JPH0241841A - 非平面形状を有する物体の保持装置 - Google Patents
非平面形状を有する物体の保持装置Info
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- JPH0241841A JPH0241841A JP19062488A JP19062488A JPH0241841A JP H0241841 A JPH0241841 A JP H0241841A JP 19062488 A JP19062488 A JP 19062488A JP 19062488 A JP19062488 A JP 19062488A JP H0241841 A JPH0241841 A JP H0241841A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
- B24B13/0031—Machines having several working posts; Feeding and manipulating devices
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、非平面形状を有する物体の保持装置に係り、
特に、例えば光学レンズ等の非平面の外面形状を有する
物体を、その表面に流体の吸引力と噴出力とを作用させ
て非接触状態で保持するのに好適な非３１Ｚ面形状を有
する物体の保持装置に関するものである。
特に、例えば光学レンズ等の非平面の外面形状を有する
物体を、その表面に流体の吸引力と噴出力とを作用させ
て非接触状態で保持するのに好適な非３１Ｚ面形状を有
する物体の保持装置に関するものである。
従来、研摩装置への光学レンズ（以下レンズという）の
移載、あるいはカメラ、望遠鏡等の光学装置へのレンズ
の組込みを行う装置として、例えば特開昭６１−２８４
３３６号公報記載のように、負圧が供給される吸着チャ
ックによってレンズを真空吸着する装置が知られている
。
移載、あるいはカメラ、望遠鏡等の光学装置へのレンズ
の組込みを行う装置として、例えば特開昭６１−２８４
３３６号公報記載のように、負圧が供給される吸着チャ
ックによってレンズを真空吸着する装置が知られている
。
上記従来技術は、レンズ端面をつかまないのでくぼみ状
の鏡枠へのレンズの挿入が容易であるという利点を有す
る反面、レンズ而を吸着したとき、吸着された部分のレ
ンズ血に汚れや傷がつくという問題点があった。
の鏡枠へのレンズの挿入が容易であるという利点を有す
る反面、レンズ而を吸着したとき、吸着された部分のレ
ンズ血に汚れや傷がつくという問題点があった。
そこで、近年、物体に汚れや傷をつけることなくバンド
リングするために、物体を非接触に保持する技術が種々
開発さ九ている。
リングするために、物体を非接触に保持する技術が種々
開発さ九ている。
このうち、流体力によって物体を非接触に保持する装置
としては、例えば特開昭６２−２１１２３６号公報に記
載されているように ｉ（１面状の保持面に加圧気体が
供給される絞りを有する給気孔と負圧が供給される溝と
を設け、気体の吸引力と噴出力との相１１二作用により
物体を非接触保持するものが開発されている。
としては、例えば特開昭６２−２１１２３６号公報に記
載されているように ｉ（１面状の保持面に加圧気体が
供給される絞りを有する給気孔と負圧が供給される溝と
を設け、気体の吸引力と噴出力との相１１二作用により
物体を非接触保持するものが開発されている。
上記従来技術は、保持面が平面状に形成されていること
から、半導体ウェハのような板状体の保持に対しては有
効であるが、その反面、光学レンズのような非１Ｖ面の
外面形状を有する物体を保持する場合には、物体表面と
それに対向する保持面との間のすきまの間隔に部分に小
さくすることができないことから、保持した物体に対す
る支持力、保持剛性（復元力）か小さいので、保持安定
性に欠けるという問題点があった。
から、半導体ウェハのような板状体の保持に対しては有
効であるが、その反面、光学レンズのような非１Ｖ面の
外面形状を有する物体を保持する場合には、物体表面と
それに対向する保持面との間のすきまの間隔に部分に小
さくすることができないことから、保持した物体に対す
