JPH0293324A - ロータリーエンコーダの原点検出系 - Google Patents
ロータリーエンコーダの原点検出系Info
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- JPH0293324A JPH0293324A JP63246650A JP24665088A JPH0293324A JP H0293324 A JPH0293324 A JP H0293324A JP 63246650 A JP63246650 A JP 63246650A JP 24665088 A JP24665088 A JP 24665088A JP H0293324 A JPH0293324 A JP H0293324A
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 3
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（Ａ： ｊ！ 、ｔの利用分野）
本発明は回転物体の回転状態を光電的に測定するロータ
リーエンコーダーの原点検出系に関し例えば回転スケー
ルに取付けた回折格子に可干渉性光束を入射させ該回折
格子からの回折光を互いに干渉させて干渉縞を形成し、
干渉縞の明暗の縞を計数することによって回転物体の回
転状態を測定する際の原点位置信号を効率的に、かつ高
精度に１１）るようにしたロータリーエンコーダーの原
点検出系に関するものである。
リーエンコーダーの原点検出系に関し例えば回転スケー
ルに取付けた回折格子に可干渉性光束を入射させ該回折
格子からの回折光を互いに干渉させて干渉縞を形成し、
干渉縞の明暗の縞を計数することによって回転物体の回
転状態を測定する際の原点位置信号を効率的に、かつ高
精度に１１）るようにしたロータリーエンコーダーの原
点検出系に関するものである。
（従来の技術）
従来よりサブミクロンの中位で変位を測定することので
きる測定器としては、レーザー等の可干渉性光束を用い
移動又は回転回折格子からの回折光より干渉縞を形成し
、該干渉縞の明暗資化をモエラーするリニアエンコーダ
ーやロータリーエンコーダーが良く知られている。
きる測定器としては、レーザー等の可干渉性光束を用い
移動又は回転回折格子からの回折光より干渉縞を形成し
、該干渉縞の明暗資化をモエラーするリニアエンコーダ
ーやロータリーエンコーダーが良く知られている。
ロータリーエンコーダのうちインクリメンタル力式のエ
ンコーダはスケールの回転に伴ない発生するパルス数を
計数して被検出物体の回転優を検出している。又、被検
出物体の絶対回転位置は原点回転位置からのずれ量及び
方向を求めることにより行９ている。
ンコーダはスケールの回転に伴ない発生するパルス数を
計数して被検出物体の回転優を検出している。又、被検
出物体の絶対回転位置は原点回転位置からのずれ量及び
方向を求めることにより行９ている。
一般にインクリメンタルタイプのロータリーエンコーダ
は１回転中に１回だけ原点位置を示す原点信号を発生す
るようなパターンが設けられている。
は１回転中に１回だけ原点位置を示す原点信号を発生す
るようなパターンが設けられている。
このときの原点信号は光や磁気等を利用したパターン検
出系を用いて該パターンの有無（又は遠近）を検知して
発生される。
出系を用いて該パターンの有無（又は遠近）を検知して
発生される。
本出願人は先に特開昭８２−２００２２３号公報におい
て、回転ディスクの直径が２０ｍｍ、１回転当りのパル
ス数（正弦波周波数）８１０００程度のロータリーエン
コーダを提案した。同公報のロータリエンコーダはｌパ
ルス当りの回転ディスク周上の長さは０．７８μである
。一般には原点位置検出装置の繰り返し再現性１４度も
この程度必要となる。
て、回転ディスクの直径が２０ｍｍ、１回転当りのパル
ス数（正弦波周波数）８１０００程度のロータリーエン
