JPH0230454Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0230454Y2 JPH0230454Y2 JP10092884U JP10092884U JPH0230454Y2 JP H0230454 Y2 JPH0230454 Y2 JP H0230454Y2 JP 10092884 U JP10092884 U JP 10092884U JP 10092884 U JP10092884 U JP 10092884U JP H0230454 Y2 JPH0230454 Y2 JP H0230454Y2
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- Japan
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- sample
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- furnace
- reflecting mirror
- light source
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- Expired
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、フローテイングゾーン法による単結
晶の製造等に用いられる単楕円型イメージ炉の試
料観察窓の位置に関するものである。
晶の製造等に用いられる単楕円型イメージ炉の試
料観察窓の位置に関するものである。
（従来技術とその問題点）
イメージ炉は、回転楕円面鏡から成る反射鏡の
一方の焦点に熱光源をおき、もう一方の焦点に試
料をおいて熱光源から出た光（輻射線）を試料側
の焦点に集光し、試料を加熱するものである。こ
の装置には反射鏡を一個の回転楕円面のみで構成
する単楕円型、反射鏡が二個の回転楕円面の組み
合わせで構成される双楕円型、更に反射鏡を３個
以上の回転楕円面の組み合わせで構成する多楕円
型とがあるが装置構成の単純さから単楕円型が良
く使用される。
一方の焦点に熱光源をおき、もう一方の焦点に試
料をおいて熱光源から出た光（輻射線）を試料側
の焦点に集光し、試料を加熱するものである。こ
の装置には反射鏡を一個の回転楕円面のみで構成
する単楕円型、反射鏡が二個の回転楕円面の組み
合わせで構成される双楕円型、更に反射鏡を３個
以上の回転楕円面の組み合わせで構成する多楕円
型とがあるが装置構成の単純さから単楕円型が良
く使用される。
第２図は、従来の単楕円型イメージ炉の加熱炉
の部分を示す縦断面図である。
の部分を示す縦断面図である。
図において１０１が反射鏡であり、その反射鏡
面１０２はF1，F2を焦点とする面を、Ｘ軸上に
回転させた回転楕円面で構成される。１０３は反
射鏡面１０２の焦点F1におかれた熱光源ランプ
でハロゲンランプなどが使用される。１０４は上
側試料、１０５は下側試料であり、１０６は加熱
溶融された溶融域（モルテンゾーン）である。ま
た１０７は炉心管であり、石英のような耐熱性透
明ガラスでできている。一方、上側試料１０４は
上側試料チヤツク１０８を介して、上シヤフト１
０９に固定され、上シヤフト１０９は上シヤフト
送り機構（図示せず）により上下に移動できる。
また下側試料１０５は下側試料チヤツク１１０を
介して下シヤフト１１１に固定され、下シヤフト
１１１は下シヤフト送り機構（図示せず）によ
り、上下に移動できる。更に、反射鏡１０１の内
側１１２はＯリング１１３，１１４でシールさ
れ、外気との気密が保たれている。炉心管内には
例えば不活性ガスなどの雰囲気を流して、加熱時
の試料の酸化等を防いでいる。
面１０２はF1，F2を焦点とする面を、Ｘ軸上に
回転させた回転楕円面で構成される。１０３は反
射鏡面１０２の焦点F1におかれた熱光源ランプ
でハロゲンランプなどが使用される。１０４は上
側試料、１０５は下側試料であり、１０６は加熱
溶融された溶融域（モルテンゾーン）である。ま
た１０７は炉心管であり、石英のような耐熱性透
明ガラスでできている。一方、上側試料１０４は
上側試料チヤツク１０８を介して、上シヤフト１
０９に固定され、上シヤフト１０９は上シヤフト
送り機構（図示せず）により上下に移動できる。
また下側試料１０５は下側試料チヤツク１１０を
介して下シヤフト１１１に固定され、下シヤフト
１１１は下シヤフト送り機構（図示せず）によ
り、上下に移動できる。更に、反射鏡１０１の内
側１１２はＯリング１１３，１１４でシールさ
れ、外気との気密が保たれている。炉心管内には
例えば不活性ガスなどの雰囲気を流して、加熱時
の試料の酸化等を防いでいる。
次に従来の単楕円型イメージ炉における欠点を
説明する。第３図は、第２図の単楕円型イメージ
炉の加熱炉部分の横断面図である。
説明する。第３図は、第２図の単楕円型イメージ
炉の加熱炉部分の横断面図である。
図において、１１５は試料の溶融状態等を観察
するための観察窓であり、回転楕円体の二つの焦
点F1，F2を結ぶ直線の延長上に位置する。反射
鏡１０１の内側１１２は、１１６のガラス板と１
１７，１１８のＯリングによつてシールされてお
り、外気との気密が保たれている。試料の溶融域
１０６は、観察窓１１５を通してレンズ１１９に
