JPH0255892A - スクリュ式真空ポンプ - Google Patents
スクリュ式真空ポンプInfo
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- JPH0255892A JPH0255892A JP63206904A JP20690488A JPH0255892A JP H0255892 A JPH0255892 A JP H0255892A JP 63206904 A JP63206904 A JP 63206904A JP 20690488 A JP20690488 A JP 20690488A JP H0255892 A JPH0255892 A JP H0255892A
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- JP
- Japan
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- valve
- oil
- space
- valve seat
- pump
- Prior art date
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- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000003921 oil Substances 0.000 claims description 52
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 claims description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 241000272814 Anser sp. Species 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/24—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、吸込口側の流路に逆+h弁を打するスクリュ
式真空ポンプに関するものである。
式真空ポンプに関するものである。
(従来の技術)
従来、第3図に示すように、真空装置において、共通の
吸込流路IIに並列状態で接続した複数台、図示する例
では3台のスクリュ式真空ポンプ12の各々の吸込口1
3に至る6分岐流路14には、ポンプ本体!5の逆転を
防止するための逆止弁16が設けである。
吸込流路IIに並列状態で接続した複数台、図示する例
では3台のスクリュ式真空ポンプ12の各々の吸込口1
3に至る6分岐流路14には、ポンプ本体!5の逆転を
防止するための逆止弁16が設けである。
ここで、スクリュ式のポンプ本体15は一般に第4図に
示すように、一方の側に吸込口13を、他方の側に吐出
口17を有するケーシング18内に、互い1こ噛み合う
雌雄一対のスクリュロータ19を回転可能に収納し、例
えばグーソング18外へ1“1通させた吸込口13側の
ロータ輔20より一定方向に回転駆動ずろように形成し
たしのである。
示すように、一方の側に吸込口13を、他方の側に吐出
口17を有するケーシング18内に、互い1こ噛み合う
雌雄一対のスクリュロータ19を回転可能に収納し、例
えばグーソング18外へ1“1通させた吸込口13側の
ロータ輔20より一定方向に回転駆動ずろように形成し
たしのである。
そして、図中実線の矢印で示4−ように、このポンプ本
体15はガスを吸込013より吸込んで吐出口17より
吐出するのであるか、破線の矢印で示ず、1;うに、吸
込1−113にて実線の矢印とは逆方向の吸引力かある
と、破線の矢印の方向に吐出[117よりガスが流入し
、逆回転し得ろ構造でらある。
体15はガスを吸込013より吸込んで吐出口17より
吐出するのであるか、破線の矢印で示ず、1;うに、吸
込1−113にて実線の矢印とは逆方向の吸引力かある
と、破線の矢印の方向に吐出[117よりガスが流入し
、逆回転し得ろ構造でらある。
このため、第3図に示すように、吸込流路11′を共通
配管とした場合、逆止弁16がなければ、例えば図中量
ら右側のポンプ本体15だけを運転停止させると、この
停止さけたポンプ本体15は破線の矢印で示すように、
運転中の他の2台のポンプ本体15からの吸引力により
逆回転してしまうことになる。この停止1−させたポン
プ本体15が逆回転すれば、その軸受、同期歯車等の潤
滑油を必要とずろ箇所に潤滑油が供給されない状態で作
動することになり、装置を損傷させることになる。
配管とした場合、逆止弁16がなければ、例えば図中量
ら右側のポンプ本体15だけを運転停止させると、この
停止さけたポンプ本体15は破線の矢印で示すように、
