JPH02259517A - Measuring instrument for shape of surface - Google Patents
Measuring instrument for shape of surfaceInfo
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、面の形状測定装置に係わり、特に、建築物の
構造材であるパネルの接合面に好適に用いられる形状測
定装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a surface shape measuring device, and in particular to a shape measuring device suitably used for joint surfaces of panels that are structural members of buildings. be.
［従来の技術］
一般に、建築物の構造材として用いられているパネルは
、その端面どうしを突き合わせて、これらを接着等によ
り相互に接合することが行われている。[Prior Art] In general, panels used as structural materials for buildings are abutted against each other at their end faces and joined together by adhesive or the like.
ところで、このようなパネルの接合において、均一でか
つ強固な接合強度を得るには、接合されるパネル間を隙
間なく突き合わせるか、あるいは、前記隙間を均一にし
、かつ、極力狭めることが望まれ、これを達成するため
には、前記パネルの接合面の真直度をある範囲内に保持
することが必要となる。By the way, in order to obtain uniform and strong joint strength when joining such panels, it is desirable to butt the panels to be joined without any gaps, or to make the gaps uniform and narrow as much as possible. In order to achieve this, it is necessary to maintain the straightness of the joint surfaces of the panels within a certain range.
そこで従来では、基準となるスケールをパネルの接合面
に当接させておき、これらのスケールとパネルとの間に
隙間ゲージを挿入することによって前記接合面の真直度
を測定し、この測定結果に基づきパネルの接合性の良否
を判断することが行われている。Conventionally, standard scales are brought into contact with the joining surfaces of panels, and a feeler gauge is inserted between these scales and the panels to measure the straightness of the joining surfaces. Based on this, the bondability of panels is judged.
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、前述した従来の技術においては、次のよ
うな不具合を有している。[Problems to be Solved by the Invention] However, the above-mentioned conventional technology has the following problems.
すなわち、接合面の真直度を測定するためには、スケー
ルと接合面との間に隙間ゲージを挿入しなければならな
いが、正確な隙間測定を行おうとすると、複数の隙間ゲ
ージを順次差し替えなければならず、作業が煩雑なもの
となる。In other words, in order to measure the straightness of a joint surface, it is necessary to insert a feeler gauge between the scale and the joint surface, but in order to accurately measure the clearance, it is necessary to replace multiple feeler gauges one after another. Otherwise, the work becomes complicated.
また、−枚の隙間ゲージによって測定し得る範囲は、約
１０数ｍｍがせいぜいであり、２０００ｍ ｍにもおよ
ぶパネルの接合面の測定に適用すると、その作業性が一
層煩雑なものとなる。Furthermore, the range that can be measured using two gap gauges is at most about 10-odd mm, and when applied to the measurement of the joint surfaces of panels as long as 2000 mm, the workability becomes even more complicated.
さらに、接合面の拡大とともに、スケールも長尺化し、
これに伴ってスケールが撓み易くなり、この結果、測定
精度の低下を招いてしまう。Furthermore, as the bonding surface expands, the scale also becomes longer.
As a result, the scale becomes easily bent, resulting in a decrease in measurement accuracy.
一方、前述のパネルのように相互に突き合わせて接合す
る場合、接合面の長さが異なると、接合面の端部におい
て断差が生じてしまうことから、その長さも均一に、し
てお（必要があり、そのための副長を行わなければなら
ないが、この作業を前記接合面の真直度の測定操作と独
立して行わなければならない。On the other hand, when joining the panels by butting each other like the panels mentioned above, if the lengths of the joining surfaces differ, a difference will occur at the end of the joining surfaces. Although it is necessary to perform a sub-lengthening process for this purpose, this work must be performed independently of the straightness measurement operation of the joint surface.
したがって、従来においてはこれらの不具合への対処が
望まれており、本発明は、このような従来の技術におい
て残されている課題を解決せんとするものである。Therefore, it has been desired to address these problems in the past, and the present invention is intended to solve the problems remaining in the conventional technology.
