JPH0227242B2 - Nihokansochi - Google Patents
NihokansochiInfo
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- JPH0227242B2 JPH0227242B2 JP24720384A JP24720384A JPH0227242B2 JP H0227242 B2 JPH0227242 B2 JP H0227242B2 JP 24720384 A JP24720384 A JP 24720384A JP 24720384 A JP24720384 A JP 24720384A JP H0227242 B2 JPH0227242 B2 JP H0227242B2
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 5
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- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端に
きらう荷(物品)の保管に使用される荷保管装置
に関するものである。
きらう荷(物品)の保管に使用される荷保管装置
に関するものである。
従来の技術
一般的に荷保管装置は、上下方向ならびに横方
向に複数の区画収納空間を有する固定の棚と、こ
の棚に沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降な
らびに横方向出退自在な荷保持具を有する搬入出
装置とから構成されている。
向に複数の区画収納空間を有する固定の棚と、こ
の棚に沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降な
らびに横方向出退自在な荷保持具を有する搬入出
装置とから構成されている。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の荷保管装置によると、搬入出
装置の走行機構部に多くの塵埃が発生することか
ら、クリーンルーム内に設置することは非常にむ
ずかしい。また荷保管装置の占有体積が大きくな
ることから、この荷保管装置をクリーンルーム内
に設置したときにはクリーン化装置が大型化、高
価格化し、且つ充分なクリーン効率を期待できな
い。
装置の走行機構部に多くの塵埃が発生することか
ら、クリーンルーム内に設置することは非常にむ
ずかしい。また荷保管装置の占有体積が大きくな
ることから、この荷保管装置をクリーンルーム内
に設置したときにはクリーン化装置が大型化、高
価格化し、且つ充分なクリーン効率を期待できな
い。
問題を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明における荷
保管装置は、囲壁体内に、回転縦軸に対して上下
複数段に荷支持板を取付けて形成した回転棚を配
設し、この回転棚の一側部に対向してクリーンエ
アー供給装置を設けると共に、他側部に対向して
搬入出装置を設けている。
保管装置は、囲壁体内に、回転縦軸に対して上下
複数段に荷支持板を取付けて形成した回転棚を配
設し、この回転棚の一側部に対向してクリーンエ
アー供給装置を設けると共に、他側部に対向して
搬入出装置を設けている。
作 用
かかる本発明構成によると、回転棚を回転させ
ることにより、搬入出装置を走行させることなく
所期の荷の搬入出を行なえる。また回転棚の採用
により占有体積を小さくしながらも収納効率は充
分にし得る。
ることにより、搬入出装置を走行させることなく
所期の荷の搬入出を行なえる。また回転棚の採用
により占有体積を小さくしながらも収納効率は充
分にし得る。
実施例
以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
第1図〜第3図において1は箱状の囲壁体で、
内部はクリーンルーム化される。すなわち内部
は、縦方向の仕切板2によつて回転棚室3と搬入
出装置室4とが区画形成され、また回転棚室3の
座壁5下方に、搬入出装置室4に連通する吸気室
6が形成される。そして仕切板2の中央部には、
上下方向全長に亘つて受け渡し口7がスリツト状
に形成してある。前記回転棚室3内には回転棚8
が配設され、また搬入出装置4には、前記受け渡
し口7を通して回転棚8に対向する搬入出装置9
が配設される。さらに搬入出装置室4内で且つ搬
入出装置9に対向する下部には、受け板形式の入
庫部10と出庫部11が並設される。さらに、こ
れら10,11の上方には、レール装置12と、
このレール装置12に案内されて走行自在な荷搬
