JPH03118453A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPH03118453A JPH03118453A JP25661789A JP25661789A JPH03118453A JP H03118453 A JPH03118453 A JP H03118453A JP 25661789 A JP25661789 A JP 25661789A JP 25661789 A JP25661789 A JP 25661789A JP H03118453 A JPH03118453 A JP H03118453A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse
- width
- image signal
- flaw
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 22
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 12
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
及肛尖旦狗
[産業上の利用分野]
本発明は表面検査装置に関し、詳しくは被検査物の表面
を撮像し、その走査毎に得られる画像信号の波形に基づ
いて被検査物表面の欠陥部を検出する表面検査装置に関
する。
を撮像し、その走査毎に得られる画像信号の波形に基づ
いて被検査物表面の欠陥部を検出する表面検査装置に関
する。
[従来の技術]
従来のこの種の表面検査装置として、例えば金属板を移
送しながらその表面を一次元のCCDカメラで撮像し、
CCDカメラが走査毎に出力する画像信号の波形に基づ
いて表面の低 汚れ等の欠陥部を検出する装置がある。
送しながらその表面を一次元のCCDカメラで撮像し、
CCDカメラが走査毎に出力する画像信号の波形に基づ
いて表面の低 汚れ等の欠陥部を検出する装置がある。
この構成では金属板の表面に傷があれ(戯 画像信号1
:、第6図(A)に示すようなパルスPが傷の幅に対応
する幅で現れる。従来装置ではこの画像信号をさらに微
分し、第6図(B)に示すように微分信号に対して所定
のしきい値SLをかけて、微分信号のパルスDPの幅W
を測定することにより、傷の幅を推定し、所定幅以上の
ものを欠陥部として検出するという構成を備えてい翫 従来装置がこのように微分信号に基づいて欠陥部を検出
する構成とされていたの(よ この金属板の表面検査の
ように被検査物を移送しながら検査を行なう装置では雑
音の影響が大きいため、画像信号に対して単にしきい値
をかける構成は適用できないからである。雑音には例え
ば移送に伴う金属板表面とCODカメラとの距離の変動
や、表面の面質の微妙な相違などによって発生する直流
成分の雑音があるが、こうした雑音の影響により画像信
号のレベルが変化すれI−j、 画像信号にしきい値
をかけても傷の存在そのものの検出さえ困難になり、傷
の幅から欠陥部を検出することは側底できなくなってし
まう。
:、第6図(A)に示すようなパルスPが傷の幅に対応
する幅で現れる。従来装置ではこの画像信号をさらに微
分し、第6図(B)に示すように微分信号に対して所定
のしきい値SLをかけて、微分信号のパルスDPの幅W
を測定することにより、傷の幅を推定し、所定幅以上の
ものを欠陥部として検出するという構成を備えてい翫 従来装置がこのように微分信号に基づいて欠陥部を検出
する構成とされていたの(よ この金属板の表面検査の
ように被検査物を移送しながら検査を行なう装置では雑
音の影響が大きいため、画像信号に対して単にしきい値
をかける構成は適用できないからである。雑音には例え
ば移送に伴う金属板表面とCODカメラとの距離の変動
や、表面の面質の微妙な相違などによって発生する直流
成分の雑音があるが、こうした雑音の影響により画像信
号のレベルが変化すれI−j、 画像信号にしきい値
をかけても傷の存在そのものの検出さえ困難になり、傷
の幅から欠陥部を検出することは側底できなくなってし
まう。
これに対し従来装置が備える構成では、画像信号の雑音
が除去されかつS/N比が高められた微分信号のパルス
幅Wから欠陥部を判断するから、欠陥部を比較的良好に
検出することができん[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記構成では微分信号に基づいて検出を
行なっているので、傷等の幅を正確に測定できず、欠陥
部の検出を誤る場合があるという問題があった 微分信
号のパルスの幅Wは画像信号に形成されたパルスPの波
形の傾きが反映されるものであって、画像信号のパルス
の幅に対応して形成されるものではないからである。微
