JPH0818143A - Optical parts positioning apparatus - Google Patents
Optical parts positioning apparatusInfo
- Publication number
- JPH0818143A JPH0818143A JP6144550A JP14455094A JPH0818143A JP H0818143 A JPH0818143 A JP H0818143A JP 6144550 A JP6144550 A JP 6144550A JP 14455094 A JP14455094 A JP 14455094A JP H0818143 A JPH0818143 A JP H0818143A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- laser light
- adjusting
- optical
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は光学部品、とくにレ−
ザ光を狭帯域化するために利用されるグレ−テイングを
上記レ−ザ光の光軸に対して位置決めするための位置決
め装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to optical parts, especially lasers.
The present invention relates to a positioning device for positioning a grating used for narrowing the band of laser light with respect to the optical axis of the laser light.
【０００２】[0002]
【従来の技術】発振波長範囲が広い励起媒質を用いて発
振スペクトル幅を狭帯域化するレ−ザ発振装置として、
たとえばヘンシュ型色素レ−ザ発振装置が知られてい
る。このレ−ザ発振装置は、図４に示すように出力ミラ
−２とグレ−テイング３とを所定間隔で離間対向させて
配設した光共振器１を備えている。この光共振器１の内
部にはレ−ザ媒質である、色素溶液が流通する色素セル
４、一対のプリズム５ａからなるビ−ムエキスパンダ５
およびエタロン６が設けられている。2. Description of the Related Art As a laser oscillating device for narrowing the oscillation spectrum width using an excitation medium having a wide oscillation wavelength range,
For example, a Hensch type dye laser oscillator is known. As shown in FIG. 4, this laser oscillating device includes an optical resonator 1 in which an output mirror-2 and a grating 3 are arranged so as to face each other at a predetermined interval. Inside the optical resonator 1, a beam expander 5 composed of a dye cell 4, which is a laser medium, through which a dye solution flows, and a pair of prisms 5a.
And an etalon 6 are provided.
【０００３】上記構成において、色素セル４を流れる色
素溶液が図示しない励起光によって励起されることでレ
−ザ光Ｌが発生し、そのレ−ザ光Ｌは、ビ−ムエキスパ
ンダ５によってビ−ム径が拡大されてエタロン６および
グレ−テイング３に入射することで波長が選択されて狭
帯域化される。In the above arrangement, the dye solution flowing through the dye cell 4 is excited by exciting light (not shown) to generate laser light L, which is emitted by the beam expander 5. The wavelength is selected and narrowed by entering the etalon 6 and the grating 3 with an expanded beam diameter.
【０００４】狭帯域化されたレ−ザ光Ｌは、出力ミラ−
２とグレ−テイング３との間で反射を繰り返して増幅さ
れ、上記出力ミラ−２から誘導放出される。出力ミラ−
２から発振されるレ−ザ光Ｌがマルチモ−ドの場合、発
振波長を変更するには上記エタロン６とグレ−テイング
３との、２つの光学部品の光軸に対する角度を変えるこ
とで行い、またシングルモ−ド発振の場合には上記２つ
の光学部品の角度調整に加えて出力ミラ−２を光軸方向
に移動させ、共振器１の長さを変えることで行われる。The laser light L having a narrow band is output to the output mirror.
2 and the grating 3 are repeatedly reflected and amplified, and are stimulated and emitted from the output mirror-2. Output mirror
When the laser light L oscillated from 2 is in multimode, the oscillation wavelength can be changed by changing the angles of the etalon 6 and the grating 3 with respect to the optical axes of the two optical components. In the case of single mode oscillation, in addition to adjusting the angles of the above two optical components, the output mirror-2 is moved in the optical axis direction to change the length of the resonator 1.
【０００５】波長を変更した際、レ−ザ光Ｌの出力や偏
光が変らないようにするためには、グレ−テイング３の
回転軸、レ−ザ光Ｌの光軸および発振されるレ−ザ光Ｌ
の偏光の３つが確実に直交していなければならない。In order to prevent the output and polarization of the laser light L from changing when the wavelength is changed, the rotation axis of the grating 3 and the optical axis of the laser light L and the oscillated laser are generated. The Light L
Must ensure that all three polarizations are orthogonal.