送用台車13とからなる荷搬送装置のステーシヨ
ン部14が突入形成されている。前記囲壁体1の
外側にはクリーンエアー供給装置15が設けられ
る。すなわち、回転棚8を中にして前記受け渡し
口7とは反対側の外側にダクト16によつて給気
室17が形成され、そして給気室17と回転棚室
3との間にフイルター18を配設して、クリーン
エアー19を受け渡し口7に向けて水平状に吹き
出すべく構成してある。前記給気室17の下部に
は、その吐出口20aが給気室17に連通するフ
アン20が配設され、このフアン20の吸込口2
0bは吸気室6に連通している。22は点検タラ
ツプ、23は移動式の保守用ステツプ、24は制
御盤を夫々示す。
内部はクリーンルーム化される。すなわち内部
は、縦方向の仕切板2によつて回転棚室3と搬入
出装置室4とが区画形成され、また回転棚室3の
座壁5下方に、搬入出装置室4に連通する吸気室
6が形成される。そして仕切板2の中央部には、
上下方向全長に亘つて受け渡し口7がスリツト状
に形成してある。前記回転棚室3内には回転棚8
が配設され、また搬入出装置4には、前記受け渡
し口7を通して回転棚8に対向する搬入出装置9
が配設される。さらに搬入出装置室4内で且つ搬
入出装置9に対向する下部には、受け板形式の入
庫部10と出庫部11が並設される。さらに、こ
れら10,11の上方には、レール装置12と、
このレール装置12に案内されて走行自在な荷搬
送用台車13とからなる荷搬送装置のステーシヨ
ン部14が突入形成されている。前記囲壁体1の
外側にはクリーンエアー供給装置15が設けられ
る。すなわち、回転棚8を中にして前記受け渡し
口7とは反対側の外側にダクト16によつて給気
室17が形成され、そして給気室17と回転棚室
3との間にフイルター18を配設して、クリーン
エアー19を受け渡し口7に向けて水平状に吹き
出すべく構成してある。前記給気室17の下部に
は、その吐出口20aが給気室17に連通するフ
アン20が配設され、このフアン20の吸込口2
0bは吸気室6に連通している。22は点検タラ
ツプ、23は移動式の保守用ステツプ、24は制
御盤を夫々示す。
次に回転棚8の詳細を第1図〜第3図、ならび
に第8図〜第10図に基づいて説明する。筒状の
回転縦軸25は底壁5を貫通し、その下端を吸気
室6内に配設した駆動装置26に連動すると共
に、上端は、天板から垂設したピン27に軸受2
8を介して外嵌されており、以つて縦方向の回転
軸心29の周りに回転自在となる。前記回転縦軸
25の上下方向複数箇所には、円板状の荷支持板
30が外嵌配設され、これら荷支持板30は取付
け部材31を介して回転縦軸25に固定される。
各荷支持板30上の周方向複数箇所には荷受台3
2が配設され、これら荷受台32の上面は、回転
軸心29よりも離れる側(外側)ほど上位となる
傾斜荷受面33に形成してある。なお実施例にお
いて傾斜荷受面33は鋸歯状に2箇所連続して形
成される。最下段の荷支持板30の下面には被係
止部34が設けられ、これに係合自在な係止装置
35を底壁5側に設けて回転をロツク自在として
いる。なお荷支持板30の外縁上下間は連結ロツ
ド36などにより一体化される。
に第8図〜第10図に基づいて説明する。筒状の
回転縦軸25は底壁5を貫通し、その下端を吸気
室6内に配設した駆動装置26に連動すると共
に、上端は、天板から垂設したピン27に軸受2
8を介して外嵌されており、以つて縦方向の回転
軸心29の周りに回転自在となる。前記回転縦軸
25の上下方向複数箇所には、円板状の荷支持板
30が外嵌配設され、これら荷支持板30は取付
け部材31を介して回転縦軸25に固定される。
各荷支持板30上の周方向複数箇所には荷受台3
2が配設され、これら荷受台32の上面は、回転
軸心29よりも離れる側(外側)ほど上位となる
傾斜荷受面33に形成してある。なお実施例にお
いて傾斜荷受面33は鋸歯状に2箇所連続して形
成される。最下段の荷支持板30の下面には被係
止部34が設けられ、これに係合自在な係止装置
35を底壁5側に設けて回転をロツク自在として
いる。なお荷支持板30の外縁上下間は連結ロツ
ド36などにより一体化される。
次に搬入出装置9の詳細を第1図〜第7図に基
づいて説明する。すなわち搬入出装置9は、立設
した四角筒状のポスト40と、ポスト40内に配
設したガイド機構(図示せず)に案内される昇降
部材41と、この昇降部材41に連動する昇降駆
動装置42と、前記昇降部材41に一体化され、
且つポスト40の前面に形成したスリツト43を
通つて前方に突出する連結部材44と、この連結
部材44の突出端に取付けた箱状の昇降台45
と、この昇降台45に横方向出退自在に配設した
フオーク形式の荷保持具46などから構成され