る支持力、保持剛性（復元力）か小さいので、保持安定
性に欠けるという問題点があった。
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになさ
れたもので１例えば光学レンズ等の非３１Ｚ血の外向形
状を有する物体を、強い保持力をもって非接触で保持で
き、その被保持体が汚れたり錫ついたりすることのない
非平面形状を有する物体の保持装置を提供することを、
その目的とするものである。
れたもので１例えば光学レンズ等の非３１Ｚ血の外向形
状を有する物体を、強い保持力をもって非接触で保持で
き、その被保持体が汚れたり錫ついたりすることのない
非平面形状を有する物体の保持装置を提供することを、
その目的とするものである。
上記目的を達成するために、本発明に係る非平面形状を
有する物体の保持装置の構成は、非平面の外向形状を有
する物体を流体力によって非接触に保持する装置であっ
て、物体との間に平行面のすきまを形成すべき保持面を
備えた保持体と、この保持体の保持面に設けられ、この
保持面に対向する物体表面に対して大気圧以上の圧力を
発生する絞りを備えた流体噴出部と、前記保持体の保持
面に設けられ、この保持面に対向する物体表面に対して
大気圧以下の圧力を発生する流体吸引部とを備え、かつ
、前記保持面は、非平曲の外面形状を有する物体の表面
に倣うように非平面に形成されているものである。
有する物体の保持装置の構成は、非平面の外向形状を有
する物体を流体力によって非接触に保持する装置であっ
て、物体との間に平行面のすきまを形成すべき保持面を
備えた保持体と、この保持体の保持面に設けられ、この
保持面に対向する物体表面に対して大気圧以上の圧力を
発生する絞りを備えた流体噴出部と、前記保持体の保持
面に設けられ、この保持面に対向する物体表面に対して
大気圧以下の圧力を発生する流体吸引部とを備え、かつ
、前記保持面は、非平曲の外面形状を有する物体の表面
に倣うように非平面に形成されているものである。
上記技術的手段による働きは次のとおりである。
流体噴出部の周囲に位置する流体吸引部は、流体の吸引
により保持体の保持面と非平面形状を有する物体（被保
持体）との間のすきま内に平均圧力を大気圧以下にする
。この負圧により被保持体の重量を支持する。
により保持体の保持面と非平面形状を有する物体（被保
持体）との間のすきま内に平均圧力を大気圧以下にする
。この負圧により被保持体の重量を支持する。
一方、流体噴出部は絞りを赤して加圧流体を保持面と被
保持体との間のすきまに供給する。これにより、この部
分のすきま内の圧力はすきま間隔か大きくなれば減少し
、すきま１；１１隔が小さくなれば増加する。このため
、被保持体は流体吸引部によって得られろ負圧力との相
１１：作用により、保持面に対し、て一定の微小なすき
ま間隔を保って非接触で支持される。
保持体との間のすきまに供給する。これにより、この部
分のすきま内の圧力はすきま間隔か大きくなれば減少し
、すきま１；１１隔が小さくなれば増加する。このため
、被保持体は流体吸引部によって得られろ負圧力との相
１１：作用により、保持面に対し、て一定の微小なすき
ま間隔を保って非接触で支持される。
また、このとき、流体吸引部は圧力が大気圧以下である
ことから、流体が周囲に噴出して、周辺のごみを士き−
ヒげたり周囲の物体を移動させてしまうことがない。
ことから、流体が周囲に噴出して、周辺のごみを士き−
ヒげたり周囲の物体を移動させてしまうことがない。
以上、本発明の各実施例を第１１！］ないし第７図を参
照して説明する。
照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る光学レンズ保持装置
の正面断面図、第２図は、第１図の装置の底面図、第３
図は、第１図の装置の光学レンズの保持動作を説明する
ための正面断面図、第４図は、板状体の保持装置におけ
る板状体の保持動作を説明するための正面断面図、第５
図は、第４図の装置の寸法関係を示す説明図、第６図は
、第４図の装置による保持動作説明図である。
の正面断面図、第２図は、第１図の装置の底面図、第３
図は、第１図の装置の光学レンズの保持動作を説明する
ための正面断面図、第４図は、板状体の保持装置におけ