分信号のパルスの幅を検出しても傷等の幅を正確に測定
できないのである。
が除去されかつS/N比が高められた微分信号のパルス
幅Wから欠陥部を判断するから、欠陥部を比較的良好に
検出することができん[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記構成では微分信号に基づいて検出を
行なっているので、傷等の幅を正確に測定できず、欠陥
部の検出を誤る場合があるという問題があった 微分信
号のパルスの幅Wは画像信号に形成されたパルスPの波
形の傾きが反映されるものであって、画像信号のパルス
の幅に対応して形成されるものではないからである。微
分信号のパルスの幅を検出しても傷等の幅を正確に測定
できないのである。
本発明の表面検査装置は上記課題を解決し、欠陥部検出
精度の向上を図ることを目的とする。
精度の向上を図ることを目的とする。
λ肝公盗滅
かかる目的を達成する本発明の構成について以下説明す
る。
る。
[課題を解決するための手段]
本発明の表面検査装置は、
被検査物の表面を撮像し、その走査毎に得られる画像信
号の波形に基づいて前記被検査物表面の欠陥部を検出す
る表面検査装置において、前記走査毎に得られる画像信
号を微分する微分手段と、 該微分された信号の正方向のパルスおよび負方向のパル
スを検出するパルス検出手段と、該検出された正方向の
パルスおよび負方向のパルスのずれに基づいて前記欠陥
部を検出する欠陥部検出手段と を備えることを特徴とする。
号の波形に基づいて前記被検査物表面の欠陥部を検出す
る表面検査装置において、前記走査毎に得られる画像信
号を微分する微分手段と、 該微分された信号の正方向のパルスおよび負方向のパル
スを検出するパルス検出手段と、該検出された正方向の
パルスおよび負方向のパルスのずれに基づいて前記欠陥
部を検出する欠陥部検出手段と を備えることを特徴とする。
[作用]
上記構成を有する本発明の表面検査装置1.t、走査毎
に得られる画像信号を微分手段が微分し、微分された信
号の正方向のパルスおよび負方向のパルスをパルス検出
手段が検出する。ここでパルス検出手段が検出する正方
向のパルスおよび負方向のパルス1表 被検査物表面の
傷や汚れの存在によって画像信号に現れるパルスの立ち
上がり成分および立ち下がり成分によって生ずるもので
ある。
に得られる画像信号を微分手段が微分し、微分された信
号の正方向のパルスおよび負方向のパルスをパルス検出
手段が検出する。ここでパルス検出手段が検出する正方
向のパルスおよび負方向のパルス1表 被検査物表面の
傷や汚れの存在によって画像信号に現れるパルスの立ち
上がり成分および立ち下がり成分によって生ずるもので
ある。
本発明の構成では、欠陥部検出手段がこれらのパルスの
すね 即ち画像信号のパルスの幅に直接関連する要素に
基づいて欠陥部を検出する。
すね 即ち画像信号のパルスの幅に直接関連する要素に
基づいて欠陥部を検出する。
[実施例]
以上説明した本発明の構成・作用を一層明らかにするた
めに、以下本発明の表面検査装置の好適な実施例につい
て説明する。第1図は本発明一実施例としての表面検査
装置の構成図である。
めに、以下本発明の表面検査装置の好適な実施例につい
て説明する。第1図は本発明一実施例としての表面検査
装置の構成図である。
この表面検査装置(上 第1図に示すように金属板表面
を検査するもので、移送される金属板の表面Sを幅方向
に亘って撮像するCCDカメラ1と、金属板表面を照ら
す光源3と、CCDカメラ]の出力に基づいて欠陥部を
検出する制御装置5とからなる。
を検査するもので、移送される金属板の表面Sを幅方向
に亘って撮像するCCDカメラ1と、金属板表面を照ら
す光源3と、CCDカメラ]の出力に基づいて欠陥部を
検出する制御装置5とからなる。
CODカメラ]は一次元のカメラであって、走査毎に金
属板表面の輝度に対応したアナログの画像信号を出力す
るものである。電荷蓄積時間(よCCDカメラ自体の調
節機構または制御装置5がらの指令値に基づき変更でき
るようにされている。
属板表面の輝度に対応したアナログの画像信号を出力す
るものである。電荷蓄積時間(よCCDカメラ自体の調
節機構または制御装置5がらの指令値に基づき変更でき
るようにされている。
制御装置5(表 第2図にその構成を示すように、CC
Dカメラ1が出力する画像信号を前処理するアナログ回
路7および論理回路9と、前処理されたデータに基づい
て欠陥部の検出処理を行なうマイクロコンピュータ11
とを備える。
Dカメラ1が出力する画像信号を前処理するアナログ回
路7および論理回路9と、前処理されたデータに基づい
て欠陥部の検出処理を行なうマイクロコンピュータ11
とを備える。
アナログ回路71LCCDカメラ1に接続されてCCD
