JPH0266428A - 多成分測光器 - Google Patents
多成分測光器Info
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- JPH0266428A JPH0266428A JP1173170A JP17317089A JPH0266428A JP H0266428 A JPH0266428 A JP H0266428A JP 1173170 A JP1173170 A JP 1173170A JP 17317089 A JP17317089 A JP 17317089A JP H0266428 A JPH0266428 A JP H0266428A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
- G01N21/3518—Devices using gas filter correlation techniques; Devices using gas pressure modulation techniques
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
本発明は、
(a)測定ビームが射出する、連続スペクトルを放射す
る光源、 (b)試料ガスが導入可能でありかつ測定ビームが通過
する試料キュベツト、 (C)試料ガス中の異なる被検出ガスが満たされている
多数の第1ガスキュベツト、 (d)それぞれが第1ガスキュベツトの少なくとも1つ
に所属されていて、参照ガスを含有する1つまたは幾つ
かの第2ガスキュベツト、(e)それぞれが、第1ガス
キュベツト中に含有されているガスの吸収帯の近辺の限
られたスペクトル領域のみを通す1つまたは幾つかのフ
ィルタ(ブロッキングフィルタ)、 (f)測定ビームがあたっている検出器、および(g)
測定ビームの光路中へ選択的に、測定光路をつくるため
に第1ガスキュベツトを所属するブロッキングフィルタ
と共に、または参照光路をつくるためにガスキュベツト
を所属するブロッキングフィルタと共に挿入可能である
切換装置を有する多成分測光器に関する。
る光源、 (b)試料ガスが導入可能でありかつ測定ビームが通過
する試料キュベツト、 (C)試料ガス中の異なる被検出ガスが満たされている
多数の第1ガスキュベツト、 (d)それぞれが第1ガスキュベツトの少なくとも1つ
に所属されていて、参照ガスを含有する1つまたは幾つ
かの第2ガスキュベツト、(e)それぞれが、第1ガス
キュベツト中に含有されているガスの吸収帯の近辺の限
られたスペクトル領域のみを通す1つまたは幾つかのフ
ィルタ(ブロッキングフィルタ)、 (f)測定ビームがあたっている検出器、および(g)
測定ビームの光路中へ選択的に、測定光路をつくるため
に第1ガスキュベツトを所属するブロッキングフィルタ
と共に、または参照光路をつくるためにガスキュベツト
を所属するブロッキングフィルタと共に挿入可能である
切換装置を有する多成分測光器に関する。
[従来の技術]
この種の多成分測光器は、試料ガスを形成するガス混合
物中の被検出ガスの温度または分圧を測定するために使
用される。試料ガス中の被検出ガスは、特定の吸収帯に
おいて吸収する。
物中の被検出ガスの温度または分圧を測定するために使
用される。試料ガス中の被検出ガスは、特定の吸収帯に
おいて吸収する。
測定ビームが試料キュベツトを通過した後、測定ビーム
は吸収帯の波長領域内で、試料ガスのガス混合物の被検
出ガスの分圧が高いほど、ますます強く減衰する。次い
で、この減衰した測定ビームが“ガスフィルタ″、つま
り被検出ガスで満たされている第1ガスキュベツトの1
つを通過する場合、測定ビームはこの波長領域でさらに
減衰する。しかし、減衰した測定ビームが、切換えの後
、第1ガスキュベツトではなく、参照ガスで満たされて
おりかつ被検出ガスを含んでいない第2ガスキュベツト
を通過する場合には、もはや減衰は行なわれない。第1
ガスキュベツトを有する“測定光路”中で得られる強さ
と、第2ガスキュベツトを有する゛参照光路″中で得ら
れる強さの差は、測定ビームが既に第1試料キユベツト
中で強く減衰されているほど、ますます僅かである。試
料ガスが被検出ガスをそもそも含有していない場合には
、測定ビームでは上記吸収帯の領域内で理想的な場合に
は全く吸収されない。第1ガスキュベツト中での当該波
長の吸収は、強さの絶対値では非常に強い。従って、こ
の吸収が行なわれる測定光路と、第2ガスキュベツトが
配置されている参照光路との間に著しい相違が生じかつ
被検出ガスの吸収帯の波長は吸収されない。−これとは
異なり、被検出ガスが試料ガス中に高い分圧で含有され
ている場合には、測定ビームは吸収帯の波長領域でほと
んど完全に吸収される。この場合、測定ビームの光路中
に第1ガスキュベツトまたは第2ガスキュベツトが存在
するか否かは、検出器に入射する強さにもはや相違を生