［課題を解決するための手段］
本発明は、前述した課題を有効に解決し得る面の形状測
定装置を提供せんとするもので、この形状測定装置は、
特に、測定物の被検査面と交差する面に被検査面と平行
に載置されるガイドレールと、このガイドレールに平行
に張設された基準ワイヤと、前記ガイドレールにその長
さ方向に沿って移動可能に装着された走行基台と、この
走行基台に一体に設けられ、前記被検査面へ対向させら
れた凹凸センサ、基準ワイヤに対向させられた位置に設
けられ、基準ワイヤの前記被検査面と直交する方向にお
ける相対移動を検出する補正センサ、および、前記被検
査面の端部を検出する端部センサと、前記走行基台とガ
イドレールとの間に設けられて、走行基台の移動をなす
駆動機構と、前記走行基台の移動量を検出する距離セン
サとを備えていることを特徴とする。[Means for Solving the Problems] The present invention aims to provide a surface shape measuring device that can effectively solve the above-mentioned problems, and this shape measuring device has the following features:
In particular, a guide rail placed parallel to the surface to be inspected on a surface intersecting with the surface to be inspected, a reference wire stretched parallel to this guide rail, and a reference wire stretched in the length direction of the guide rail. a traveling base mounted so as to be movable along the traveling base; an unevenness sensor provided integrally with the traveling base and facing the surface to be inspected; and a concavo-convex sensor provided at a position facing the reference wire, A correction sensor that detects relative movement in a direction perpendicular to the surface to be inspected, an edge sensor that detects an end of the surface to be inspected, and a correction sensor that is provided between the traveling base and the guide rail, It is characterized by comprising a drive mechanism that moves the base and a distance sensor that detects the amount of movement of the traveling base.
［作用］
本発明に係わる面の形状測定装置は、ガイドレールを測
定物の被検査面と平行に設置したのちに、走行基台を駆
動機構によってガイドレールに沿って移動させながら、
凹凸センサによって走行基台と被検査面との距離を測定
し、その変化量に基づき被検査面の凹凸を測定する。[Function] The surface shape measuring device according to the present invention installs the guide rail parallel to the surface to be inspected of the object to be measured, and then moves the traveling base along the guide rail by the drive mechanism.
The distance between the traveling base and the surface to be inspected is measured by the unevenness sensor, and the unevenness of the surface to be inspected is measured based on the amount of change.
また、補正センサにより、走行基台と基準ワイヤとの相
対移動が測定されて、この相対移動に伴う前記凹凸セン
サにおける距離の測定誤差が補正される。Further, the relative movement between the traveling base and the reference wire is measured by the correction sensor, and a distance measurement error in the unevenness sensor due to this relative movement is corrected.
さらに、端部センサにより被検査面の各端部を検出し、
その領域において距離センサにより走行基台の移動量を
検出することにより、被検査面の長さを測定する。Furthermore, each edge of the surface to be inspected is detected by an edge sensor,
By detecting the amount of movement of the traveling base in that area using a distance sensor, the length of the surface to be inspected is measured.
［実施例コ
以下、本発明の一実施例を、第１図ないし第３図に基づ
き説明する。[Example 1] An example of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 3.
図面中、符号１は本実施例に係わる面の形状測定装置を
示し、この形状測定装置１は、測定物Ｗの被検査面Ｆと
交差する面（以下載置面と称す）Ｓに前記被検査面Ｆと
平行に載置されるガイドレール２と、このガイドレール
２に平行に張設された基準ワイヤ３と、前記ガイドレー
ル２にその長さ方向に沿って移動可能に装着された走行
基台４と、この走行基台４に一体に設けられ、前記被検
査面Ｆへ対向させられた凹凸センサ５、基準ワイヤ３に
対向させられた位置に設けられ、基準ワイヤ３の前記被
検査面Ｆと直交する方向における相対移動を検出する補
正センサ６、および、前記被検査面Ｆの端部を検出する
端部センサ７と、前記走行基台４とガイドレール２との
間に設けられて、走行基台４の移動をなす駆動機構（図
示路）と、この駆動機構に併設されて前記走行基台４の
移動量を検出する距離センサ９とを備えた概略構成とな
っている。In the drawings, reference numeral 1 indicates a surface shape measuring device according to the present embodiment, and this shape measuring device 1 places the object on a surface S (hereinafter referred to as a mounting surface) that intersects with the surface F to be inspected of the object W. A guide rail 2 placed parallel to the inspection surface F, a reference wire 3 stretched parallel to the guide rail 2, and a running wire movably attached to the guide rail 2 along its length. A base 4, an unevenness sensor 5 provided integrally with the traveling base 4 and facing the surface to be inspected F, and a concavo-convex sensor 5 provided at a position facing the reference wire 3 to detect the surface to be inspected of the reference wire 3. A correction sensor 6 that detects relative movement in a direction perpendicular to the surface F, an end sensor 7 that detects the end of the surface F to be inspected, and a sensor provided between the traveling base 4 and the guide rail 2. It has a general configuration including a drive mechanism (the path shown in the figure) that moves the traveling base 4, and a distance sensor 9 that is attached to this drive mechanism and detects the amount of movement of the traveling base 4.