カメラ1が出力した画像信号を増幅するアンプ13と、
アンプ13に接続されてアンプ13が増幅した画像信号
を微分する微分回路]5とからなる。
カメラ1が出力した画像信号を増幅するアンプ13と、
アンプ13に接続されてアンプ13が増幅した画像信号
を微分する微分回路]5とからなる。
微分回路]5の出力端に接続した論理回路9は、微分回
路15の出力線に並列に接続した2個のコンパレータ1
7,19と、コンパレータ17の出力線をセット端子に
接続したフリップフロップ21と、フリップフロップ2
1の出力線に接続したカウンタ23とを備えている。こ
の論理回路9はさらに誤動作防止の回路として、コンパ
レータ]9の出力線を入力側に接続したオア回路25と
、オア回路25ならびにコンパレータ17の間に接続し
たリセットパルス発生回路27とを備えている。コンパ
レータ19およびリセットパルス発生回路27を接続し
たオア回路25の出力線(表 フリップフロップ2]の
リセット端子に接続されている。
路15の出力線に並列に接続した2個のコンパレータ1
7,19と、コンパレータ17の出力線をセット端子に
接続したフリップフロップ21と、フリップフロップ2
1の出力線に接続したカウンタ23とを備えている。こ
の論理回路9はさらに誤動作防止の回路として、コンパ
レータ]9の出力線を入力側に接続したオア回路25と
、オア回路25ならびにコンパレータ17の間に接続し
たリセットパルス発生回路27とを備えている。コンパ
レータ19およびリセットパルス発生回路27を接続し
たオア回路25の出力線(表 フリップフロップ2]の
リセット端子に接続されている。
2個のコンパレータ17,19のうち一方のコンパレー
タ17(よ その演算増幅器の(+)端子に微分回路1
5の出力線が接続さ札(−)端子に基準電圧Vref(
+)が接続されている。他方のコンパレータ19(よ
その演算増幅器の(−)端子に微分回路15の出力線が
接続さね(+)端子に基準電圧Vref(−)が接続さ
れている。
タ17(よ その演算増幅器の(+)端子に微分回路1
5の出力線が接続さ札(−)端子に基準電圧Vref(
+)が接続されている。他方のコンパレータ19(よ
その演算増幅器の(−)端子に微分回路15の出力線が
接続さね(+)端子に基準電圧Vref(−)が接続さ
れている。
フリップフロップ21に接続されたカウンタ23(よ
入力信号が「H」信号となっている時が加算処理を行な
うものである。
入力信号が「H」信号となっている時が加算処理を行な
うものである。
誤動作防止回路として備えられたリセットパルス発生回
路27(よ コンパレータ17の出力線を接続したもの
であり、パルスの入力によりセットさね 所定時間経過
後にリセットパルスを発生する。セットからパルス発生
に要する時間(よ 備えられた調整機構によって設定さ
れる。このリセットパルス発生回路27の出力線はオア
回路25に接続されている。
路27(よ コンパレータ17の出力線を接続したもの
であり、パルスの入力によりセットさね 所定時間経過
後にリセットパルスを発生する。セットからパルス発生
に要する時間(よ 備えられた調整機構によって設定さ
れる。このリセットパルス発生回路27の出力線はオア
回路25に接続されている。
従って、以上の論理回路の構成ではコンパレータ17は
所定の大きさ以上の正方向のパルス入力によって方形の
パルスを出力してフリップフロップ21をセットする。
所定の大きさ以上の正方向のパルス入力によって方形の
パルスを出力してフリップフロップ21をセットする。
コンパレータ19は所定の大きさ以上の負方向のパルス
入力によって方形のパルスを出力し、先にセットされた
フリップフロップ21をリセットする。
入力によって方形のパルスを出力し、先にセットされた
フリップフロップ21をリセットする。
制御装置5のマイクロコンピュータ11(上 周知のC
PU、 ROM、 RAM等を内蔵するものである
。その入力ポートにカウンタ23の出力線が接続されて
いる。このマイクロコンピュータ11fiROMに記憶
されたプログラムを実行することにより、所定の機構
ここでは欠陥部の検出処理を実現する。
PU、 ROM、 RAM等を内蔵するものである
。その入力ポートにカウンタ23の出力線が接続されて
いる。このマイクロコンピュータ11fiROMに記憶
されたプログラムを実行することにより、所定の機構
ここでは欠陥部の検出処理を実現する。
こうして構成した実施例の表面検査装置(友 金属板を
移送しながら表面SをCCDカメラ1で順次撮像し、検
査を行なう。CCDカメラ1が走査毎に出力する画像信
号(上 第3図(A)に示すようなアナログ信号である
。金属板の表面Sに傷や汚れなどがあれlf、画像信号
には傷等の幅に対応する幅でパルスPが形成される。こ