じない。
は吸収帯の波長領域内で、試料ガスのガス混合物の被検
出ガスの分圧が高いほど、ますます強く減衰する。次い
で、この減衰した測定ビームが“ガスフィルタ″、つま
り被検出ガスで満たされている第1ガスキュベツトの1
つを通過する場合、測定ビームはこの波長領域でさらに
減衰する。しかし、減衰した測定ビームが、切換えの後
、第1ガスキュベツトではなく、参照ガスで満たされて
おりかつ被検出ガスを含んでいない第2ガスキュベツト
を通過する場合には、もはや減衰は行なわれない。第1
ガスキュベツトを有する“測定光路”中で得られる強さ
と、第2ガスキュベツトを有する゛参照光路″中で得ら
れる強さの差は、測定ビームが既に第1試料キユベツト
中で強く減衰されているほど、ますます僅かである。試
料ガスが被検出ガスをそもそも含有していない場合には
、測定ビームでは上記吸収帯の領域内で理想的な場合に
は全く吸収されない。第1ガスキュベツト中での当該波
長の吸収は、強さの絶対値では非常に強い。従って、こ
の吸収が行なわれる測定光路と、第2ガスキュベツトが
配置されている参照光路との間に著しい相違が生じかつ
被検出ガスの吸収帯の波長は吸収されない。−これとは
異なり、被検出ガスが試料ガス中に高い分圧で含有され
ている場合には、測定ビームは吸収帯の波長領域でほと
んど完全に吸収される。この場合、測定ビームの光路中
に第1ガスキュベツトまたは第2ガスキュベツトが存在
するか否かは、検出器に入射する強さにもはや相違を生
じない。
表現“測定光路゛′および“参照光路パはここでは幾何
学的に未変化の唯1つの測定ビームに関するものであり
、該ビーム中へたんに異なる光学的構成部材が挿入され
る。
学的に未変化の唯1つの測定ビームに関するものであり
、該ビーム中へたんに異なる光学的構成部材が挿入され
る。
被検出ガスの吸収・帯は、全スペクトルの狭い領域にす
ぎないので、これら吸収帯の波長領域における吸収は全
強さの数パーセントにしかならず、これが検出器に入射
する。また、幾つかの波長領域において他のガスの吸収
帯と重なることによって妨害も惹起しうる。このため、
それぞれ連続スペクトルから被検出ガスの当該吸収帯近
辺の波長領域だけを通す付加的フィルタ゛′ブロッキン
グフィルタ″が設けられている。
ぎないので、これら吸収帯の波長領域における吸収は全
強さの数パーセントにしかならず、これが検出器に入射
する。また、幾つかの波長領域において他のガスの吸収
帯と重なることによって妨害も惹起しうる。このため、
それぞれ連続スペクトルから被検出ガスの当該吸収帯近
辺の波長領域だけを通す付加的フィルタ゛′ブロッキン
グフィルタ″が設けられている。
多成分測光器では、選択的に種々の被検出ガスを有する
種々の゛′第1″ガスキュベツトと、適当な参照ガスを
有する所属する゛第2″ガスキュベツトとを、測定ビー
ムの光路中へ挿入可能である。この場合、選択的に試料
ガス中の一方または他方の成分を測定することができる
。
種々の゛′第1″ガスキュベツトと、適当な参照ガスを
有する所属する゛第2″ガスキュベツトとを、測定ビー
ムの光路中へ挿入可能である。この場合、選択的に試料
ガス中の一方または他方の成分を測定することができる
。
かかる多成分測光器では、測定すべき各成分に対して所
属するブロッキングフィルタを設けねばならない。測定
すべき種々のガスの吸収帯の波長領域は異なる。従って
、連続スペクトルから切取った、この吸収帯の近辺の波
長領域も一般に異なる。
属するブロッキングフィルタを設けねばならない。測定
すべき種々のガスの吸収帯の波長領域は異なる。従って
、連続スペクトルから切取った、この吸収帯の近辺の波
長領域も一般に異なる。
公知の多成分測光器では、このブロッキングフィルタは
、第1および第2のガスキュベツトを有する唯1つのフ
ィルタホイールに取付けられている。この場合、各ガス
キュベツトの前にこれに適したそれぞれ1つのブロッキ
ングフィルタが存在する。これは機械的には簡単である
が、被検出ガスに所属する第1および第2ガスキュベツ
トにつき1つ宛ブロッキングフィルタが必要である。
、第1および第2のガスキュベツトを有する唯1つのフ
ィルタホイールに取付けられている。この場合、各ガス
キュベツトの前にこれに適したそれぞれ1つのブロッキ
ングフィルタが存在する。これは機械的には簡単である
が、被検出ガスに所属する第1および第2ガスキュベツ
トにつき1つ宛ブロッキングフィルタが必要である。
かかるブロッキングフィルタの透過範囲は、一般に吸収
帯の幅と比べて広い。これによって、たとえば温度変化
によって惹起されるようなフィルタ特性の小さい変化が
既に、有効信号の大きさに入る妨害信号を生じる。かか
る変化が一致するように生じるフィルタの組は、そもそ
も費用のかかる選択によってのみ得ることができるにす
ぎない。
帯の幅と比べて広い。これによって、たとえば温度変化
によって惹起されるようなフィルタ特性の小さい変化が