コーダを提案した。同公報のロータリエンコーダはｌパ
ルス当りの回転ディスク周上の長さは０．７８μである
。一般には原点位置検出装置の繰り返し再現性１４度も
この程度必要となる。
そこで高粘度な原点位置検出を可能とする為に同公報に
おいては例えば矩形状反射スリットを回転ディスク上に
設け、そこに矩形状又は長楕円状断面を有する光束を照
射し、そこからの反射光束を検出タイミングが異なるよ
うに位置をずらした２つの受光素子によって検知してい
る。そして同公報では両受光素子からの出力信号を比較
することによって原理的に矩形状反射スリウドの幅より
も高分解能に原点位置を求めることのできるロータリー
エンコーダを提案している。
おいては例えば矩形状反射スリットを回転ディスク上に
設け、そこに矩形状又は長楕円状断面を有する光束を照
射し、そこからの反射光束を検出タイミングが異なるよ
うに位置をずらした２つの受光素子によって検知してい
る。そして同公報では両受光素子からの出力信号を比較
することによって原理的に矩形状反射スリウドの幅より
も高分解能に原点位置を求めることのできるロータリー
エンコーダを提案している。
これにより数４ｍ幅の矩形状反射スリットを用いて１６
角度秒程度の原点位置再現性を得ている。
角度秒程度の原点位置再現性を得ている。
２つの受光素子の信号出力の比較精度は信号のＳ／Ｎ比
で決定されるがそのゆらぎが原点信号検出系そのものの
繰り返し再現精度に相当するはずである。
で決定されるがそのゆらぎが原点信号検出系そのものの
繰り返し再現精度に相当するはずである。
しかし電気信号の高いＳ／Ｎ比によってサブミクロンの
綴り返し再現精度が得られても、回転ディスクの回転中
の平行軸ずれや軸のだおれがあると１例えば第３．第４
．第５図に示すように検出タイミングがずれて原点信号
検出にエラーが生しる。
綴り返し再現精度が得られても、回転ディスクの回転中
の平行軸ずれや軸のだおれがあると１例えば第３．第４
．第５図に示すように検出タイミングがずれて原点信号
検出にエラーが生しる。
例えば第３図に示すように回転ディスク板５がｘ−ｘ’
軸方向に０．５μｍ横ずれして破線の位置になりだとす
ると、回転ディスク板５上の矩形反射スリット６による
反射光束の検出タイミング（受光素子８の出力なＡ、受
光素子９の出力をＢとする。）は第５図に示すようにな
る。ｉｓち、出力Ａ、Ｂの交点のタイミングｔ、がｔ＋
’にずれてくる。
軸方向に０．５μｍ横ずれして破線の位置になりだとす
ると、回転ディスク板５上の矩形反射スリット６による
反射光束の検出タイミング（受光素子８の出力なＡ、受
光素子９の出力をＢとする。）は第５図に示すようにな
る。ｉｓち、出力Ａ、Ｂの交点のタイミングｔ、がｔ＋
’にずれてくる。
原点信号が周上で０．５μｍずれたことに相当している
からエラーは直１１２０ ｍ ｍの回転ディスクで（ｔ
ａｎ−’ （０，５／１００００ ） ｘ ３６００
１−１ｆＩＭ度秒になる。
からエラーは直１１２０ ｍ ｍの回転ディスクで（ｔ
ａｎ−’ （０，５／１００００ ） ｘ ３６００
１−１ｆＩＭ度秒になる。
回転ディスク５の倒れに関しても第４図に示すように回
転軸フが倒れると受光素子８，９上の反射光束の照射位
置がずれ出力Ａ、Ｂのタイミングかずれてくる０例えば
焦点距離５ｍｍのシリンドリカルレンズを用いた場合１
回転軸７の倒れ２０角度秒に対しエラーは ｊａｎ−’ （５ｘ ｔａｎ （二Ｘ ２）／１０１
Ｘ ６０−２０角度秒になる。
転軸フが倒れると受光素子８，９上の反射光束の照射位
置がずれ出力Ａ、Ｂのタイミングかずれてくる０例えば
焦点距離５ｍｍのシリンドリカルレンズを用いた場合１
回転軸７の倒れ２０角度秒に対しエラーは ｊａｎ−’ （５ｘ ｔａｎ （二Ｘ ２）／１０１
Ｘ ６０−２０角度秒になる。
−・般に小型のベアリング等を用いた回転機構において
０．５ｐｍ以下の輌ずれや１０角度秒以下の軸の倒れを