の画像信号はアンプ13により、第3図(B)に示すよ
うに増幅さ札 続いて微分回路15により第3図(C)
に示すように微分される。この過程で直流成分の雑音が
除去さis/N比の高い微分信号が得られる。微分信号
に(上 画像信号のパルスPの立ち上がり成分により正
方向の急峻なパルスDPIが形成さ札 パルスPの立ち
下がり成分により負方向の急峻なパルスDP2が形成さ
れる。
移送しながら表面SをCCDカメラ1で順次撮像し、検
査を行なう。CCDカメラ1が走査毎に出力する画像信
号(上 第3図(A)に示すようなアナログ信号である
。金属板の表面Sに傷や汚れなどがあれlf、画像信号
には傷等の幅に対応する幅でパルスPが形成される。こ
の画像信号はアンプ13により、第3図(B)に示すよ
うに増幅さ札 続いて微分回路15により第3図(C)
に示すように微分される。この過程で直流成分の雑音が
除去さis/N比の高い微分信号が得られる。微分信号
に(上 画像信号のパルスPの立ち上がり成分により正
方向の急峻なパルスDPIが形成さ札 パルスPの立ち
下がり成分により負方向の急峻なパルスDP2が形成さ
れる。
この微分信号は2つのコンパレータ17,19に入力さ
れる。第3図(D)に示すようにコンパレータ17が最
初1:、正方向のパルスDPIの入力によりパルスを出
力し、第3図(F)に示すようにフリップフロップ21
をセットする。これにより、第3図(G)に示すよう1
ニカウンタ23は計数を開始する。
れる。第3図(D)に示すようにコンパレータ17が最
初1:、正方向のパルスDPIの入力によりパルスを出
力し、第3図(F)に示すようにフリップフロップ21
をセットする。これにより、第3図(G)に示すよう1
ニカウンタ23は計数を開始する。
微小時間経過後、−コンパレータ19が微分信号の負方
向のパルスDP2の入力により、第3図(E)に示すよ
うにパルスを出力する。このパルスはオア回路25を介
してフリップフロップ21に入力し、第3図(F)に示
すようにフリップフロップ21をリセットする。この結
果、第3図(G)二示すようにカウンタ23は計数を終
了する。
向のパルスDP2の入力により、第3図(E)に示すよ
うにパルスを出力する。このパルスはオア回路25を介
してフリップフロップ21に入力し、第3図(F)に示
すようにフリップフロップ21をリセットする。この結
果、第3図(G)二示すようにカウンタ23は計数を終
了する。
こうしてカウンタ23が計数を終了すると、マイクロコ
ンピュータ11は欠陥部検出処理を行なう。この処理(
表 第4図のフローチャートにその例を示すように、ま
ず、計数が終了したカウンタの計数値の読み込み処理(
ステップ100)it行ない、読み込んだ計数値から微
分信号の正方向のパルスおよび負方向のパルスのずれを
表す到達時間の差を算出する処理(ステップ110)を
行なう。続いて、算出した時間差から金属板表面の傷や
汚れの幅を算出し、幅が所定値以上の傷や汚れは欠陥部
として検出する処理(ステップ120)を行なう。最後
にカウンタ23にリセット信号の出力処理(ステップ1
30)や検査結果を表示するための処理(ステップ14
0)などを行ない、一連の処理を一旦終了する。
ンピュータ11は欠陥部検出処理を行なう。この処理(
表 第4図のフローチャートにその例を示すように、ま
ず、計数が終了したカウンタの計数値の読み込み処理(
ステップ100)it行ない、読み込んだ計数値から微
分信号の正方向のパルスおよび負方向のパルスのずれを
表す到達時間の差を算出する処理(ステップ110)を
行なう。続いて、算出した時間差から金属板表面の傷や
汚れの幅を算出し、幅が所定値以上の傷や汚れは欠陥部
として検出する処理(ステップ120)を行なう。最後
にカウンタ23にリセット信号の出力処理(ステップ1
30)や検査結果を表示するための処理(ステップ14
0)などを行ない、一連の処理を一旦終了する。
以上説明したようにしてこの装置は欠陥部を検出するが
、この検出の風 誤動作防止回路は以下二説明する状況
においてこの検査装置の誤動作を防止する。
、この検出の風 誤動作防止回路は以下二説明する状況
においてこの検査装置の誤動作を防止する。
傷の構造や汚れの種類によって法 第5図(C)に示す
ように微分信号に形成される負方向のパルスDP2のレ
ベルが小さく、コンパレータ]9がパルスを出力しない
場合がある。このままではフッツブフロップ21がリセ
ットされず、カウンタ23が計数を継続する。こうした
状況において、第5図(A)に示すように、もし−走査
中の画像信号に2個目の傷によるパルスP2が存在すれ
fi微分信号に形成される2個目の負方向のパルスDP
4によってコンパレータ19がパルスを出力し、フリッ
プフロップ2]をリセットすることになる。