運転中の他の2台のポンプ本体15からの吸引力により
逆回転してしまうことになる。この停止1−させたポン
プ本体15が逆回転すれば、その軸受、同期歯車等の潤
滑油を必要とずろ箇所に潤滑油が供給されない状態で作
動することになり、装置を損傷させることになる。
斯る事態を防止するため、即ち、ポンプ本体15の逆回
転を防ぐために逆止弁16が用いである。
転を防ぐために逆止弁16が用いである。
この逆止弁16は、一般に市販されているらのの場合、
第5図に示すように、中間部に弁座21を設けたガス流
通空間22を内部に有する弁本体23と、この弁座21
に密着可能に設けた弁体24と、この弁体24を弁座2
1に密着させるように弁座方向に常時付勢するコイルば
ね25とからなっている。そして、吸込口13から吸引
力か作用する場合、即ち、図中Xボート側から吸引力が
作用する場合は、弁が開いて実線の矢印で示すように、
XボートからXボートへとガスか流れて、逆に他のポン
プ本体■5から吸引力が作用した場合、即らXボート側
から吸引力が作用した場合、弁体24は弁座21に密着
して、弁が閉じガスの逆流は阻止される。
第5図に示すように、中間部に弁座21を設けたガス流
通空間22を内部に有する弁本体23と、この弁座21
に密着可能に設けた弁体24と、この弁体24を弁座2
1に密着させるように弁座方向に常時付勢するコイルば
ね25とからなっている。そして、吸込口13から吸引
力か作用する場合、即ち、図中Xボート側から吸引力が
作用する場合は、弁が開いて実線の矢印で示すように、
XボートからXボートへとガスか流れて、逆に他のポン
プ本体■5から吸引力が作用した場合、即らXボート側
から吸引力が作用した場合、弁体24は弁座21に密着
して、弁が閉じガスの逆流は阻止される。
(発明が解決しようとする課題)
上記構成からなる逆止弁16を用いた真空ポンプ12で
は、コイルばね25のばね定数が小Δい。
は、コイルばね25のばね定数が小Δい。
と、吸引力が逆転してXボート側から生じた場合、弁を
閉じるのに時間遅れか生じ、ポンプ本体15の逆回転を
完全には防出出来ない。
閉じるのに時間遅れか生じ、ポンプ本体15の逆回転を
完全には防出出来ない。
これに対して、上記ばね定数を大きくケると、真空装置
においては流入ガスの密度が小さいため、弁座21に対
して弁体24か繰り返し衝突して、弁か開閉するハンヂ
ング現象か生しるという問題がある。
においては流入ガスの密度が小さいため、弁座21に対
して弁体24か繰り返し衝突して、弁か開閉するハンヂ
ング現象か生しるという問題がある。
本発明は、−L5ill!従来の問題点を課題としてな
されたしので、逆止弁の開閉を確実かつ即座に行うこと
を可能としたスクリュ式真空ポンプを提供しようとする
しのである。
されたしので、逆止弁の開閉を確実かつ即座に行うこと
を可能としたスクリュ式真空ポンプを提供しようとする
しのである。
(課題を解決ずろための手段)
上記課題を解決するために、本発明は、互いに噛み合う
雌雄一対のスクリュロータと、その両側に吸込口と吐出
口とを有するポンプ本体と、原動機の回転駆動力を増速
しで上記スクリュロータに伝える増速機と、Mbタンク
を兼ねた該増速機のケーシングと、ポンプ本体内の潤滑
油供給箇所、上記増速機、浦タンク、油ポンプ、浦クー
ラを通る1Ilft循環流路と、ポンプ本体の吸込口に
通じる流路に設けた逆止弁とを備えたスクリュ式真空ポ
ンプにおいて、上記逆止弁を、中間部に弁座を打するガ
ス流通空間およびシリンダ空間を内部に形成した弁本体
と、適宜シール手段を介して上記両空間を互いにしゃ断
した状態に保ちつつ、両空間の仕l、I↓り部分をn通
さけて、ガス流通空間側をこの空間内の弁座に密着可能
に形成するとともに、シリンダ空間側にこの空間内を仕
切って、この空u■内のガス流通空間側に油室を、反対
側に大気連通空間を形成するピストンを設けた弁体と、
この弁体を弁座に密着さU゛るように上記弁座方向に常
時付勢するばね手段とから形成するとともに、上記油室
を三方切換弁を介して上記油クーラの出側および上記油
タンクに通じさせるバイパス流路を設けて、油室からこ
の油クーラの出側或いは油タンクのいずれかに通じる流
路に切換え可能に形成した。
雌雄一対のスクリュロータと、その両側に吸込口と吐出
口とを有するポンプ本体と、原動機の回転駆動力を増速
しで上記スクリュロータに伝える増速機と、Mbタンク
を兼ねた該増速機のケーシングと、ポンプ本体内の潤滑
油供給箇所、上記増速機、浦タンク、油ポンプ、浦クー
ラを通る1Ilft循環流路と、ポンプ本体の吸込口に
通じる流路に設けた逆止弁とを備えたスクリュ式真空ポ
ンプにおいて、上記逆止弁を、中間部に弁座を打するガ
ス流通空間およびシリンダ空間を内部に形成した弁本体