抑制するのは非常に困難である。
０．５ｐｍ以下の輌ずれや１０角度秒以下の軸の倒れを
抑制するのは非常に困難である。
このように従来のロータリーエンコーダにおいては１角
度秒程度の縁り返し再現性精度を満たす原点位置信号を
得ることは大変難しかった。
度秒程度の縁り返し再現性精度を満たす原点位置信号を
得ることは大変難しかった。
（発明か解決しようとする問題点）
本発明は、被検回転物体の回転状態を測定するｉに回転
物体に関する原点位置信号を回転機構のガタや倒れがあ
っても０精度にしかも効率的に検出することを可能とし
た簡易な構成のロータリーエンコーダーの原点検出系の
提供を目的とする。
物体に関する原点位置信号を回転機構のガタや倒れがあ
っても０精度にしかも効率的に検出することを可能とし
た簡易な構成のロータリーエンコーダーの原点検出系の
提供を目的とする。
（問題点を解決するための手段）
回転物体に連結された回転ディスク板の所定面上に入射
させた光束の反射光束又は透過光束を利用して、該回転
物体の回転状態を測定する際、該回転ディスク板上の回
転中心を含む直線上でありて該回転中心に対向して該回
転中心からの距離が異なるように各々所定のパターンを
設け、該２つのパターンに基づく反射又は透過光束を検
出手段により検出することにより、該回転物体に関する
原点位置信号を得るようにしたことである。
させた光束の反射光束又は透過光束を利用して、該回転
物体の回転状態を測定する際、該回転ディスク板上の回
転中心を含む直線上でありて該回転中心に対向して該回
転中心からの距離が異なるように各々所定のパターンを
設け、該２つのパターンに基づく反射又は透過光束を検
出手段により検出することにより、該回転物体に関する
原点位置信号を得るようにしたことである。
（実施例）
第１図（Ａ）は本発明の一実施例の光学系の要Ｗ＆概略
図、第１図（Ｂ）は同図（Ａ）の一部分の平面図である
。
図、第１図（Ｂ）は同図（Ａ）の一部分の平面図である
。
図中１は光源で例えばレーザダイオードである。２はコ
リメーターレンズで光源ｌからの光束を平行光束として
いる。３ａはビームスプリフタ−でコリメーターレンズ
２からの光束を２つに分割している。ｌＯは反射鏡、３
ｂ、３ｃはビームスプリッタ−１５は被検出物体として
の回転ディスクであり１回転軸７を中心に回転している
。
リメーターレンズで光源ｌからの光束を平行光束として
いる。３ａはビームスプリフタ−でコリメーターレンズ
２からの光束を２つに分割している。ｌＯは反射鏡、３
ｂ、３ｃはビームスプリッタ−１５は被検出物体として
の回転ディスクであり１回転軸７を中心に回転している
。
４ａ、４ｂは各々シリンドリカルレンズであり、ビーム
スプリッタ−３ｂ、３ｃからの光束を回転ディスク５の
円周方向に収束し長楕円状にして入射させている。６ａ
、６ｂは各々原点位置検出用のパターンであり矩形反射
スリットより成っており、第１図（Ｂ）に示すように回
転ディスク５の回転中心Ｏを通る直線上の回転中心０に
対向して異った半径（距離）γａ、γｂ上に各々設けら
れている。８，９は各々受光素子であり矩形反射スリッ
ト６ａ （８ｂ）で反射し、シリンドリカルレンズ４ａ
（４ｂ）、ビームスプリッタ−３ｂ（３Ｃ）を通過し
てきた光束を受光している。又受光素子８．９の位置は
光束の中心線１１からディスクの回転方向に対して互い
に逆向きに設定されている。
スプリッタ−３ｂ、３ｃからの光束を回転ディスク５の
円周方向に収束し長楕円状にして入射させている。６ａ
、６ｂは各々原点位置検出用のパターンであり矩形反射
スリットより成っており、第１図（Ｂ）に示すように回
転ディスク５の回転中心Ｏを通る直線上の回転中心０に
対向して異った半径（距離）γａ、γｂ上に各々設けら
れている。８，９は各々受光素子であり矩形反射スリッ
ト６ａ （８ｂ）で反射し、シリンドリカルレンズ４ａ
（４ｂ）、ビームスプリッタ−３ｂ（３Ｃ）を通過し