る板状体の保持動作を説明するための正面断面図、第５
図は、第４図の装置の寸法関係を示す説明図、第６図は
、第４図の装置による保持動作説明図である。
第１，２図において、１は、非接触に保持すべき被保持
体に係る光学レンズで、非凡Ｖ而の外面形状を有する物
体である。２は、光学レンズ１の保持体であり、この保
持体２の保持面２Ａと光学レンズ１の上面ＩＡとの間に
は、すきま間隔りを隔ててすきま３が形成されている。
体に係る光学レンズで、非凡Ｖ而の外面形状を有する物
体である。２は、光学レンズ１の保持体であり、この保
持体２の保持面２Ａと光学レンズ１の上面ＩＡとの間に
は、すきま間隔りを隔ててすきま３が形成されている。
すなわち、保持体２の保持面２Ａは、被保持体である光
学レンズ】の非平面形状を有する上面ＩＡに倣うように
非平曲に形成されている。
学レンズ】の非平面形状を有する上面ＩＡに倣うように
非平曲に形成されている。
この保持面２Ａには、すきま３内の気体を吸弓してすき
ま３内の平均圧力を外気圧以下に保つ流体吸引部と、す
きま３へ加圧流体を導入する流体噴出部とが備えられて
いる。
ま３内の平均圧力を外気圧以下に保つ流体吸引部と、す
きま３へ加圧流体を導入する流体噴出部とが備えられて
いる。
前記流体吸引部は、保持面２Ａの外周部に設けら才しる
環状の溝９を備え、この環状溝９は保持体２内の流体吸
引通路１０および管路１１を通して流体吸引源１２に連
通している。
環状の溝９を備え、この環状溝９は保持体２内の流体吸
引通路１０および管路１１を通して流体吸引源１２に連
通している。
また、前記流体噴出部は、保持面２Ａの中央部に設けた
開口部４および絞り５を備えており、この絞り５は保持
体２内の流体供給口６および管路７を通して加圧流体供
給源８に連通している。
開口部４および絞り５を備えており、この絞り５は保持
体２内の流体供給口６および管路７を通して加圧流体供
給源８に連通している。
なお、第１図において矢印１３は重力が働くノブ向を示
している。
している。
次に、本実施例の光学レンズ保持装置の動作を説明する
。
。
説明を単純にするために、第４図に示すように保持体２
′の保持面２Ａ’および被保持体１′の上面ＩＡ′はと
もに平面であるとする。
′の保持面２Ａ’および被保持体１′の上面ＩＡ′はと
もに平面であるとする。
本実施例の場合には、第３図に示すように、保持体２の
保持面２Ａおよび被保持体である光学レンズ１の上面Ｉ
Ａはともに非平面であるが、非接触保持動作の原理に関
しては、これらが平面であるか否かは無関係であり、原
理は同一である。
保持面２Ａおよび被保持体である光学レンズ１の上面Ｉ
Ａはともに非平面であるが、非接触保持動作の原理に関
しては、これらが平面であるか否かは無関係であり、原
理は同一である。
なお、第３図および第４図において、第１図と同一符号
のものは同一または相当部を示すものである。
のものは同一または相当部を示すものである。
第７３，４図において、流体吸引源１２を駆動すると、
これによって管路１１、流体吸引通路１０を通して環状
溝９から流体が吸引され、この環状１酢９内の圧力が外
気以下に減圧される。
これによって管路１１、流体吸引通路１０を通して環状
溝９から流体が吸引され、この環状１酢９内の圧力が外
気以下に減圧される。
−力、環状溝９内の圧力より高い圧力に保たれている加
圧流体供給源８は、加圧流体を管路７、流体供給［−１
６から絞り５、開口部４を通してすきま；３へ供給し、
この部分に大気圧以Ｈの圧力を与える。このとき、すき
ま３内の圧力、またこの圧力から計算される被保持体１
′に働く力は、第４図の場合について、理論的に上記の
ようになる。
圧流体供給源８は、加圧流体を管路７、流体供給［−１
６から絞り５、開口部４を通してすきま；３へ供給し、
この部分に大気圧以Ｈの圧力を与える。このとき、すき
ま３内の圧力、またこの圧力から計算される被保持体１
′に働く力は、第４図の場合について、理論的に上記の
ようになる。
いま、すきまごう内の流れは、すきま３の間隔ｈａを十
分小さくするとき、等温２層流で、損性力と比較して粘
性力が支配的な流れであると仮定できる。このとき、す
きま３内の流れに対し、第５図に示す座標系および記号
を用いて、次の、ｌＪ程式および境界条件が成立する。
