JPH0268972A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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- JPH0268972A JPH0268972A JP22006088A JP22006088A JPH0268972A JP H0268972 A JPH0268972 A JP H0268972A JP 22006088 A JP22006088 A JP 22006088A JP 22006088 A JP22006088 A JP 22006088A JP H0268972 A JPH0268972 A JP H0268972A
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- Japan
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- mirror
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- block mirror
- laser oscillator
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、ガスレーザ発振器のプロ・ツクミラーの位
置、角度を調整し、発振器内のレーザ光路を調整する機
構に関するものである。
置、角度を調整し、発振器内のレーザ光路を調整する機
構に関するものである。
[従来の技術]
第4図は、例えば特開昭62−276889号公報に示
された従来のガスレーザ発振器の共振器の模式図である
。共振部1内には矢印Gのようにガスが流れており、破
線で示す放電領域Eでは、このガスが励起されてレーザ
光を発振するレーザ媒質となっている。ガス流れ方向に
対して直交する放電領域E外の一方側に出力ミラー3と
ブロックミラー72が、他方側にリアミラー5とブロッ
クミラー71が設けられている。ブロックミラー71.
72にはレーザ光軸に対して45度の角度をなし互いに
90度の角度をなす第1反射面71A、72A及び第2
反射面71B、72Bがそれぞれ設けられている。
された従来のガスレーザ発振器の共振器の模式図である
。共振部1内には矢印Gのようにガスが流れており、破
線で示す放電領域Eでは、このガスが励起されてレーザ
光を発振するレーザ媒質となっている。ガス流れ方向に
対して直交する放電領域E外の一方側に出力ミラー3と
ブロックミラー72が、他方側にリアミラー5とブロッ
クミラー71が設けられている。ブロックミラー71.
72にはレーザ光軸に対して45度の角度をなし互いに
90度の角度をなす第1反射面71A、72A及び第2
反射面71B、72Bがそれぞれ設けられている。
第4図において、放電領域Eで発振したレーザビームL
Bは、リアミラー5.ブロックミラー72の第2反射面
72B、第1反射面72A、ブロックミラー71の第2
反射面71B、第1反射面71A及び出力ミラー3で反
射されて、放電領域Eを反復通過して増幅される。
Bは、リアミラー5.ブロックミラー72の第2反射面
72B、第1反射面72A、ブロックミラー71の第2
反射面71B、第1反射面71A及び出力ミラー3で反
射されて、放電領域Eを反復通過して増幅される。
第5図はブロックミラー7の拡大図である。図において
、例えばレーザビームLBIが第2反射面7Bに当たり
反射して第1反射面7Aに当たり反射してレーザビーム
L B 2となる場合、レーザビームLBIとLB2と
は平行で逆方向のものとなる。これはブロックミラー7
の第1反射面7Aと第2反射面7Bとは正確に90度と
なるように作られているので、ブロックミラー7の設置
角度が多少変化しても、また、レーザビームLBIの方
向が多少変化しても、LBIとLB2とは平行で逆方向
のレーザビームとなる。
、例えばレーザビームLBIが第2反射面7Bに当たり
反射して第1反射面7Aに当たり反射してレーザビーム
L B 2となる場合、レーザビームLBIとLB2と
は平行で逆方向のものとなる。これはブロックミラー7
の第1反射面7Aと第2反射面7Bとは正確に90度と
なるように作られているので、ブロックミラー7の設置
角度が多少変化しても、また、レーザビームLBIの方
向が多少変化しても、LBIとLB2とは平行で逆方向
のレーザビームとなる。
以上のように、レーザビームLBは、第4図に示すよう
に、設定された光路を通って往復し、放電領域Eで増幅
され、出力ミラー3を透過して射出し、レーザビームと
して利用される。
に、設定された光路を通って往復し、放電領域Eで増幅
され、出力ミラー3を透過して射出し、レーザビームと
して利用される。
[発明が解決しようとする課題]
ところが、ブロックミラー7の第1反射面7Aと第2反
射面7Bとのなす角を完全に90度になるように製作す
