JPH02269943A - 半導体装置の外観検査装置 - Google Patents
半導体装置の外観検査装置Info
- Publication number
- JPH02269943A JPH02269943A JP9250589A JP9250589A JPH02269943A JP H02269943 A JPH02269943 A JP H02269943A JP 9250589 A JP9250589 A JP 9250589A JP 9250589 A JP9250589 A JP 9250589A JP H02269943 A JPH02269943 A JP H02269943A
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- semiconductor device
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- suction nozzle
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 53
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は検査対象半導体装置（以下半導体装置という
）を照明すると同時に、画像を撮影し、その画像により
外観検査を行う外観検査装置に関するものである。
）を照明すると同時に、画像を撮影し、その画像により
外観検査を行う外観検査装置に関するものである。
第３図は従来の半導体装置の外観検査装置の検査部を示
す模式正面図である。図において（１）は半導体装置、
（２）は半導体装置（１）を載置する定板、（３］は半
導体装置（１）のリードを照明する照明装置、（４）は
照明装Ｍ（３）により照明された半導体装Ｍ（１）のリ
ードを撮影するテレビカメラである。
す模式正面図である。図において（１）は半導体装置、
（２）は半導体装置（１）を載置する定板、（３］は半
導体装置（１）のリードを照明する照明装置、（４）は
照明装Ｍ（３）により照明された半導体装Ｍ（１）のリ
ードを撮影するテレビカメラである。
次に動作について説明する。半導体装ｅ（１）を収納す
るパレットなどから吸着器により取り出された半導体装
置（１）はテレビカメラ（４）に対して位置決めされ、
位置決めされた状態で定板（２）の上に吸着器により載
置される。定板（２１上に載置された半導体装置（１）
は、照明装Ｍ（３）によりこのリードが照明され、照明
されたリードは、テレビカメラ（４）により画像として
撮影される。４方向にリードが出た半導体装置（１）の
場合は、定板（２）を９０°ずつ回転させ、テレビカメ
ラ（４）に対向するリードを４回に分けて撮影する。撮
影された画像は検査処理ユニットにより検査され、検査
の結果良品・不良品が判定される。
るパレットなどから吸着器により取り出された半導体装
置（１）はテレビカメラ（４）に対して位置決めされ、
位置決めされた状態で定板（２）の上に吸着器により載
置される。定板（２１上に載置された半導体装置（１）
は、照明装Ｍ（３）によりこのリードが照明され、照明
されたリードは、テレビカメラ（４）により画像として
撮影される。４方向にリードが出た半導体装置（１）の
場合は、定板（２）を９０°ずつ回転させ、テレビカメ
ラ（４）に対向するリードを４回に分けて撮影する。撮
影された画像は検査処理ユニットにより検査され、検査
の結果良品・不良品が判定される。
従来の半導体装置の外観検査装置は以上のように構成さ
れているので、半導体装置のリード画像を撮影するため
には半導体装置を定板に載置しなければならず、半導体
装置の吸着・搬送・載ｊ召という動作が増え、半導体装
置のリード不良を引き起こす恐れかあ。た。また、更に
４方向にリードが出た半導体装置の場合は、定板を９０
°ずつ回転させ４回に分けてリードを撮影しなければな
らず、検査速度が遅いという問題があった。
れているので、半導体装置のリード画像を撮影するため
には半導体装置を定板に載置しなければならず、半導体
装置の吸着・搬送・載ｊ召という動作が増え、半導体装
置のリード不良を引き起こす恐れかあ。た。また、更に
４方向にリードが出た半導体装置の場合は、定板を９０
°ずつ回転させ４回に分けてリードを撮影しなければな
らず、検査速度が遅いという問題があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、半導体装置の吸着・搬送・載置という動作を
減らし、半導体装置の回転中にリードの画像を撮影する
ことによってリード曲がりを起こし難い、検査速度の速
い外観検査装置を得るこきを目的とする。
たもので、半導体装置の吸着・搬送・載置という動作を
減らし、半導体装置の回転中にリードの画像を撮影する
ことによってリード曲がりを起こし難い、検査速度の速
い外観検査装置を得るこきを目的とする。
この発明に係る半導体装置の外観検査装置は、昇降・回
転可能な吸着ノズルに半導体装置を吸着させ、その上昇
位置で回転させ、半導体装置のリードを照明する照明装
置を閃光させると同時に、半導体装置のリード画像を撮
影するようにしたものである。
転可能な吸着ノズルに半導体装置を吸着させ、その上昇
位置で回転させ、半導体装置のリードを照明する照明装
置を閃光させると同時に、半導体装置のリード画像を撮
影するようにしたものである。
この発明においては、吸着ノズルに吸着された半導体装
置は、吸着ノズルを回転させることによって回転中に、
照明装置の閃光によりそのリードが画像として撮影でき
る。
置は、吸着ノズルを回転させることによって回転中に、
照明装置の閃光によりそのリードが画像として撮影でき
る。
以下、この発明の一実施例を図によって説明する。第１
図は、半導体装置の外観検査装置の検査部を示す模式正
面図、第２図は第１図の検査部の平面図である。図にお
いて（１）は検査対象の半導体装置、（５）は半導体装
Ｍ（１）を吸着し、昇降・回転可能な吸着ノズル、（６
）は、吸着ノズル（５）に吸着された半導体装＠（１〕
のリードを照明する閃光可能な照明装置、（４）は、照
明装＠（６）により閃光照明された半導体装１（１）の
リードを撮影するテレビカメラである。
図は、半導体装置の外観検査装置の検査部を示す模式正
面図、第２図は第１図の検査部の平面図である。図にお
いて（１）は検査対象の半導体装置、（５）は半導体装
Ｍ（１）を吸着し、昇降・回転可能な吸着ノズル、（６
）は、吸着ノズル（５）に吸着された半導体装＠（１〕
のリードを照明する閃光可能な照明装置、（４）は、照
明装＠（６）により閃光照明された半導体装１（１）の
リードを撮影するテレビカメラである。
次に動作について説明する。半導体装置（１）を収納す
るパレットなどから吸着器により取り出された半導体装