る。前記昇降台45上にはターンテーブル47が
配設され、このターンテーブル47の中心から垂
設した縦軸48は、昇降台45内の中間部に設け
た孔49付きの仕切板50に軸受51を介して支
持されて縦軸心52の回りに回転自在であり、ま
た下端は、仕切板50下に形成される設置空間5
3内に設けたロータリーアクチユエータ54に連
動している。前記設置空間53内には排気装置5
5が設置され、この排気装置55の吸気口56を
設置空間53内に開放すると共に、前記連結部材
44から昇降部材41に亘つて形成した排気路5
7の始端に排気口58を連動している。なお排気
路57の始端はポスト40内に開放している。前
記ターンテーブル47は180度に亘つて正逆回転
され、該ターンテーブル47から垂設した被スト
ツパ体39が仕切板50から立設した一対のスト
ツパ60,61に接当することによつて最大回転
位置が規制される。前記ターンテーブル47上に
は一対のレール62が敷設され、これらレール6
2に夫々スライド体63を介して支持案内される
可動板64が設けられる。前記ターンテーブル4
7の下面にロータリーアクチユエータ65が取付
けられ、上面側に突出する出力軸66にはアーム
67が取付けられる。このアーム67の先端に取
付けたローラ68は、前記レール62と直交する
ように可動板64の下面に取付けた溝レール69
に嵌合している。前記可動板64上からレール7
0が立設され、このレール70にスライド体71
を介して支持案内されるリフトプレート72と該
可動板64との間にシリンダ装置73が設けられ
る。前記リフトプレート72上には前記レール6
2と直交する横方向のレール74が敷設され、こ
のレール74に夫々スライド体75を介して一対
の前記荷保持具46を配設している。両荷保持具
46は基端間に配設したシリンダ装置76により
互いに接近離間自在であり、その最も接近した位
置はストツパ77により規制される。両荷保持具
46の相対向面側には係止部材78が取付けら
れ、この係止部材78は左右一対を1組として前
後に2組配設される。また係止部材78は前方を
下位として或る角度をもつて傾斜させてある。7
9は可動板64側に設けたカバー、80はターン
テーブル47側に設けたカバーを示す。荷は半導
体などの板状物81を多数枚並列して収納したケ
ース82で示され、このケース82の上部には両
係止部材78が左右から係合挟持自在な被係止部
83が設けられる。
づいて説明する。すなわち搬入出装置9は、立設
した四角筒状のポスト40と、ポスト40内に配
設したガイド機構(図示せず)に案内される昇降
部材41と、この昇降部材41に連動する昇降駆
動装置42と、前記昇降部材41に一体化され、
且つポスト40の前面に形成したスリツト43を
通つて前方に突出する連結部材44と、この連結
部材44の突出端に取付けた箱状の昇降台45
と、この昇降台45に横方向出退自在に配設した
フオーク形式の荷保持具46などから構成され
る。前記昇降台45上にはターンテーブル47が
配設され、このターンテーブル47の中心から垂
設した縦軸48は、昇降台45内の中間部に設け
た孔49付きの仕切板50に軸受51を介して支
持されて縦軸心52の回りに回転自在であり、ま
た下端は、仕切板50下に形成される設置空間5
3内に設けたロータリーアクチユエータ54に連
動している。前記設置空間53内には排気装置5
5が設置され、この排気装置55の吸気口56を
設置空間53内に開放すると共に、前記連結部材
44から昇降部材41に亘つて形成した排気路5
7の始端に排気口58を連動している。なお排気
路57の始端はポスト40内に開放している。前
記ターンテーブル47は180度に亘つて正逆回転
され、該ターンテーブル47から垂設した被スト
ツパ体39が仕切板50から立設した一対のスト
ツパ60,61に接当することによつて最大回転
位置が規制される。前記ターンテーブル47上に
は一対のレール62が敷設され、これらレール6
2に夫々スライド体63を介して支持案内される
可動板64が設けられる。前記ターンテーブル4
7の下面にロータリーアクチユエータ65が取付
けられ、上面側に突出する出力軸66にはアーム
67が取付けられる。このアーム67の先端に取
付けたローラ68は、前記レール62と直交する
ように可動板64の下面に取付けた溝レール69
に嵌合している。前記可動板64上からレール7
0が立設され、このレール70にスライド体71
を介して支持案内されるリフトプレート72と該
可動板64との間にシリンダ装置73が設けられ
る。前記リフトプレート72上には前記レール6
2と直交する横方向のレール74が敷設され、こ
のレール74に夫々スライド体75を介して一対