よつてスクリーン１２０の上に結像される。
するための観察窓であり、回転楕円体の二つの焦
点F1，F2を結ぶ直線の延長上に位置する。反射
鏡１０１の内側１１２は、１１６のガラス板と１
１７，１１８のＯリングによつてシールされてお
り、外気との気密が保たれている。試料の溶融域
１０６は、観察窓１１５を通してレンズ１１９に
よつてスクリーン１２０の上に結像される。
しかしながら従来の単楕円型イメージ炉は、光
源の置かれている焦点F1と試料の溶融域のある
焦点F2を結んだ直線の延長上に観察窓１１５が
あるために、観察窓１１５を通して試料溶融域１
０６を観察する場合に、試料溶融域の背面から光
源の強い光を浴びるため溶融域の周辺が光つて、
溶融域に比べ極端に明るくなり溶融域の表面の状
態の観察が困難になる。特に試料径の細い場合、
この現象は著るしく溶融域の観察が不可能となる
欠点を有していた。
源の置かれている焦点F1と試料の溶融域のある
焦点F2を結んだ直線の延長上に観察窓１１５が
あるために、観察窓１１５を通して試料溶融域１
０６を観察する場合に、試料溶融域の背面から光
源の強い光を浴びるため溶融域の周辺が光つて、
溶融域に比べ極端に明るくなり溶融域の表面の状
態の観察が困難になる。特に試料径の細い場合、
この現象は著るしく溶融域の観察が不可能となる
欠点を有していた。
（考案の目的）
本考案の目的は、上述した問題点を解決し、試
料加熱部の観察を容易にした単楕円型イメージ炉
を提供することにある。
料加熱部の観察を容易にした単楕円型イメージ炉
を提供することにある。
（考案の構成）
本考案によれば試料加熱部を観察するための観
察窓の位置が回転楕円体の二つの焦点を結んだ直
線の延長上にない単楕円型イメージ炉が得られ
る。
察窓の位置が回転楕円体の二つの焦点を結んだ直
線の延長上にない単楕円型イメージ炉が得られ
る。
（構成の詳細な説明）
本考案は、上述の構成を取ることにより従来技
術の問題点を解決した。すなわち、試料加熱部を
観察するための観察窓を回転楕円体の二つの焦点
を結んだ直線の延長上でない所に設置することに
より、観察窓を通して試料加熱部を見た場合に、
試料溶融域の周辺が光源の光によつて光らないよ
うにした。
術の問題点を解決した。すなわち、試料加熱部を
観察するための観察窓を回転楕円体の二つの焦点
を結んだ直線の延長上でない所に設置することに
より、観察窓を通して試料加熱部を見た場合に、
試料溶融域の周辺が光源の光によつて光らないよ
うにした。
（実施例）
以下本考案の実施例について図面を参照して詳
細に説明する。第１図は、本考案の実施例を示す
単楕円型イメージ炉の加熱炉の部分を示す横断面
図である。第１図の炉の縦方向断面は、観察窓の
位置が異なる他は第２図と同様の構造を有してい
る。
細に説明する。第１図は、本考案の実施例を示す
単楕円型イメージ炉の加熱炉の部分を示す横断面
図である。第１図の炉の縦方向断面は、観察窓の
位置が異なる他は第２図と同様の構造を有してい
る。
図において２０１が反射鏡であり、その反射鏡
面２０２はF′1，F′2を焦点とする面をＸ軸上に回
転させた回転楕円面で構成される。２０３は反射
鏡面２０２の一方の焦点F′1上に置かれた熱光源
ランプでハロゲンランプなどが使用される。２０
４は、もう一方の焦点F′2上に形成される試料の
溶融域であり、２０５は炉心管である。２０６は
試料の溶融状態等を観察するための観察窓であ
り、回転楕円体の二つの焦点F′1，F′2を結ぶ直線
と、試料溶融域のある焦点F′2と観察窓を結ぶ直
線とのなす角度が45゜であるような所に位置して
いる。反射鏡２０１の内側２０７は、２０８のガ
ラス板と２０９，２１０のＯリングによつてシー
ルされており、外気との気密が保たれている。試
料の溶融域２０４は、２０６の観察窓を通してレ
ンズ２１１によつてスクリーン２１２上に結像さ
れ、スクリーン２１２にはすりガラス等を用いる
ことによつて、炉外から試料の溶融状態を観察す
ることができる。この時、回転楕円体の二つの焦
点F′1，F′2と観察窓が一直線上にないために試料
溶融域の背面に光源はなく、溶融域の周辺が光ら
なくなる。
面２０２はF′1，F′2を焦点とする面をＸ軸上に回
転させた回転楕円面で構成される。２０３は反射
鏡面２０２の一方の焦点F′1上に置かれた熱光源
ランプでハロゲンランプなどが使用される。２０
４は、もう一方の焦点F′2上に形成される試料の
溶融域であり、２０５は炉心管である。２０６は
試料の溶融状態等を観察するための観察窓であ
り、回転楕円体の二つの焦点F′1，F′2を結ぶ直線
と、試料溶融域のある焦点F′2と観察窓を結ぶ直
線とのなす角度が45゜であるような所に位置して
いる。反射鏡２０１の内側２０７は、２０８のガ
ラス板と２０９，２１０のＯリングによつてシー
ルされており、外気との気密が保たれている。試
料の溶融域２０４は、２０６の観察窓を通してレ
ンズ２１１によつてスクリーン２１２上に結像さ
れ、スクリーン２１２にはすりガラス等を用いる
ことによつて、炉外から試料の溶融状態を観察す
ることができる。この時、回転楕円体の二つの焦
点F′1，F′2と観察窓が一直線上にないために試料
溶融域の背面に光源はなく、溶融域の周辺が光ら
なくなる。
（考案の効果）
従来のイメージ炉では、観察窓を通して試料の
