JPH02250038A - 薄膜トランジスタアレイ - Google Patents
薄膜トランジスタアレイInfo
- Publication number
- JPH02250038A JPH02250038A JP1071236A JP7123689A JPH02250038A JP H02250038 A JPH02250038 A JP H02250038A JP 1071236 A JP1071236 A JP 1071236A JP 7123689 A JP7123689 A JP 7123689A JP H02250038 A JPH02250038 A JP H02250038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- thin film
- film transistor
- gate electrode
- condenser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 19
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 abstract description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、壁掛はテレビやプロジェクタ等に応用される
、液晶表示装置等の電気光学装置に関する。
、液晶表示装置等の電気光学装置に関する。
本発明は、ゲート電極とドレイン電極とが、格子状に配
置された薄膜トランジスタアレイに於て、薄膜トランジ
スタのソース電極と透明電極とを介し、隣接するゲート
電極と前記透明電極との間に設けられた、電荷保持を目
的とするコンデンサの、前記ゲート電極部分の一部又は
全部を透明電極材料を用い、前記透明電極側に拡張させ
ることによって、コンデンサの面積を増加させたもので
ある。
置された薄膜トランジスタアレイに於て、薄膜トランジ
スタのソース電極と透明電極とを介し、隣接するゲート
電極と前記透明電極との間に設けられた、電荷保持を目
的とするコンデンサの、前記ゲート電極部分の一部又は
全部を透明電極材料を用い、前記透明電極側に拡張させ
ることによって、コンデンサの面積を増加させたもので
ある。
第４図は、従来技術による薄膜トランジスタアレイの断
面図、第５図は、従来技術による別の薄膜トランジスタ
アレイの断面図を示したものであり、以下この図を基に
説明する。
面図、第５図は、従来技術による別の薄膜トランジスタ
アレイの断面図を示したものであり、以下この図を基に
説明する。
従来から、薄膜トランジスタアレイを用いた、液晶表示
装置等の電気光学装置に於いては、より高品位な表示を
狙って、第４図に示す様に、画素となる透明電極部分１
とコモン電極４との間に、電荷保持用のコンデンサ２ａ
を設ける技術が良く知られている。また、前記コンデン
サ２ａに於いても、省マスクによるコストダウンや寄生
容量低下を狙い、第５図に示す様に隣接するゲート電極
３と透明電極１との間に、コンデンサ２ｂを設ける技術
が開発され、高品位表示に大きく寄与している。
装置等の電気光学装置に於いては、より高品位な表示を
狙って、第４図に示す様に、画素となる透明電極部分１
とコモン電極４との間に、電荷保持用のコンデンサ２ａ
を設ける技術が良く知られている。また、前記コンデン
サ２ａに於いても、省マスクによるコストダウンや寄生
容量低下を狙い、第５図に示す様に隣接するゲート電極
３と透明電極１との間に、コンデンサ２ｂを設ける技術
が開発され、高品位表示に大きく寄与している。
しかし、前記の様な従来技術によるコンデンサでは、ゲ
ート電極材料として金属を使用しており、不透明である
が故にコンデンサ面積を広げようとすると、開口面積の
低下を招いてしまうため、コンデンサ幅は、せいぜいゲ
ート電極幅と同等位にしか得ることができなかった。す
なわち、開口面積とコンデンサ面積とを両立させること
が不可能であり、液晶表示等に於けるコントラスト向上
に限界を強いていた。
ート電極材料として金属を使用しており、不透明である
が故にコンデンサ面積を広げようとすると、開口面積の
低下を招いてしまうため、コンデンサ幅は、せいぜいゲ
ート電極幅と同等位にしか得ることができなかった。す
なわち、開口面積とコンデンサ面積とを両立させること
が不可能であり、液晶表示等に於けるコントラスト向上
に限界を強いていた。
前記問題点を解決するための手段として、本発明では、
隣接するゲート電極の一部又は全部を透明電極によって
形成し、画素となる透明電極側に拡張させることにした
。
隣接するゲート電極の一部又は全部を透明電極によって
形成し、画素となる透明電極側に拡張させることにした
。
本発明による手段を用いることにより、開口面積を下げ
ることなく、より大きなコンデンサを形成することがで
きる。
ることなく、より大きなコンデンサを形成することがで
きる。
第１図に、本発明にかかる第１実施例の断面図を示す。
この図に於いて、絶縁基板７上に、薄膜トランジスタ６
が形成され、前記薄膜トランジスタ６の一方の電極、す
なわちソース電極６ａには、画素となる透明電極１が接
続されている。隣接するゲート電極３ａは、薄膜トラン
ジスタ６の近傍まで拡張された透明導電材料５に接続さ
れているため、前記透明電極１と透明導電材料５とで、
ゲート絶縁膜８を挟持するコンデンサ２Ｃが形成されて
いる。このコンデンサは、隣接するゲート電極３ａのみ
と透明電極１とで挟持されてできる従来のコンデンサに
比し、非常に大きな容量を形成している。なお隣接する
ゲート電極３ａは、ゲート電極３に対して信号の走査方
向に対して手前のいわゆる前段ゲートとなっている。
が形成され、前記薄膜トランジスタ６の一方の電極、す
なわちソース電極６ａには、画素となる透明電極１が接
続されている。隣接するゲート電極３ａは、薄膜トラン
ジスタ６の近傍まで拡張された透明導電材料５に接続さ
れているため、前記透明電極１と透明導電材料５とで、
ゲート絶縁膜８を挟持するコンデンサ２Ｃが形成されて
いる。このコンデンサは、隣接するゲート電極３ａのみ
と透明電極１とで挟持されてできる従来のコンデンサに
比し、非常に大きな容量を形成している。なお隣接する
ゲート電極３ａは、ゲート電極３に対して信号の走査方
向に対して手前のいわゆる前段ゲートとなっている。
第２図は、本発明にかかる第２実施例の断面図を示した
もので、第１図に於ける隣接するゲート電極３が、透明
導電材料５にて一体に形成されているものである。この
場合に於いては、第１図に示した実施例に比し、マスク
数を１枚減らすことができる。
もので、第１図に於ける隣接するゲート電極３が、透明
導電材料５にて一体に形成されているものである。この
場合に於いては、第１図に示した実施例に比し、マスク
数を１枚減らすことができる。
また、第３図は第３の実施例の平面図で第１図、第２図
のように、透明導電材料５が、画素となる透明電極１全
てを覆う必要はなく、この第３図に示されているように
所望の容量分だけ透明電極１側に拡張すればよい。
のように、透明導電材料５が、画素となる透明電極１全
てを覆う必要はなく、この第３図に示されているように
所望の容量分だけ透明電極１側に拡張すればよい。
以上述べた様に、本発明により、コンデンサを有する薄
膜トランジスタアレイに於いて、開口率を低下させるこ
となくコンデンサの容量を増やすことができるため、画
素に書き込まれた電荷の保持が容易になり、液晶表示装
置に用いた場合、コントラストの向上に寄与する。
膜トランジスタアレイに於いて、開口率を低下させるこ
となくコンデンサの容量を増やすことができるため、画
素に書き込まれた電荷の保持が容易になり、液晶表示装
置に用いた場合、コントラストの向上に寄与する。
第１図は本発明にかかる第１実施例の断面図、第２図は
本発明にかかる第２実施例の断面図、第３図は本発明に
かかる第３実施例の平面図を示す。 第４図は、従来技術による薄膜トランジスタアレイの断
面図、第５図は、従来技術による別の薄膜トランジスタ
アレイの断面図である。 透明電極 コンデンサ 隣接するゲート電極 コモン電極 透明導電材料 薄膜トランジスタ 絶縁基板 ゲート絶縁膜 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助本丸８月にＯ・
ρ゛乙第１冥７セ汐ｊρ断面図弔１図 本宅日月にρ゛ｐ−ろ壺２゛ヌε方！伊１の道面図本宅
日月（でよる第３冥止テ１の千１図第３図
本発明にかかる第２実施例の断面図、第３図は本発明に
かかる第３実施例の平面図を示す。 第４図は、従来技術による薄膜トランジスタアレイの断
面図、第５図は、従来技術による別の薄膜トランジスタ
アレイの断面図である。 透明電極 コンデンサ 隣接するゲート電極 コモン電極 透明導電材料 薄膜トランジスタ 絶縁基板 ゲート絶縁膜 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助本丸８月にＯ・
ρ゛乙第１冥７セ汐ｊρ断面図弔１図 本宅日月にρ゛ｐ−ろ壺２゛ヌε方！伊１の道面図本宅
日月（でよる第３冥止テ１の千１図第３図
Claims (1)
- ゲート電極とドレイン電極とが格子状に配置され、かつ
、該ゲート電極と該ドレイン電極との交点には薄膜トラ
ンジスタが配置され、該薄膜トランジスタのソース電極
には、透明電極を介して、隣接するゲート電極との間に
、コンデンサが設けられた薄膜トランジスタアレイに於
て、該コンデンサに於ける該ゲート電極の、少なくとも
一部が透明電導材料から成り、かつ、該ゲート電極の一
部が該透明電極側に突出していることを特徴とする薄膜
トランジスタアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1071236A JPH02250038A (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | 薄膜トランジスタアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1071236A JPH02250038A (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | 薄膜トランジスタアレイ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02250038A true JPH02250038A (ja) | 1990-10-05 |
Family
ID=13454859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1071236A Pending JPH02250038A (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | 薄膜トランジスタアレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02250038A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04265945A (ja) * | 1991-02-21 | 1992-09-22 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板 |
| US5757453A (en) * | 1995-05-09 | 1998-05-26 | Lg Electronics, Inc. | Liquid crystal display device having storage capacitors of increased capacitance and fabrication method therefor |
| JPH10142630A (ja) * | 1996-11-13 | 1998-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 液晶ディスプレイ装置及びその製造方法 |
| US6791127B2 (en) * | 2001-08-10 | 2004-09-14 | Fujitsu Limited | Semiconductor device having a condenser chip for reducing a noise |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6129820A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-10 | Seiko Instr & Electronics Ltd | アクテイプマトリクス表示装置用基板 |
| JPS61151516A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-07-10 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Ｍｉｓ型アクテイプマトリクス表示装置用基板 |
| JPH0258029A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-27 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置 |
| JPH0281028A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 液晶表示装置 |
-
1989
- 1989-03-23 JP JP1071236A patent/JPH02250038A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6129820A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-10 | Seiko Instr & Electronics Ltd | アクテイプマトリクス表示装置用基板 |
| JPS61151516A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-07-10 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Ｍｉｓ型アクテイプマトリクス表示装置用基板 |
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| US5757453A (en) * | 1995-05-09 | 1998-05-26 | Lg Electronics, Inc. | Liquid crystal display device having storage capacitors of increased capacitance and fabrication method therefor |
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| US6791127B2 (en) * | 2001-08-10 | 2004-09-14 | Fujitsu Limited | Semiconductor device having a condenser chip for reducing a noise |
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