JPH0298952A - 半導体用プロービング装置 - Google Patents
半導体用プロービング装置Info
- Publication number
- JPH0298952A JPH0298952A JP25261988A JP25261988A JPH0298952A JP H0298952 A JPH0298952 A JP H0298952A JP 25261988 A JP25261988 A JP 25261988A JP 25261988 A JP25261988 A JP 25261988A JP H0298952 A JPH0298952 A JP H0298952A
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- JP
- Japan
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- wafer
- axis
- alignment
- pellet
- wafer stage
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 4
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000004904 shortening Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体を製造する際のP/Wチエツク(ペレッ
ト試験)時、ペレットとテスターを接続を行なうプロー
ビング装置に関し、特にペレットの目合わせ(ペレット
の平行合わせ及び位置決め)に関する。
ト試験)時、ペレットとテスターを接続を行なうプロー
ビング装置に関し、特にペレットの目合わせ(ペレット
の平行合わせ及び位置決め)に関する。
従来、この種のプロービング装置は、ウェハーステージ
が1つしかなく、その為、ペレットの目合わせはP/W
チエツク直前に実施せざるを得なかった。
が1つしかなく、その為、ペレットの目合わせはP/W
チエツク直前に実施せざるを得なかった。
上述した従来のプロービング装置では、ウェハーステー
ジが一つしかない為、ペレットの目合わせは次のウェハ
ーのP/Wチエツク開始直前に、行なわなければならな
く、P/W終了なら次のウェハーのP/W開始までに目
合わせ時間という無駄があり、スルーブツトが低下する
という欠点がある。
ジが一つしかない為、ペレットの目合わせは次のウェハ
ーのP/Wチエツク開始直前に、行なわなければならな
く、P/W終了なら次のウェハーのP/W開始までに目
合わせ時間という無駄があり、スルーブツトが低下する
という欠点がある。
従来のプロービング装置では、ウェハーステージが1つ
しかないのに対し、本発明のプロービング装置では、ウ
ェハーステージが2つあり、そのウェハーステージを入
れ換える為のレール、又はウェハーステージ交換用のア
ームを有している。
しかないのに対し、本発明のプロービング装置では、ウ
ェハーステージが2つあり、そのウェハーステージを入
れ換える為のレール、又はウェハーステージ交換用のア
ームを有している。
上述した従来のプロービング装置に対し、本発明ではウ
ェハーステージを2つにする事により、。
ェハーステージを2つにする事により、。
1枚のウェハーをP/Wチエツク中に次のウェハーの目
合わせを行ない待機するという相違点を有している。
合わせを行ない待機するという相違点を有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例の正面図(A)と、側面図(
B)である。
B)である。
1.2はウェハーステージで11.12のθ軸用モータ
にて回転、9,10の2軸用モータにより上下に動くよ
うになっている。さらに1,2のウェハーステージは6
,7のX軸周モータにより、16のX軸シール及び18
の目合わせ用X軸シールの上を自由に移動する事が出来
、16のX軸シールは、17のY軸シールの上を18の
目合わせ用X軸シールは、19の目合わせ用Y軸シール
の上を移動する。
にて回転、9,10の2軸用モータにより上下に動くよ
うになっている。さらに1,2のウェハーステージは6
,7のX軸周モータにより、16のX軸シール及び18
の目合わせ用X軸シールの上を自由に移動する事が出来
、16のX軸シールは、17のY軸シールの上を18の
目合わせ用X軸シールは、19の目合わせ用Y軸シール
の上を移動する。
動作手順としては、始めにウェハーステージ■1上にウ
ェハーをセットし、目合わせ用X軸シール18上でセッ
トしたウェハーの目合わせを行なう。その後X軸シール
16上に移動し、P/Wチエツクを行なう。ウェハース
テージ■1でP/Wチエツクを行なっている間、ウェハ
ーステージ■2上に次のウェハーをセットし、ウェハー
ステージ■と同様の手順にて目合わせを行ない、ウェハ
ーステージ■1上のウェハーのP/Wチエツクが終了す
るまで待機する。
ェハーをセットし、目合わせ用X軸シール18上でセッ
トしたウェハーの目合わせを行なう。その後X軸シール
16上に移動し、P/Wチエツクを行なう。ウェハース
テージ■1でP/Wチエツクを行なっている間、ウェハ
ーステージ■2上に次のウェハーをセットし、ウェハー
ステージ■と同様の手順にて目合わせを行ない、ウェハ
ーステージ■1上のウェハーのP/Wチエツクが終了す
るまで待機する。
ウェハーステージ■1のP/Wチエツクが終了したらウ
ェハーステージ■1は、目合わせ用X軸シール18上に
移動し、ウェハーステージ■2はX軸シール16上に移
動し、P/Wチエツクを行なう。その間、ウェハーステ
ージ■1は、ウェハーを交換し、最初と同様に目合わせ
を行ない待機するという手順になっている。
ェハーステージ■1は、目合わせ用X軸シール18上に
移動し、ウェハーステージ■2はX軸シール16上に移
動し、P/Wチエツクを行なう。その間、ウェハーステ
ージ■1は、ウェハーを交換し、最初と同様に目合わせ
を行ない待機するという手順になっている。
第2図は本発明の他の実施例の正面図(A)と側面図(
B)である。
B)である。
1.2はウェハーステージで、1のウェハーステージ■
は11のθ軸用モータにより回転9の2軸用モータによ
り上下に動くようになっており、さらに6のX軸周モー
タにより16のX軸シール上を、8のYM用モータによ
り17のY軸シール上を自由に移動出来る。
は11のθ軸用モータにより回転9の2軸用モータによ
り上下に動くようになっており、さらに6のX軸周モー
タにより16のX軸シール上を、8のYM用モータによ
り17のY軸シール上を自由に移動出来る。
2のウェハーステージ■は15の目合わせ用θ軸モータ
により回転、130目合わせ用X軸モータにより18の
