15を、カセツト6を固定する位
置と解放する位置とに回動させるために必要な量
に選定し、また、その上限位置は、第2エアシリ
ンダ32が縮んだ状態で、後述する回動軸36
が、カセツト6内のウエハ1の外縁円周部の下端
には当接するが、オリエンテーシヨン・フラツト
が下方を向いた場合には、これから離間する高さ
になるように選定する。なお、第1エアシリンダ
28が縮んだ状態では、回動軸36はカセツト6
の下方に離間した基準位置に置かれる。
一方、第2エアシリンダ32の作動ストローク
は、上記の第1エアシリンダ28による上昇位置
から、さらに回動軸36が、下方を向いたオリエ
ンテーシヨン・フラツトに当接する高さに上昇さ
せる量とする。
は、上記の第1エアシリンダ28による上昇位置
から、さらに回動軸36が、下方を向いたオリエ
ンテーシヨン・フラツトに当接する高さに上昇さ
せる量とする。
第2昇降板31の上面に、一対の軸受板34を
立設し、これに主軸35を回動可能に支承する。
主軸35は、その中央部が軸受板34に支えら
れ、両側に対称的に突出して、片持ち状態に支持
される。主軸35の軸受板34から突出した部分
には、それぞれ円筒状のスリーブ36を嵌着し、
両端部に設けたネジに環状ナツト37を螺着し
て、スリーブ36の抜け止めとし、かつ、スリー
ブ36の適所にピン38を挿通して、スリーブ3
6を主軸35と一体的に回転させる。
立設し、これに主軸35を回動可能に支承する。
主軸35は、その中央部が軸受板34に支えら
れ、両側に対称的に突出して、片持ち状態に支持
される。主軸35の軸受板34から突出した部分
には、それぞれ円筒状のスリーブ36を嵌着し、
両端部に設けたネジに環状ナツト37を螺着し
て、スリーブ36の抜け止めとし、かつ、スリー
ブ36の適所にピン38を挿通して、スリーブ3
6を主軸35と一体的に回転させる。
一対の主軸35は、軸受板34から片持ち式に
突出して支持されており、スリーブ36を主軸3
5の遊端から嵌挿して装着してあるため、環状ナ
ツト37とピン38を外すと、スリーブ36を主
軸35から抜取って、取り外すことができる。す
なわち、直径の異なるスリーブを交換して使用す
ること、あるいは傷がついたりもしくは汚れたス
リーブを新品と交換もしくは洗浄をすることが、
きわめて簡易に行える。
突出して支持されており、スリーブ36を主軸3
5の遊端から嵌挿して装着してあるため、環状ナ
ツト37とピン38を外すと、スリーブ36を主
軸35から抜取って、取り外すことができる。す
なわち、直径の異なるスリーブを交換して使用す
ること、あるいは傷がついたりもしくは汚れたス
リーブを新品と交換もしくは洗浄をすることが、
きわめて簡易に行える。
スリーブ36は、たとえば硬質ゴム等の比較的
摩擦係数が大きく、かつ、ウエハに当接する際に
ウエハを損傷するおそれが少ない材質を使用す
る。また、スリーブの長さは、適用対象のカセツ
トに応じて定められ、少なくともカセツトに収容
可能な最大枚数のウエハを、同時に回転させるこ
とができる寸法とする。
摩擦係数が大きく、かつ、ウエハに当接する際に
ウエハを損傷するおそれが少ない材質を使用す
る。また、スリーブの長さは、適用対象のカセツ
トに応じて定められ、少なくともカセツトに収容
可能な最大枚数のウエハを、同時に回転させるこ
とができる寸法とする。
軸受板34の間の主軸35に設けられたプリー
39と、その下方で軸受板34に支承された中間
軸41に設けられたプリー42とに、ベルト40
を架装する。中間軸41の両端は、軸受板34の
外方へ突出し、そこにそれぞれプリー43及び回
転数計測用デイスク47を嵌着する。
39と、その下方で軸受板34に支承された中間
軸41に設けられたプリー42とに、ベルト40
を架装する。中間軸41の両端は、軸受板34の
外方へ突出し、そこにそれぞれプリー43及び回
転数計測用デイスク47を嵌着する。
プリー43と、第2昇降板31の適所に取付け
た減速機つきモーター45の出力軸に設けたプリ
ー46とに、ベルト44を架装し、モーター45
の回転を中間軸41を介して、主軸35に伝達す
る。
た減速機つきモーター45の出力軸に設けたプリ
ー46とに、ベルト44を架装し、モーター45
の回転を中間軸41を介して、主軸35に伝達す
る。
一方、中間軸41の一端に設けたデイスク47
は、その周縁上の一部に切欠き47aが形成して
あり、この周縁部を挟んで、U字状ホルダー48
を設置し、これに光源49及び光電素子50を対
向して装着し、デイスク47が1回転するごとに
光電素子50から電気信号パルスが発生するよう
に構成する。
は、その周縁上の一部に切欠き47aが形成して
あり、この周縁部を挟んで、U字状ホルダー48
を設置し、これに光源49及び光電素子50を対
向して装着し、デイスク47が1回転するごとに
光電素子50から電気信号パルスが発生するよう
に構成する。