ように微分信号に形成される負方向のパルスDP2のレ
ベルが小さく、コンパレータ]9がパルスを出力しない
場合がある。このままではフッツブフロップ21がリセ
ットされず、カウンタ23が計数を継続する。こうした
状況において、第5図(A)に示すように、もし−走査
中の画像信号に2個目の傷によるパルスP2が存在すれ
fi微分信号に形成される2個目の負方向のパルスDP
4によってコンパレータ19がパルスを出力し、フリッ
プフロップ2]をリセットすることになる。
これではカウンタ23の計数値が極めて大きくなり、マ
イクロコンピュータ1]が過大な欠陥部を検出したと誤
った判断をしてしまう。
イクロコンピュータ1]が過大な欠陥部を検出したと誤
った判断をしてしまう。
この表面検査装置で(表 第5図(D)に示すようにコ
ンパレータ17が時刻t1に一番目の正方向のパルスD
PIに基づいて出力したパルス+Lフリップフロップ2
1の(a リセットパルス発生回路27にも入力され
る。リセットパルス発生回路27はこうしてセット状態
となり、第5図(F)に示すように所定時間経過後の時
刻t2にはリセットパルスを発生する。発生したリセッ
トパルスはオア回路25を介してフリップフロップ21
に入力し、フリップフロップ21をリセットする。
ンパレータ17が時刻t1に一番目の正方向のパルスD
PIに基づいて出力したパルス+Lフリップフロップ2
1の(a リセットパルス発生回路27にも入力され
る。リセットパルス発生回路27はこうしてセット状態
となり、第5図(F)に示すように所定時間経過後の時
刻t2にはリセットパルスを発生する。発生したリセッ
トパルスはオア回路25を介してフリップフロップ21
に入力し、フリップフロップ21をリセットする。
この結果、カウンタ23は計数を停止する。
こうした構成によれ(f、2番目の欠陥以前にフッツブ
フロップ21がリセットさね マイクロコンピュータ1
1が過大な欠陥部を検出するという誤判断は行なわない
。また、これにより、第5図(G)に示すよう1:、フ
リップフロップ21(よ微分信号の2番目のパルスの組
DP3.DP4に基づいてセットおよびリセットがなさ
れるから、2番目の傷についてマイクロコンピュータ1
1が正常な判断を行なうことができる。
フロップ21がリセットさね マイクロコンピュータ1
1が過大な欠陥部を検出するという誤判断は行なわない
。また、これにより、第5図(G)に示すよう1:、フ
リップフロップ21(よ微分信号の2番目のパルスの組
DP3.DP4に基づいてセットおよびリセットがなさ
れるから、2番目の傷についてマイクロコンピュータ1
1が正常な判断を行なうことができる。
以上説明したようにこの表面検査装置にょれIf。
画像信号を微分して得た微分信号の正方向のパルスDP
Iおよび負方向のパルスDP2の時間差に基づいて傷等
の欠陥部を判断するから、微分信号に基づいて検査を行
なう利点、例えば画像信号に含まれる雑音の影響を排除
できがっS/N比の改善を図ることができるという点を
確保しつつ、傷等の正確な幅を測定して欠陥部の検出を
行なうことを可能にし、検出精度の向上を格段に図るこ
とができるという優れた効果を奏する。
Iおよび負方向のパルスDP2の時間差に基づいて傷等
の欠陥部を判断するから、微分信号に基づいて検査を行
なう利点、例えば画像信号に含まれる雑音の影響を排除
できがっS/N比の改善を図ることができるという点を
確保しつつ、傷等の正確な幅を測定して欠陥部の検出を
行なうことを可能にし、検出精度の向上を格段に図るこ
とができるという優れた効果を奏する。
また、実施例装置は誤動作防止回路を設けたことにより
、ありえない判断の実行を防止することができ、さらに
金属板表面の一走査上に複数の欠陥部が存在する場合で
あっても各欠陥部について正常な判断を下すことができ
、実用性および信頼性の向上を図ることができるという
効果を奏する。
、ありえない判断の実行を防止することができ、さらに
金属板表面の一走査上に複数の欠陥部が存在する場合で
あっても各欠陥部について正常な判断を下すことができ
、実用性および信頼性の向上を図ることができるという
効果を奏する。
以上本発明の実施例について説明したが、本発明はこう
した実施例に何等限定されるものではなく、本発明の要
旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得
ることは勿論である。例えば微分回路は画像信号の立ち
上がり成分を微分する回路と立ち下がり成分を微分する
回路からなるものでもよい。CODカメラを用いる場合
、カメラの特性土 画像信号に形成されるパルスの立ち
上がり成分の波形と立ち下がり成分の波形とは非対称に
なるが、微分回路を成分毎に分けて微分する構成とすれ
(戯 立ち上がり成分および立ち下がり成分の波形をそ
