JPH0268972A - Laser oscillator - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、ガスレーザ発振器のプロ・ツクミラーの位
置、角度を調整し、発振器内のレーザ光路を調整する機
構に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a mechanism for adjusting the position and angle of a professional mirror of a gas laser oscillator to adjust the laser optical path within the oscillator.
［従来の技術］
第４図は、例えば特開昭６２−２７６８８９号公報に示
された従来のガスレーザ発振器の共振器の模式図である
。共振部１内には矢印Ｇのようにガスが流れており、破
線で示す放電領域Ｅでは、このガスが励起されてレーザ
光を発振するレーザ媒質となっている。ガス流れ方向に
対して直交する放電領域Ｅ外の一方側に出力ミラー３と
ブロックミラー７２が、他方側にリアミラー５とブロッ
クミラー７１が設けられている。ブロックミラー７１．
７２にはレーザ光軸に対して４５度の角度をなし互いに
９０度の角度をなす第１反射面７１Ａ、７２Ａ及び第２
反射面７１Ｂ、７２Ｂがそれぞれ設けられている。[Prior Art] FIG. 4 is a schematic diagram of a resonator of a conventional gas laser oscillator disclosed in, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 62-276889. Gas flows within the resonator 1 as indicated by an arrow G, and in a discharge region E indicated by a broken line, this gas is excited and becomes a laser medium that oscillates a laser beam. An output mirror 3 and a block mirror 72 are provided on one side outside the discharge area E perpendicular to the gas flow direction, and a rear mirror 5 and a block mirror 71 are provided on the other side. Block mirror 71.
72 includes first reflective surfaces 71A, 72A and second reflective surfaces that are at an angle of 45 degrees with respect to the laser optical axis and at an angle of 90 degrees to each other.
Reflective surfaces 71B and 72B are provided, respectively.
第４図において、放電領域Ｅで発振したレーザビームＬ
Ｂは、リアミラー５．ブロックミラー７２の第２反射面
７２Ｂ、第１反射面７２Ａ、ブロックミラー７１の第２
反射面７１Ｂ、第１反射面７１Ａ及び出力ミラー３で反
射されて、放電領域Ｅを反復通過して増幅される。In Fig. 4, the laser beam L oscillated in the discharge region E
B is rear mirror 5. The second reflective surface 72B of the block mirror 72, the first reflective surface 72A, and the second reflective surface 72A of the block mirror 71
The light is reflected by the reflective surface 71B, the first reflective surface 71A, and the output mirror 3, passes repeatedly through the discharge region E, and is amplified.
第５図はブロックミラー７の拡大図である。図において
、例えばレーザビームＬＢＩが第２反射面７Ｂに当たり
反射して第１反射面７Ａに当たり反射してレーザビーム
Ｌ Ｂ ２となる場合、レーザビームＬＢＩとＬＢ２と
は平行で逆方向のものとなる。これはブロックミラー７
の第１反射面７Ａと第２反射面７Ｂとは正確に９０度と
なるように作られているので、ブロックミラー７の設置
角度が多少変化しても、また、レーザビームＬＢＩの方
向が多少変化しても、ＬＢＩとＬＢ２とは平行で逆方向
のレーザビームとなる。FIG. 5 is an enlarged view of the block mirror 7. In the figure, for example, if the laser beam LBI hits the second reflective surface 7B and is reflected, then hits the first reflective surface 7A and becomes a laser beam L B 2, the laser beams LBI and LB2 are parallel and in opposite directions. . This is block mirror 7
Since the first reflecting surface 7A and the second reflecting surface 7B are made to form an angle of exactly 90 degrees, even if the installation angle of the block mirror 7 changes slightly, the direction of the laser beam LBI will change slightly. Even if it changes, LBI and LB2 become parallel laser beams in opposite directions.