【０００６】図５（ａ）、（ｂ）は従来のグレ−テイン
グ３のクランパ１１を示す。同図中１２は回転ステ−ジ
である。この回転ステ−ジ１２の上面には保持部１３が
設けられ、この保持部１３にグレ−テイング３がねじ１
４によって保持される。そして、クランパ１１は、グレ
−テイング３がレ−ザ光Ｌの光軸に対して傾き角度の調
整自在に設置されるようになっている。5 (a) and 5 (b) show a clamper 11 of a conventional grating 3. In the figure, 12 is a rotation stage. A holding portion 13 is provided on the upper surface of the rotary stage 12, and the holding portion 13 has the grating 3 with the screw 1 attached thereto.
Held by 4. Then, the clamper 11 is arranged such that the grating 3 is adjustable in its tilt angle with respect to the optical axis of the laser light L.
【０００７】しかしながら、このような構成のクランパ
１１によると、そのクランパ１１の設置精度だけにたよ
ってグレ−テイング３を設置することになるため、波長
の変更を行ってレ−ザ光Ｌの光軸が変化すると、その光
軸に対して上記グレ−テイング３の回転軸および発振さ
れるレ−ザ光Ｌの偏光方向の３つが直交するよう、調整
することが容易でないということがあった。However, according to the clamper 11 having such a configuration, the grating 3 is installed only by the installation accuracy of the clamper 11, so that the wavelength of the laser light L is changed by changing the wavelength. When the axis changes, it is sometimes difficult to make adjustment so that the rotation axis of the grating 3 and the polarization direction of the oscillated laser light L are orthogonal to the optical axis.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】このように、従来はグ
レ−テイングをクランパに単に保持固定して設けている
だけであったので、波長の変更にともない光軸が変化す
ると、それに応じて光学部品としての上記グレ−テイン
グによってその回転軸、レ−ザ光の光軸および発振され
るレ−ザ光の偏光の３つが直交するよう、調整すること
が容易でないということがあった。As described above, the grating is conventionally provided only by holding and fixing it on the clamper. Therefore, if the optical axis changes with the change of the wavelength, the optics is changed accordingly. It has been sometimes difficult to adjust the rotation axis, the optical axis of the laser light, and the polarization of the oscillated laser light so that they are orthogonal to each other due to the above-mentioned grading as a component.
【０００９】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、光学部品の回転軸、レ−
ザ光の光軸および発振されるレ−ザ光の偏光の３つが直
交するよう、容易に調整できる光学部品の位置決め装置
を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances. The object of the present invention is to provide a rotating shaft of an optical component and a laser.
An object of the present invention is to provide a positioning device for an optical component that can be easily adjusted so that the optical axis of the laser light and the polarization of the oscillated laser light are orthogonal to each other.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、レ−ザ光の光路に設けられた光学部品
を、上記レ−ザ光の光軸に対して位置決めする装置にお
いて、上記光学部品の上記レ−ザ光の光軸方向に沿う前
後方向の傾きを調整する第１の調整手段と、上記光学部
品の上記前後方向と直交する左右方向の傾きを調整する
第２の調整手段と、上記光学部品の上記前後方向および
左右方向に対して直交する上下方向の傾きを調整する第
３の調整手段とを具備したことを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an apparatus for positioning an optical component provided in an optical path of laser light with respect to the optical axis of the laser light. First adjusting means for adjusting the inclination of the optical component in the front-rear direction along the optical axis direction of the laser light, and second adjustment means for adjusting the inclination of the optical component in the left-right direction orthogonal to the front-rear direction. And a third adjusting means for adjusting a tilt of the optical component in a vertical direction orthogonal to the front-rear direction and the left-right direction.