前記ガイドレール２は、長尺な平板状に形成され、その
下面（第２図および第３図において下方を下とし、上方
を上とする）には、前記載置面Ｓ上に当接させられる支
持脚１０が、長さ方向に間隔をおいて複数垂設されてい
る。The guide rail 2 is formed into a long flat plate shape, and its lower surface (in FIGS. 2 and 3, the lower side is the bottom and the upper side is the top) is in contact with the placement surface S. A plurality of support legs 10 are provided vertically at intervals in the length direction.
また、ガイドレール２の両端部には、ステー１１が上方
へ向かって突設され、これらのステー１１間に、前記基
準ワイヤ３が張設されている。Furthermore, stays 11 are provided at both ends of the guide rail 2 to protrude upward, and the reference wire 3 is stretched between these stays 11.
この基準ワイヤ３の一端部は、一方のステー１１に係止
具１２を介して係止され、また、他端部は、他方のステ
ー１１に張力調整機構１３を介して係止されている。One end of this reference wire 3 is locked to one stay 11 via a locking tool 12, and the other end is locked to the other stay 11 via a tension adjustment mechanism 13.
この張力調整機構１３は、他方のステー１１に回動可能
にかつ軸方向に移動可能に装着された調整ノブ１４と、
この調整ノブ１４と基準ワイヤ３の他端部との間に介装
されたテンションスプリング（図示路）とによって構成
され、前記調整ノブ１４を回転操作することにより、前
記テンションスプリングを伸ばして基準ワイヤ３に所定
の張力を与え、これによって、基準ワイヤ３を直線状態
に保持するようになっている。This tension adjustment mechanism 13 includes an adjustment knob 14 rotatably and axially movably attached to the other stay 11;
It is constituted by a tension spring (path shown) interposed between the adjustment knob 14 and the other end of the reference wire 3, and by rotating the adjustment knob 14, the tension spring is extended and the reference wire 3 is extended. A predetermined tension is applied to the reference wire 3, thereby holding the reference wire 3 in a straight state.
このガイドレール２に装着される走行基台４は、ガイド
レール２と略平行に配設された基部４ａと、この基部４
ａから被検査面Ｆと対向する位置まで垂設された測定部
４ｂとによって構成されており、前記基部４ａの下面に
は、第２図に示すように、ガイドレール２の上面上を転
勤させられる複数の車輪１５と、ガイドレール２の長さ
方向の両側縁部に転勤自在に係合させられた複数のガイ
ドローラ１６とが設けられ、上面には前記補正センサ６
が装着されている。The traveling base 4 attached to the guide rail 2 includes a base 4a disposed substantially parallel to the guide rail 2, and a base 4a disposed substantially parallel to the guide rail 2.
The measurement part 4b is vertically installed from a to a position facing the surface to be inspected F, and the bottom surface of the base 4a is provided with a measuring part 4b that is disposed on the top surface of the guide rail 2, as shown in FIG. A plurality of wheels 15 are provided, and a plurality of guide rollers 16 are rotatably engaged with both edges in the length direction of the guide rail 2, and the correction sensor 6 is provided on the upper surface.
is installed.
前記凹凸センサ５は、本実施例においては、レーザ光を
用いたセンサが用いられ、レーザ光を被検査面Ｆに照射
して反射面の距離によって異なる反射光の角度を測定す
ることにより、凹凸センサ５と被検査面Ｆとの距離Ｌ２
が計測されるようになっ℃いる。In this embodiment, the unevenness sensor 5 uses a sensor that uses a laser beam, and measures the angle of the reflected light that varies depending on the distance of the reflecting surface by irradiating a laser beam onto the surface F to be inspected. Distance L2 between sensor 5 and surface to be inspected F
is now measured in °C.