溶融域を観察する時に、溶融域の背面に光源があ
るため溶融域の周辺が光つてしまい、溶融域表面
の状態がよく観察できなかつたが、本考案による
イメージ炉では溶融域の周辺が光らなくなり、試
料径が細い場合でも表面の状態を詳細に観察でき
るようになり、本考案による効果は非常に大き
い。
溶融域を観察する時に、溶融域の背面に光源があ
るため溶融域の周辺が光つてしまい、溶融域表面
の状態がよく観察できなかつたが、本考案による
イメージ炉では溶融域の周辺が光らなくなり、試
料径が細い場合でも表面の状態を詳細に観察でき
るようになり、本考案による効果は非常に大き
い。
以上、本考案の実施例として回転楕円体の二つ
の焦点F′1，F′2を結ぶ直線と、試料溶融域のある
焦点F2と観察窓を結ぶ直線とのなす角度が45゜で
あるような位置に観察窓を設けた単楕円型イメー
ジ炉について説明してきたが、観察窓の位置は回
転楕円体の二つの焦点F′1，F′2を結ぶ直線の延長
上でなければ任意の位置でよく、同様の効果を生
ずることは明らかである。
の焦点F′1，F′2を結ぶ直線と、試料溶融域のある
焦点F2と観察窓を結ぶ直線とのなす角度が45゜で
あるような位置に観察窓を設けた単楕円型イメー
ジ炉について説明してきたが、観察窓の位置は回
転楕円体の二つの焦点F′1，F′2を結ぶ直線の延長
上でなければ任意の位置でよく、同様の効果を生
ずることは明らかである。
なお、ここでは観察窓を通して試料溶融域を観
察する方法として、レンズを用いてスクリーン上
に結像させる方法を用いて説明してきたが、観察
の方法としては肉眼による観察、テレビカメラに
よる観察などでもよい。更に、以上の説明で述べ
た熱光源ランプとしては、ハロゲンランプ、キセ
ノンランプ、水銀ランプ等の任意のランプの使用
が可能である。
察する方法として、レンズを用いてスクリーン上
に結像させる方法を用いて説明してきたが、観察
の方法としては肉眼による観察、テレビカメラに
よる観察などでもよい。更に、以上の説明で述べ
た熱光源ランプとしては、ハロゲンランプ、キセ
ノンランプ、水銀ランプ等の任意のランプの使用
が可能である。
第１図は本考案の実施例を示す単楕円型イメー
ジ炉の加熱炉の部分を示す横断面図、第２図は、
従来の単楕円型イメージ炉の加熱炉の部分を示す
縦断面図で、第３図は、第２図の単楕円型イメー
ジ炉の加熱炉部分の横断面図である。 図において、１０１……反射鏡、１０３……熱
光源ランプ、１０４……上側試料、１０５……下
側試料、１０７……炉心管、２０６……観察窓、
２０８……ガラス板、２１１……レンズ、２１２
……スクリーン。
ジ炉の加熱炉の部分を示す横断面図、第２図は、
従来の単楕円型イメージ炉の加熱炉の部分を示す
縦断面図で、第３図は、第２図の単楕円型イメー
ジ炉の加熱炉部分の横断面図である。 図において、１０１……反射鏡、１０３……熱
光源ランプ、１０４……上側試料、１０５……下
側試料、１０７……炉心管、２０６……観察窓、
２０８……ガラス板、２１１……レンズ、２１２
……スクリーン。
Claims (1)
- 一個の回転楕円面からなる反射鏡の一方の焦点
に熱光源を配し、他の一方の焦点に配した試料に
光を集中して加熱するイメージ炉において、回転
楕円体の二つの焦点を結んだ直線の延長上でない
位置に配置された試料加熱部を観察するための観
察窓を有することを特徴とする単楕円型イメージ
炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10092884U JPS6116371U (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 単楕円型イメ−ジ炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10092884U JPS6116371U (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 単楕円型イメ−ジ炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6116371U JPS6116371U (ja) | 1986-01-30 |
| JPH0230454Y2 true JPH0230454Y2 (ja) | 1990-08-16 |
Family
ID=30660370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10092884U Granted JPS6116371U (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 単楕円型イメ−ジ炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6116371U (ja) |
-
1984
- 1984-07-04 JP JP10092884U patent/JPS6116371U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6116371U (ja) | 1986-01-30 |
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