【００１１】[0011]
【作用】上記構成によれば、光学部品が第１乃至第３の
調整手段によって調整自在に設けられているから、光学
部品の回転軸、レ−ザ光の光軸および発振されるレ−ザ
光の偏光の３つが直交するよう、容易に調整することが
できる。According to the above construction, since the optical parts are provided so as to be adjustable by the first to third adjusting means, the rotation axis of the optical parts, the optical axis of the laser light and the oscillated laser. It can be easily adjusted so that the three polarizations of light are orthogonal.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１乃至図３を
参照して説明する。図１と図２はこの発明の位置決め装
置を示し、この装置はベ−ス２１を備えている。このベ
−ス２１の上面にはその前後方向に沿って湾曲した第１
の凹球面２２が形成されている。この第１の凹球面２２
には前後揺動体２３が前後方向に揺動自在に設けられて
いる。つまり、この前後揺動体２３は上辺部２３ａと下
辺部２３ｂとの後端部が弾性材料からなる連結部２３ｃ
によって連結されて断面コ字状をなし、その下辺部２３
ａの下面に上記第１の凹球面２２と対応した曲率の第１
の凸球面２４が形成され、この凸球面２４を上記凹球面
２２に摺動自在に嵌合させて設けられている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2 show a positioning device according to the invention, which device comprises a base 21. On the upper surface of this base 21, there is a first curved surface along the front-back direction.
The concave spherical surface 22 is formed. This first concave spherical surface 22
A front-back swing body 23 is provided in the front-back swing body 23 so as to be swingable in the front-back direction. That is, in the front-back rocking body 23, the rear end portions of the upper side portion 23a and the lower side portion 23b are the connecting portions 23c made of an elastic material.
The lower side 23 is connected by
On the lower surface of a, the first concave spherical surface 22 having a curvature corresponding to the first concave spherical surface 22 is formed.
Is formed so that the convex spherical surface 24 is slidably fitted into the concave spherical surface 22.
【００１３】上記ベ−ス２１には、上記第１の凹球面２
２に連通するとともにその後端面に開放した溝部２５が
形成され、この溝部２５に露出した上記凸球面２４の下
面にはコマ２６が設けられている。このコマ２６には上
記ベ−ス２１の後端面に取着された第１の調整手段を形
成する、第１の調整機構２７の駆動軸２８が揺動自在に
結合されている。上記駆動軸２８は軸方向に進退駆動さ
れ、それによって上記前後揺動体２３が第１の凹曲面２
２に沿う前後方向に揺動駆動されるようになっている。The first concave spherical surface 2 is provided on the base 21.
A groove 25 is formed on the rear end face of the convex spherical surface 24, which is communicated with the groove 2 and is open at the rear end surface of the convex spherical surface 24. A drive shaft 28 of a first adjusting mechanism 27 forming a first adjusting means attached to the rear end surface of the base 21 is swingably connected to the top 26. The drive shaft 28 is driven to move back and forth in the axial direction, whereby the front and rear oscillating body 23 is moved to the first concave curved surface 2
It is designed to be rockably driven in the front-back direction along the line 2.
【００１４】上記前後揺動体２３の下辺部２３ｂの上面
には第２の凹曲面２９が湾曲方向を、上記第１の凹曲面
２２と直交する左右方向に向けて形成されている。この
第２の凹曲面２９には左右揺動体３１の下面に形成され
た第２の凸曲面３２がスライド自在に係合されている。A second concave curved surface 29 is formed on the upper surface of the lower side portion 23b of the front-rear oscillating body 23 so that the bending direction thereof is in the lateral direction orthogonal to the first concave curved surface 22. A second convex curved surface 32 formed on the lower surface of the left and right rocker 31 is slidably engaged with the second concave curved surface 29.