また、前記補正センサ６は、ラインセンサが用いられ、
前記基準ワイヤ３と直交する方向に沿って配設された多
数の受光器１７と、これらの受光器１７へ向けて平行光
線を照射する投光器１８とによって構成されており、こ
れらの投光１ｉ！１８と受光器１７との間に前記基準ワ
イヤ３が非接触状態で挿通されている。Further, the correction sensor 6 is a line sensor,
It is composed of a large number of light receivers 17 arranged along a direction perpendicular to the reference wire 3, and a light emitter 18 that emits parallel light beams toward these light receivers 17, and these light emitters 1i! The reference wire 3 is inserted between the light receiver 18 and the light receiver 17 in a non-contact manner.
そして、この補正センサ６は、投光器１８からの照射光
が基準ワイヤ３によって遮られた受光器１７の位置によ
って、前記基準ワイヤ３と補正センサ６の基準位置との
距離Ｌ３が計測されるようになっている。The correction sensor 6 is configured such that the distance L3 between the reference wire 3 and the reference position of the correction sensor 6 is measured based on the position of the light receiver 17 where the irradiation light from the projector 18 is blocked by the reference wire 3. It has become.
そして、この平行光線と前記凹凸センサ５から照射され
るレーザ光とが、同一面上において照射されるように、
前記両センサ５・６の位置およびそれぞれの照射方向が
設定されている。Then, so that this parallel light beam and the laser beam irradiated from the unevenness sensor 5 are irradiated on the same surface,
The positions of both the sensors 5 and 6 and their respective irradiation directions are set.
前記端部センサ７は、本実施例においては、前記走行基
台４の基部４ａの下面に設けられた投光器１９と、前記
測定部４ｂの、前記凹凸センサ５の下方に設けられた受
光器２０とによって構成されており、これらの投光器１
９および受光器２０は、前記投光器１９によって照射さ
れる光線が、前記測定物Ｗの被検査面Ｆと載置面Ｓとに
よって形成される角部によって遮蔽されるような位置関
係のもとに設置されている。In this embodiment, the end sensor 7 includes a light projector 19 provided on the lower surface of the base 4a of the traveling base 4, and a light receiver 20 provided below the unevenness sensor 5 of the measuring section 4b. These floodlights 1
9 and the light receiver 20 are arranged in a positional relationship such that the light beam emitted by the projector 19 is blocked by a corner formed by the surface to be inspected F and the mounting surface S of the object W. is set up.
そして、この端部センサ７は、走行基台４の移動に伴い
、前記測定物Ｗの角部によって投光器１９と受光器２０
との間の光の授受が遮断させられた時点で、前記被検査
面Ｆの一端部を検出するとともに、測定開始位置信号を
出力し、また、再度前記光の授受が行われた時点で、被
検査面Ｆの他端部を検出するとともに、測定終了位置信
号を出力するようになっている。As the traveling base 4 moves, the end sensor 7 detects the light emitter 19 and the light receiver 20 by the corners of the object W.
When the transmission and reception of light is interrupted, one end of the surface to be inspected F is detected and a measurement start position signal is output, and when the transmission and reception of light is performed again, The other end of the surface to be inspected F is detected and a measurement end position signal is output.
前記距離センサ９は、前記ガイドレール２の下面に平行
に、かつ、はぼ全長に亙って取り付けられたラック２１
と、前記走行基台４の基部４ａに取り付けられたエンコ
ーダ２２と、このエンコーダ２２の回転軸２３に一体に
取り付けられ、前記ラック２１へ噛合させられるビニオ
ン２４とによって構成されており、走行基台４の走行に
伴ってビニオン２４が回転させられるとともに、このビ
ニオン２４の回転量がエンコーダ２２において電気信号
に変換されて出カされる。The distance sensor 9 includes a rack 21 mounted parallel to the lower surface of the guide rail 2 over almost the entire length thereof.
, an encoder 22 attached to the base 4a of the traveling base 4, and a binion 24 that is integrally attached to the rotating shaft 23 of this encoder 22 and meshed with the rack 21, and the traveling base 4 is rotated, and the amount of rotation of the pinion 24 is converted into an electrical signal by the encoder 22 and output.
ソシて、このエンコーダ２２からの出力信号に基づき、
前記走行基台４の移動量が検出されるようになっている
。Based on the output signal from this encoder 22,
The amount of movement of the traveling base 4 is detected.