既に、有効信号の大きさに入る妨害信号を生じる。かか
る変化が一致するように生じるフィルタの組は、そもそ
も費用のかかる選択によってのみ得ることができるにす
ぎない。
[発明が解決しようとする問題点1
従って、本発明の課題は、最初に定義した形式の多成分
測光器を、゛ブロッキングフィルタ′″の変化が測定に
対して変化を及ぼさないように構成することである。
測光器を、゛ブロッキングフィルタ′″の変化が測定に
対して変化を及ぼさないように構成することである。
[問題点を解決するための手段1
本発明によればこの課題は、
(h)切換装置が、第1および第2ガスキュベツトを測
定ビームの光路中へ挿入するためのキュベツト交換装置
およびそれと分離された、ブロッキングフィルタを測定
ビームの光路中へ挿入するためのフィルタ交換装置を含
有し、かつ(i)キュベツト交換装置およびフィルタ交
換装置が、同一のブロッキングフィルタを所属するMl
ガスフィルタと関連しかつこの第1ガスフィルタに所属
する第2ガスフィルタと関連して、測定ビームの光路中
に配置されているように制御されていることによって解
決される。
定ビームの光路中へ挿入するためのキュベツト交換装置
およびそれと分離された、ブロッキングフィルタを測定
ビームの光路中へ挿入するためのフィルタ交換装置を含
有し、かつ(i)キュベツト交換装置およびフィルタ交
換装置が、同一のブロッキングフィルタを所属するMl
ガスフィルタと関連しかつこの第1ガスフィルタに所属
する第2ガスフィルタと関連して、測定ビームの光路中
に配置されているように制御されていることによって解
決される。
また、本発明によれば、多成分測光器において測定光路
および参照光路に対して同一のブロッキングフィルタが
使用される。これによってこのブロッキングフィルタの
特性の変化は実際に測定に対して作用しない。さらに、
測定すべきそれぞれのガスに対して唯1つのブロッキン
グフィルタが必要であるにすぎない。かかるフィルタは
かなり高価であるので、全装置は、付加的フィルタ交換
装置および所属する駆動および制御のための高い機械的
費用にも拘らず、あまり費用がかからない。
および参照光路に対して同一のブロッキングフィルタが
使用される。これによってこのブロッキングフィルタの
特性の変化は実際に測定に対して作用しない。さらに、
測定すべきそれぞれのガスに対して唯1つのブロッキン
グフィルタが必要であるにすぎない。かかるフィルタは
かなり高価であるので、全装置は、付加的フィルタ交換
装置および所属する駆動および制御のための高い機械的
費用にも拘らず、あまり費用がかからない。
本発明の有利な構造は、請求項2の対象である。
次に、本発明のl実施例を添付図面を引用して詳説する
。
。
[実施例1
第1図において、10で単一の連続スペクトルを放射す
る光源が表わされている。光源10からは測定ビーム1
2が射出する。測定ビーム12は、ガス混合物の形の試
料ガスが通過する試料キュベツト14を通る。試料ガス
は、入口16を通って、試料キュベツト14に入り、出
口18により試料キュベツト14から出る。試料キュベ
ツト14の後方には、選択的に測定光路または参照光路
をつくりうる切換装置20が配置されている。切換装置
20は、第1フィルタホイール22および第2フィルタ
ホイール24を含有する。
る光源が表わされている。光源10からは測定ビーム1
2が射出する。測定ビーム12は、ガス混合物の形の試
料ガスが通過する試料キュベツト14を通る。試料ガス
は、入口16を通って、試料キュベツト14に入り、出
口18により試料キュベツト14から出る。試料キュベ
ツト14の後方には、選択的に測定光路または参照光路
をつくりうる切換装置20が配置されている。切換装置
20は、第1フィルタホイール22および第2フィルタ
ホイール24を含有する。
第1フィルタホイール22中には、フィルタとして多数
の第1ガスキュベツト26および1つまたは幾つかの第
2ガスキュベツト28が配置されている。第1図の略図
には、そのうち1つの第1カスキユベツトおよび第2ガ
スキュベツトのみが認められる。フィルタホイール22
は、サーボモータ30により駆動される。
の第1ガスキュベツト26および1つまたは幾つかの第
2ガスキュベツト28が配置されている。第1図の略図
には、そのうち1つの第1カスキユベツトおよび第2ガ
スキュベツトのみが認められる。フィルタホイール22
は、サーボモータ30により駆動される。
第2フィルタホイール24中には、゛ブロッキングフィ
ルタ″32が配置されている。これは連続スペクトルの
うちそれぞれ1つの限られた波長領域のみを通すフィル
タである。フィルタホイール24は、サーボモータ34
により駆動可能である。
ルタ″32が配置されている。これは連続スペクトルの
うちそれぞれ1つの限られた波長領域のみを通すフィル
タである。フィルタホイール24は、サーボモータ34
により駆動可能である。