以上のように、レーザビームＬＢは、第４図に示すよう
に、設定された光路を通って往復し、放電領域Ｅで増幅
され、出力ミラー３を透過して射出し、レーザビームと
して利用される。As described above, as shown in FIG. 4, the laser beam LB travels back and forth through a set optical path, is amplified in the discharge region E, passes through the output mirror 3, is emitted, and is used as a laser beam. Ru.
［発明が解決しようとする課題］
ところが、ブロックミラー７の第１反射面７Ａと第２反
射面７Ｂとのなす角を完全に９０度になるように製作す
ることは困難である。例えば、出力ミラー３とブロック
ミラー７との間隔が２ｍである共振器において、第６図
に示すように、ブロックミラー７の第１反射面７Ａと第
２反射面７Ｂとのなす角が９０度を目標として作られた
が、実際には８９．９５度であったとすると、レーザビ
ームＬＢの光軸は８面上で３．５龍もずれてしまい、天
川上問題がある。[Problems to be Solved by the Invention] However, it is difficult to manufacture the block mirror 7 so that the angle between the first reflective surface 7A and the second reflective surface 7B is perfectly 90 degrees. For example, in a resonator in which the distance between the output mirror 3 and the block mirror 7 is 2 m, the angle between the first reflective surface 7A and the second reflective surface 7B of the block mirror 7 is 90 degrees, as shown in FIG. However, if it were actually 89.95 degrees, the optical axis of the laser beam LB would be deviated by 3.5 degrees on 8 planes, which would cause a problem.
また、ブロックミラー７の設置姿勢について、第６図の
−Ｆ下方向軸まわりの角度（あおり角度）の設置誤差が
第７図に示すようにあると、ブロックミラー７によって
反射されて折り返すレーザビームＬＢの光路は、あおり
角度誤差の２倍の光軸角度のずれが生じる。In addition, if there is an error in the installation posture of the block mirror 7 in the angle (tilt angle) around the -F downward axis in FIG. 6 as shown in FIG. 7, the laser beam reflected by the block mirror 7 and returned In the optical path of LB, an optical axis angle deviation twice as large as the tilt angle error occurs.
なお、レーザ光軸の位置ずれの許容値は、ビーム径、モ
ード、共振器構成、ビーム品質の要求度等により異なる
が、通常、前記例の１０％程度、すなわち０．００５度
の角度精度が要求される。Note that the allowable value for the positional deviation of the laser optical axis varies depending on the beam diameter, mode, resonator configuration, beam quality requirements, etc., but usually the angular accuracy is about 10% of the above example, that is, 0.005 degrees. required.
ブロックミラー７が、第８１Ａに示すように３個以上も
ある場合には、さらに許容値は小さくなり、角度精度の
高い反射面のブロックミラー７を精確に設置することが
要求される。When there are three or more block mirrors 7 as shown in No. 81A, the tolerance value becomes even smaller, and it is required to accurately install the block mirrors 7 having reflective surfaces with high angle accuracy.
以上のように、従来のレーザ装置は、非常に高度なブロ
ックミラー７の反射面の角度精度及び設置精度が要求さ
れ、この精度の要求が満足されないと、レーザ発振器と
して出力効率の高いものが得られないという課題があっ
た。As described above, conventional laser devices require extremely high angular precision and installation precision of the reflecting surface of the block mirror 7, and if these precision requirements are not met, a laser oscillator with high output efficiency cannot be obtained. The problem was that it could not be done.
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、ブロックミラーの設置位置及び設置角度を容易
に調整することができ、もって、レーザビームの光路が
所定の位置、角度となるように調整することにより、出
力効率の高いレーザ発振器を得ることを目的とする。This invention was made to solve the above-mentioned problems, and it is possible to easily adjust the installation position and installation angle of the block mirror, so that the optical path of the laser beam is at a predetermined position and angle. The purpose is to obtain a laser oscillator with high output efficiency by adjusting the output efficiency.