一方、前記駆動機構は、前述のように図示を省略したが
、その具体例としては、前記走行基台４の基部４ａに電
動モータを装着しておき、この電動モータによって前記
ピニオン２４を回転させることが考えられる。On the other hand, the drive mechanism is not shown in the drawings as described above, but as a specific example, an electric motor is attached to the base 4a of the traveling base 4, and the pinion 24 is rotated by this electric motor. It is possible that
また、前記各センサ５・６・７・９からの出力信号は形
状測定装置１と別途設けられたコントロールユニットへ
電気的に接続されて、それぞれにおける測定結果がコン
トロールユニットへ入力されるようになっている。Further, the output signals from each of the sensors 5, 6, 7, and 9 are electrically connected to the shape measuring device 1 and a separately provided control unit, and the measurement results from each are input to the control unit. ing.
次いで、このように構成された本実施例の形状測定装置
１の作用について説明する。Next, the operation of the shape measuring device 1 of this embodiment configured as described above will be explained.
まず、測定物Ｗの載置面Ｓ上に支持脚１０を載置して、
ガイドレール２を被検査面Ｆと平行に配置するとともに
、走行基台４をガイドレール２の一端部に移動させ、さ
らに、基準ワイヤ３に張力調整機構１３によって所定の
張力を与えてお（。First, the support leg 10 is placed on the placement surface S of the object W to be measured,
The guide rail 2 is arranged parallel to the surface to be inspected F, the traveling base 4 is moved to one end of the guide rail 2, and a predetermined tension is applied to the reference wire 3 by the tension adjustment mechanism 13 (.
この状態において、基準ワイヤ３は前記被検査面Ｆに対
して略平行に保持され、かつ、端部センサ７が被検査面
Ｆの一端部から外方側へずれて位置させられている。In this state, the reference wire 3 is held substantially parallel to the surface F to be inspected, and the end sensor 7 is positioned outwardly from one end of the surface F to be inspected.
これより、各センサ５・６・７・９を起動するとともに
、走行基台４をガイドレール２に沿って他端部へ向けて
移動させる。As a result, the sensors 5, 6, 7, and 9 are activated, and the traveling base 4 is moved along the guide rail 2 toward the other end.
そして、前記凹凸センサ５が被検査面Ｆの端部へ対向さ
せられる位置まで走行基台４が移動させられた時点で、
測定操作が開始される。Then, when the traveling base 4 is moved to a position where the unevenness sensor 5 is opposed to the end of the surface to be inspected F,
Measurement operation is started.
すなわち、走行基台４が前記位置まで移動させられると
、端部センサ７の投光器１９と受光器２０との間が測定
物Ｗによって遮られることにより、被検査面Ｆの端部が
検出され、その検出信号がコントロールユニットに出力
され、この信号に基づき凹凸センサ５、補正センサ６、
および、距離センサ９における測定が開始される。That is, when the traveling base 4 is moved to the above position, the object W blocks the space between the light projector 19 and the light receiver 20 of the end sensor 7, so that the end of the surface to be inspected F is detected. The detection signal is output to the control unit, and based on this signal, the unevenness sensor 5, correction sensor 6,
Then, measurement by the distance sensor 9 is started.
ここで、前記凹凸センサ５においては、被検査面Ｆへ照
射するレーザ光の反射面の距離によって異なる反射光の
角度により、被検査面Ｆの端部と凹凸センサ５との距離
Ｌ２が測定され、補正センサ６においては、その基準点
と基準ワイヤ３との距１ＩＩＩＬ３が測定され、さらに
、距離センサ９においては、距離測定の基準位置が検出
される。Here, in the unevenness sensor 5, the distance L2 between the edge of the inspected surface F and the unevenness sensor 5 is measured by the angle of the reflected light, which varies depending on the distance of the reflecting surface of the laser beam irradiated onto the inspected surface F. The correction sensor 6 measures the distance 1IIIL3 between the reference point and the reference wire 3, and the distance sensor 9 detects a reference position for distance measurement.
次いで、この測定操作を走行基台５をガイドレール４に
沿って移動させつつ連続的に行うことにより、前記距離
Ｌ２・Ｌ３が被検査面Ｆの全長に亙って測定され、この
測定操作は、走行基台４が被検査面Ｆの他端部まで移動
させられて、測定物Ｗによる端部センサ７の遮断が解除
された時点で停止させられる。Next, by continuously performing this measurement operation while moving the traveling base 5 along the guide rail 4, the distances L2 and L3 are measured over the entire length of the surface to be inspected F, and this measurement operation is performed as follows. The traveling base 4 is moved to the other end of the surface to be inspected F, and is stopped when the end sensor 7 is no longer blocked by the object W.