の前記荷保持具46を配設している。両荷保持具
46は基端間に配設したシリンダ装置76により
互いに接近離間自在であり、その最も接近した位
置はストツパ77により規制される。両荷保持具
46の相対向面側には係止部材78が取付けら
れ、この係止部材78は左右一対を1組として前
後に2組配設される。また係止部材78は前方を
下位として或る角度をもつて傾斜させてある。7
9は可動板64側に設けたカバー、80はターン
テーブル47側に設けたカバーを示す。荷は半導
体などの板状物81を多数枚並列して収納したケ
ース82で示され、このケース82の上部には両
係止部材78が左右から係合挟持自在な被係止部
83が設けられる。
以下に上記実施例の作用を説明する。囲壁体1
内では、フイルター18を通つて水平方向に吹き
出されるクリーンエアー19が回転棚室3内を通
り、そして受け渡し口7を通つて搬入出装置室4
に入つたエアーを吸気室6を介して循環吸引する
ことから、そのクリーン度は確保されている。こ
のようなクリーンルーム内で搬入出装置9を使用
しての、回転棚8とステーシヨン部14との間で
のケース82の受け渡しは次のようにして行なわ
れる。なお以下においてはステーシヨン部14の
ケース82を回転棚8側に渡す入庫作業を設明す
るが、逆動作によつて出庫作業が行なえるもので
ある。2個のケース82を支持してなる荷搬送用
台車13はステーシヨン部14に停止する。この
とき、昇降台45の昇降によつてターンテーブル
47などがステーシヨン部14に対向している。
さらにターンテーブル47の回転により荷保持具
46をステーシヨン部14側に向けているが、そ
の際に両荷保持具46は下降位置で互いに離間し
ている。この状態で、先ずローターアクチユエー
タ65の作動によりアーム67を回転させ、可動
板64などを介して荷保持具46を前進させる。
これにより被係止部83の両側に係止部材78が
対向する。次いでシリンダ装置76を作動させ、
両荷保持具46を互いに接近動させて係止部材7
8を被係止部83に係合させる。そしてシリンダ
装置73の作動により、リフトプレート72など
を介して両荷保持具46を上昇させ、係止部材7
8ならびに被係止部83を介してケース82を持
上げる。次いでアーム67の逆動作により可動板
64や荷保持具46などを後退させ、ケース82
をターンテーブル47上でカバー80内に位置さ
せる。その後、昇降台45の昇降によつて、ター
ンテーブル47などを目的とする荷支持板30に
対向させる。その際にターンテーブル47の前述
とは逆回転により荷保持具46を回転棚8側に向
けて、第4図実線の状態としている。次いで可動
板64などを介して荷保持具46を前進させ、ケ
ース82を受け渡し口7を通して荷受台32の上
方に位置させる。そして荷保持具46を下降して
ケース82を受け台32上に着地させたのち、両
荷保持具46を離間動させて係止部材78により
係合を解除する。その後、荷保持具46を後退さ
せることによつて入庫作業を終了する。
内では、フイルター18を通つて水平方向に吹き
出されるクリーンエアー19が回転棚室3内を通
り、そして受け渡し口7を通つて搬入出装置室4
に入つたエアーを吸気室6を介して循環吸引する
ことから、そのクリーン度は確保されている。こ
のようなクリーンルーム内で搬入出装置9を使用
しての、回転棚8とステーシヨン部14との間で
のケース82の受け渡しは次のようにして行なわ
れる。なお以下においてはステーシヨン部14の
ケース82を回転棚8側に渡す入庫作業を設明す
るが、逆動作によつて出庫作業が行なえるもので
ある。2個のケース82を支持してなる荷搬送用
台車13はステーシヨン部14に停止する。この
とき、昇降台45の昇降によつてターンテーブル
47などがステーシヨン部14に対向している。
さらにターンテーブル47の回転により荷保持具
46をステーシヨン部14側に向けているが、そ
の際に両荷保持具46は下降位置で互いに離間し
ている。この状態で、先ずローターアクチユエー
タ65の作動によりアーム67を回転させ、可動
板64などを介して荷保持具46を前進させる。
これにより被係止部83の両側に係止部材78が
対向する。次いでシリンダ装置76を作動させ、
両荷保持具46を互いに接近動させて係止部材7
8を被係止部83に係合させる。そしてシリンダ
装置73の作動により、リフトプレート72など
を介して両荷保持具46を上昇させ、係止部材7
8ならびに被係止部83を介してケース82を持
上げる。次いでアーム67の逆動作により可動板
64や荷保持具46などを後退させ、ケース82
をターンテーブル47上でカバー80内に位置さ
せる。その後、昇降台45の昇降によつて、ター