双方のサーボモータは、制御装置36と接続されている
。
。
第1ガスキュベツト26のそれぞれは、試料ガス中の測
定すべき被検出ガスで満たされている。第1ガスキュベ
ツト26に、参照ガスで満たされている第2ガスキュベ
ツト28が所属されていて、該ガスは被検出ガスを含有
せず、従って利用される被検出ガスの吸収帯の領域内で
は吸収しない。第1ガスキュベツト26と第2ガスキュ
ベツト28の各組に、唯1つのブロッキングフィルタ3
2が所属されている。ブロッキングフィルタ32は、干
渉フィルタであってもよい。ブロッキングフィルタは、
光源IOから放射される連続スペクトルのうち、利用さ
れる被検出ガスの吸収帯の近辺の比較的狭い波長領域の
みを通す。
定すべき被検出ガスで満たされている。第1ガスキュベ
ツト26に、参照ガスで満たされている第2ガスキュベ
ツト28が所属されていて、該ガスは被検出ガスを含有
せず、従って利用される被検出ガスの吸収帯の領域内で
は吸収しない。第1ガスキュベツト26と第2ガスキュ
ベツト28の各組に、唯1つのブロッキングフィルタ3
2が所属されている。ブロッキングフィルタ32は、干
渉フィルタであってもよい。ブロッキングフィルタは、
光源IOから放射される連続スペクトルのうち、利用さ
れる被検出ガスの吸収帯の近辺の比較的狭い波長領域の
みを通す。
次いで、測定ビーム12は検出器36に当り、該検出器
が測定ビーム12の強さの程度に応じて信号を送出する
。この信号は、信号処理回路38に供給される。信号処
理回路−38は、制御装置36からどのガスキュベツト
がそのつど測定ビームの光路中に存在するかを示す信号
を信号路40を経て受取る。信号処理回路は、測定され
るガス用の測定光路および参照光路で得られる測定値か
ら、試料中の当該ガスの濃度および分圧の測定値をつく
る。
が測定ビーム12の強さの程度に応じて信号を送出する
。この信号は、信号処理回路38に供給される。信号処
理回路−38は、制御装置36からどのガスキュベツト
がそのつど測定ビームの光路中に存在するかを示す信号
を信号路40を経て受取る。信号処理回路は、測定され
るガス用の測定光路および参照光路で得られる測定値か
ら、試料中の当該ガスの濃度および分圧の測定値をつく
る。
制御装置36はフィルタホイール22および24をサー
ボモータ30および34により制御して、特定ガスの第
1ガスキュベツト26を挿入した場合および所属する第
2ガスキュベツト28を挿入した場合に、測定ビーム1
2の光路中に同一のブロッキングフィルタ32が存在す
るようにする。
ボモータ30および34により制御して、特定ガスの第
1ガスキュベツト26を挿入した場合および所属する第
2ガスキュベツト28を挿入した場合に、測定ビーム1
2の光路中に同一のブロッキングフィルタ32が存在す
るようにする。
多成分光度計の構造は第2図〜第6図に示されている。
試料キュベツト14は、ポルト42およびスペーサ44
により隔壁46に固定されている。
により隔壁46に固定されている。
測定ビーム12は窓48を通る。筒50は試料キュベツ
ト14に固定されていて、隔壁46の穿孔52を貫通し
て突出する。測定ビーム12は筒50の軸線に沿って進
む。
ト14に固定されていて、隔壁46の穿孔52を貫通し
て突出する。測定ビーム12は筒50の軸線に沿って進
む。
隔壁46に対し平行に距離を置いて第2隔壁54が配置
されている。隔壁54の穿孔56中には筒58が存在す
る。筒58はポルト60により隔壁54とねじ締めされ
ている。筒58は筒50と同軸である。筒58内にはレ
ンズ62が存在する。さらに、隔壁54にはサーボモー
タ30が軸66で固定されている。
されている。隔壁54の穿孔56中には筒58が存在す
る。筒58はポルト60により隔壁54とねじ締めされ
ている。筒58は筒50と同軸である。筒58内にはレ
ンズ62が存在する。さらに、隔壁54にはサーボモー
タ30が軸66で固定されている。
軸66上にはフィルタホイール22が存在する。このフ
ィルタホイールはガスキュベツトを有し、そのうち第2
図には1つのガスキュベツト26が認められる。ガスキ
ュベツト26は中空シリンダ状の枠68を有し、該枠中
へ2つ平行な窓70および72が嵌込まれパテで固定さ
れている。枠68には送入管74が取付けられている。
ィルタホイールはガスキュベツトを有し、そのうち第2
図には1つのガスキュベツト26が認められる。ガスキ
ュベツト26は中空シリンダ状の枠68を有し、該枠中
へ2つ平行な窓70および72が嵌込まれパテで固定さ
れている。枠68には送入管74が取付けられている。
送入管74はガスを満たした後、先端がたとえば溶封に
よって閉じられている。ガスキュベツト26中へは、試
料ガス中でのその濃度を測定すべきガスで満たされてい
る。同様の構造のガスキュベツト28中へは、ガスキュ
ベツト26のガス吸収帯の領域内で吸収しない参照ガス
が満たされいる。ガスキュベツト26はその枠がフィル