このような測定操作により、被検査面Ｆの全長に亙って
、その凹凸状態すなわち真直度が測定され、かつ、被検
査面Ｆの長さが測定される。By such a measurement operation, the uneven state, that is, the straightness, is measured over the entire length of the surface F to be inspected, and the length of the surface F to be inspected is also measured.
詳述すれば、走行基台４の移動により、凹凸センサ５と
被検査面Ｆとの距離Ｌ２が連続して測定されているから
、被検査面Ｆに例えば凸部が存在すると、前記距離Ｌ２
が減少した形で測定され、また、凹部が存在すると、前
記距離Ｌ２が増加した形で測定され、これらの相対的な
変化により、凹凸形状およびその大きさが測定される。To be more specific, since the distance L2 between the unevenness sensor 5 and the surface to be inspected F is continuously measured by the movement of the traveling base 4, if, for example, a convex portion exists on the surface to be inspected F, the distance L2
If there is a recess, the distance L2 is measured as being increased, and based on these relative changes, the shape and size of the recesses and recesses are measured.
そして、距離センサ９により走行基台４の被検査面Ｆに
対する移動位置が測定されているから、凹凸センサ５の
出力と距離センサ９との出力とにより、凹凸の位置まで
即座に測定される。Since the movement position of the traveling base 4 with respect to the surface to be inspected F is measured by the distance sensor 9, the position of the unevenness can be immediately measured based on the output of the unevenness sensor 5 and the output of the distance sensor 9.
さらに、測定の継続により、端部センサ７によって被検
査面Ｆの他端部が検出されて、その信号が距離センサ９
へ出力される。Further, as the measurement continues, the other end of the surface to be inspected F is detected by the end sensor 7, and the signal is transmitted to the distance sensor 9.
Output to.
この時点における距離センサ９の測定値と前記基準値と
の差に基づき、被検査面Ｆの両端部間の距離、すなわち
、被検査面Ｆ（測定物Ｗ）の長さが測定される。Based on the difference between the measured value of the distance sensor 9 and the reference value at this point, the distance between both ends of the surface to be inspected F, that is, the length of the surface to be inspected F (object to be measured W) is measured.
一方、何らかの原因で、走行基台４が移動中にガイドレ
ール２に対してずれた場合、被検査面Ｆに凹凸がない状
態においても、凹凸センサ５からの距離検出値が変化し
てしまい、あたかも被検査面Ｆに凹凸部が存在するかの
ような検出結果が出力される。On the other hand, if for some reason the traveling base 4 deviates from the guide rail 2 during movement, the distance detection value from the unevenness sensor 5 will change even if there is no unevenness on the surface F to be inspected. A detection result is output as if an uneven portion exists on the surface F to be inspected.
しかしながら、この走行基台４にずれが生じると、その
ずれ量が次のようにして補正されて、前述の誤出力が防
止される。However, if a shift occurs in the traveling base 4, the amount of shift is corrected as follows, and the above-mentioned erroneous output is prevented.
すなわち、例えば、走行基台４の測定部４ｂが被検査面
Ｆから離間する方向にずれたとすると（このずれ量をＤ
とする）、凹凸センサ５によって検出される距離Ｌ２°
は、被検査面Ｆに凹部が存在することを示す出力となる
。That is, for example, suppose that the measurement part 4b of the traveling base 4 is displaced in the direction away from the surface to be inspected F (this amount of displacement is expressed as D
), the distance L2° detected by the unevenness sensor 5
is an output indicating that a recess exists on the surface F to be inspected.
ここで、凹凸センサ５と補正センサ６が走行基台４に一
体に取り付けられて、補正センサ６の基準点と凹凸セン
サ５との距離Ｌ１が一定に保持され、かつ、基準ワイヤ
３がガイドレール２に取す付けられているとともに、前
記補正センサ６に非接触状態に挿通されていることから
、走行基台４のずれにより、補正センサ７においても同
等のずれ量りを含んだ距離Ｌ３’ が出力される。Here, the unevenness sensor 5 and the correction sensor 6 are integrally attached to the traveling base 4, the distance L1 between the reference point of the correction sensor 6 and the unevenness sensor 5 is kept constant, and the reference wire 3 is connected to the guide rail. 2 and is inserted into the correction sensor 6 in a non-contact state. Therefore, due to the deviation of the traveling base 4, the distance L3' including the same deviation amount will also be caused in the correction sensor 7. Output.