【００１５】上記前後揺動体２３の下辺部２３ｂの左右
方向両側には第２の調整手段を形成する一対の第２の調
整機構３３が、上記ベ−ス２１の上面に立てられた支柱
３４に支持されて設けられている。この第２の調整機構
３３はそれぞれ進退駆動される駆動軸３５を有し、一対
の駆動軸３５の先端を上記左右揺動体３１の両側面に当
接させている。したがって、どちらか一方の駆動軸３５
を前進させ、他方を後退させれば、それに応じて上記左
右揺動体２３を揺動させることができるようになってい
る。A pair of second adjusting mechanisms 33 forming second adjusting means are provided on both sides of the lower side portion 23b of the front and rear rocking body 23 in the left and right direction on a column 34 standing on the upper surface of the base 21. It is supported and provided. The second adjusting mechanism 33 has a drive shaft 35 that is driven forward and backward, and the tip ends of the pair of drive shafts 35 are brought into contact with both side surfaces of the left and right rocking body 31. Therefore, either one of the drive shafts 35
Is moved forward and the other is moved backward, the left and right rocking bodies 23 can be rocked accordingly.
【００１６】上記左右揺動体３１には光学部品としての
グレ−テイング３を保持したホルダ３６が設けられてい
る。つまり、ホルダ３６にはその幅方向全長に亘る取付
溝３７が形成され、その取付溝３７に上記グレ−テイン
グ３がその入射面３ａに形成された溝３ｂの方向を上下
方向にして挿入されている。The left and right oscillating body 31 is provided with a holder 36 for holding the grating 3 as an optical component. That is, the holder 36 is provided with the mounting groove 37 extending over the entire width thereof, and the grating 3 is inserted into the mounting groove 37 with the direction of the groove 3b formed on the incident surface 3a being the vertical direction. There is.
【００１７】上記取付溝３７に挿入されたグレ−テイン
グ３は、その下端面の幅方向中央部分が上記ホルダ３６
の下部から取付溝３７に先端部を突出させた支持ピン３
８によって支持され、上端面の幅方向両端部は上記取付
溝３７に先端部を突出させた一対の調整ねじ３９によっ
て押圧保持されている。これら一対の調整ねじ３９のど
ちらかを捩じ込むことによって上記ホルダ３６の取付溝
３７に保持されたグレ−テイング３の図１に矢印Ｘで示
す上記ホルダ３６に対する幅方向（上下方向）の傾き角
度を調整することができるようになっている。The grateting 3 inserted into the mounting groove 37 has the lower end face at the center portion in the width direction of the holder 36.
Pin 3 with the tip protruding from the lower part of the mount into the mounting groove 37
The upper end surface is supported by a pair of adjusting screws 39 whose tip ends protrude into the mounting groove 37. Inclination of the grating 3 held in the mounting groove 37 of the holder 36 in the width direction (vertical direction) with respect to the holder 36 shown in FIG. 1 by screwing either of the pair of adjusting screws 39. The angle can be adjusted.
【００１８】上記第１、第２の凹曲面２２、２９および
第１、第２の凸曲面２４、３２は、それらの曲率中心Ｒ
が上記ホルダ３６に保持された７グレ−テイング３の入
射面３ａの中心に一致するよう、それぞれの曲率半径が
設定されている。The curvature centers R of the first and second concave curved surfaces 22 and 29 and the first and second convex curved surfaces 24 and 32 are R.
The respective radii of curvature are set so as to coincide with the center of the incident surface 3a of the 7-grading 3 held by the holder 36.
【００１９】上記ホルダ３６の上面と下面との幅方向中
心部にはそれぞれ上部支軸４１ａと下部支軸４１ｂとが
軸線Ｏを一致させて突設されている。これら支軸４１
ａ、４１ｂの軸線は上記グレ−テイング３の入射面３ａ
に一致している。上記上部支軸４１ａは上記前後揺動体
２３の上部辺２３ａに上部軸受４２によって回転自在に
支持され、上記下部支軸４１ｂは上記左右揺動体２３に
下部軸受４３によって回転自在に支持されている。An upper support shaft 41a and a lower support shaft 41b are provided at the central portions of the upper surface and the lower surface of the holder 36 in the width direction so as to coincide with the axis O. These support shafts 41
The axes of a and 41b are the incident surfaces 3a of the grating 3 described above.