タホイール22の穿孔76内にあり、ねじポルト78で
固定されている。フィルタホイール22の図示位置にお
いては、ガスキュベツト26は筒58と整列している。
よって閉じられている。ガスキュベツト26中へは、試
料ガス中でのその濃度を測定すべきガスで満たされてい
る。同様の構造のガスキュベツト28中へは、ガスキュ
ベツト26のガス吸収帯の領域内で吸収しない参照ガス
が満たされいる。ガスキュベツト26はその枠がフィル
タホイール22の穿孔76内にあり、ねじポルト78で
固定されている。フィルタホイール22の図示位置にお
いては、ガスキュベツト26は筒58と整列している。
測定ビーム12は筒50、レンズ62および筒58を通
りかつガスキュベツト26を通る。
りかつガスキュベツト26を通る。
隔壁54には、先陣壁80が取付けられている。この先
陣壁80中へ、フィルタホイール22にねじで取付けら
れている舌片82が係合する。こうして、フィルタホイ
ール22の定義されな参照位置が得られ、この位置にサ
ーボモータ30により調節すべき他の位置を関連させる
ことができる。
陣壁80中へ、フィルタホイール22にねじで取付けら
れている舌片82が係合する。こうして、フィルタホイ
ール22の定義されな参照位置が得られ、この位置にサ
ーボモータ30により調節すべき他の位置を関連させる
ことができる。
第3の隔壁84には、もう1つのレンズ86が枠88に
嵌って存在する。枠88には隔壁84の穿孔90中に存
在し、ねじ92により隔壁84と結合されている。
嵌って存在する。枠88には隔壁84の穿孔90中に存
在し、ねじ92により隔壁84と結合されている。
第4の隔壁94は、検出器36を備えるケーシング96
を有する。ケーシング96は窓98によって閉じられて
いる。ケーシング96は、隔壁94の穿孔100中に存
在する。カバー101は導体板および検出器36の信号
を処理するだめの電気構成部品を覆っている。
を有する。ケーシング96は窓98によって閉じられて
いる。ケーシング96は、隔壁94の穿孔100中に存
在する。カバー101は導体板および検出器36の信号
を処理するだめの電気構成部品を覆っている。
第5図から最も良く認められるように、隔壁94には隔
壁84に離反する側にサーボモータ34が存在する。サ
ーボモータ34は、隔壁94の穿孔102中にセンタリ
ングされかつねじ104によって隔壁94と結合されて
いる。サーボモータ34の軸106上には、フィルタホ
イール24が存在する。フィルタホイール24は、それ
ぞれ枠10g中に保持されている干渉フィルタの形のプ
ロッキングイルタ32を有する。各ブロッキングイルタ
32の枠108はフィルタホイール24の穿孔110中
に存在し、ねじ112によってフィルタホイール24と
結合している。
壁84に離反する側にサーボモータ34が存在する。サ
ーボモータ34は、隔壁94の穿孔102中にセンタリ
ングされかつねじ104によって隔壁94と結合されて
いる。サーボモータ34の軸106上には、フィルタホ
イール24が存在する。フィルタホイール24は、それ
ぞれ枠10g中に保持されている干渉フィルタの形のプ
ロッキングイルタ32を有する。各ブロッキングイルタ
32の枠108はフィルタホイール24の穿孔110中
に存在し、ねじ112によってフィルタホイール24と
結合している。
隔壁94にある先陣壁116は、フィルタホイール24
の参照位置を提供する(第6図)。
の参照位置を提供する(第6図)。
先陣!!116は、先陣壁80(第2図)と類似に構成
されている。
されている。
第4図から明らかなように、フィルタホイール22中に
はガスキュベツト26と28が並存している。第4図に
は、2つのガスキュベツトだけが図示されている。フィ
ルタホイール22の静的平衡のために、相対する側に釣
合おもり114が取付けられており、そのうち1つだけ
が示されている。各釣合おもりは重なっている幾つかの
円板をねじ118によより固定してなる(第3図)。ま
た、フィルタホイール22の穿孔76中へ、試料ガスの
幾つかの成分を測定するために、幾つかのガスキュベツ
ト26および28を挿入することもできる。1つの第2
ガスキュベツト28に、1よりも多い第2ガスキュベツ
ト26が所属されていてもよい。
はガスキュベツト26と28が並存している。第4図に
は、2つのガスキュベツトだけが図示されている。フィ
ルタホイール22の静的平衡のために、相対する側に釣
合おもり114が取付けられており、そのうち1つだけ
が示されている。各釣合おもりは重なっている幾つかの
円板をねじ118によより固定してなる(第3図)。ま
た、フィルタホイール22の穿孔76中へ、試料ガスの
幾つかの成分を測定するために、幾つかのガスキュベツ
ト26および28を挿入することもできる。1つの第2
ガスキュベツト28に、1よりも多い第2ガスキュベツ
ト26が所属されていてもよい。
添付図面は本発明の1実施例を示すもので、第1図は多