次に上述構成の図示装置の作動を、第3図によ
り説明する。
り説明する。
まず、所要のウエハ1を収容した一対のカセツ
ト6を、カセツト受座11の所定個所に載置す
る。この場合、各ウエハにおけるオリエンテーシ
ヨン・フラツトの向きは、通常ランダムであり、
一定していない。
ト6を、カセツト受座11の所定個所に載置す
る。この場合、各ウエハにおけるオリエンテーシ
ヨン・フラツトの向きは、通常ランダムであり、
一定していない。
第1エアシリンダ28を作動させて、2つの昇
降板25及び31を一体的に上昇させ、一対の主
軸35に被着した一対のスリーブ36を、鎖線示
の基準位置から上昇させて、その外周面を対応す
る一対のカセツト6内に保持されたウエハ1の外
周下端部に当接させる。この場合、ウエハがカセ
ツト内の保持位置からやや持ち上げられた状態に
なるように、第1エアシリンダ28の作動ストロ
ークの上限位置を設定することが望ましい。
降板25及び31を一体的に上昇させ、一対の主
軸35に被着した一対のスリーブ36を、鎖線示
の基準位置から上昇させて、その外周面を対応す
る一対のカセツト6内に保持されたウエハ1の外
周下端部に当接させる。この場合、ウエハがカセ
ツト内の保持位置からやや持ち上げられた状態に
なるように、第1エアシリンダ28の作動ストロ
ークの上限位置を設定することが望ましい。
(第3図 A)
次いでモーター45を駆動し、一対のスリーブ
36を一対の主軸35とともに回転させると、こ
れに当接している各ウエハ1は、スリーブ36に
従動し逆向きに回転する。そして、それぞれのウ
エハのオリエンテーシヨン・フラツト2が下方に
向いた姿勢まで回転すると、スリーブ36がウエ
ハの外縁から離問するため、ウエハ1の回転は停
止する。(第3図 B) カセツト内のウエハを、すべてオリエンテーシ
ヨン・フラツトが下方を向いた姿勢に整列させる
ために、この段階では、少なくともウエハが1回
転するに足るだけの時間、モーター45が駆動さ
れるように適宜のタイマー手段等を使用して、モ
ーター45を制御する。あるいは後述する第2の
位置での回転回数制御と同様に、デイスク47と
光電装置49,50による電気信号パルスを計数
して、所要回数回転させるようにしてもよい。
36を一対の主軸35とともに回転させると、こ
れに当接している各ウエハ1は、スリーブ36に
従動し逆向きに回転する。そして、それぞれのウ
エハのオリエンテーシヨン・フラツト2が下方に
向いた姿勢まで回転すると、スリーブ36がウエ
ハの外縁から離問するため、ウエハ1の回転は停
止する。(第3図 B) カセツト内のウエハを、すべてオリエンテーシ
ヨン・フラツトが下方を向いた姿勢に整列させる
ために、この段階では、少なくともウエハが1回
転するに足るだけの時間、モーター45が駆動さ
れるように適宜のタイマー手段等を使用して、モ
ーター45を制御する。あるいは後述する第2の
位置での回転回数制御と同様に、デイスク47と
光電装置49,50による電気信号パルスを計数
して、所要回数回転させるようにしてもよい。
次いで、第2エアシリンダ32を作動させて、
第2昇降板31を上昇させ、一対のスリーブ36
を下向きに整列したオリエンテーシヨン・フラツ
ト2に当接させ、モーター45を再起動して、各
ウエハ1を回転させる。(第3図 C) この回転駆動は、下向きに整列したオリエンテ
ーシヨン・フラツトが上向きになるように、ウエ
ハを180度回転させるものであるので、スリーブ
36とウエハ1との直径比で定まる所要回数だ
け、主軸35を回転させる。そために、中間軸4
1に付設したデイスク47と光電装置49,50
により、光電装置が発生する電気信号パルスを計
数して、主軸35の回転回数を計測し、所要回数
だけ回転した時に、モーター45を停止させる。
(第3図 D) この所要回転回数は、次式により求められるこ
とは、容易に理解できよう。
第2昇降板31を上昇させ、一対のスリーブ36
を下向きに整列したオリエンテーシヨン・フラツ
ト2に当接させ、モーター45を再起動して、各
ウエハ1を回転させる。(第3図 C) この回転駆動は、下向きに整列したオリエンテ
ーシヨン・フラツトが上向きになるように、ウエ
ハを180度回転させるものであるので、スリーブ
36とウエハ1との直径比で定まる所要回数だ
け、主軸35を回転させる。そために、中間軸4
1に付設したデイスク47と光電装置49,50
により、光電装置が発生する電気信号パルスを計
数して、主軸35の回転回数を計測し、所要回数
だけ回転した時に、モーター45を停止させる。
(第3図 D) この所要回転回数は、次式により求められるこ
とは、容易に理解できよう。
N=D/2d
ただし N:所要回転回数
D:ウエハの直径
d:スリーブの直径
なお、図示実施例では、主軸35と中間軸41
に付設したプリー39及び42の直径を同一とし
ているので、両者の回転数は同一となる。したが