Is consistent with. The upper support shaft 41a is rotatably supported by an upper bearing 42 on the upper side 23a of the front-back oscillating body 23, and the lower support shaft 41b is rotatably supported by the left-right oscillating body 23 by a lower bearing 43.
【００２０】なお、ホルダ３６には上記グレ−テイング
３の背面を押圧してその入射面３ａを上記支軸４１ａ、
４１ｂの軸線Ｏに位置させるための調整ねじ４０が設け
られている。The holder 36 is pressed against the rear surface of the grating 3 so that its entrance surface 3a is supported by the support shaft 41a,
An adjusting screw 40 is provided for positioning the shaft 41 on the axis O of 41b.
【００２１】そして、上記ホルダ３６に保持されたグレ
−テイング３は、その入射面３ａの中心がレ−ザ光Ｌの
光軸に一致するよう設置される。上記構成の位置決め装
置に保持されたグレ−テイング３の位置決めは、つぎの
３つの調整によって行われる。１つは、ホルダ３６に対
するグレ−テイング３の位置決めで、ホルダ３６の回転
軸線Ｏとグレ−テイング３の入射面３ａに形成された溝
３ｂの方向とを一致させる。その調整は、ホルダ３６に
設けられた一対の調整ねじ３９によって行う。つまり、
一対の調整ねじ３９のいずれか一方を捩じ込むことで、
グレ−テイング３を幅方向に沿う左右方向に揺動させる
ことができるから、それによってホルダ３６の回転軸線
Ｏに対し、グレ−テイング３の溝３ｂの方向を平行に位
置決めすることができる。The grating 3 held by the holder 36 is installed so that the center of the incident surface 3a thereof coincides with the optical axis of the laser light L. The positioning of the grating 3 held by the positioning device having the above configuration is performed by the following three adjustments. One is the positioning of the grating 3 with respect to the holder 36 so that the rotation axis O of the holder 36 and the direction of the groove 3b formed on the incident surface 3a of the grating 3 are aligned. The adjustment is performed by a pair of adjusting screws 39 provided on the holder 36. That is,
By screwing in either one of the pair of adjusting screws 39,
Since the grating 3 can be swung in the left-right direction along the width direction, the direction of the groove 3b of the grating 3 can be positioned parallel to the rotation axis O of the holder 36.
【００２２】２つは、上記ホルダ３６の回転軸線Ｏとグ
レ−テイング３による偏光方向とを直交させる。つま
り、一対の第２の調整機構３３の駆動軸３５のどちらか
一方を前進させ、他方を後退させる。それによって、左
右揺動体２３の第２の凸曲面３２を、前後揺動体２３に
形成された第２の凹曲面２９に沿って左右方向に揺動さ
せることができるから、上記ホルダ３６の回転軸線Ｏを
垂直に位置決めできる。The second is to make the rotation axis O of the holder 36 and the polarization direction of the grating 3 orthogonal to each other. That is, either one of the drive shafts 35 of the pair of second adjusting mechanisms 33 is moved forward and the other is moved backward. As a result, the second convex curved surface 32 of the left and right rocking body 23 can be rocked in the left and right direction along the second concave curved surface 29 formed on the front and rear rocking body 23. O can be positioned vertically.
【００２３】左右揺動体２３を揺動させると、下部支軸
４１ｂは一体的に揺動するが、上部支軸４１ａは前後揺
動体２３の上辺部２３ａに対して揺動する。上記前後揺
動体２３の連結部２３ｃが弾性材料で形成されているか
ら、その連結部２３ｃは上部支軸４１ａの揺動にともな
って弾性変形するため、左右揺動体２３の揺動に支承を
きたすことがない。When the left / right swing body 23 is swung, the lower support shaft 41b is integrally swung, but the upper support shaft 41a is swung with respect to the upper side portion 23a of the front / back swing body 23. Since the connecting portion 23c of the front-back swing body 23 is formed of an elastic material, the connecting portion 23c elastically deforms as the upper support shaft 41a swings. Never.