ることは困難である。例えば、出力ミラー3とブロック
ミラー7との間隔が2mである共振器において、第6図
に示すように、ブロックミラー7の第1反射面7Aと第
2反射面7Bとのなす角が90度を目標として作られた
が、実際には89.95度であったとすると、レーザビ
ームLBの光軸は8面上で3.5龍もずれてしまい、天
川上問題がある。
射面7Bとのなす角を完全に90度になるように製作す
ることは困難である。例えば、出力ミラー3とブロック
ミラー7との間隔が2mである共振器において、第6図
に示すように、ブロックミラー7の第1反射面7Aと第
2反射面7Bとのなす角が90度を目標として作られた
が、実際には89.95度であったとすると、レーザビ
ームLBの光軸は8面上で3.5龍もずれてしまい、天
川上問題がある。
また、ブロックミラー7の設置姿勢について、第6図の
−F下方向軸まわりの角度(あおり角度)の設置誤差が
第7図に示すようにあると、ブロックミラー7によって
反射されて折り返すレーザビームLBの光路は、あおり
角度誤差の2倍の光軸角度のずれが生じる。
−F下方向軸まわりの角度(あおり角度)の設置誤差が
第7図に示すようにあると、ブロックミラー7によって
反射されて折り返すレーザビームLBの光路は、あおり
角度誤差の2倍の光軸角度のずれが生じる。
なお、レーザ光軸の位置ずれの許容値は、ビーム径、モ
ード、共振器構成、ビーム品質の要求度等により異なる
が、通常、前記例の10%程度、すなわち0.005度
の角度精度が要求される。
ード、共振器構成、ビーム品質の要求度等により異なる
が、通常、前記例の10%程度、すなわち0.005度
の角度精度が要求される。
ブロックミラー7が、第81Aに示すように3個以上も
ある場合には、さらに許容値は小さくなり、角度精度の
高い反射面のブロックミラー7を精確に設置することが
要求される。
ある場合には、さらに許容値は小さくなり、角度精度の
高い反射面のブロックミラー7を精確に設置することが
要求される。
以上のように、従来のレーザ装置は、非常に高度なブロ
ックミラー7の反射面の角度精度及び設置精度が要求さ
れ、この精度の要求が満足されないと、レーザ発振器と
して出力効率の高いものが得られないという課題があっ
た。
ックミラー7の反射面の角度精度及び設置精度が要求さ
れ、この精度の要求が満足されないと、レーザ発振器と
して出力効率の高いものが得られないという課題があっ
た。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、ブロックミラーの設置位置及び設置角度を容易
に調整することができ、もって、レーザビームの光路が
所定の位置、角度となるように調整することにより、出
力効率の高いレーザ発振器を得ることを目的とする。
もので、ブロックミラーの設置位置及び設置角度を容易
に調整することができ、もって、レーザビームの光路が
所定の位置、角度となるように調整することにより、出
力効率の高いレーザ発振器を得ることを目的とする。
[課題を解決するための手段]
この発明に係るレーザ発振器は、ブロックミラーの一対
の反射面を互いに対称に分ける平面に垂直な方向に前記
ブロックミラーの位置を調整設定可能とするスライド機
構を有するミラーホルダに前記ブロックミラーを保持さ
せ、該ミラーホルダは取付は角度の調整設定が可能な角
度調整機構を介してレーザ発振器本体に取り付けたもの
である。
の反射面を互いに対称に分ける平面に垂直な方向に前記
ブロックミラーの位置を調整設定可能とするスライド機
構を有するミラーホルダに前記ブロックミラーを保持さ
せ、該ミラーホルダは取付は角度の調整設定が可能な角
度調整機構を介してレーザ発振器本体に取り付けたもの
である。
[作用]
この発明におけるレーザ発振器のブロックミラーは、位
置の調整設定可能なスライド機構を有するミラーホルダ
に保持され、このミラーホルダは角度の調整設定が可能
であるので、ブロックミラーを位置の調整設定をしてミ
ラーホルダに保持させ、ミラーホルダの角度を調整設定
すれば、このブロックミラーによって反射されるレーザ
ビームの光路が所望の位置、方向に調整設定される。
置の調整設定可能なスライド機構を有するミラーホルダ
に保持され、このミラーホルダは角度の調整設定が可能
であるので、ブロックミラーを位置の調整設定をしてミ
ラーホルダに保持させ、ミラーホルダの角度を調整設定
すれば、このブロックミラーによって反射されるレーザ
ビームの光路が所望の位置、方向に調整設定される。
[実施例]
以下この発明の一実施例を図について説明する。
第11図はこの発明の一実施例によるレーザ発振器のブ
ロックミラーの調整機構を示す斜視図である6図におい
て、7はブロックミラー、20はミラーホルダ、23は
スライド溝、41.42.43は調整棒、60は支点で
ある。
ロックミラーの調整機構を示す斜視図である6図におい
て、7はブロックミラー、20はミラーホルダ、23は