ンテーブル47などを目的とする荷支持板30に
対向させる。その際にターンテーブル47の前述
とは逆回転により荷保持具46を回転棚8側に向
けて、第4図実線の状態としている。次いで可動
板64などを介して荷保持具46を前進させ、ケ
ース82を受け渡し口7を通して荷受台32の上
方に位置させる。そして荷保持具46を下降して
ケース82を受け台32上に着地させたのち、両
荷保持具46を離間動させて係止部材78により
係合を解除する。その後、荷保持具46を後退さ
せることによつて入庫作業を終了する。
ケース82の受け渡しに対応して回転棚8が回
転する。すなわち駆動装置26の駆動によつて、
回転縦軸25と共に全ての荷支持板30が回転軸
心29の回りに正逆回転し、ケース82の受け渡
しを行なおうとする荷受台32が受け渡し口7に
対向される。回転中にケース82に対して遠心力
が作用するが、このときケース82は傾斜荷受面
33に支持されて回転軸心29側が下位となるよ
うに傾斜していることから、遠心力によつて板状
物81が互いに衝突したり、該ケース82が位置
ずれしたり脱落することを防止し得る。
転する。すなわち駆動装置26の駆動によつて、
回転縦軸25と共に全ての荷支持板30が回転軸
心29の回りに正逆回転し、ケース82の受け渡
しを行なおうとする荷受台32が受け渡し口7に
対向される。回転中にケース82に対して遠心力
が作用するが、このときケース82は傾斜荷受面
33に支持されて回転軸心29側が下位となるよ
うに傾斜していることから、遠心力によつて板状
物81が互いに衝突したり、該ケース82が位置
ずれしたり脱落することを防止し得る。
なお作業中において排気装置55が作動してお
り、設置空間53内の空気は吸気口56から吸い
込まれ、そして排気口58と排気路57とを介し
てポスト40内に排出される。さらにターンテー
ブル47側の空気は孔49を通して設置空間53
内に吸引される。したがつて昇降台45側で発生
した塵埃は、搬入出装置室4側に漏出することな
くポスト40内に除去し得る。また回転棚室3内
においいては、フイルター18から水平方向に吹
き出されるクリーンエアー19が流れ、そして受
け渡し口7から搬入出装置室4へと流出すること
から、受け渡し口7を通つて回転棚室3に塵埃が
入ることは全くなくなり、該回転棚室3において
は充分なクリーン度でケース82の保管を行なえ
る。
り、設置空間53内の空気は吸気口56から吸い
込まれ、そして排気口58と排気路57とを介し
てポスト40内に排出される。さらにターンテー
ブル47側の空気は孔49を通して設置空間53
内に吸引される。したがつて昇降台45側で発生
した塵埃は、搬入出装置室4側に漏出することな
くポスト40内に除去し得る。また回転棚室3内
においいては、フイルター18から水平方向に吹
き出されるクリーンエアー19が流れ、そして受
け渡し口7から搬入出装置室4へと流出すること
から、受け渡し口7を通つて回転棚室3に塵埃が
入ることは全くなくなり、該回転棚室3において
は充分なクリーン度でケース82の保管を行なえ
る。
本発明では、回転棚8において荷支持板30側
の荷受面を水平面とした実施例も可能である。
の荷受面を水平面とした実施例も可能である。
発明の効果
上記構成の本発明によると、回転棚を回転させ
ることにより、搬入出装置を走行させることなく
所期の荷の搬入出を行なうことができる。これは
走行機構よりも回転機構のほうが塵埃を発生しに
くいことから、全体として塵埃の発生を減少で
き、クリーンルーム内での設置(使用)を可能に
できる。また回転棚の採用により、従来の固定棚
形式に比べて占有体積を小さくできながらも、従
来と同等もしくは以上の収納を可能にでき、これ
によりクリーン装置の小型化、低価格化を可能に
できると共に、クリーン効率の向上をはかること
ができる。
ることにより、搬入出装置を走行させることなく
所期の荷の搬入出を行なうことができる。これは
走行機構よりも回転機構のほうが塵埃を発生しに
くいことから、全体として塵埃の発生を減少で
き、クリーンルーム内での設置(使用)を可能に
できる。また回転棚の採用により、従来の固定棚
形式に比べて占有体積を小さくできながらも、従
来と同等もしくは以上の収納を可能にでき、これ
によりクリーン装置の小型化、低価格化を可能に
できると共に、クリーン効率の向上をはかること
ができる。
図面は本発明の一実施例を示し、第1図は正面
図、第2図は一部切欠き側面図、第3図は横断平
面図、第4図は昇降台部の縦断正面図、第5図は
同縦断側面図、第6図、第7図は同横断平面図、
第8図、第10図は回転棚における要部の縦断面
図、第9図は同横断面図である。 1……囲壁体、2……仕切板、3……回転棚