と、適宜シール手段を介して上記両空間を互いにしゃ断
した状態に保ちつつ、両空間の仕l、I↓り部分をn通
さけて、ガス流通空間側をこの空間内の弁座に密着可能
に形成するとともに、シリンダ空間側にこの空間内を仕
切って、この空u■内のガス流通空間側に油室を、反対
側に大気連通空間を形成するピストンを設けた弁体と、
この弁体を弁座に密着さU゛るように上記弁座方向に常
時付勢するばね手段とから形成するとともに、上記油室
を三方切換弁を介して上記油クーラの出側および上記油
タンクに通じさせるバイパス流路を設けて、油室からこ
の油クーラの出側或いは油タンクのいずれかに通じる流
路に切換え可能に形成した。
(作用)
本発明は、上記のように構成することにより、逆止弁を
開くのは油圧によって行い、閉じる場合だけばね手段を
用いて、ばね手段のばね定数を適宜自由に選択出来、迅
速に弁を閉じ、かつ確実に弁を開く構造となっている。
開くのは油圧によって行い、閉じる場合だけばね手段を
用いて、ばね手段のばね定数を適宜自由に選択出来、迅
速に弁を閉じ、かつ確実に弁を開く構造となっている。
(実施例)
次に、本発明の一実施例を図面にしたがって説明する。
第1図は、本発明に係るスクリコ式真空ポンプ1を示し
、第4図に示ずらのと実質的に同しスクリュ式のポンプ
本体15と、浦循広1流路2と、逆止弁3と、バイパス
流路4とからなり、第4図と共通ケる部分には、同一番
号が付しである。
、第4図に示ずらのと実質的に同しスクリュ式のポンプ
本体15と、浦循広1流路2と、逆止弁3と、バイパス
流路4とからなり、第4図と共通ケる部分には、同一番
号が付しである。
さらに第1図では、第4図では図面」二省略したポンプ
本体15の部分が示してあり、下部に浦溜め部33を備
えた油タンクを兼ねた増速機ケーシング34内に内臓し
た互いに噛み合う小歯車31、大歯車32を介して図示
しない原動機からの回転駆動力をスクリュロータ19に
伝えるようになっている。
本体15の部分が示してあり、下部に浦溜め部33を備
えた油タンクを兼ねた増速機ケーシング34内に内臓し
た互いに噛み合う小歯車31、大歯車32を介して図示
しない原動機からの回転駆動力をスクリュロータ19に
伝えるようになっている。
油循環流路2は、油溜め部33から浦ポンプ35、油ク
ーラ36を経由してポンプ15内の軸受、軸封部、同期
歯車等の潤滑油供給箇所に至った後、再度油溜め部33
に戻る流路からなり、油溜め部33の油を循環させるよ
うになっている。
ーラ36を経由してポンプ15内の軸受、軸封部、同期
歯車等の潤滑油供給箇所に至った後、再度油溜め部33
に戻る流路からなり、油溜め部33の油を循環させるよ
うになっている。
−力木実施例では、逆止弁3は、弁本体37と弁体38
とコイルばね39とからなっている。
とコイルばね39とからなっている。
このうち、弁本体37は中間部に弁座40を設けたガス
流通空間41とシリンダ空間42を内部に有し、この両
者の間には仕切り部分43が形成しである。
流通空間41とシリンダ空間42を内部に有し、この両
者の間には仕切り部分43が形成しである。
弁体38はOリング44を介することによって、上記両
空間を互いにしゃ断した状態に保らつつ仕切り部分43
を貫通している。そして、弁体38のガス流通空間側を
上記弁座40に密着可能に形成するとともに、そのシリ
ンダ空間42側にこの空間を仕切って、そのガス流通空
間側に油室45を反対側に大気連通空間46を形成する
ピストン47が設けである。
空間を互いにしゃ断した状態に保らつつ仕切り部分43
を貫通している。そして、弁体38のガス流通空間側を
上記弁座40に密着可能に形成するとともに、そのシリ
ンダ空間42側にこの空間を仕切って、そのガス流通空
間側に油室45を反対側に大気連通空間46を形成する
ピストン47が設けである。
即ち、油室45には下記する油溜め部33の油が導かれ
、大気連通空間46側には大気連通孔48を設けるとと
しに、両空間はピストン47の周囲に嵌挿した0リング
49によりソールされている。
、大気連通空間46側には大気連通孔48を設けるとと
しに、両空間はピストン47の周囲に嵌挿した0リング
49によりソールされている。
コイルばね39は弁体38を弁座40に密着させる方向
に常時付勢1ろように設けである。
に常時付勢1ろように設けである。
ついで、バイパス流路4は、油室iI 5をa、 b。
Cボートを有ずろ三方切溺弁50を介して浦クーラ36
の出側およびnl+溜め部33に通じさせる流路からな
り、油室45から浦クーラ3 (iの出側或いは浦溜め
部33のいずれか一方に通じる流路に切換え可能に形成
しである。
の出側およびnl+溜め部33に通じさせる流路からな
り、油室45から浦クーラ3 (iの出側或いは浦溜め
部33のいずれか一方に通じる流路に切換え可能に形成