成分測光器の略図であり、 第2図は多成分測光器の1構造例の側面断面図であり、 第3図は第1ガスキュベツトおよび第2ガスキュベツト
を有するフィルタホイールの細部の側面断面図であり、 第4図はフィルタホイールを第3図の右方から見た図で
あり、 第5図はブロッキングフィルタを有するフィルタホイー
ルの細部の側面断面図であり、第6図はフィルタホイー
ルを第5図の左方から見た図である。 10・・・光源、12・・・測定ビーム、14・・・試
料キュベツト、16・・・入口、18・・・出口、20
・・・切換装置、22・・・第1フィルタホイール、2
4・・・第2フィルタホイール、26・・・第1ガスキ
ュベツト、28・・・第2ガスキュベツト、30・・・
サーボモータ、32・・・ブロッキングフィルタ、34
・・・サーボモータ、36・・・制御装置、38・・・
信号処理回路、40・・・信号路、42・・・ボルト、
44・・・スペーサ、46・・・隔壁、50・・・筒、
52・・・穿孔、54・・・隔壁、56・・・穿孔、5
8・・・筒、60・・・ボルト、62・・・レンズ、6
6・・・軸、70・・・窓、72・・・窓、74・・・
送入管、76・・・穿孔、78・・・ねじボルト、80
・・・先陣壁、82・・・舌状片84・・・隔壁、56
・・・レンズ、88・・・枠、92・・・ねじ、94・
・・隔壁、100・・・穿孔、101・・・カバー 1
02・・・穿孔、104・・・ねじ、106・・・軸、
108・・・枠、110・・・穿孔、112・・・ね8
・・・ねじ ・・釣合おもり、 6・・・先陣壁、 1o・・光源 12・・測定ビーム 14・−試料キュベツト 2Q・切換装置 22 ・キニベツr交換装置 24・フィルタズ換装置 26.28−・ガスキニベノご 32・・プロツキフグフィルタ 36・・・検出器 Fig、 1 Fig、5 Fig、6
成分測光器の略図であり、 第2図は多成分測光器の1構造例の側面断面図であり、 第3図は第1ガスキュベツトおよび第2ガスキュベツト
を有するフィルタホイールの細部の側面断面図であり、 第4図はフィルタホイールを第3図の右方から見た図で
あり、 第5図はブロッキングフィルタを有するフィルタホイー
ルの細部の側面断面図であり、第6図はフィルタホイー
ルを第5図の左方から見た図である。 10・・・光源、12・・・測定ビーム、14・・・試
料キュベツト、16・・・入口、18・・・出口、20
・・・切換装置、22・・・第1フィルタホイール、2
4・・・第2フィルタホイール、26・・・第1ガスキ
ュベツト、28・・・第2ガスキュベツト、30・・・
サーボモータ、32・・・ブロッキングフィルタ、34
・・・サーボモータ、36・・・制御装置、38・・・
信号処理回路、40・・・信号路、42・・・ボルト、
44・・・スペーサ、46・・・隔壁、50・・・筒、
52・・・穿孔、54・・・隔壁、56・・・穿孔、5
8・・・筒、60・・・ボルト、62・・・レンズ、6
6・・・軸、70・・・窓、72・・・窓、74・・・
送入管、76・・・穿孔、78・・・ねじボルト、80
・・・先陣壁、82・・・舌状片84・・・隔壁、56
・・・レンズ、88・・・枠、92・・・ねじ、94・
・・隔壁、100・・・穿孔、101・・・カバー 1
02・・・穿孔、104・・・ねじ、106・・・軸、
108・・・枠、110・・・穿孔、112・・・ね8
・・・ねじ ・・釣合おもり、 6・・・先陣壁、 1o・・光源 12・・測定ビーム 14・−試料キュベツト 2Q・切換装置 22 ・キニベツr交換装置 24・フィルタズ換装置 26.28−・ガスキニベノご 32・・プロツキフグフィルタ 36・・・検出器 Fig、 1 Fig、5 Fig、6
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、(a)測定ビーム(12)が射出する、連続スペク
トルを放射する光源(10)、 (b)試料ガスが導入可能でありかつ測定ビーム(12
)が通過する試料キュベット(14)、 (c)試料ガス中の異なる被検出ガスが満たされている
多数の第1ガスキュベット(26)、 (d)それぞれが第1ガスキュベット(26)の少なく
とも1つに所属されていて、参照ガスを含有する1つま
たは幾つかの第2ガスキュベット(28)、 (e)それぞれが、第1ガスキュベット(26)中に含
有されているガスの吸収帯の近辺の限られたスペクトル
領域のみを通す1つまたは幾つかのフィルタ(32)(
ブロッキングフィルタ)、 (f)測定ビーム(12)があたっている検出器(36
)、および (g)測定ビーム(12)の光路中へ選択的に、測定光
路をつくるために第1ガスキュベット(26)を所属す
るブロッキングフィルタ(32)と共に、または参照光
路をつくるために第2ガスキュベット(28)を所属す
るブロッキングフィルタ(32)と共に導入可能である
切換装置(20)を有する多成分測光器において、 (h)切換装置(20)が、第1および第2ガスキュベ