分小さくするとき、等温２層流で、損性力と比較して粘
性力が支配的な流れであると仮定できる。このとき、す
きま３内の流れに対し、第５図に示す座標系および記号
を用いて、次の、ｌＪ程式および境界条件が成立する。
ｒｌ≦ｒ≦ｒｏのすきまに対し、
Ｐ：Ｐｃ ａｔ ｒ＝ｒｚ、 ｐ＝ｐｖａｔ ｒ＝ｒｏ
・・・（２）ｒａ≦ｒ≦ｒｂのすきまに対し
。
・・・（２）ｒａ≦ｒ≦ｒｂのすきまに対し
。
１’＝Ｉ’ｖ ａｔ ｒ＝ｒａ、 ｐ＝１ノ３ ａｔ
ｒ＝ｒｂ −４３）ここで、 二作持面２′の中心Ｏからすきまのひろかり方向に測っ
た座標 ：すきま３間隔 ：すきま３内の圧力 ニ開ロ部４の半径 ：環状溝９に囲まれた保持面２Ａの外生マ′た。あるい
は環状１１イ９の内半径：環状溝９の外半径 ：保持１ｆＵ２ Ａ ’の半径 二開ロ部４内の圧力 ニ環状溝９内の圧力 ニ外気圧 このすきま３内の流れ（圧力）の式に対し、流体供給口
６に介設された絞り５を通る気体質駄流駄 ここで、 ＣＤ ニオリフイス絞り流量係数 （空気に対してはＣｏ”０．８５） ■り：ガス定数 ′ｌ゛：気体の絶対温度 Ｐｓ ：流体供給口６に供給される気体の圧力Ｋ ：気
体の比熱比 また、ｒｌ≦ｒ≦ｒｏのすきま３内を流れる気体質猷流
量ｍｈは、 ここで、 μ ：気体の粘性係数 と表わされ、これらの気体質Ｉｆ流喰ｍＲ，ｍｈには次
の連続条件が課せられる。
ｒ＝ｒｂ −４３）ここで、 二作持面２′の中心Ｏからすきまのひろかり方向に測っ
た座標 ：すきま３間隔 ：すきま３内の圧力 ニ開ロ部４の半径 ：環状溝９に囲まれた保持面２Ａの外生マ′た。あるい
は環状１１イ９の内半径：環状溝９の外半径 ：保持１ｆＵ２ Ａ ’の半径 二開ロ部４内の圧力 ニ環状溝９内の圧力 ニ外気圧 このすきま３内の流れ（圧力）の式に対し、流体供給口
６に介設された絞り５を通る気体質駄流駄 ここで、 ＣＤ ニオリフイス絞り流量係数 （空気に対してはＣｏ”０．８５） ■り：ガス定数 ′ｌ゛：気体の絶対温度 Ｐｓ ：流体供給口６に供給される気体の圧力Ｋ ：気
体の比熱比 また、ｒｌ≦ｒ≦ｒｏのすきま３内を流れる気体質猷流
量ｍｈは、 ここで、 μ ：気体の粘性係数 と表わされ、これらの気体質Ｉｆ流喰ｍＲ，ｍｈには次
の連続条件が課せられる。
ｍ Ｒ” ｍ ｈ ・・・
（６）以上、式（１）〜（６）がすきま：３内の流れに
対する基礎式であり、これｒ）を解くことにより、すき
ま３内の圧力が求まる。そして求まったすきま３内の圧
力より、被保持体１′に−１く吸引力Ｆ（上向き正）は
次式のように表わされる。
（６）以上、式（１）〜（６）がすきま：３内の流れに
対する基礎式であり、これｒ）を解くことにより、すき
ま３内の圧力が求まる。そして求まったすきま３内の圧
力より、被保持体１′に−１く吸引力Ｆ（上向き正）は
次式のように表わされる。
・・・（７）
ここで圧力Ｐについての式（１）〜（３）の解はＰｃ
ｏ≦ｒ ＜ ｒ ＋ただし
ここでＰｃは未知であり、このＰ Ｃは式（４）〜（６
）より定まる。
ｏ≦ｒ ＜ ｒ ＋ただし
ここでＰｃは未知であり、このＰ Ｃは式（４）〜（６
）より定まる。
以上の式（１）〜（７）より、すきま３の間隔りを変え
て板状体１に働く吸引カドを計算した結果を第６図に示
す。この第６図より本発明の装置の動作をｂ２明すると
以下の通りである。
て板状体１に働く吸引カドを計算した結果を第６図に示
す。この第６図より本発明の装置の動作をｂ２明すると
以下の通りである。
いま、すきま３の間隔りが間隔ｈａ、ずなゎち第４１″
！１におい゛Ｃ被保持体１′が実線で示す位置にあると
きに吸引力と被保持体１′の重量とがつり合うように装
置を設計したとする。このとき、被保持体１′か第４図
において破線で示す位置に移動しＣすきま３の間隔りが
間隔り、に増加すると、第６１Ａに示すように吸引力１
゛は被保持体１′のＴｌｊ量より大きくなる。したがっ
て、被保持体１′には、設計点である間隔ｈａの位置に
引きもどす方向に復元力が働く。同様にして、すきま３
の間隔りが設計点すきま間隔ｈａより小さくなった場合
にも、被保持体１′には間隔ｈａの位置にもどる方向に
復元力が働く。これより被保持体１′は、保持体２の保
持面２Ａとすきま３の間隔りをへだてで非接触に安定浮