置（１）は、吸着ノズル（５）の下方まで搬送ζｎ％テ
レビカメラ（４）に対して位置決めさｎる。
るパレットなどから吸着器により取り出された半導体装
置（１）は、吸着ノズル（５）の下方まで搬送ζｎ％テ
レビカメラ（４）に対して位置決めさｎる。
位置決めされた、半導体装置（１）は、吸着ノズル（５
）の下降により吸着され、吸着ノズル（５）の上昇によ
り検査位置まで運ばれる。吸着ノズル（５）の回転時、
あらかじめ、テレビカメラ（５）と半導体装置（１）の
位置関係が決ま−ているので、半導体装置（１）のリー
ドがテレビカメラ（４）に対向したときに吸着ノズル（
５１についてセンサ（図示せず）より信号が出され、そ
の検出信号により照明装ｊｊｉｌ ｆｅｌが閃光し、吸
着ノズル（５）の回転に伴って回転中の半導体装置（１
）のリードが画像としてテレビカメラ（４）に撮影され
る。
）の下降により吸着され、吸着ノズル（５）の上昇によ
り検査位置まで運ばれる。吸着ノズル（５）の回転時、
あらかじめ、テレビカメラ（５）と半導体装置（１）の
位置関係が決ま−ているので、半導体装置（１）のリー
ドがテレビカメラ（４）に対向したときに吸着ノズル（
５１についてセンサ（図示せず）より信号が出され、そ
の検出信号により照明装ｊｊｉｌ ｆｅｌが閃光し、吸
着ノズル（５）の回転に伴って回転中の半導体装置（１
）のリードが画像としてテレビカメラ（４）に撮影され
る。
このとき、４方向にリードが出た半導体装置（１）の場
合には、吸着ノズル（５）の１回転中に、４回照明装置
（６）が閃光し、４方向のリードが画像としてテレビカ
メラ（４）に撮影これる。撮影された画像は、検査処理
ユニットにより検査され、検査の結果、良品、不良品が
判定される。
合には、吸着ノズル（５）の１回転中に、４回照明装置
（６）が閃光し、４方向のリードが画像としてテレビカ
メラ（４）に撮影これる。撮影された画像は、検査処理
ユニットにより検査され、検査の結果、良品、不良品が
判定される。
以上のように、この発明によ口ば、吸着ノズルに半導体
装置を吸着した状態で、吸着ノズルの回転中に、半導体
装置のリードの画像を撮影できるので、半導体装置の吸
着・搬送・載置という動作カ少すくて済ミ、リード曲が
りを引き起こす恐れが減少し、検査速度が速くなる効果
がある。
装置を吸着した状態で、吸着ノズルの回転中に、半導体
装置のリードの画像を撮影できるので、半導体装置の吸
着・搬送・載置という動作カ少すくて済ミ、リード曲が
りを引き起こす恐れが減少し、検査速度が速くなる効果
がある。
第１図は、この発明の一実施例による半導体装置のｌＡ
観検査装置の検査部を示す模式正面図、第２図は第１図
の検査部の平面図、第３図は従来の半導体装置の外観検
査装置の検査部を示す模式正面図である。 図において、（１）は半導体装置、（４）はテレビカメ
ラ、（５）は吸着ノズル、（６）は照明装置である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
観検査装置の検査部を示す模式正面図、第２図は第１図
の検査部の平面図、第３図は従来の半導体装置の外観検
査装置の検査部を示す模式正面図である。 図において、（１）は半導体装置、（４）はテレビカメ
ラ、（５）は吸着ノズル、（６）は照明装置である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体装置を吸着する昇降・回転可能な吸着ノズルと、
上記吸着ノズルの上昇位置で吸着ノズルに吸着した半導
体装置のリード部を照明する照明装置と、上記照明装置
を半導体装置を吸着した吸着ノズルの上昇位置での回転
中に閃光させ、半導体装置のリード画像を撮影するテレ
ビカメラを備えた半導体装置の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9250589A JPH02269943A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 半導体装置の外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9250589A JPH02269943A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 半導体装置の外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02269943A true JPH02269943A (ja) | 1990-11-05 |
Family
ID=14056168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9250589A Pending JPH02269943A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 半導体装置の外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02269943A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS618610A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-16 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 鋼板表面検査装置 |
| JPS63102294A (ja) * | 1986-10-17 | 1988-05-07 | 三菱電機株式会社 | 電子部品の検査装置 |
| JPS63107099A (ja) * | 1986-10-23 | 1988-05-12 | 三菱電機株式会社 | 電子部品自動装着機 |
-
1989
- 1989-04-11 JP JP9250589A patent/JPH02269943A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS618610A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-16 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 鋼板表面検査装置 |
| JPS63102294A (ja) * | 1986-10-17 | 1988-05-07 | 三菱電機株式会社 | 電子部品の検査装置 |
| JPS63107099A (ja) * | 1986-10-23 | 1988-05-12 | 三菱電機株式会社 | 電子部品自動装着機 |
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