室、4……搬入出装置室、7……受け渡し口、8
……回転棚、9……搬入出装置、14……ステー
シヨン部、15……クリーンエアー供給装置、1
8……フイルター、25……回転縦軸、29……
回転軸心、30……荷支持板、32……荷受台、
40……ポスト、45……昇降台、46……荷保
持具、47……ターンテーブル、55……排気装
置、78……係止部材、81……板状物、82…
…ケース(筒)、83……被係止部。
図、第2図は一部切欠き側面図、第3図は横断平
面図、第4図は昇降台部の縦断正面図、第5図は
同縦断側面図、第6図、第7図は同横断平面図、
第8図、第10図は回転棚における要部の縦断面
図、第9図は同横断面図である。 1……囲壁体、2……仕切板、3……回転棚
室、4……搬入出装置室、7……受け渡し口、8
……回転棚、9……搬入出装置、14……ステー
シヨン部、15……クリーンエアー供給装置、1
8……フイルター、25……回転縦軸、29……
回転軸心、30……荷支持板、32……荷受台、
40……ポスト、45……昇降台、46……荷保
持具、47……ターンテーブル、55……排気装
置、78……係止部材、81……板状物、82…
…ケース(筒)、83……被係止部。
Claims (1)
- 1 囲壁体内に、回転縦軸に対して上下複数段に
荷支持板を取付けて形成した回転棚を配設し、こ
の回転棚の一側部に対向してクリーンエアー供給
装置を設けると共に、他側部に対向して搬入出装
置を設けたことを特徴とする荷保管装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24720384A JPH0227242B2 (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | Nihokansochi |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24720384A JPH0227242B2 (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | Nihokansochi |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61124404A JPS61124404A (ja) | 1986-06-12 |
JPH0227242B2 true JPH0227242B2 (ja) | 1990-06-15 |
Family
ID=17159980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24720384A Expired - Lifetime JPH0227242B2 (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | Nihokansochi |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0227242B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6384012U (ja) * | 1986-11-20 | 1988-06-02 | ||
US4986715A (en) * | 1988-07-13 | 1991-01-22 | Tokyo Electron Limited | Stock unit for storing carriers |
US5064337A (en) * | 1988-07-19 | 1991-11-12 | Tokyo Electron Limited | Handling apparatus for transferring carriers and a method of transferring carriers |
US5344365A (en) * | 1993-09-14 | 1994-09-06 | Sematech, Inc. | Integrated building and conveying structure for manufacturing under ultraclean conditions |
-
1984
- 1984-11-22 JP JP24720384A patent/JPH0227242B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61124404A (ja) | 1986-06-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |