JPH03105857A - 電極の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、７イ〃ム状の超薄形電池に用いる電極の製造
法に関するものである。

従来技術とその問題点 従来の薄形電池の正橋としては、導電材、結着剤、正極
作用物質を混合し％Ｆ−｝状の薄膜としていた。

この場合、Ｖ一トの厚さは正極作用物質の粒径または、
充填率に依存している。

前者はサブミクロンサイズの製造が困難であり、後者で
は充填率を上げることが困難であるという点で、１０Ｐ
ＩＨ以下の厚みの薄膜正極を製造することは容易ではな
かった。

発明の目的 本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであり
、生産性に優れた、均一な厚みの超薄膜の電極を提供す
ることを目的とするものである。

発明の構或 本発明は、上記目的を達或するべく、 ガス中蒸発法で生或した金属の微粒子を気流に乗せて基
板に吹きつけ、電極を形或する製造法で蒸発源に純金属
を用い、ガス中に金ＪＩＫ蒸気と反応するガスを混合さ
せて作用物質を生或することを特徴とする電極の製造法
である。

又１金属蒸気と反応するガスが酸素である前紀の電極の
製造法である。

又、純金属がマンガンである前記の電極の製造法である
。

又、純金属がバナジウムである前記のＷ極の製造法であ
る。

突施例 以下、本発明の詳細について実施例により説明する。

第１図は本発明の製造装置の概略図である。

ここで１は蒸発室、２はｐツボ、３は高周波誘導加熱器
、４は差動排気室、５はノズμ、６はデポジＦ，冫室、
７は真空ポンプ、８は基板、９は供給ガス流入口である
。

蒸発室において、〃ツボの中に金属マンガンを入れて、
高周波誘導加熱器により加熱溶融し、気化させ微粒子化
マンガンを形戒する。供給ガス（Ｈ６／０２混合ガス）
ノ圧力を１　００ｔｏｒｒ　ト１，、デボジＶ曹冫室の
圧力を真空ポンプにより０．１２ｔｏｒｒとするｏ　０
．８ｔｓｘ１０ｍのノズ〃を用いて、微粒子化二酸化マ
ンガンなデボジＶ奮冫室のステンレス箔上に、ガス気流
に乗せて吹きつける。

これによって、１０ｌｌ１１巾で長さ１０鴎、厚さ１０
ｐＩ１１のコー・ディング層が形成された。コーティ冫
グされた部分を、Ｘ線回折法によって測定し出 たとこる無定形のＭｎ０２と固定された●ステンレス箔
の基板上に噴射堆積により、強固な堆積体が形或された
。（ガスデボジＶ一冫法と称する。） 尚〜微粒子化マンガンがガス中の酸素と反応し、微粒子
化二酸化マンガンが形成されたものである。

こ覧で得られた堆積体は、通常の溶解、凝固方法では得
ることのできないものであり、結合剤（バインダー）を
必要としないので、乾式で清浄な製造法である。

しかも生産性に優れ、均一な超薄形の電極を得ることが
出来る。

上起寮施例では、純金属の材料としてマンガ冫について
記したが、パナジウ▲、モリブデン、チタン等を用いて
も同様な電極を得ることが出来る。

発明の効果 上述した如く、本発明は生産性に優れた１均一な厚みの
超薄膜の電極を提供することが出来るので、その工業的
価値は極めて大である。

【図面の簡単な説明】

１・・・蒸発室　　　　　　　２・・・μツボ５・・・
高周波誘導加熱器　　４・・・差動排気室５・・・ノズ
ｌｖ　　　　　　　６・・・デボジＶｗｙ室７・・・真
空ボンプ　　　　　８・・・基板９・・・供給ガス流入
口

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）ガス中蒸発法で生成した金属の微粒子を気流に乗
   せて基板に吹きつけ、電極を形成する製造法で蒸発源に
   純金属を用い、ガス中に金属蒸気と反応するガスを混合
   させて作用物質を生成することを特徴とする電極の製造
   法。
2. （２）金属蒸気と反応するガスが酸素である請求項１記
   載の電極の製造法。
3. （３）純金属がマンガンである請求項１又は２記載の電
   極の製造法。
4. （４）純金属がバナジウムである請求項１又は２記載の
   電極の製造法。