［課題を解決するための手段］
この発明に係るレーザ発振器は、ブロックミラーの一対
の反射面を互いに対称に分ける平面に垂直な方向に前記
ブロックミラーの位置を調整設定可能とするスライド機
構を有するミラーホルダに前記ブロックミラーを保持さ
せ、該ミラーホルダは取付は角度の調整設定が可能な角
度調整機構を介してレーザ発振器本体に取り付けたもの
である。[Means for Solving the Problems] A laser oscillator according to the present invention has a slide mechanism that allows the position of the block mirror to be adjusted and set in a direction perpendicular to a plane that symmetrically divides a pair of reflecting surfaces of the block mirror. The block mirror is held in a mirror holder, and the mirror holder is attached to the laser oscillator main body via an angle adjustment mechanism that allows adjustment and setting of the angle.
［作用］
この発明におけるレーザ発振器のブロックミラーは、位
置の調整設定可能なスライド機構を有するミラーホルダ
に保持され、このミラーホルダは角度の調整設定が可能
であるので、ブロックミラーを位置の調整設定をしてミ
ラーホルダに保持させ、ミラーホルダの角度を調整設定
すれば、このブロックミラーによって反射されるレーザ
ビームの光路が所望の位置、方向に調整設定される。[Operation] The block mirror of the laser oscillator according to the present invention is held in a mirror holder having a slide mechanism whose position can be adjusted, and the angle of this mirror holder can be adjusted, so the block mirror can be adjusted and set. By holding the block mirror in a mirror holder and adjusting the angle of the mirror holder, the optical path of the laser beam reflected by this block mirror can be adjusted to a desired position and direction.
［実施例］ 以下この発明の一実施例を図について説明する。[Example] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１１図はこの発明の一実施例によるレーザ発振器のブ
ロックミラーの調整機構を示す斜視図である６図におい
て、７はブロックミラー、２０はミラーホルダ、２３は
スライド溝、４１．４２．４３は調整棒、６０は支点で
ある。FIG. 11 is a perspective view showing a block mirror adjustment mechanism of a laser oscillator according to an embodiment of the present invention. In FIG. 6, 7 is a block mirror, 20 is a mirror holder, 23 is a slide groove, and 41, 42, 43 are The adjustment rod 60 is a fulcrum.
ブロックミラー７は互いにほぼ９０度の角度をなすよう
に形成された第１反射面７Ａと第２反射面７Ｂを有して
いる。また、ブロックミラー７はミラーホルダ２０のス
ライド溝２３にスライド可能に嵌挿されており、図示し
ないねじ及び長穴等により、任意の位置に調節して固定
することができるようになっている。スライド溝２３は
、ブロックミラー７の第１反射面７Ａと第２反射面７Ｂ
とを互いに対称に分ける平面に垂直な方向に設けられて
いる。The block mirror 7 has a first reflective surface 7A and a second reflective surface 7B that are formed at an angle of approximately 90 degrees to each other. Further, the block mirror 7 is slidably inserted into the slide groove 23 of the mirror holder 20, and can be adjusted and fixed at any position using screws, elongated holes, etc. (not shown). The slide groove 23 connects the first reflective surface 7A and the second reflective surface 7B of the block mirror 7.
It is provided in a direction perpendicular to a plane that symmetrically divides the two.
ミラーホルダ２０は調整棒４１．４２．４３によって支
点６０に支持されている。調整棒４１゜４２．４３はね
じ等によって長さの調節が可能である。支点６０はレー
ザ発振器の本体である容器または枠体に設けられた固定
点である。なお、ミラーホルダ２０とレーザ発振器本体
との間には図示しないコイルばね等が設けられており、
上記調整棒のねじのバックラッシ等による狂いを除去し
精密な調整ができるようになっている。The mirror holder 20 is supported on a fulcrum 60 by adjustment rods 41, 42, 43. The lengths of the adjustment rods 41, 42, and 43 can be adjusted using screws or the like. The fulcrum 60 is a fixed point provided on the container or frame that is the main body of the laser oscillator. Note that a coil spring (not shown) is provided between the mirror holder 20 and the laser oscillator body.