しである。
そして、b−Cボートが連通状態にあるときは、Ab室
・15は大気圧状態にある油溜め部33と連通状態とな
り、油室45内の油は浦溜め部33に流出し、コイルば
ね39の力により弁体38は第1図中左方に移動して、
弁は閉じた状態となる。
・15は大気圧状態にある油溜め部33と連通状態とな
り、油室45内の油は浦溜め部33に流出し、コイルば
ね39の力により弁体38は第1図中左方に移動して、
弁は閉じた状態となる。
これに対して、a−bボートが連通状態にあるときは、
第2図に示すように、油循環流路2の浦が油室45に導
かれ、ここでこの油圧がコイルば1つ39の力に打勝ち
、弁体38は同図中右方に移動して弁は開いた状態とな
る。
第2図に示すように、油循環流路2の浦が油室45に導
かれ、ここでこの油圧がコイルば1つ39の力に打勝ち
、弁体38は同図中右方に移動して弁は開いた状態とな
る。
このように、弁を開くときには油圧によって行い、弁を
閉じろときのコイルばね39の力を自由に選定出来るよ
うにしである。
閉じろときのコイルばね39の力を自由に選定出来るよ
うにしである。
次に、上記構成からなる真空ポンプの作動について説明
する。
する。
真空ポンプIの停止時には、油ポンプ35を停止させて
、三方切換弁50のb−Cボートを連通状態とする。こ
の結果、油室・15内の浦は浦溜め部33に抜けて、コ
イルばわ39の力により弁体38は弁座40に密着して
弁は閉じる。
、三方切換弁50のb−Cボートを連通状態とする。こ
の結果、油室・15内の浦は浦溜め部33に抜けて、コ
イルばわ39の力により弁体38は弁座40に密着して
弁は閉じる。
一方、真空ポンプIの運転時には油ポンプ35を作動さ
せて、三方切換弁50のa−bボートを連通状態にする
。この結果、油室45内に′A11圧が発生し、弁体3
8は右方に移動し、弁が開いて、ガス流路が確保される
。
せて、三方切換弁50のa−bボートを連通状態にする
。この結果、油室45内に′A11圧が発生し、弁体3
8は右方に移動し、弁が開いて、ガス流路が確保される
。
(発明の効果)
以上の説明より明らかなように、本発明によれば、逆I
F弁を、中間部に弁座をa°4゛ろガス流通空間および
シリンダ空間を内部に形成した弁本体と、適宜シール手
段を介して上記両空間を互いにしゃ断した状態に保ちつ
つ、両空間の仕切り部分を貫通させて、ガス流通空間側
をこの空間内の弁座に密着可能に形成するととらに、シ
リンダ空間側にこの空間内を仕切って、この空間内のガ
ス流通空間側に油室を、反対側に大気連通空間を形成ケ
ろピストンを設けた弁体と、この弁体を弁座に密着さU
−るように上記弁座方向に常時付勢4”るばね手段とか
ら形成4゛るとと乙に、」二足油室を三方切換弁を介し
て上記Al+ターラの出側および」−2浦タンクに通し
ざUるバイパス流路を設けて、油室からこの浦ターラの
出側或いは浦タンクのい4″れかに通しる流路に切換え
可能に形成しである。
F弁を、中間部に弁座をa°4゛ろガス流通空間および
シリンダ空間を内部に形成した弁本体と、適宜シール手
段を介して上記両空間を互いにしゃ断した状態に保ちつ
つ、両空間の仕切り部分を貫通させて、ガス流通空間側
をこの空間内の弁座に密着可能に形成するととらに、シ
リンダ空間側にこの空間内を仕切って、この空間内のガ
ス流通空間側に油室を、反対側に大気連通空間を形成ケ
ろピストンを設けた弁体と、この弁体を弁座に密着さU
−るように上記弁座方向に常時付勢4”るばね手段とか
ら形成4゛るとと乙に、」二足油室を三方切換弁を介し
て上記Al+ターラの出側および」−2浦タンクに通し
ざUるバイパス流路を設けて、油室からこの浦ターラの
出側或いは浦タンクのい4″れかに通しる流路に切換え
可能に形成しである。
このため、弁体を弁座に確実かつ迅速に密着さ0゛ろの
に必要なばノつ定数を何するばね手段を自由に選択して
、ガスの逆流を防止出来、かつ油圧により確実に弁を開
いてハンチング現象を生じることなくガス流路を確保す
ることが出来るという効果を奏する。
に必要なばノつ定数を何するばね手段を自由に選択して
、ガスの逆流を防止出来、かつ油圧により確実に弁を開
いてハンチング現象を生じることなくガス流路を確保す
ることが出来るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るスクリュ式真空ポンプの概略断面
図、第2図は第1図の作動時における逆止弁部分の概略
部分断面図、第3図は従来のスクリュ式真空ポンプを用
いた真空装置のガス系統図、第4図はスクリュ式真空ポ
ンプのポンプ本体の断面図、第5図は従来の逆止弁の断
面図である。 1・・・真空ポンプ、2・・・油循環流路、3・・・逆
止弁、4・・・バイパス流路、13・・・吸込口、15