旧支持されることになる。加圧流体を流体供給口６に供
給する場合には、保持面２Ａ’の下ｊノに被保持体１′
を懸垂するだけでなく、保持面２Ａ’の上方に被保持体
１′を７１−ヒさせることもｒｌ（能である。またこの
とき、負圧に保たれる環状溝９は、流体供給口６のすき
ま３への開「１部４を取囲むように環状に設けられてい
るので、流体通路６からすきま３内へ流入した気体はす
へて環状溝９内へ吸引回収され、外部に噴出することは
ない。１１Ｂに保持面２Δ′の外周部から外気が環状溝
９内に流入するが、環状溝９内の負圧の大きさは２００
” ：３００ ｍｍ水柱程度であり、流入する気体の
流軟は少ない。また噴出する場合と異なり、流入する場
合は周囲に対する影響は小さい。
！１におい゛Ｃ被保持体１′が実線で示す位置にあると
きに吸引力と被保持体１′の重量とがつり合うように装
置を設計したとする。このとき、被保持体１′か第４図
において破線で示す位置に移動しＣすきま３の間隔りが
間隔り、に増加すると、第６１Ａに示すように吸引力１
゛は被保持体１′のＴｌｊ量より大きくなる。したがっ
て、被保持体１′には、設計点である間隔ｈａの位置に
引きもどす方向に復元力が働く。同様にして、すきま３
の間隔りが設計点すきま間隔ｈａより小さくなった場合
にも、被保持体１′には間隔ｈａの位置にもどる方向に
復元力が働く。これより被保持体１′は、保持体２の保
持面２Ａとすきま３の間隔りをへだてで非接触に安定浮
旧支持されることになる。加圧流体を流体供給口６に供
給する場合には、保持面２Ａ’の下ｊノに被保持体１′
を懸垂するだけでなく、保持面２Ａ’の上方に被保持体
１′を７１−ヒさせることもｒｌ（能である。またこの
とき、負圧に保たれる環状溝９は、流体供給口６のすき
ま３への開「１部４を取囲むように環状に設けられてい
るので、流体通路６からすきま３内へ流入した気体はす
へて環状溝９内へ吸引回収され、外部に噴出することは
ない。１１Ｂに保持面２Δ′の外周部から外気が環状溝
９内に流入するが、環状溝９内の負圧の大きさは２００
” ：３００ ｍｍ水柱程度であり、流入する気体の
流軟は少ない。また噴出する場合と異なり、流入する場
合は周囲に対する影響は小さい。
以上の動作の説明では、第４図に示すように、保持体２
′の保持面２Ａ’および被保持体１′の上面ＩＡ’はと
もに平面であると仮定したが、本実施例の場合には第３
図に示すように、保持体２の保持面２Ａおよび被保持体
である光学レンズ１の上面ＩＡはともに非平面である。
′の保持面２Ａ’および被保持体１′の上面ＩＡ’はと
もに平面であると仮定したが、本実施例の場合には第３
図に示すように、保持体２の保持面２Ａおよび被保持体
である光学レンズ１の上面ＩＡはともに非平面である。
ｉｌＺ行而の面きまを形成する保持体および被保持体の
対向面が非ＩＬ面である場合は、すきま３内の圧力によ
って被保持体（光学レンズ１）のｌ−＋ｎ＋ＩＡに働く
力のうち、被保持体が変化する方向の力成分の合力が被
保持体１に働く復元力、保持力として作用することにな
る。
対向面が非ＩＬ面である場合は、すきま３内の圧力によ
って被保持体（光学レンズ１）のｌ−＋ｎ＋ＩＡに働く
力のうち、被保持体が変化する方向の力成分の合力が被
保持体１に働く復元力、保持力として作用することにな
る。
このように、本実施例によれば、光学レンズのように非
平面の外面形状を有する物体を非接触に保持し得るので
、レンズ等を汚したり傷つけたりすることなく、移送、
載置、光学機器への組込みなどを行うことができる。ま
た、装置からその外ノＪへ向かつて流体が噴出すること
がないので、周囲のごみがまき上がってレンズ等を汚し
たり、装置周辺に置かれた他の物体を移動させたりする
ことがない。すなわち、汚れや傷を嫌う光学レンズ等の
ハンドリング性能を向上させることができる。
平面の外面形状を有する物体を非接触に保持し得るので
、レンズ等を汚したり傷つけたりすることなく、移送、
載置、光学機器への組込みなどを行うことができる。ま
た、装置からその外ノＪへ向かつて流体が噴出すること
がないので、周囲のごみがまき上がってレンズ等を汚し
たり、装置周辺に置かれた他の物体を移動させたりする
ことがない。すなわち、汚れや傷を嫌う光学レンズ等の
ハンドリング性能を向上させることができる。
次に、第７図は、本発明の他の実施例に係る光学レンズ
保持装置の正面断面図である。図中、第１図と同一符号
のものは同一部分または相当する部分であるから、その
説明を省略する。
保持装置の正面断面図である。図中、第１図と同一符号
のものは同一部分または相当する部分であるから、その
説明を省略する。
第７図の実施例は、第１図の実施例における保持体２を
、被保持体である光学レンズ１に対して複数個（第７図
では２個）設けたものである。
、被保持体である光学レンズ１に対して複数個（第７図
では２個）設けたものである。
第７図に承す２個の保持体２−１．２−２は、それぞれ
フレーム１４番こ装着さ才している。
フレーム１４番こ装着さ才している。
各保持体２−１．２−２の流体供給口６は管路７−１．
７−２によって共通の加圧流体供給源８に連通しており
、また、流体吸引通路１０は管路１１−１．１１−２に
よって共通の流体吸引源１２に連通している。
７−２によって共通の加圧流体供給源８に連通しており
、また、流体吸引通路１０は管路１１−１．１１−２に
よって共通の流体吸引源１２に連通している。
第７図の実施例によれば、光学レンズ１は、複数個の保
持体２−１．２−２によって非接触に保持されるので、
光学レンズ１が保持体の保持布２Ａに対して傾くように
変位した場合には、光学レンズ１に大きな復元力を与え
ることができる。
持体２−１．２−２によって非接触に保持されるので、
光学レンズ１が保持体の保持布２Ａに対して傾くように
変位した場合には、光学レンズ１に大きな復元力を与え
ることができる。
なお、上記の各実施例では、光学レンズの保持装置につ
いて説明したが、本発明は光学レンズのみに限らず、非
平面の外面形状を有する被保持体を流体力によって非接
触に保持する装置に汎用的に適用できるものである゛。
いて説明したが、本発明は光学レンズのみに限らず、非
平面の外面形状を有する被保持体を流体力によって非接
触に保持する装置に汎用的に適用できるものである゛。
以上述べたように、本発明によれば、光学レンズ等の非
平面の外面形状を有する物体を、強い保持力をもって非
接触で保持でき、その被保持体が汚れたり傷ついたりす
ることのない非゛１１面形状を有する物体の保持装置を
提供することができろ。
平面の外面形状を有する物体を、強い保持力をもって非
接触で保持でき、その被保持体が汚れたり傷ついたりす
ることのない非゛１１面形状を有する物体の保持装置を
提供することができろ。
第１図は、本発明の一実施例に係る光学レンズ保持装置
の正面断面図、第２図は、第１図の装置の底面図、第３
図は、第１図の装置の光学レンズの保持動作を説明する
ための正面断面図、第４図は、板状体の保持装置におけ
る板状体の保持動作を説明するための正面断面図、第５
図は、第４図の装置の寸法関係を示す説明図、第６図は
、第４図の装置による保持動作特性図、第７図は、本発
明の他の実施例に係る光学レンズ保持装置の正面断面図
である。 ］・・光学レンズ、ＩＡ・・・」二面、２．２−１．２
−２・・・保持体、２Ａ・・・保持布、３・・・すきま
、４・・・開口部、５・・・絞り、８・・・加圧流体供
給源、９・・・環状■ 図 第２ 口 １ｚ−−−シ＾−イネ町ダシ１ニジ丙（図 ■ 図 図 ■ 乙 図
の正面断面図、第２図は、第１図の装置の底面図、第３
図は、第１図の装置の光学レンズの保持動作を説明する
ための正面断面図、第４図は、板状体の保持装置におけ
る板状体の保持動作を説明するための正面断面図、第５
図は、第４図の装置の寸法関係を示す説明図、第６図は
、第４図の装置による保持動作特性図、第７図は、本発
明の他の実施例に係る光学レンズ保持装置の正面断面図
である。 ］・・光学レンズ、ＩＡ・・・」二面、２．２−１．２
−２・・・保持体、２Ａ・・・保持布、３・・・すきま
、４・・・開口部、５・・・絞り、８・・・加圧流体供
給源、９・・・環状■ 図 第２ 口 １ｚ−−−シ＾−イネ町ダシ１ニジ丙（図 ■ 図 図 ■ 乙 図
Claims (1)
- １、非平面の外面形状を有する物体を流体力によつて非
接触に保持する装置であつて、物体との間に平行面のす
きまを形成すべき保持面を備えた保持体と、この保持体
の保持面に設けられ、この保持面に対向する物体表面に
対して大気圧以上の圧力を発生する絞りを備えた流体噴
出部と、前記保持体の保持面に設けられ、この保持面に
対向する物体表面に対して大気圧以下の圧力を発生する
流体吸引部とを備え、かつ、前記保持面は、非平面の外
面形状を有する物体の表面に倣うように非平面に形成さ
れていることを特徴とする非平面形状を有する物体の保
持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19062488A JPH0241841A (ja) | 1988-08-01 | 1988-08-01 | 非平面形状を有する物体の保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19062488A JPH0241841A (ja) | 1988-08-01 | 1988-08-01 | 非平面形状を有する物体の保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0241841A true JPH0241841A (ja) | 1990-02-13 |
Family
ID=16261166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19062488A Pending JPH0241841A (ja) | 1988-08-01 | 1988-08-01 | 非平面形状を有する物体の保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0241841A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999033398A1 (fr) | 1996-11-19 | 1999-07-08 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Generateur de champ magnetique pour irm |
| WO2019020420A1 (de) * | 2017-07-27 | 2019-01-31 | Technische Hochschule Deggendorf | Fixiervorrichtung |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5338055A (en) * | 1976-09-17 | 1978-04-07 | Toshiba Corp | Transferring device |
| JPS62211236A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-17 | Hitachi Ltd | 板状体の保持装置 |
-
1988
- 1988-08-01 JP JP19062488A patent/JPH0241841A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5338055A (en) * | 1976-09-17 | 1978-04-07 | Toshiba Corp | Transferring device |
| JPS62211236A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-17 | Hitachi Ltd | 板状体の保持装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999033398A1 (fr) | 1996-11-19 | 1999-07-08 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Generateur de champ magnetique pour irm |
| WO2019020420A1 (de) * | 2017-07-27 | 2019-01-31 | Technische Hochschule Deggendorf | Fixiervorrichtung |
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