Precise adjustment is possible by eliminating deviations due to backlash of the screw of the adjustment rod.
次に、このブロックミラーの調整方法について説明する
。ブロックミラーで反射されて行く反射光の光路を平行
移動せせるには、第１図、第２図に示すように、ブロッ
クミラー７をミラーホルダ２０のスライド溝２３内で移
動させて図示しない長穴にねじを締めて固定する。第２
図において、ブロックミラー７が実線で示す位置にあっ
たとすれば、図示Ａから入射するレーザビームＬＢＩは
ブロックミラー７の第１反射面７Ａに当たって反射し、
次に第２反射面７Ｂに当たって反射し、レーザビームし
Ｂ２となって、図示ａの地点に出射する。次に、ブロッ
クミラー７を破線で示す位置に移動して固定したとすれ
ば、入射光ＬＲＩは第１反射面７Ａ及び第２反射面７Ｂ
で図示のように反射し、出射光ＬＢ３となって図示すの
地点に出射する。こうして、ブロックミラー７をミラー
ホルダ２０のスライド溝２３内で移動させ、位置を調整
し、固定すれば、ブロックミラー７で反射されて出射す
るレーザビームＬＢの光路を平行移動させて任意の位置
に設定することができる。Next, a method for adjusting this block mirror will be explained. In order to move the optical path of the reflected light reflected by the block mirror in parallel, as shown in FIGS. Tighten the screw to secure it. Second
In the figure, if the block mirror 7 is located at the position indicated by the solid line, the laser beam LBI incident from A in the figure will hit the first reflective surface 7A of the block mirror 7 and be reflected.
Next, it hits the second reflecting surface 7B and is reflected, becoming a laser beam B2 and emitted to a point a in the figure. Next, if the block mirror 7 is moved to the position shown by the broken line and fixed, the incident light LRI will be transmitted to the first reflective surface 7A and the second reflective surface 7B.
The light is reflected as shown in the figure, and becomes the emitted light LB3, which is emitted to the point shown in the figure. In this way, by moving the block mirror 7 within the slide groove 23 of the mirror holder 20, adjusting the position, and fixing it, the optical path of the laser beam LB reflected by the block mirror 7 and emitted can be moved in parallel to the desired position. Can be set.
次に、レーザビームの出射方向を調整するには第１図に
おいて、調整棒４１のねじを回して長さを調整すれば、
ミラーホルダ２０は調整棒４２゜４３の支点を中心とし
て角度（あおり角）が変更される。第３図に示すように
、プロ・ツクミラー７が実線で示す角度姿勢に調整設定
されるとＡからの入射光ＬＢＩは反射して出射光ＬＢ２
となりＣ方向に行く。ブロックミラー７が破線で示す姿
勢に調整設定されると同じ入射光ＬＢＩに対して出射光
ＬＢ３となりｂ方向へ行く。ブロックミラー７を図示し
ない反対方向へ傾けたときは出射光はＬＢ４となりＣ方
向へ行く。以上のように、Ｈｇ棒４１のねじを回して長
さを調節し、ミラーホルダ２０のあおり角を調整すれば
、ブロックミラー７から反射されて行くレーザビームの
方向を調整することができる。なお、調整棒４３を調整
することにより、上記と直交する方向の角度を調整する
こともできる。Next, to adjust the emission direction of the laser beam, as shown in FIG. 1, turn the screw of the adjustment rod 41 to adjust the length.