って、デイスク47と光電装置による主軸35の
回転制御は、デイスクに設けた切欠き部47aが
1か所だけである場合は、整数値の回転数に限ら
れ、ウエハ1を正確に180度回転させるためには、
ウエハの外周長さの1/2がスリーブ36の外周長
さの整数倍になるように、スリーブ36の直径を
設定しなければならない。
に付設したプリー39及び42の直径を同一とし
ているので、両者の回転数は同一となる。したが
って、デイスク47と光電装置による主軸35の
回転制御は、デイスクに設けた切欠き部47aが
1か所だけである場合は、整数値の回転数に限ら
れ、ウエハ1を正確に180度回転させるためには、
ウエハの外周長さの1/2がスリーブ36の外周長
さの整数倍になるように、スリーブ36の直径を
設定しなければならない。
これは、前述のように、主軸35の先端に螺着
した環状ナツト37と、スリーブ36を主軸35
に固着しているピン38とを外することにより、
スリーブ36を容易に主軸35から離脱させるこ
とができるので、所要直径のスリーブを複数組用
意しておいて、適宜交換して装着すればよい。
した環状ナツト37と、スリーブ36を主軸35
に固着しているピン38とを外することにより、
スリーブ36を容易に主軸35から離脱させるこ
とができるので、所要直径のスリーブを複数組用
意しておいて、適宜交換して装着すればよい。
あるいは、主軸35と中間軸41とのプリー3
9及び41の直径比を適切に選定することによっ
て、主軸35の回動量をウエハの外周長さに応じ
て制御するようにしてもよいが、装置の構造上、
プリーよりもスリーブの方が交換容易であり、ス
リーブの交換で対応する方が実用的である。
9及び41の直径比を適切に選定することによっ
て、主軸35の回動量をウエハの外周長さに応じ
て制御するようにしてもよいが、装置の構造上、
プリーよりもスリーブの方が交換容易であり、ス
リーブの交換で対応する方が実用的である。
なお、前述した第1の位置における回転制御
を、タイマ手段でなく第2の位置と同様にパルス
計数によって行う場合の所要回転回数を「N1」
とすると、 N1=D/d とすればよいことは、云うまでもない。
を、タイマ手段でなく第2の位置と同様にパルス
計数によって行う場合の所要回転回数を「N1」
とすると、 N1=D/d とすればよいことは、云うまでもない。
かくして、カセツト6に収容されているウエハ
1のすべてについてオリエンテーシヨン・フラツ
トが上方を向いた姿勢に整列させた後、第1及び
第2エアシリンダ28,32を作動させて、第1
及び第2昇降板25,31を下降させる。これに
より、レバー15が外方へ回動して、ストツパー
15はカセツト6の受座110から離れ、カセツ
ト6を解放する。しかる後、カセツト6をカセツ
ト座板11から取外し、次段の処理工程に送る。
1のすべてについてオリエンテーシヨン・フラツ
トが上方を向いた姿勢に整列させた後、第1及び
第2エアシリンダ28,32を作動させて、第1
及び第2昇降板25,31を下降させる。これに
より、レバー15が外方へ回動して、ストツパー
15はカセツト6の受座110から離れ、カセツ
ト6を解放する。しかる後、カセツト6をカセツ
ト座板11から取外し、次段の処理工程に送る。
(1)下方を向いて整列したオリエンテーシヨ
ン・フラツトを、上方に向けて一括的に180度
回転させるに際して、従来技術のように、ウエ
ハを収容したカセツトごと回転させたり、ある
いは直径の異なるローラーを交換して使用する
等の、複雑な機構を必要としない。
ン・フラツトを、上方に向けて一括的に180度
回転させるに際して、従来技術のように、ウエ
ハを収容したカセツトごと回転させたり、ある
いは直径の異なるローラーを交換して使用する
等の、複雑な機構を必要としない。
(2)ウエハを回転させるための駆動軸は、片持
ち構造の主軸にスリーブを嵌着しものであるた
め、直径の異なるスリーブを容易に交換して適
用することができ、規格の異なる各種のウエハ
について、汎用的に使用できる。
ち構造の主軸にスリーブを嵌着しものであるた
め、直径の異なるスリーブを容易に交換して適
用することができ、規格の異なる各種のウエハ
について、汎用的に使用できる。
(3)スリーブが容易に着脱できるため、傷つい
た場合等に新品との交換が容易であり、また、
汚れた場合に容易に取外して洗浄することがで
きる。
た場合等に新品との交換が容易であり、また、
汚れた場合に容易に取外して洗浄することがで
きる。
第1図は、本考案の1実施例の要部断面図、第
2図は、同装置の駆動部を示す斜視図、第3図
は、本考案装置の作動を示す説明図、第4図は、
カセツトからウエハを取り出す手段を示す概略
図、である。 1……ウエハ、2……オリエンテーシヨン・フ
ラツト、3……カセツト、4……リフター、5…
…搬送用クリツプ、6……カセツト、7……面
板、8……側板、9……張出し部、10……受