【００２４】上記前後揺動体２３の連結部２３ｃを弾性
材料で作る代わりに、上部支軸４１ａを支持した上部軸
受４２を、上部辺２３ａに揺動自在に設けることで、左
右揺動体３１を揺動させたときに、上記グレ−テイング
３が左右方向に揺動できるようにしてもよい。Instead of making the connecting portion 23c of the front and rear rocking body 23 from an elastic material, an upper bearing 42 supporting an upper support shaft 41a is swingably provided on the upper side 23a, so that the left and right rocking body 31 is rocked. When moved, the grating 3 may be allowed to swing in the left-right direction.
【００２５】ホルダ３６の回転軸線Ｏが垂直に位置決め
されれば、その軸線Ｏを中心にしてグレ−テイング３を
回転させても、そのグレ−テイング３の入射面３ａに形
成された溝３ｂの方向が垂直方向から変化することがな
いから、図１に矢印Ｙで示す、レ−ザ光Ｌの偏光方向が
上記グレ−テイング３を軸線Ｏを中心にして回転させて
も、変化することがない。If the rotation axis O of the holder 36 is positioned vertically, even if the grating 3 is rotated about the axis O, the groove 3b formed on the incident surface 3a of the grating 3 is formed. Since the direction does not change from the vertical direction, the polarization direction of the laser light L, which is indicated by the arrow Y in FIG. 1, may change even if the grating 3 is rotated about the axis O. Absent.
【００２６】３つは、グレ−テイング３の入射面３ａ
と、この入射面３ａに入射するレ−ザ光Ｌの光軸とを直
交させる。つまり、第１の調整機構２７の駆動軸２８を
進退駆動することで、前後揺動体２３をベ−ス２１に形
成された第１の凹曲面２２に沿って前後方向に揺動させ
る。それによって、上記グレ−テイング３の入射面３ａ
をレ−ザ光Ｌの光軸に対して直交するよう、前後方向の
傾きを調整することができる。Three are incident surfaces 3a of the grating 3.
And the optical axis of the laser light L incident on the incident surface 3a are made orthogonal to each other. That is, by moving the drive shaft 28 of the first adjusting mechanism 27 forward and backward, the front-back rocking body 23 is rocked in the front-back direction along the first concave curved surface 22 formed on the base 21. Thereby, the incidence surface 3a of the grating 3 is
The tilt in the front-rear direction can be adjusted so that is orthogonal to the optical axis of the laser light L.
【００２７】このようなグレ−テイング３の位置決め調
整の確認は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、参照レ
−ザ光Ｌ´を発振出力するＨｅ−Ｎｅレ−ザ５１を用い
て行う。まず、図３（ａ）に示すように、Ｈｅ−Ｎｅレ
−ザ５１から発振出力される参照レ−ザ光Ｌ´の光軸
を、位置決めされた上記グレ−テイング３に入射するレ
−ザ光Ｌの光軸と一致させる。また、このときの参照レ
−ザ光Ｌ´の偏光方向は矢印Ｐで示す方向にする。To confirm the positioning adjustment of the grating 3 as described above, as shown in FIGS. 3A and 3B, the He-Ne laser 51 which oscillates and outputs the reference laser light L'is output. Perform using. First, as shown in FIG. 3 (a), the laser which makes the optical axis of the reference laser light L'oscillated and output from the He-Ne laser 51 enter the positioned grating 3 is positioned. Match the optical axis of the light L. Further, the polarization direction of the reference laser light L'at this time is the direction shown by the arrow P.
【００２８】このように、参照レ−ザ光Ｌ´の光軸およ
び偏光方向Ｐを設定したならば、その参照レ−ザ光Ｌ´
が一対の反射ミラ−５２を介してグレ−テイング３に入
射するよう、位置決め調整された上記グレ−テイング３
を設置する。その状態では、グレ−テイング３の入射面
３ａに対して参照レ−ザ光Ｌ´が直交して入射するか
ら、上記グレ−テイング３からの０次、１次、…ｎ次の
回析光ｄ0 、ｄ1 、…ｄn は参照レ−ザ光Ｌ´の光軸Ｏ
とグレ−テイング３の法線がなす平面内に出射される。When the optical axis and the polarization direction P of the reference laser light L'is set in this way, the reference laser light L'is set.