スライド溝、41.42.43は調整棒、60は支点で
ある。
ブロックミラー7は互いにほぼ90度の角度をなすよう
に形成された第1反射面7Aと第2反射面7Bを有して
いる。また、ブロックミラー7はミラーホルダ20のス
ライド溝23にスライド可能に嵌挿されており、図示し
ないねじ及び長穴等により、任意の位置に調節して固定
することができるようになっている。スライド溝23は
、ブロックミラー7の第1反射面7Aと第2反射面7B
とを互いに対称に分ける平面に垂直な方向に設けられて
いる。
に形成された第1反射面7Aと第2反射面7Bを有して
いる。また、ブロックミラー7はミラーホルダ20のス
ライド溝23にスライド可能に嵌挿されており、図示し
ないねじ及び長穴等により、任意の位置に調節して固定
することができるようになっている。スライド溝23は
、ブロックミラー7の第1反射面7Aと第2反射面7B
とを互いに対称に分ける平面に垂直な方向に設けられて
いる。
ミラーホルダ20は調整棒41.42.43によって支
点60に支持されている。調整棒41゜42.43はね
じ等によって長さの調節が可能である。支点60はレー
ザ発振器の本体である容器または枠体に設けられた固定
点である。なお、ミラーホルダ20とレーザ発振器本体
との間には図示しないコイルばね等が設けられており、
上記調整棒のねじのバックラッシ等による狂いを除去し
精密な調整ができるようになっている。
点60に支持されている。調整棒41゜42.43はね
じ等によって長さの調節が可能である。支点60はレー
ザ発振器の本体である容器または枠体に設けられた固定
点である。なお、ミラーホルダ20とレーザ発振器本体
との間には図示しないコイルばね等が設けられており、
上記調整棒のねじのバックラッシ等による狂いを除去し
精密な調整ができるようになっている。
次に、このブロックミラーの調整方法について説明する
。ブロックミラーで反射されて行く反射光の光路を平行
移動せせるには、第1図、第2図に示すように、ブロッ
クミラー7をミラーホルダ20のスライド溝23内で移
動させて図示しない長穴にねじを締めて固定する。第2
図において、ブロックミラー7が実線で示す位置にあっ
たとすれば、図示Aから入射するレーザビームLBIは
ブロックミラー7の第1反射面7Aに当たって反射し、
次に第2反射面7Bに当たって反射し、レーザビームし
B2となって、図示aの地点に出射する。次に、ブロッ
クミラー7を破線で示す位置に移動して固定したとすれ
ば、入射光LRIは第1反射面7A及び第2反射面7B
で図示のように反射し、出射光LB3となって図示すの
地点に出射する。こうして、ブロックミラー7をミラー
ホルダ20のスライド溝23内で移動させ、位置を調整
し、固定すれば、ブロックミラー7で反射されて出射す
るレーザビームLBの光路を平行移動させて任意の位置
に設定することができる。
。ブロックミラーで反射されて行く反射光の光路を平行
移動せせるには、第1図、第2図に示すように、ブロッ
クミラー7をミラーホルダ20のスライド溝23内で移
動させて図示しない長穴にねじを締めて固定する。第2
図において、ブロックミラー7が実線で示す位置にあっ
たとすれば、図示Aから入射するレーザビームLBIは
ブロックミラー7の第1反射面7Aに当たって反射し、
次に第2反射面7Bに当たって反射し、レーザビームし
B2となって、図示aの地点に出射する。次に、ブロッ
クミラー7を破線で示す位置に移動して固定したとすれ
ば、入射光LRIは第1反射面7A及び第2反射面7B
で図示のように反射し、出射光LB3となって図示すの
地点に出射する。こうして、ブロックミラー7をミラー
ホルダ20のスライド溝23内で移動させ、位置を調整
し、固定すれば、ブロックミラー7で反射されて出射す
るレーザビームLBの光路を平行移動させて任意の位置
に設定することができる。
次に、レーザビームの出射方向を調整するには第1図に
おいて、調整棒41のねじを回して長さを調整すれば、
ミラーホルダ20は調整棒42゜43の支点を中心とし
て角度(あおり角)が変更される。第3図に示すように
、プロ・ツクミラー7が実線で示す角度姿勢に調整設定
されるとAからの入射光LBIは反射して出射光LB2
となりC方向に行く。ブロックミラー7が破線で示す姿
勢に調整設定されると同じ入射光LBIに対して出射光
LB3となりb方向へ行く。ブロックミラー7を図示し
ない反対方向へ傾けたときは出射光はLB4となりC方
向へ行く。以上のように、Hg棒41のねじを回して長
さを調節し、ミラーホルダ20のあおり角を調整すれば
、ブロックミラー7から反射されて行くレーザビームの
方向を調整することができる。なお、調整棒43を調整
することにより、上記と直交する方向の角度を調整する
こともできる。
おいて、調整棒41のねじを回して長さを調整すれば、
ミラーホルダ20は調整棒42゜43の支点を中心とし
て角度(あおり角)が変更される。第3図に示すように