The angle (tilt angle) of the mirror holder 20 is changed around the fulcrum of the adjustment rods 42 and 43. As shown in FIG. 3, when the professional mirror 7 is adjusted to the angular attitude shown by the solid line, the incident light LBI from A is reflected and the output light LB2
Next, go in the C direction. When the block mirror 7 is adjusted and set to the attitude shown by the broken line, the output light LB3 becomes an output light LB3 for the same incident light LBI and goes in the b direction. When the block mirror 7 is tilted in the opposite direction (not shown), the emitted light becomes LB4 and goes in the C direction. As described above, by adjusting the length of the Hg rod 41 by turning the screw and adjusting the tilt angle of the mirror holder 20, the direction of the laser beam reflected from the block mirror 7 can be adjusted. Note that by adjusting the adjustment rod 43, the angle in the direction orthogonal to the above can also be adjusted.
以上のように、ミラーホルダ２０によって、ブロックミ
ラー７の位置、角度を調整設定し、ブロックミラー７で
折り返えされるレーザ光路を調整できるので、ブロック
ミラーの反射面の角度精度やブロックミラーの設置精度
が要求されることなく、レーザ光路を所定の位置方向に
調整設定して出力効率を高めることができる。As described above, the position and angle of the block mirror 7 can be adjusted and set using the mirror holder 20, and the laser beam path reflected by the block mirror 7 can be adjusted, so the angular accuracy of the reflective surface of the block mirror and the installation of the block mirror can be adjusted. The output efficiency can be increased by adjusting and setting the laser optical path in a predetermined position direction without requiring precision.
なお、上記実施例では、ブロックミラー７のスライド調
整設定機構として、スライド溝２３と図示しないねじと
長穴を用いたが、その代わりにラックとビニオン、また
は、リニアベアリングを用いたガイド方式などを用いて
もよく、また、調整は手動に限らずステッピングモータ
、リニアモータ等を用いてもよい。また、あおり角調整
Ｒｍについても、上記実施例は一例を示すもので、ジン
バル機構等を用いてもよい。In the above embodiment, the slide groove 23 and screws and elongated holes (not shown) are used as the slide adjustment setting mechanism of the block mirror 7, but instead, a guide system using a rack and pinion or a linear bearing may be used. Further, the adjustment is not limited to manual operation, but may also be performed using a stepping motor, a linear motor, or the like. Further, regarding the tilt angle adjustment Rm, the above embodiment shows an example, and a gimbal mechanism or the like may be used.
なお、この発明によるブロックミラーの調整手段はブロ
ックミラーの反射面のなす角が直角でない場合でも適用
可能である。Note that the block mirror adjusting means according to the present invention can be applied even when the angle formed by the reflecting surface of the block mirror is not a right angle.
また、レーザビームの反射手段等についても上記実施例
の説明に限定されるものではなく、第８図に示すように
レーザビームの折り返し数が多いレーザ発振器でもよく
、また、放電、ガス流れの方向等も上記実施例の説明に
限定されない。Furthermore, the means for reflecting the laser beam, etc., are not limited to those described in the above embodiments, and may be a laser oscillator with a large number of turns of the laser beam, as shown in FIG. etc. are not limited to the description of the above embodiments.
［発明の効果］
以上のように、この発明によれば、スライド調整機構及
びあおり調整ＩＲ横を備えたミラーホルダによって、プ
ロ・ツクミラーの位置と姿勢角を調整することによって
レーザビームの位置と方向を調整することができるので
、ブロックミラーの反射面の角度精度を必要とせず、上
記調整により性能の高いレーザ発振器が得られる効果が
ある。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the position and direction of the laser beam can be adjusted by adjusting the position and attitude angle of the professional mirror using the mirror holder equipped with the slide adjustment mechanism and the tilt adjustment IR side. can be adjusted, there is no need for angular precision of the reflecting surface of the block mirror, and the above adjustment has the effect of providing a laser oscillator with high performance.