Is adjusted to be incident on the grating 3 via a pair of reflection mirrors 52.
Is installed. In that state, the reference laser light L'is orthogonally incident on the incident surface 3a of the grating 3, so that the diffracted light of the 0th order, the 1st order, ... d 0 , d 1 , ... D n are optical axes O of the reference laser light L ′
It is emitted in the plane formed by the normal line of the grating 3 and.
【００２９】つぎに、図３（ｂ）に示すようにグレ−テ
イング３を回転軸線Ｏを中心にして矢印方向に逐次、傾
けてゆく。上記グレ−テイング３の上述した３つの調整
が確実に行われていれば、上記グレ−テイング３の回転
させても、グレ−テイング３から出射される各次数の回
析光は、上記参照レ−ザ光Ｌ´の光軸に順次戻ることに
なる。Next, as shown in FIG. 3B, the grating 3 is sequentially tilted in the direction of the arrow about the rotation axis O. If the above-mentioned three adjustments of the grating 3 are surely made, even if the grating 3 is rotated, the diffracted light of each order emitted from the grating 3 will be the same as the reference ray. -The light L'will be sequentially returned to the optical axis.
【００３０】しかしながら、上記グレ−テイング３の調
整が不確実であれば、各次数の回析光が参照レ−ザ光Ｌ
´の光軸に戻らない。したがって、グレ−テイング３か
らの回析光を検出することで、そのグレ−テイング３の
調整状態を確認できる。なお、光学部品としてはグレ−
テイングに限られず、偏光素子やプリズム、あるいはそ
の他の部品であってもよい。However, if the adjustment of the grating 3 is uncertain, the diffracted light of each order is the reference laser light L.
It doesn't return to the optical axis of ´. Therefore, by detecting the diffracted light from the grating 3, the adjustment state of the grating 3 can be confirmed. As an optical component,
The invention is not limited to the towing, and may be a polarizing element, a prism, or other parts.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、光学部品
の前後方向の傾き、左右方向の傾きおよび上下方向の傾
きを調整できるようにした。そのため、上記光学部品
が、たとえばグレ−テイングであれば、その回転軸線
と、レ−ザ光の光軸と、回析光の偏光方向との３つを直
交させることができるから、上記グレ−テイングの角度
を変えることで上記レ−ザ光の波長を変えても、その出
力や偏光が変化するのを防止することができる。As described above, according to the present invention, the tilt of the optical component in the front-rear direction, the tilt in the left-right direction, and the tilt in the up-down direction can be adjusted. Therefore, if the optical component is, for example, a grating, the rotation axis thereof, the optical axis of the laser light, and the polarization direction of the diffracted light can be made orthogonal to each other. Even if the wavelength of the laser light is changed by changing the angle of the tailing, it is possible to prevent the output and polarization of the laser light from changing.
【図１】この発明の一実施例の全体構成を示す正面図。FIG. 1 is a front view showing the overall configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】同じく側面図。FIG. 2 is a side view of the same.
【図３】（ａ）、（ｂ）はグレ−テイングの調整状態を
確認するための説明図。3 (a) and 3 (b) are explanatory views for confirming an adjusting state of grating.
【図４】一般的なヘンシュ型のレ−ザ発振装置の構成
図。FIG. 4 is a block diagram of a general Hensch type laser oscillator.
【図５】（ａ）は従来のグレ−テイングの位置決め装置
の正面図、（ｂ）は同じく側面図。5A is a front view of a conventional grading positioning device, and FIG. 5B is a side view of the same.
３…グレ−テング（光学部品）、２７…第１の調整機構
（手段）、３３…第２の調整機構（手段）、３６…ホル
ダ、３９…調整ねじ（第３の調整手段）、Ｌ…レ−ザ
光。3 ... Grading (optical parts), 27 ... 1st adjustment mechanism (means), 33 ... 2nd adjustment mechanism (means), 36 ... Holder, 39 ... Adjustment screw (3rd adjustment means), L ... Laser light.