ット(26、28)を測定ビーム(12)の光路中へ挿
入するためのキュベット交換装置(22)およびそれと
分離された、ブロッキングフィルタ(32)を測定ビー
ム(12)の光路中へ挿入するためのフィルタ交換装置
(24)を含有し、かつ (i)キュベット交換装置(22)およびフィルタ交換
装置(24)が、同一のブロッキングフィルタ(32)
を所属する第1ガスフィルタ(26)と関連しかつこの
第1ガスフィルタ(26)に所属する第2ガスフィルタ
(28)と関連して、測定ビーム(12)の光路中に配
置されているように制御されていることを特徴とする多
成分測光器。 2、(a)キュベット交換装置が、フィルタとして第1
および第2ガスキュベット(26、28)が存在する第
1フィルタホィール(22)により形成されており、 (b)フィルタ交換装置が、ブロッキングフィルタ(3
2)を有する第2フィルタホィール(24)により形成
されている、請求項1記載の多成分測光器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3822946.3 | 1988-07-07 | ||
DE3822946A DE3822946A1 (de) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | Mehrkomponenten - photometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0266428A true JPH0266428A (ja) | 1990-03-06 |
Family
ID=6358117
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1173170A Pending JPH0266428A (ja) | 1988-07-07 | 1989-07-06 | 多成分測光器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0349839B1 (ja) |
JP (1) | JPH0266428A (ja) |
DE (2) | DE3822946A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006085646A1 (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-17 | Japan Science And Technology Agency | ガス相関法によるガス濃度測定装置 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE4207642C1 (en) * | 1992-03-11 | 1993-06-03 | Grundig E.M.V. Elektro-Mechanische Versuchsanstalt Max Grundig Hollaend. Stiftung & Co Kg, 8510 Fuerth, De | System for measurement and analysis of gasket from ground below rubbish dumps. - on site with boring rod and probe device using light of given frequency range |
DE4232371C2 (de) * | 1992-09-26 | 1995-02-02 | Kernforschungsz Karlsruhe | Analysengerät zur Bestimmung von Gasen oder Flüssigkeiten |
DE4429010C2 (de) * | 1994-08-16 | 1998-08-20 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Analyse von Gasen |
US5585635A (en) * | 1994-09-26 | 1996-12-17 | Marquette Electronics, Inc. | Infrared gas analyzer and method |
FI101429B (fi) * | 1995-09-29 | 1998-06-15 | Instrumentarium Oy | Törmäyslevenemän korjaus kaasujen ei-dispersiivisessä absorptiomittauk sessa |
DE19800479C2 (de) * | 1998-01-09 | 2001-07-12 | Uwe Jeske | Vorrichtung zum Kalibrieren und zur Kalibrierkontrolle für Photometer-Prozeßmeßtechnik |