れぞれの特性に併せた形状に微分し、非対称性の影響を
排除することができる利点がある。
した実施例に何等限定されるものではなく、本発明の要
旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得
ることは勿論である。例えば微分回路は画像信号の立ち
上がり成分を微分する回路と立ち下がり成分を微分する
回路からなるものでもよい。CODカメラを用いる場合
、カメラの特性土 画像信号に形成されるパルスの立ち
上がり成分の波形と立ち下がり成分の波形とは非対称に
なるが、微分回路を成分毎に分けて微分する構成とすれ
(戯 立ち上がり成分および立ち下がり成分の波形をそ
れぞれの特性に併せた形状に微分し、非対称性の影響を
排除することができる利点がある。
発明の効果
以上詳述したように、本発明の表面検査装置によれIf
、 画像信号を微分して得た微分信号の正方向のパル
スおよび負方向のパルスのずれに基づいて傷等の欠陥部
を判断するから、微分信号に基づいて検査を行なう利点
、例えば画像信号に含まれる雑音の影響を排除できかつ
S/N比の改善を図ることができるという点を確保しつ
つ、傷等の正確な幅を測定して欠陥部の検出を行なうこ
とを可能にし、検出精度の向上を格段に図ることができ
るという優れた効果を奏する。
、 画像信号を微分して得た微分信号の正方向のパル
スおよび負方向のパルスのずれに基づいて傷等の欠陥部
を判断するから、微分信号に基づいて検査を行なう利点
、例えば画像信号に含まれる雑音の影響を排除できかつ
S/N比の改善を図ることができるという点を確保しつ
つ、傷等の正確な幅を測定して欠陥部の検出を行なうこ
とを可能にし、検出精度の向上を格段に図ることができ
るという優れた効果を奏する。
第1図は本発明一実施例としての表面検査装置の構成医
第2図はそのブロック医 第3図は画像信号処理の過
程を示すタイミングチャート、第4図はマイクロコンピ
ュータが行なう処理の一例を示すフローチャート、第5
図は他の画像信号処理の過程を示すタイミングチャート
、第6図は従来装置が行なう画像信号処理の過程を示す
グラフである。 1・・・CCDカメラ 3・・・光源 5・・・制御装置 1・・・マイクロコンピュータ 5・・・微分回路 7、19・・・コンパレータ ]・・・フリップフロップ 3・・・カウンタ
第2図はそのブロック医 第3図は画像信号処理の過
程を示すタイミングチャート、第4図はマイクロコンピ
ュータが行なう処理の一例を示すフローチャート、第5
図は他の画像信号処理の過程を示すタイミングチャート
、第6図は従来装置が行なう画像信号処理の過程を示す
グラフである。 1・・・CCDカメラ 3・・・光源 5・・・制御装置 1・・・マイクロコンピュータ 5・・・微分回路 7、19・・・コンパレータ ]・・・フリップフロップ 3・・・カウンタ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 被検査物の表面を撮像し、その走査毎に得られる画
像信号の波形に基づいて前記被検査物表面の欠陥部を検
出する表面検査装置において、前記走査毎に得られる画
像信号を微分する微分手段と、 該微分された信号の正方向のパルスおよび負方向のパル
スを検出するパルス検出手段と、該検出された正方向の
パルスおよび負方向のパルスのずれに基づいて前記欠陥
部を検出する欠陥部検出手段と を備えることを特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25661789A JPH03118453A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25661789A JPH03118453A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 表面検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03118453A true JPH03118453A (ja) | 1991-05-21 |
Family
ID=17295111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25661789A Pending JPH03118453A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03118453A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5570181A (en) * | 1992-11-25 | 1996-10-29 | Sumitomo Electric Industries Ltd. | Method of detecting impurities in molten resin utilizing scattering light and the shadows of the impurities |