、プロ・ツクミラー7が実線で示す角度姿勢に調整設定
されるとAからの入射光LBIは反射して出射光LB2
となりC方向に行く。ブロックミラー7が破線で示す姿
勢に調整設定されると同じ入射光LBIに対して出射光
LB3となりb方向へ行く。ブロックミラー7を図示し
ない反対方向へ傾けたときは出射光はLB4となりC方
向へ行く。以上のように、Hg棒41のねじを回して長
さを調節し、ミラーホルダ20のあおり角を調整すれば
、ブロックミラー7から反射されて行くレーザビームの
方向を調整することができる。なお、調整棒43を調整
することにより、上記と直交する方向の角度を調整する
こともできる。
以上のように、ミラーホルダ20によって、ブロックミ
ラー7の位置、角度を調整設定し、ブロックミラー7で
折り返えされるレーザ光路を調整できるので、ブロック
ミラーの反射面の角度精度やブロックミラーの設置精度
が要求されることなく、レーザ光路を所定の位置方向に
調整設定して出力効率を高めることができる。
ラー7の位置、角度を調整設定し、ブロックミラー7で
折り返えされるレーザ光路を調整できるので、ブロック
ミラーの反射面の角度精度やブロックミラーの設置精度
が要求されることなく、レーザ光路を所定の位置方向に
調整設定して出力効率を高めることができる。
なお、上記実施例では、ブロックミラー7のスライド調
整設定機構として、スライド溝23と図示しないねじと
長穴を用いたが、その代わりにラックとビニオン、また
は、リニアベアリングを用いたガイド方式などを用いて
もよく、また、調整は手動に限らずステッピングモータ
、リニアモータ等を用いてもよい。また、あおり角調整
Rmについても、上記実施例は一例を示すもので、ジン
バル機構等を用いてもよい。
整設定機構として、スライド溝23と図示しないねじと
長穴を用いたが、その代わりにラックとビニオン、また
は、リニアベアリングを用いたガイド方式などを用いて
もよく、また、調整は手動に限らずステッピングモータ
、リニアモータ等を用いてもよい。また、あおり角調整
Rmについても、上記実施例は一例を示すもので、ジン
バル機構等を用いてもよい。
なお、この発明によるブロックミラーの調整手段はブロ
ックミラーの反射面のなす角が直角でない場合でも適用
可能である。
ックミラーの反射面のなす角が直角でない場合でも適用
可能である。
また、レーザビームの反射手段等についても上記実施例
の説明に限定されるものではなく、第8図に示すように
レーザビームの折り返し数が多いレーザ発振器でもよく
、また、放電、ガス流れの方向等も上記実施例の説明に
限定されない。
の説明に限定されるものではなく、第8図に示すように
レーザビームの折り返し数が多いレーザ発振器でもよく
、また、放電、ガス流れの方向等も上記実施例の説明に
限定されない。
[発明の効果]
以上のように、この発明によれば、スライド調整機構及
びあおり調整IR横を備えたミラーホルダによって、プ
ロ・ツクミラーの位置と姿勢角を調整することによって
レーザビームの位置と方向を調整することができるので
、ブロックミラーの反射面の角度精度を必要とせず、上
記調整により性能の高いレーザ発振器が得られる効果が
ある。
びあおり調整IR横を備えたミラーホルダによって、プ
ロ・ツクミラーの位置と姿勢角を調整することによって
レーザビームの位置と方向を調整することができるので
、ブロックミラーの反射面の角度精度を必要とせず、上
記調整により性能の高いレーザ発振器が得られる効果が
ある。
第1図はこの発明の一実施例によるレーザ発振器のブロ
ックミラーの調整機構を示す斜視図、第2図は第1図の
スライド動作説明図、第3図は第1図のあおり角動作説
明図である。第4図はレーザ発振器の説明図、第5図は
ブロックミラーの機能説明図、第6図は角度誤差の説明
図、第7UAはあおり角誤差の説明図、第8図は他のレ
ーザ発振器の説明図である。 図において、LBはレーザビーム、7はブロックミラー
、7A、7Bは反射面、20はミラーホルダ、23はス
ライド溝、41.42.43は調整棒、60は支点であ
る。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
ックミラーの調整機構を示す斜視図、第2図は第1図の
スライド動作説明図、第3図は第1図のあおり角動作説
明図である。第4図はレーザ発振器の説明図、第5図は
ブロックミラーの機能説明図、第6図は角度誤差の説明
図、第7UAはあおり角誤差の説明図、第8図は他のレ
ーザ発振器の説明図である。 図において、LBはレーザビーム、7はブロックミラー
、7A、7Bは反射面、20はミラーホルダ、23はス
ライド溝、41.42.43は調整棒、60は支点であ
る。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 互いにほぼ垂直な1対の反射面で順次反射させてレーザ
ビームを折り返すブロックミラーを備えたレーザ発振器