てきた光束を受光している。又受光素子８．９の位置は
光束の中心線１１からディスクの回転方向に対して互い
に逆向きに設定されている。
これにより受光素子８，９による光束のタイミングを所
定時間ずらしている。ｐＪち両パターンを結ぶ直線近傍
において一方の受光素子８に対応するビームスポットに
対しパターン６ａがはなれる方向に移動する時、他方の
受光素子７に対応するビームスポットに対しパターン６
ｂが近づくように構成されている。
定時間ずらしている。ｐＪち両パターンを結ぶ直線近傍
において一方の受光素子８に対応するビームスポットに
対しパターン６ａがはなれる方向に移動する時、他方の
受光素子７に対応するビームスポットに対しパターン６
ｂが近づくように構成されている。
本１施例では光［１からの光束なコリメーターレンズ２
により略平行光束とし、ビームスプリッタ３ａ、３ｂ、
３ｃそしてミラーｌＯ等を介して回転軸７に対し互いに
反対側に配置したシリンドリカルレンズ４ａ、４ｂによ
り長楕円状光束にして回転ディスク５面上を照射してい
る。そして回転ディスク５−ｈに設けた矩形反射スリッ
ト６ａ、６ｂが光束下に位置したとき受光素子８，９に
よる該光束を所定時間タイミングをずらして検出してい
る。
により略平行光束とし、ビームスプリッタ３ａ、３ｂ、
３ｃそしてミラーｌＯ等を介して回転軸７に対し互いに
反対側に配置したシリンドリカルレンズ４ａ、４ｂによ
り長楕円状光束にして回転ディスク５面上を照射してい
る。そして回転ディスク５−ｈに設けた矩形反射スリッ
ト６ａ、６ｂが光束下に位置したとき受光素子８，９に
よる該光束を所定時間タイミングをずらして検出してい
る。
第２図（Ａ）はこのときの２つの受光素子８゜９で得ら
れる出力信号Ａ、Ｂの説明図である。受光素子８は時刻
ｔＡより検出が始まり、受光素子９は時刻ｔｌＩより検
出が始まる。このとき出力信号Ａ、Ｂの曲線の交点に相
当する時刻ｔ１が原点位置に相当している。
れる出力信号Ａ、Ｂの説明図である。受光素子８は時刻
ｔＡより検出が始まり、受光素子９は時刻ｔｌＩより検
出が始まる。このとき出力信号Ａ、Ｂの曲線の交点に相
当する時刻ｔ１が原点位置に相当している。
今回転ディスク５が第３図に示すようにＸ−Ｘ°軸方向
に横ずれを起こしたとすると第２図（Ｂ）に示すように
受光素子８の検出タイミングは遅れ信号Ａ２となるが逆
に受光素子９の検出タイミングは進み信号Ｂ２となり結
果として同図に示すような信号出力が得られる。このと
き出力信号Ａ２、Ｂ２の交点に相当する時刻ｔ２は同図
（Ａ）の時刻ｔ１と同じになる。
に横ずれを起こしたとすると第２図（Ｂ）に示すように
受光素子８の検出タイミングは遅れ信号Ａ２となるが逆
に受光素子９の検出タイミングは進み信号Ｂ２となり結
果として同図に示すような信号出力が得られる。このと
き出力信号Ａ２、Ｂ２の交点に相当する時刻ｔ２は同図
（Ａ）の時刻ｔ１と同じになる。
同様に回転ディスク５かＹ−Ｙ’軸を中心に回転するよ
うな回転軸７の倒れが生じたとすると第２図（Ｃ）に示
すように受光素子８の検出タイミンクの時刻ｔＡ２は遅
れるか受光素子９の検出タイミングは時刻ｔａｉと進み
、結果的に信号出力ｔＡ２＋ ｔ６２の交点に相当する
時刻ｔ、は第１図の時刻ｔ１と同じになる。
うな回転軸７の倒れが生じたとすると第２図（Ｃ）に示
すように受光素子８の検出タイミンクの時刻ｔＡ２は遅
れるか受光素子９の検出タイミングは時刻ｔａｉと進み
、結果的に信号出力ｔＡ２＋ ｔ６２の交点に相当する
時刻ｔ、は第１図の時刻ｔ１と同じになる。
即ちいずれの場合も２つの受光素子８，９からの信号出
力の交点に相当する時刻は変化しない。
力の交点に相当する時刻は変化しない。
特に本実施例では１つの光源からの光束を２つに分１吻
して各々の検出系に導光しているので光源からの光Ｕが
変化しても第２図（Ｃ）に示すように何んら検出タイミ