これらの関係を示せば、次の（１）式となる。These relationships can be expressed as the following equation (1).
Ｌ３−Ｌ３’工Ｌ２°−Ｌ２＝Ｄ ・・・・・・・
・（１）これを変形すると、
Ｌ２’ ＝ Ｄ ＋ Ｌ２ ・・・・
・・・・・（２）Ｌ３’ ＝ Ｌ３− Ｄ
・・・・・・・・・（３）となる。L3-L3' engineering L2°-L2=D ・・・・・・・・・
・(1) Transforming this, L2' = D + L2...
...(2) L3' = L3-D
......(3).
ここで、被検査面Ｆに凹凸がない状態で、かつ、走行基
台４のずれがない状態であると、基準ワイヤ３と被検査
面Ｆとの距ＭＬ４が一定であることがら、次の（４）式
が成り立つ。Here, when the surface to be inspected F is free from irregularities and the traveling base 4 is not misaligned, the distance ML4 between the reference wire 3 and the surface to be inspected F is constant. Equation (4) holds true.
Ｌ２＋ Ｌ３＋ Ｌ４＝ ＬＬ ・・・・
・・・・・（４）また、走行基台４がずれた状態におい
ては次の（５）式が成り立つ。L2+ L3+ L4= LL...
(4) Furthermore, the following equation (5) holds true when the traveling base 4 is displaced.
Ｌ２’ ＋ Ｌ３°＋Ｌ４＝ＬＬ ・・・・
・・・・・（５）そして、これらの（２）（３）（４）
（５）式とから次の（６）式が得られる。L2' + L3° + L4 = LL...
...(5) And these (2)(3)(4)
The following equation (6) is obtained from equation (5).
Ｌ２°＋Ｌ３°＋Ｌ４＝ Ｄ ＋Ｌ２＋Ｌ３− Ｄ ＋
Ｌ４＝ Ｌ２＋ Ｌ３＋Ｌ４
＝ＬＬ ・・・・・・・・（９）これによっ
て（４）式＝（５）式となって、前記走行基台４のずれ
による誤出力が防止され、正確な距離情報、すなわち、
被検査面Ｆの表面形状の正確な情報が得られる。L2°+L3°+L4= D +L2+L3- D +
L4 = L2 + L3 + L4 = LL (9) As a result, equation (4) = equation (5), which prevents erroneous output due to displacement of the traveling base 4 and provides accurate distance information. , that is,
Accurate information on the surface shape of the surface F to be inspected can be obtained.
また、これらの各情報は、電気信号として得られること
から、後処理工程へのフィードバックや管理情報として
の蓄積活用が容易となる。Moreover, since each of these pieces of information is obtained as an electrical signal, it is easy to feed back to the post-processing process or accumulate and use as management information.
さらに、ガイドレール２を測定物Ｗの載置面Ｓ上へ設置
するのみで測定可能な状態にセットできるから、例えば
、パネルの製造ライン中への組み込みも容易に行える。Furthermore, since the guide rail 2 can be set in a measurable state simply by installing it on the mounting surface S of the object W to be measured, it can be easily incorporated into a panel manufacturing line, for example.
なお、前記実施例において示した各構成部材の諸形状や
寸法等は一例であって、適用する部材の形状や設計要求
等に基づき種々変更可能である。It should be noted that the shapes and dimensions of each component shown in the above embodiments are merely examples, and can be variously changed based on the shape of the member to be applied, design requirements, etc.
［発明の効果］
以上説明したように、本発明に係わる面の形状測定装置
によれば、次のような優れた効果を奏する。[Effects of the Invention] As explained above, the surface shape measuring device according to the present invention provides the following excellent effects.
走行基台を被検査面に沿って移動させつつ凹凸センサに
よって被検査面の凹凸状態を連続的に検出して、被検査
面の真直度の検出を容易にかつ迅速に実施することがで
きる。By moving the traveling base along the surface to be inspected and continuously detecting the uneven state of the surface to be inspected using the unevenness sensor, the straightness of the surface to be inspected can be easily and quickly detected.
また、被検査面と基準ワイヤとを平行に保持して、凹凸
センサからの出力と補正センサからの出力との比較によ
り、走行基台のずれに基づく誤出力を補正して、高精度
の真直度測定を行うことができる。In addition, by holding the surface to be inspected parallel to the reference wire and comparing the output from the unevenness sensor with the output from the correction sensor, erroneous outputs due to misalignment of the traveling base can be corrected, resulting in highly accurate straightness. degree measurements can be taken.
しかも、前記真直度の測定と同時に、距離センサによる
被検査面の長さ測定を行うことができ、全体形状の測定
が容易に実施できる。Moreover, the length of the surface to be inspected can be measured using a distance sensor at the same time as the straightness measurement, and the overall shape can be easily measured.
さらに、測定物０載置面に設置するのみて測定可能な状
態にセットでき、被検査面を有するワークの搬送経路中
への組み込みが行え、自動化への応用が容易に行える。Furthermore, it can be set in a measurable state simply by installing it on the measurement object 0 placement surface, and it can be incorporated into the transport path of a workpiece having a surface to be inspected, making it easy to apply to automation.
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は平面図
、第２図は第１図の、１１−Ａ線に沿う矢視断面図、第
３図は第１図のＢ−Ｂ線に沿う矢視図である。
１・・・（面の）形状測定装置、
２・・・ガイドレール、
４・・・走行基台、
６・・・補正センサ、
９・・・距離センサ、
Ｓ・・・載置面、
３・・・基準ワイヤ、
５・・・凹凸センサ、
７・・・端部センサ、
Ｆ・・・被検査面、
Ｗ・・・測定物。The drawings show one embodiment of the present invention; FIG. 1 is a plan view, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line 11-A in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line B-- It is an arrow view along the B line. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... (Surface) shape measuring device, 2... Guide rail, 4... Traveling base, 6... Correction sensor, 9... Distance sensor, S... Placement surface, 3 ...Reference wire, 5...Irregularity sensor, 7...End sensor, F...Test surface, W...Measurement object.
Claims (1)
されるガイドレールと、このガイドレールに平行に張設
された基準ワイヤと、前記ガイドレールにその長さ方向
に沿って移動可能に装着された走行基台と、この走行基
台に一体に設けられ、前記被検査面へ対向させられた凹
凸センサ、基準ワイヤに対向させられた位置に設けられ
、基準ワイヤの前記被検査面と直交する方向における相
対移動を検出する補正センサ、および、前記被検査面の
端部を検出する端部センサと、前記走行基台とガイドレ
ールとの間に設けられて、走行基台の移動をなす駆動機
構と、前記走行基台の移動量を検出する距離センサとを
備えていることを特徴とする面の形状測定装置A guide rail placed parallel to the surface to be inspected on a surface intersecting with the surface to be inspected of the measurement object, a reference wire stretched parallel to this guide rail, and a reference wire stretched along the length direction of the guide rail. A movably mounted traveling base; an unevenness sensor provided integrally with the traveling base and facing the surface to be inspected; and a concavo-convex sensor provided at a position facing the reference wire to detect a correction sensor that detects relative movement in a direction perpendicular to the inspection surface; an edge sensor that detects the end of the inspection surface; and a traveling base provided between the traveling base and the guide rail. A surface shape measuring device comprising: a drive mechanism that moves the traveling base; and a distance sensor that detects the amount of movement of the traveling base.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8124489A JPH0749958B2 (en) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | Surface shape measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8124489A JPH0749958B2 (en) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | Surface shape measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02259517A true JPH02259517A (en) | 1990-10-22 |
| JPH0749958B2 JPH0749958B2 (en) | 1995-05-31 |
Family
ID=13741000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8124489A Expired - Lifetime JPH0749958B2 (en) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | Surface shape measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749958B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106323161A (en) * | 2016-08-23 | 2017-01-11 | 江门市弘程精密制造有限公司 | Guide rail detection bench |
| CN106323209A (en) * | 2016-08-23 | 2017-01-11 | 江门市弘程精密制造有限公司 | Load-applicable guiderail testing device |
| CN112013806A (en) * | 2020-09-08 | 2020-12-01 | 周团结 | Flatness detection device for building and use method thereof |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP8124489A patent/JPH0749958B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106323161A (en) * | 2016-08-23 | 2017-01-11 | 江门市弘程精密制造有限公司 | Guide rail detection bench |
| CN106323209A (en) * | 2016-08-23 | 2017-01-11 | 江门市弘程精密制造有限公司 | Load-applicable guiderail testing device |
| CN112013806A (en) * | 2020-09-08 | 2020-12-01 | 周团结 | Flatness detection device for building and use method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0749958B2 (en) | 1995-05-31 |
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