・・・ポンプ本体、17・・・吐出口、19・・・スク
リュロータ、35・・油ポンプ、36・・浦クーラ、3
7・・弁本体、38・・・弁体、39・・・コイルばね
、40・・・弁座、41・・・ガス流通空間、42・・
ンリンダ空間、43・・・仕切り部分、45・・・油室
、46・・・大気連通空間、47・・・ピストン、50
・・・三方切換弁。 特許出願人 株式会社神戸製舖所 代理人 弁理士 前出 葆 はか1名 第3図 図
図、第2図は第1図の作動時における逆止弁部分の概略
部分断面図、第3図は従来のスクリュ式真空ポンプを用
いた真空装置のガス系統図、第4図はスクリュ式真空ポ
ンプのポンプ本体の断面図、第5図は従来の逆止弁の断
面図である。 1・・・真空ポンプ、2・・・油循環流路、3・・・逆
止弁、4・・・バイパス流路、13・・・吸込口、15
・・・ポンプ本体、17・・・吐出口、19・・・スク
リュロータ、35・・油ポンプ、36・・浦クーラ、3
7・・弁本体、38・・・弁体、39・・・コイルばね
、40・・・弁座、41・・・ガス流通空間、42・・
ンリンダ空間、43・・・仕切り部分、45・・・油室
、46・・・大気連通空間、47・・・ピストン、50
・・・三方切換弁。 特許出願人 株式会社神戸製舖所 代理人 弁理士 前出 葆 はか1名 第3図 図
Claims (1)
- (1)互いに噛み合う雌雄一対のスクリユロータと、そ
の両側に吸込口と吐出口とを有するポンプ本体と、原動
機の回転駆動力を増速して上記スクリュロータに伝える
増速機と、油タンクを兼ねた該増速機のケーシングと、
ポンプ本体内の潤滑油供給箇所、上記増速機、油タンク
、油ポンプ、油クーラを通る油循環流路と、ポンプ本体
の吸込口に通じる流路に設けた逆止弁とを備えたスクリ
ュ式真空ポンプにおいて、上記逆止弁を、中間部に弁座
を有するガス流通空間およびシリンダ空間を内部に形成
した弁本体と、適宜シール手段を介して上記両空間を互
いにしゃ断した状態に保ちつつ、両空間の仕切り部分を
貫通させて、ガス流通空間側をこの空間内の弁座に密着
可能に形成するとともに、シリンダ空間側にこの空間内
を仕切って、この空間内のガス流通空間側に油室を、反
対側に大気連通空間を形成するピストンを設けた弁体と
、この弁体を弁座に密着させるように上記弁座方向に常
時付勢するばね手段とから形成するとともに、上記油室
を三方切換弁を介して上記油クーラの出側および上記油
タンクに通じさせるバイパス流路を設けて、油室からこ
の油クーラの出側或いは油タンクのいずれかに通じる流
路に切換え可能に形成したことを特徴とするスクリュ式
真空ポンプ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63206904A JPH0255892A (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | スクリュ式真空ポンプ |
US07/330,696 US5018947A (en) | 1988-08-19 | 1989-03-30 | Screw type vacuum pump |
DE8989106927T DE68904263T2 (de) | 1988-08-19 | 1989-04-18 | Vakuumpumpe der schraubenbauart. |
EP89106927A EP0355260B1 (en) | 1988-08-19 | 1989-04-18 | Screw type vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63206904A JPH0255892A (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | スクリュ式真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0255892A true JPH0255892A (ja) | 1990-02-26 |
JPH0522079B2 JPH0522079B2 (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=16530992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63206904A Granted JPH0255892A (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | スクリュ式真空ポンプ |
Country Status (4)
Country | Link |
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