ングかずれることはないという特長を有している。
して各々の検出系に導光しているので光源からの光Ｕが
変化しても第２図（Ｃ）に示すように何んら検出タイミ
ングかずれることはないという特長を有している。
このように本実施例ては前述の如く矩形反射スリット６
ａ、６ｂを回転ディスク面上の所定の位置に設けること
により１回転ディスクが正規の状態から変位しても、２
つの受光素子８．９から得られる出力信号を用いること
により原点位置を検出する際のエラーを除去した高精度
の検出を可能としている。
ａ、６ｂを回転ディスク面上の所定の位置に設けること
により１回転ディスクが正規の状態から変位しても、２
つの受光素子８．９から得られる出力信号を用いること
により原点位置を検出する際のエラーを除去した高精度
の検出を可能としている。
本実施例において回転ディスク５の１回転で１度の原点
信号を得る為の２つの矩形反射スリットの回転軸からの
距離を僅かに変えて（例えば０．５ｍｍ１いる。そして
このときの２つの矩形反射スリット６ａ、６ｂが各々別
の受光素子のみに検出されるように配置している。
信号を得る為の２つの矩形反射スリットの回転軸からの
距離を僅かに変えて（例えば０．５ｍｍ１いる。そして
このときの２つの矩形反射スリット６ａ、６ｂが各々別
の受光素子のみに検出されるように配置している。
尚、本発明に係る原点位置検出系は矩形反射スリウド以
外の光学パターン、例えば円形反射スリット、３次元的
パターン等を用いてもよいことは言うまでもないが光学
式に限らずどのような原点位置検出装置にも適用するこ
とかできる０例えば磁気パターンを用いた時は第１図（
ａ）における２つの光束照射位置に相当する所に互いに
タイミングがずれるように磁気センサを配置すればよい
のは明らかである。
外の光学パターン、例えば円形反射スリット、３次元的
パターン等を用いてもよいことは言うまでもないが光学
式に限らずどのような原点位置検出装置にも適用するこ
とかできる０例えば磁気パターンを用いた時は第１図（
ａ）における２つの光束照射位置に相当する所に互いに
タイミングがずれるように磁気センサを配置すればよい
のは明らかである。
（発明の効果）
本発明によれば前述の如く１回転ディスク面上の所定位
置に２つの原点信号用のパターンを設け、各原点信号用
のパターンの検出系を互いに検出タイミングがずれるよ
うに配置し、これにより２つの検出系から得られる信号
を比較し、双方の信号レベルの一致によつて原点信号を
発生させ回転ディスクの回転機構の軸ずれや軸の倒れが
生じても原点位と検出のエラーを発生させずに例えば１
角度秒程度の分解能を有する高精度のロータリーエンコ
ーダへの組み込みを可能としている。
置に２つの原点信号用のパターンを設け、各原点信号用
のパターンの検出系を互いに検出タイミングがずれるよ
うに配置し、これにより２つの検出系から得られる信号
を比較し、双方の信号レベルの一致によつて原点信号を
発生させ回転ディスクの回転機構の軸ずれや軸の倒れが
生じても原点位と検出のエラーを発生させずに例えば１
角度秒程度の分解能を有する高精度のロータリーエンコ
ーダへの組み込みを可能としている。
第１ＵｊＵ（Ａ）は本発明の一実施例の光学系の要ａｍ
略図、第１図（Ｂ）は第１図（Ａ）の一部分の平面概略
図、第２図（＾）〜（Ｃ）は未発ＩＪＪに係る検出手段
から得られる出力信号の説明図、第３図、第４ ［ｆｆ
ｌは各々従来のロータリーエンコータの要部１１１略Ｉ
Ａ、第５図は第３図に示す検出系で得られる出力信号の
説明図である。 図中、ｌは光源、２はコリメーターレンズ３ａ、３ｂ、
３ｃはビームスプリッタ−，１０は反射ミラー、４ａ、
４ｂはシリンドリカルレンズ、５は回転ディスク、６ａ
、６ｂは反射型スリット、７は回転軸、８．９は受光素
子、１１は光束の中心線、である。
略図、第１図（Ｂ）は第１図（Ａ）の一部分の平面概略
図、第２図（＾）〜（Ｃ）は未発ＩＪＪに係る検出手段