DE29800213U1 (de) | 1998-01-09 | 1998-03-05 | Jeske, Uwe, 73635 Rudersberg | Vorrichtung zum Kalibrieren und zur Kalibrierkontrolle für Photometer-Prozeßmeßtechnik |
GB0005069D0 (en) | 2000-03-02 | 2000-04-26 | Ecolotrol | A controlled interference spectrometer |
US8240189B2 (en) * | 2004-10-04 | 2012-08-14 | Halliburton Energy Services, Inc. | Thermal selectivity multivariate optical computing |
DE102009025147B3 (de) * | 2009-06-17 | 2010-12-09 | Abb Ag | Verfahren zum Betrieb eines Spektrometers zur Gasanalyse, sowie Spektrometer selbst |
US9709484B2 (en) * | 2015-08-31 | 2017-07-18 | Mettler-Toledo Gmbh | Apparatuses and methods for performing a light-absorption measurement on a test sample and a compliance measurement on a reference sample |
EP3163291B1 (de) | 2016-12-02 | 2018-10-24 | Sick Ag | Messgerät zur bestimmung von konzentrationen mehrerer gaskomponenten |
DE202016106722U1 (de) | 2016-12-02 | 2018-03-06 | Sick Ag | Messgerät |
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Family Cites Families (2)
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-
1988
- 1988-07-07 DE DE3822946A patent/DE3822946A1/de not_active Withdrawn
-
1989
- 1989-06-22 DE DE8989111338T patent/DE58901315D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-06-22 EP EP89111338A patent/EP0349839B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-07-06 JP JP1173170A patent/JPH0266428A/ja active Pending
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JPWO2006085646A1 (ja) * | 2005-02-14 | 2008-06-26 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ガス相関法によるガス濃度測定装置 |
US7655910B2 (en) | 2005-02-14 | 2010-02-02 | Japan Science And Technology Agency | Apparatus for gas concentration measurement according to gas correlation method |
JP4552217B2 (ja) * | 2005-02-14 | 2010-09-29 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ガス相関法によるガス濃度測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0349839A3 (de) | 1991-04-03 |
DE3822946A1 (de) | 1990-01-11 |
EP0349839B1 (de) | 1992-05-06 |
EP0349839A2 (de) | 1990-01-10 |
DE58901315D1 (de) | 1992-06-11 |
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