目合わせ用X軸シール上を14の目合わせ用Y軸モータ
により19の目合わせ用Y軸シール上を自由に移動出来
る。
により回転、130目合わせ用X軸モータにより18の
目合わせ用X軸シール上を14の目合わせ用Y軸モータ
により19の目合わせ用Y軸シール上を自由に移動出来
る。
ウェハーステージ1と2の入れ換えは、24のウェハー
ステージ交換用のアームにより交換出来るようになって
いる。
ステージ交換用のアームにより交換出来るようになって
いる。
この実施例ではウェハーステージの入れ換えをアームに
よって行なっている為、従来のプロービング装置にウェ
ハー交換用のアーム部及びウェハーステージ■の目合わ
せ部を追加する事により実行出来るという利点がある。
よって行なっている為、従来のプロービング装置にウェ
ハー交換用のアーム部及びウェハーステージ■の目合わ
せ部を追加する事により実行出来るという利点がある。
以上説明したように本発明は、ウェハーステージを2つ
有する事により1枚のウェハーをP/Wチエツク中に、
次のウェハーのペレットの目合わせを行ない、ウェハー
のローディング時間を短縮できるという効果がある。
有する事により1枚のウェハーをP/Wチエツク中に、
次のウェハーのペレットの目合わせを行ない、ウェハー
のローディング時間を短縮できるという効果がある。
第1図は本発明の一実施例を示す正面図と側面図である
。第2図は本発明のウェハーステージをアームで交換す
るようにした実施例を示す正面図と側面図である。 1・・・・・・ウェハーステージ■、2・・・・・・ウ
ェハーステージ■、3・・・・・・プローブカード、4
・・・・・・目合わせ用センサー 5・・・・・・ウェ
ハー、6・・・・・・X軸用モータ■、7・・・・・・
X軸層モータ■、8・・・・・Y軸層モータ、9・・・
・・Z軸層モータ■、10・・・・・・Z軸周モータ■
、11・・・・・・θ軸周モータ■、12・・・・・・
θ軸周モータ■、13・・・・・・目合わせ用X軸モー
タ、14・・・・・・目合わせ用Y軸モータ、15・・
・・・・目合わせ用θ軸モータ、16・・・・・・Xi
レール、17・・・・・・Y軸シール、18・・・・・
・目合わせ用X軸シール、19・・・・・・目合わせ用
Y軸シール、20・・・・・・Y軸移動用ネジ、21・
・・・・・目合わせ用Y軸移動ネジ、22・・・・・・
X軸移動用ネジ、23・・・・・・目合わせ用X軸移動
ネジ、 24・・・・・ ウェハーステージ交換用アーム、 25・・・・・・アーム動作用モータ。
。第2図は本発明のウェハーステージをアームで交換す
るようにした実施例を示す正面図と側面図である。 1・・・・・・ウェハーステージ■、2・・・・・・ウ
ェハーステージ■、3・・・・・・プローブカード、4
・・・・・・目合わせ用センサー 5・・・・・・ウェ
ハー、6・・・・・・X軸用モータ■、7・・・・・・
X軸層モータ■、8・・・・・Y軸層モータ、9・・・
・・Z軸層モータ■、10・・・・・・Z軸周モータ■
、11・・・・・・θ軸周モータ■、12・・・・・・
θ軸周モータ■、13・・・・・・目合わせ用X軸モー
タ、14・・・・・・目合わせ用Y軸モータ、15・・
・・・・目合わせ用θ軸モータ、16・・・・・・Xi
レール、17・・・・・・Y軸シール、18・・・・・
・目合わせ用X軸シール、19・・・・・・目合わせ用
Y軸シール、20・・・・・・Y軸移動用ネジ、21・
・・・・・目合わせ用Y軸移動ネジ、22・・・・・・
X軸移動用ネジ、23・・・・・・目合わせ用X軸移動
ネジ、 24・・・・・ ウェハーステージ交換用アーム、 25・・・・・・アーム動作用モータ。
Claims (1)
- ウェハー内のペレット試験時においてウェハーを乗せる
為のウェハーステージを複数台有す事により、ペレット
の平行合わせ及び位置決めの時間を短縮する事を特徴と
する半導体用プロービング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25261988A JPH0298952A (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 半導体用プロービング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25261988A JPH0298952A (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 半導体用プロービング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0298952A true JPH0298952A (ja) | 1990-04-11 |
Family
ID=17239880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25261988A Pending JPH0298952A (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 半導体用プロービング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0298952A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0357974A (ja) * | 1989-07-27 | 1991-03-13 | Tokyo Electron Ltd | 半導体検査装置及び検査方法 |
US7190764B2 (en) | 2002-10-25 | 2007-03-13 | Japan Science And Technology Agency | Electron accelerator and radiotherapy apparatus using same |
-
1988
- 1988-10-05 JP JP25261988A patent/JPH0298952A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0357974A (ja) * | 1989-07-27 | 1991-03-13 | Tokyo Electron Ltd | 半導体検査装置及び検査方法 |
US7190764B2 (en) | 2002-10-25 | 2007-03-13 | Japan Science And Technology Agency | Electron accelerator and radiotherapy apparatus using same |
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