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ発振器のブロ
ックミラーの調整機構を示す斜視図、第２図は第１図の
スライド動作説明図、第３図は第１図のあおり角動作説
明図である。第４図はレーザ発振器の説明図、第５図は
ブロックミラーの機能説明図、第６図は角度誤差の説明
図、第７ＵＡはあおり角誤差の説明図、第８図は他のレ
ーザ発振器の説明図である。
図において、ＬＢはレーザビーム、７はブロックミラー
、７Ａ、７Ｂは反射面、２０はミラーホルダ、２３はス
ライド溝、４１．４２．４３は調整棒、６０は支点であ
る。
なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。FIG. 1 is a perspective view showing an adjustment mechanism of a block mirror of a laser oscillator according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram of the sliding operation of FIG. 1, and FIG. 3 is an explanatory diagram of the tilt angle operation of FIG. 1. It is. Fig. 4 is an explanatory diagram of the laser oscillator, Fig. 5 is an explanatory diagram of the function of the block mirror, Fig. 6 is an explanatory diagram of angular error, 7UA is an explanatory diagram of tilt angle error, and Fig. 8 is an explanatory diagram of other laser oscillators. It is an explanatory diagram. In the figure, LB is a laser beam, 7 is a block mirror, 7A, 7B are reflective surfaces, 20 is a mirror holder, 23 is a slide groove, 41, 42, 43 is an adjustment rod, and 60 is a fulcrum. In addition, in the figures, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.
Claims (1)
ビームを折り返すブロックミラーを備えたレーザ発振器
において、前記ブロックミラーの一対の反射面を互いに
対称に分ける平面に垂直な方向に前記ブロックミラーの
位置を調整設定可能とするスライド機構を有するミラー
ホルダに前記ブロックミラーを保持させ、該ミラーホル
ダは取付け角度の調整設定が可能な角度調整機構を介し
てレーザ発振器本体に取り付けたことを特徴とするレー
ザ発振器。In a laser oscillator equipped with a block mirror that sequentially reflects a laser beam on a pair of reflective surfaces substantially perpendicular to each other to fold back a laser beam, the block mirror is configured to rotate in a direction perpendicular to a plane that symmetrically divides the pair of reflective surfaces of the block mirror. The block mirror is held by a mirror holder having a slide mechanism whose position can be adjusted and set, and the mirror holder is attached to the laser oscillator main body via an angle adjustment mechanism whose mounting angle can be adjusted and set. laser oscillator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63220060A JPH0797670B2 (en) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | Laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63220060A JPH0797670B2 (en) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | Laser oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0268972A true JPH0268972A (en) | 1990-03-08 |
| JPH0797670B2 JPH0797670B2 (en) | 1995-10-18 |
Family
ID=16745311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63220060A Expired - Lifetime JPH0797670B2 (en) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | Laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0797670B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20180034229A1 (en) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | Via Mechanics, Ltd. | Laser oscillator |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5360779U (en) * | 1976-10-26 | 1978-05-23 | ||
| JPS58132204A (en) * | 1982-02-01 | 1983-08-06 | Hoya Corp | Shifting device |
| JPS6376784A (en) * | 1986-09-19 | 1988-04-07 | Mitsubishi Electric Corp | Rotary head for laser beam machine |
| JPS6473784A (en) * | 1987-09-16 | 1989-03-20 | Fanuc Ltd | Turning mirror for laser oscillator and adjustment thereof |
-
1988
- 1988-09-02 JP JP63220060A patent/JPH0797670B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5360779U (en) * | 1976-10-26 | 1978-05-23 | ||
| JPS58132204A (en) * | 1982-02-01 | 1983-08-06 | Hoya Corp | Shifting device |
| JPS6376784A (en) * | 1986-09-19 | 1988-04-07 | Mitsubishi Electric Corp | Rotary head for laser beam machine |
| JPS6473784A (en) * | 1987-09-16 | 1989-03-20 | Fanuc Ltd | Turning mirror for laser oscillator and adjustment thereof |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20180034229A1 (en) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | Via Mechanics, Ltd. | Laser oscillator |
| US10116112B2 (en) * | 2016-07-28 | 2018-10-30 | Via Mechanics, Ltd. | Laser oscillator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0797670B2 (en) | 1995-10-18 |
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