から得られる出力信号の説明図、第３図、第４ ［ｆｆ
ｌは各々従来のロータリーエンコータの要部１１１略Ｉ
Ａ、第５図は第３図に示す検出系で得られる出力信号の
説明図である。 図中、ｌは光源、２はコリメーターレンズ３ａ、３ｂ、
３ｃはビームスプリッタ−，１０は反射ミラー、４ａ、
４ｂはシリンドリカルレンズ、５は回転ディスク、６ａ
、６ｂは反射型スリット、７は回転軸、８．９は受光素
子、１１は光束の中心線、である。
Claims (2)
- （１）回転物体に連結された回転ディスクの所定面上に
入射させた光束の反射光束又は透過光束を利用して該回
転物体の回転状態を測定する際、該回転ディスクの回転
中心を含む直線上であって該回転中心に対向して前記回
転中心からの距離が異なる様に各々所定のパターンを設
け、該２つのパターンに基づく反射又は透過光束を検出
手段により検出することにより、該回転物体に関する原
点位置信号を得るようにしたことを特徴とするロータリ
ーエンコーダの原点検出系。 - （２）回転物体に連結された回転ディスクの所定面上に
入射させた光束の反射光束又は透過光束を利用して、該
回転物体の回転状態を測定する際、前記回転ディスクの
回転中心を含む直線上であって、該回転中心を中心にし
て互いに対向する様に第１と第２のパターンを設け、各
々のパターンを互いに読取りのタイミングをずらして検
出し、各パターンの検出信号に基づいて前記回転ディス
クの回転に関する原点位置信号を形成したことを特徴と
するロータリーエンコーダの原点検出系。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63246650A JP2586121B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | ロータリーエンコーダの原点検出系 |
| US07/409,796 US5026985A (en) | 1988-09-30 | 1989-09-20 | Method and apparatus for detecting a reference position of a rotating scale with two sensors |
| DE89117894T DE68911255T2 (de) | 1988-09-30 | 1989-09-27 | Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren einer Referenzposition einer rotierenden Skala. |
| EP89117894A EP0361457B1 (en) | 1988-09-30 | 1989-09-27 | Method and apparatus for detecting a reference position of a rotating scale |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63246650A JP2586121B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | ロータリーエンコーダの原点検出系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0293324A true JPH0293324A (ja) | 1990-04-04 |
| JP2586121B2 JP2586121B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=17151573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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