において、前記ブロックミラーの一対の反射面を互いに
対称に分ける平面に垂直な方向に前記ブロックミラーの
位置を調整設定可能とするスライド機構を有するミラー
ホルダに前記ブロックミラーを保持させ、該ミラーホル
ダは取付け角度の調整設定が可能な角度調整機構を介し
てレーザ発振器本体に取り付けたことを特徴とするレー
ザ発振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63220060A JPH0797670B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63220060A JPH0797670B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | レーザ発振器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0268972A true JPH0268972A (ja) | 1990-03-08 |
JPH0797670B2 JPH0797670B2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=16745311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63220060A Expired - Lifetime JPH0797670B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0797670B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20180034229A1 (en) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | Via Mechanics, Ltd. | Laser oscillator |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5360779U (ja) * | 1976-10-26 | 1978-05-23 | ||
JPS58132204A (ja) * | 1982-02-01 | 1983-08-06 | Hoya Corp | 煽り装置 |
JPS6376784A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-07 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工機用の回転ヘツド |
JPS6473784A (en) * | 1987-09-16 | 1989-03-20 | Fanuc Ltd | Turning mirror for laser oscillator and adjustment thereof |
-
1988
- 1988-09-02 JP JP63220060A patent/JPH0797670B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5360779U (ja) * | 1976-10-26 | 1978-05-23 | ||
JPS58132204A (ja) * | 1982-02-01 | 1983-08-06 | Hoya Corp | 煽り装置 |
JPS6376784A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-07 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工機用の回転ヘツド |
JPS6473784A (en) * | 1987-09-16 | 1989-03-20 | Fanuc Ltd | Turning mirror for laser oscillator and adjustment thereof |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20180034229A1 (en) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | Via Mechanics, Ltd. | Laser oscillator |
US10116112B2 (en) * | 2016-07-28 | 2018-10-30 | Via Mechanics, Ltd. | Laser oscillator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0797670B2 (ja) | 1995-10-18 |
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