EP1522846A1 (en) * | 2002-05-30 | 2005-04-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for detecting foreign matter on object, device for detecting foreign matter on object, and optical disc apparatus |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP25661789A patent/JPH03118453A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5570181A (en) * | 1992-11-25 | 1996-10-29 | Sumitomo Electric Industries Ltd. | Method of detecting impurities in molten resin utilizing scattering light and the shadows of the impurities |
EP1522846A1 (en) * | 2002-05-30 | 2005-04-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for detecting foreign matter on object, device for detecting foreign matter on object, and optical disc apparatus |
US7239588B2 (en) | 2002-05-30 | 2007-07-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for detecting foreign body on object surface, and optical disk apparatus |
EP1522846A4 (en) * | 2002-05-30 | 2008-01-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING FOREIGN BODIES ON AN OBJECT AND OPTICAL DISK UNIT |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH03118453A (ja) | 表面検査装置 | |
US6614918B1 (en) | Apparatus for inspecting light-and-shade portions and method thereof | |
JPH038504B2 (ja) | ||
JP3657028B2 (ja) | 外観検査装置 | |
JPS6335428B2 (ja) | ||
JPS6216372B2 (ja) | ||
JP3013255B2 (ja) | 形状測定方法 | |
JP2525261B2 (ja) | 実装基板外観検査装置 | |
JPS6246803B2 (ja) | ||
JPS5875008A (ja) | 形状測定方法 | |
JPH0569536A (ja) | 印刷物の検査装置における欠陥検出方法及び欠陥検出回路 | |
JPH04125453A (ja) | パターン検査装置 | |
JPS5994006A (ja) | 外観検査装置 | |
JP3197040B2 (ja) | 外観検査方法 | |
JP3056155B2 (ja) | リード間異物検査法 | |
JP2803427B2 (ja) | 表面実装icリードずれ検査装置 | |
JPS6027064B2 (ja) | ラベルの表裏検査装置 | |
JPS6216373B2 (ja) | ||
JPH0273142A (ja) | 表面欠陥検査方法 | |
JPH0499949A (ja) | 薄板パターン製品の外観検査装置 | |
JPH04294260A (ja) | 印刷パタ−ン品質検査装置 | |
JPH03195041A (ja) | リード形状検査装置 | |
JPH0128539B2 (ja) | ||
JPS58142248A (ja) | 検査装置 | |
JPH05346951A (ja) | 複数台のカメラを用いる外観検査装置 |