座、11……カセツト座板、12……位置決め当
たり、13……軸受、15レバー、16……スト
ツパ、17,18……ピン、19……スプリン
グ、21……カムローラー、22……ベース板、
24……ガイド板、25……第1昇降板、27…
…ブラケツト、28……第1エアシリンダ、30
……カム、31……第2昇降板、32……第2エ
アシリンダ、34……軸受板、35……主軸、3
6……スリーブ、37……環状ナツト、38……
ピン、41……中間軸、45……モーター。
2図は、同装置の駆動部を示す斜視図、第3図
は、本考案装置の作動を示す説明図、第4図は、
カセツトからウエハを取り出す手段を示す概略
図、である。 1……ウエハ、2……オリエンテーシヨン・フ
ラツト、3……カセツト、4……リフター、5…
…搬送用クリツプ、6……カセツト、7……面
板、8……側板、9……張出し部、10……受
座、11……カセツト座板、12……位置決め当
たり、13……軸受、15レバー、16……スト
ツパ、17,18……ピン、19……スプリン
グ、21……カムローラー、22……ベース板、
24……ガイド板、25……第1昇降板、27…
…ブラケツト、28……第1エアシリンダ、30
……カム、31……第2昇降板、32……第2エ
アシリンダ、34……軸受板、35……主軸、3
6……スリーブ、37……環状ナツト、38……
ピン、41……中間軸、45……モーター。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一対の側板に対向して多数組の垂直方向の溝
を刻設したカセツトに収容したウエハのオリエ
ンテーシヨン・フラツトを、上方に向けて整列
させる半導体ウエハの整列装置において、 一対のカセツトの下方で、ウエハの面に対し
てほぼ直交するように、軸受の両側に対称的に
突出し、水平方向に片持ち式に支持されて軸回
りに回転駆動される一対の主軸と、 各主軸の外面にこれと一体的に、かつ、交換
可能に還装された摩擦係数の大きい一対のスリ
ーブとからなる駆動軸と、 前記駆動軸を、対応する一対のカセツト内の
各ウエハの外周縁の下端に当接し、かつ、オリ
エンテーシヨン・フラツトが下方に向いたとき
には、これに接触しない第1の位置と、下方に
向いたオリエンテーシヨン・フラツトに当接す
る第2の位置との、2段階の高さにカセツトの
底部に挿入する駆動軸昇降手段と、 前記第1の位置に上昇した駆動軸を、該駆動
軸の回転に従動するウエハが少なくとも1回転
する期間駆動し、次いで、前記第2の位置に上
昇した駆動軸を、従動するウエハが180度回転
する期間駆動する駆動装置と、よりなることを
特徴とする半導体ウエハの整列装置。 (2) 一対のカセツトを、駆動軸上方の所定の位置
に位置決めをする位置決め機構を備える請求項
1記載の半導体ウエハの整列装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989127927U JPH0311889Y2 (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989127927U JPH0311889Y2 (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0263540U JPH0263540U (ja) | 1990-05-11 |
JPH0311889Y2 true JPH0311889Y2 (ja) | 1991-03-20 |
Family
ID=31380799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989127927U Expired JPH0311889Y2 (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0311889Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5821352A (ja) * | 1981-07-29 | 1983-02-08 | Toshiba Corp | 半導体ウエハの方向決め方式 |
-
1989
- 1989-11-02 JP JP1989127927U patent/JPH0311889Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5821352A (ja) * | 1981-07-29 | 1983-02-08 | Toshiba Corp | 半導体ウエハの方向決め方式 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0263540U (ja) | 1990-05-11 |
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