Claims (1)
を、上記レ−ザ光の光軸に対して位置決めする装置にお
いて、上記光学部品の上記レ−ザ光の光軸方向に沿う前
後方向の傾きを調整する第１の調整手段と、上記光学部
品の上記前後方向と直交する左右方向の傾きを調整する
第２の調整手段と、上記光学部品の上記前後方向および
左右方向に対して直交する上下方向の傾きを調整する第
３の調整手段とを具備したことを特徴とする光学部品の
位置決め装置。1. An apparatus for positioning an optical component provided in an optical path of laser light with respect to an optical axis of the laser light, wherein the optical component is along an optical axis direction of the laser light. First adjusting means for adjusting the inclination in the front-rear direction, second adjusting means for adjusting the inclination in the left-right direction orthogonal to the front-rear direction of the optical component, and with respect to the front-rear direction and the left-right direction of the optical component. And a third adjusting means for adjusting an inclination in a vertical direction orthogonal to each other.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14455094A JP3415269B2 (en) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | Grating positioning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14455094A JP3415269B2 (en) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | Grating positioning device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0818143A true JPH0818143A (en) | 1996-01-19 |
| JP3415269B2 JP3415269B2 (en) | 2003-06-09 |
Family
ID=15364902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14455094A Expired - Fee Related JP3415269B2 (en) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | Grating positioning device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3415269B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003124553A (en) * | 2001-10-12 | 2003-04-25 | Topcon Corp | Laser oscillating device |
| WO2016075806A1 (en) * | 2014-11-14 | 2016-05-19 | ギガフォトン株式会社 | Band-narrowing module, band-narrowing laser device, and method for positioning band-narrowing module |
-
1994
- 1994-06-27 JP JP14455094A patent/JP3415269B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003124553A (en) * | 2001-10-12 | 2003-04-25 | Topcon Corp | Laser oscillating device |
| WO2016075806A1 (en) * | 2014-11-14 | 2016-05-19 | ギガフォトン株式会社 | Band-narrowing module, band-narrowing laser device, and method for positioning band-narrowing module |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3415269B2 (en) | 2003-06-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5946337A (en) | Hybrid laser resonator with special line narrowing | |
| US4099141A (en) | Laser generator | |
| US5093838A (en) | Laser apparatus | |
| EP0443902A2 (en) | Laser delivering two waves at two different frequencies | |
| US4949358A (en) | Ring laser with improved beam quality | |
| JP3538651B2 (en) | Image forming apparatus having two-beam optical scanning device | |
| US4723256A (en) | Optical resonator for laser oscillating apparatus | |
| JP3415269B2 (en) | Grating positioning device | |
| US20020085611A1 (en) | Optical alignment apparatus with a beam splitter | |
| JP2002208748A (en) | Method and mechanism for correcting intensity of laser beam and multi-branch laser oscillator device having the same mechanism | |
| JP4306031B2 (en) | Optical element angle adjustment device for optical equipment | |
| JPH08222792A (en) | Laser amplifier and laser oscillator | |
| JP2580824Y2 (en) | Focus adjustment device | |
| JPH06204591A (en) | Solid laser device | |
| JP4554825B2 (en) | Focus adjustment device | |
| JP2004500698A (en) | Tunable diode laser system with external cavity in Littman configuration | |
| JPS6286324A (en) | Two-beam laser printer | |
| JPH10112570A (en) | Excimer laser oscillating in narrow band | |
| JPH0425810A (en) | Lens position adjusting device | |
| JP2000208848A (en) | Fixing device for flexure for reflection type wavelength selective element | |
| JP2000065931A (en) | Laser-interference measuring apparatus | |
| JPH09229768A (en) | Laser utilizing measuring instrument | |
| JP3283179B2 (en) | Light intensity control device and light intensity control method | |
| JP3482011B2 (en) | Laser surveying equipment | |
| KR0161493B1 (en) | Grinding apparatus for optical crystal |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |