JPH109819A - 距離計測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】既存の光学顕微鏡に何等変更を加えずに標本の
距離を測定できる距離計測装置を得る。 【解決手段】ステージ３を光軸方向に駆動可能な光学顕
微鏡１の標本画像をＣＣＤカメラ２により撮像された画
像を複数枚記憶するフレームメモリ８、８の画像をフレ
ーム単位で加算記憶する加算器１０と加算メモリ１２、
１２の画像を回復処理する空間フィルタ回路１４、１４
の画像または８の画像の何れか１つの画像を表示するテ
レビモニタ５、２２の画像計測情報を前記いずれかの画
像に重ねて表示するテレビモニター５、前記いずれかの
画像のＸＹ平面の位置を指示するポインティングデバイ
ス６、２によって得られた画像のコントラストの最大値
に対応するステージの位置の差から、標本の高さを測定
するようにしたもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体ウェ
ハーのパターンの厚み等を測定する際に使用する距離計
測装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の距離計測装置として、以
下に述べる第１の例と、第２の例と、第３の例が一般に
知られている。第１の例は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３軸方向のい
ずれにも独立に移動できるステージとそれぞれの軸に位
置を読み取るためのスケールを備えた顕微鏡を用いるも
のである。このような構成のものにおいて、測定したい
測定点が２点ある場合、一方の測定点にピントを合わ
せ、その時点でのＸ，Ｙ，Ｚの位置をスケールから読み
取り記憶する。さらに他方の測定点にピントを合わせ、
その時点での位置を記憶する。この記憶内容に基づき、
３次元の距離を算出できるように構成したものである。

【０００３】第２の例は、前述の第１の例に合焦位置を
明確にするために、光学的にＺ方向、つまり、光軸方向
に特開平４−２５７１１号公報で示す光学式変位計を装
備させたものである。

【０００４】この公知の光学式変位計は、光源と、該光
源から放射された光を被測定表面に集光させるための対
物レンズと、被測定表面による反射光を結像するための
結像レンズと、前記反射光を分割するためのビームスプ
リッタと、該ビームスプリッタにより分割された各反射
光の合焦位置よりも前及び後にそれぞれ配置された、複
数の絞りと、各絞りを通過した反射光の光量をそれぞれ
検出するための、複数の受光素子とを備え、各受光素子
の出力の差に基づいて被測定表面の変位信号を得るもの
である。

【０００５】第３の例は、図９に示すようにレーザ光源
３１、光検出器３２、１次元走査機構３３、反射鏡３
４、半射鏡３５からなるレーザー走査型顕微鏡本体３０
と、走査制御ユニット３６、Ｚ方向移動制御回路３７、
画像メモリ３８、コンピュータ３９、モニタ４０から構
成されたレーザ走査型顕微鏡を利用し、合焦面の極小領
域の光量を検出するために工夫を施したものを用いる例
である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た第１の例では、視野内にある測定点に対してでも、光
軸方向の位置が異なれば、各々の測定点でピント合わせ
が必要となり、手間がかかる。

【０００７】第２の例では、一般的に視野の中心部分で
しか、前述のような公知の光学式変位計が動作しないた
め、測定点が視野内であってもＸ，Ｙ方向の移動を余儀
なくされる。

【０００８】第３の例では、図１０のようにレーザー光
線などの点光源４１や、ピンホール４５を使って半射体
４２、レンズ４３を介して合焦面４４の極小領域の光量
を検出する光量検出器４６などの特殊な光学系が必要と
なると共に、Ｘ，Ｙ方向に走査する機構、例えばステー
ジを駆動する機構か、レンズ４３の入力側に光路を移動
させるための機構を持たなければならず、このような機
構を必要とすることから高価となる。

【０００９】本発明では、以上のような課題を除去する
ためなされたもので、その目的とするところは、既存の
光学顕微鏡に何等変更を加えずに標本の距離を測定でき
る距離計測装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１に対応する発明は、標本に対する合焦位置
を調節可能な焦準機構を有する光学顕微鏡と、前記焦準
機構により合焦位置を変化させながら前記標本の複数の
画像を撮影する撮影手段と、前記撮影手段により撮影し
た複数の画像を記憶する画像記憶手段と、前記画像記憶
手段により記憶された複数枚の画像を加算し、記憶する
画像加算記憶手段と、前記画像加算記憶手段により加算
記憶された画像を読出し２次元の画像の回復処理を行う
画像処理手段と、前記画像処理手段により処理された画
像を表示する画像表示手段と、測定したい位置の画像を
前記画像表示手段の画面で指示する座標位置指示手段
と、前記画像記憶手段と、前記画像加算記憶手段と、前
記座標位置指示手段の制御・演算を行う中央処理手段
と、前記座標位置指示手段で指示した位置において前記
撮影手段によって得られた複数の画像のうち最大コント
ラスト値を有する画像に対応するステージの位置を求
め、それらの差から前記標本の距離を検出する合焦位置
検出手段と、を具備したことを特徴とする距離計測装置
である。

【００１１】請求項１に対応する発明によれば、顕微鏡
のステージを光軸方向に駆動し、標本画像を加算するこ
とで深さ方向に複数の合焦面を持つ画像が得られ、測定
点毎にピント調整がいらず、視野内にある複数の測定点
を１度に指示、測定できる。さらに、取り込んだ画像を
１度に１画面で見ることができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。 ＜第１の実施の形態＞図１は、本発明の第１の実施の形
態に係る距離計測装置の構成図である。

【００１３】本実施例の距離計測装置は、概略以下の構
成からなっている。すなわち、焦準機構として図示しな
い標本を載置するステージ３を光軸方向にステージ駆動
回路４により移動可能に構成した光学顕微鏡１と、ステ
ージ１の高さ位置を変える毎に標本の画像を撮影する撮
影手段例えばＣＣＤカメラ２と、ＣＣＤカメラ２により
撮影した画像を記憶する画像記憶手段例えばアナログ信
号処理回路７、フレームメモリ８からなるものと、フレ
ームメモリ８により記憶された複数枚の画像をフレーム
単位で加算し、記憶する画像加算記憶手段、例えば画像
加算器１０、加算メモリ１２からなるものと、加算メモ
リ１２により加算記憶された画像を読出し２次元の画像
の回復処理を行う画像処理手段、例えば除算器１３、空
間フィルタ回路１４からなるものと、フレームメモリ８
により記憶された複数枚の画像を圧縮し、１画面分の画
像に構成する画像構成手段、例えばフレームメモリ制御
回路９と、空間フィルタ回路１４により処理された画
像、またはフレームメモリ制御回路９により圧縮された
画像の何れか１つの画像を表示する画像表示手段、例え
ば信号切換器１５、画像表示メモリ１７、信号切換器１
９、ビデオ信号処理回路２０、テレビモニター５からな
るものと、測定したい位置の画像をテレビモニター５の
画面で指示する座標位置指示手段、例えばポインティン
グデバイス６、ポインティングデバイス制御回路２５か
らなるものと、フレームメモリ制御回路９と、加算メモ
リ制御回路１１と、ポインティングデバイス制御回路２
５の制御・演算を行う中央処理手段、例えばＣＰＵ２２
からなるものと、ポインティングデバイス６で指示した
位置のＣＣＤカメラ２によって得られた画像のコントラ
ストの最大値に対応するステージ３の位置を求め、それ
らの差から標本の距離を検出する合焦位置検出手段、例
えばＲＡＭ２３、ＣＰＵ２２からなるものである。

【００１４】以下、以上の構成について具体的に説明す
る。撮影手段としてのＣＣＤカメラ２から標本画像を入
力し、加工した画像を表示するテレビモニター５が装置
本体２６に接続される。また、装置本体２６にポインテ
ィングデバイス６が接続されており、ポインティングデ
バイス６によってテレビモニター５に表示された画像上
の任意の位置の座標を指示できるようになっている。

【００１５】装置本体２６は、ＣＣＤカメラ２、アナロ
グ信号処理回路７、フレームメモリ８、フレームメモリ
制御回路９、画像データ加算器１０、加算メモリ制御回
路１１、加算メモリ１２、除算器１３、空間フィルタ回
路１４、信号切換器１５、表示メモリ制御回路１６、画
像表示メモリ１７、オーバーレイメモリ１８、信号切換
器１９、ビデオ信号処理回路２０、ステージ駆動Ｉ／Ｆ
回路２１、ＣＰＵ２２、ＲＡＭ２３、ＲＯＭ２４、ポイ
ンティングデバイス制御回路２５を備えている。

【００１６】ＣＣＤカメラ２の映像出力端子に、ＣＣＤ
カメラ２からの映像アナログ信号をデジタル画像に変換
するアナログ信号処理回路７が接続され、アナログ信号
処理回路７の出力（デジタル画像データ）は、１６画面
分の画像を格納できる容量を有するフレームメモリ８に
接続されている。フレームメモリ８には、書き込みアド
レス及び読み出しアドレスを出力するフレームメモリ制
御回路９が接続されている。

【００１７】フレームメモリ８に格納されたデジタル画
像データは、画像データ加算器１０の一方の入力端子と
信号切換器１５の一方の入力端子に接続される。画像デ
ータ加算器１０の他方の入力端子には、加算メモリ１２
の出力端子が接続されている。

【００１８】画像データ加算器１０の出力端子は加算メ
モリ１２の入力端子に接続され、画像データ加算器１０
内では加算メモリ１２の内容とフレームメモリ８から入
力された画像の加算演算が行われる。

【００１９】加算メモリ１２の出力端子は、除算器１３
の一方の入力端子に接続され、除算器１３の他方の入力
端子にはＣＰＵ２２からの画像加算枚数信号が入力さ
れ、除算器１３で適切なデータ値に加工される。除算器
１３の出力端子には、公知の空間フィルタ回路１４の入
力端子が接続され、空間フィルタ回路１４内では、画像
の回復処理などが行われる。具体的には、例えば予め求
めた積算点像強度分布（ある点についてピントがあって
いる状態から無限に離した状態での全ての点像強度分布
を積算したもの）を逆に変換することにより、画像の回
復処理が行われ、加算された複数の画像のそれぞれの合
焦面の全体に渡ってピントの合った画像を得ることがで
きる。

【００２０】ここで、図２を参照して空間フィルタ回路
１４について説明する。空間フィルタ回路１４は、３×
３から７×７のマトリクスからなり、（図２では３×３
のマトリックス）、各行は対応するラインの画素データ
を順次ラッチするデータラッチ回路５１〜５３が直列に
設けられている。各ラッチ回路５１〜５３でラッチされ
た画素データは、それぞれ対応して設けられた乗算部５
４〜５６で所定の係数が乗算される。これらの各乗算部
５４〜５６に設定される係数は、係数レジスタ５７〜５
９に記憶されており、各々対応する係数ラッチ回路６１
〜６３を介して各乗算部５４〜５６に与えられる。各段
の行５０，７０，９０には、対応するラインの画素デー
タが入力され、各データラッチ回路５１〜５３でラッチ
された画素値と、対応する各係数レジスタ５７〜５９に
記憶された係数との積が加算器１００に入力される。そ
して、加算器１００は入力された全ての積を加算して、
その加算値を空間フィルタ回路１４の出力とする。

【００２１】このような空間フィルタ回路１４では、係
数レジスタの記憶する係数値をマトリクスで変更するこ
とで入力する画像に対して、エッジ強調や、平均化、ノ
イズ除去などを施し、処理後の画像として出力すること
ができる。

【００２２】空間フィルタ回路１４の出力端子は信号切
換器１５の一方の入力端子に接続され、信号切換器１５
の他方の入力端子にフレームメモリ８の出力端子が接続
され、空間フィルタ回路１４の出力である加算・フィル
タ処理された画像と、フレームメモリ８からの何も加工
されない画像のいずれかに切換えることが可能になって
いる。信号切換器１５の出力端子は、画像表示メモリ１
７の入力端子に接続される。また、画像表示メモリ１７
には読みだしアドレスと書き込みアドレスを画像表示メ
モリ１７またはオーバーレイメモリ１８に出力する表示
メモリ制御回路１６が接続されている。

【００２３】また、オーバーレイメモリ１８の出力端子
と画像表示メモリ１７の出力端子は、それぞれ信号切換
器１９の入力端子に接続され、信号切換器１９により画
像表示メモリ１７の出力またはオーバーレイメモリ１８
の出力のどちらか一方が選択されてビデオ信号処理回路
２０に送られ、ビデオ信号処理回路２０によりビデオ信
号に処理され、これがテレビモニター５に出力表示され
る。

【００２４】オーバーレイメモリ１８には、ポインティ
ングデバイス６の座標位置を示す矢印などの形状データ
や現在のステージの座標を表す文字データなどを書き込
むことで、測定操作を補助ことができる。

【００２５】ＣＰＵ２２は、内部バスを介してフレーム
メモリ制御回路９、加算メモリ制御回路１１、表示メモ
リ制御回路１６に接続されると共に、これらを通してそ
れぞれフレームメモリ８、加算メモリ１２、画像表示メ
モリ１７、オーバーレイメモリ１８に接続されている。

【００２６】さらに、ＣＰＵ２２は、画像データ加算器
１０、除算器１３、空間フィルタ回路１４、ステージ駆
動Ｉ／Ｆ回路２１、ＲＡＭ２３、ＲＯＭ２４とポインテ
ィングデバイス制御回路２５には、内部バスを介して接
続されている。ステージ駆動Ｉ／Ｆ回路２１は顕微鏡１
のステージ駆動回路４に接続されている。

【００２７】次に、以上のように構成された第１の実施
の形態の動作について説明する。顕微鏡１に取り付けら
れたＣＣＤカメラ２により、ステージ３に載置されてい
る標本の画像を取り込み、この標本画像信号は、アナロ
グ信号処理回路７でデジタル信号に変換され、画像デー
タとしてフレームメモリ制御回路９から発生する書き込
みアドレス及び読みだしアドレスと共に、フレームメモ
リ８に順次格納される。

【００２８】画像データ加算器１０は、加算メモリ制御
回路１１により加算メモリ１２から読み出された画像デ
ータとフレームメモリ８から読み出された画像データを
加算する。加算された画像データは、加算メモリ制御回
路１１により生成された加算メモリ１２の書き込みアド
レスに格納される。また、加算メモリ１２から読み出さ
れた画像データは次の除算器１３で適切なデータ値に加
工され、空間フィルタ回路１４へ入力される。空間フィ
ルタ回路１４では、７行×７列のマトリックスまでの２
次元の画像処理が施され、除算器１３の出力画像の回復
処理が行われる。

【００２９】空間フィルタ回路１４は、前記顕微鏡１の
結像光学系の射出の開口数、結像光学系の瞳関数及び結
像光学系の波長等で決まる受光素子上で積算点像強度分
布の広がりと、ＣＣＤカメラ２の受光素子の大きさと相
対関係によって空間フィルタ回路１４のフィルタ特性を
変更させる。空間フィルタ特性を変更させるためには、
フィルタ係数またはフィルタサイズの一方または両方を
変化させる。

【００３０】信号切換器１５から出力された画像データ
は、画像表示メモリ制御回路１６によって生成される書
き込みアドレスに従って、画像表示メモリ１７に記憶さ
れる。

【００３１】フレームメモリ制御回路９でフレームメモ
リ８から１枚ずつ画像を読み出すとき、画素、ラインを
間引くことで縦横方向に画像を圧縮することができる。
そして、画像表示メモリ制御回路１６によって、画像表
示メモリ１７の格納アドレスを圧縮された画素数、ライ
ン数分だけにして、図３のように１枚ごとに右方向にず
らしていくことで、画像表示メモリ１７にフレームメモ
リ８から取り込んだ１６枚の画像を１度に表示すること
ができる。

【００３２】画像表示メモリ制御回路１６によって生成
された読みだしアドレスで画像表示メモリ１７から読み
出された画像データと、オーバーレイメモリ１８から読
み出された補足情報データは、信号切換器１９で補足情
報データが優先的に選択され、ビデオ信号処理回路２０
で映像信号に変換され、画像と共にテレビモニター５に
表示される。

【００３３】ＣＰＵ２２は、フレームメモリ制御回路９
を通して、フレームメモリ８を読み書きし、加算メモリ
制御回路１１を通して、加算メモリ１２を読み書きし、
画像表示メモリ制御回路１６を通して画像表示メモリ１
７とオーバーレイメモリ１８を読み書きする。また、Ｃ
ＰＵ２２は３つのフレームメモリ制御回路９、加算メモ
リ制御回路１１、表示メモリ制御回路１６を適切にコン
トロールすると共に、空間フィルタ回路１４の設定や２
次元の画像処理係数を設定できる。ＣＰＵ２２の動作を
記録したプログラム、または、演算に必要な変数等は、
ＲＡＭ２３やＲＯＭ２４に記憶される。

【００３４】ＣＰＵ２２は、ポインティングデバイス制
御回路２５を通して接続されたポインティングデバイス
６から指示ポイントの平面上の移動量を検出し、移動量
にあった座標位置を矢印などの形状（補足情報データ）
をオーバーレイメモリ１８に書き込むことで、画面上の
座標を指示することができる。

【００３５】ＣＰＵ２２は、ステージ駆動Ｉ／Ｆ回路２
１を通してステージ３を上下に駆動すると共に、ステー
ジ３の位置をステージ駆動回路４から読み取ることがで
きる。

【００３６】このような装置本体２６は、ＣＰＵ２２に
よって装置本体２６内の動作が管理される。装置本体２
６を使って、半導体ウェハーのパターン検査工程でシリ
コンウェハー上に形成されたパターンの厚みを測定する
方法について説明する。

【００３７】図４のような厚さの異なるパターンの測定
点Ｐ０からＰ２までの高さの差を測定する場合を例にと
る。まず、光軸方向に複数の面にピントのあった画像を
取り込む手法から説明する。

【００３８】一般に、光学顕微鏡は、高倍率の対物レン
ズを使用した場合、焦点深度が浅くなり、焦点が合って
いない画像のコントラストは、図５のように低くなる。
そこで、予め、使用する顕微鏡の光学性能から低コント
ラストの場合のコントラスト値を得て、コントラストの
しきい値を決定しておく。ステージ３を光軸方向に移動
しながらコントラストを求め、しきい値に達した位置を
画像取込位置とする。

【００３９】または、ＣＣＤカメラ２で取り込んだ画像
をテレビモニター５で確認しながらオペレータが画像取
込位置を決定するようにしてもよい。コントラスト測定
ライン（コントラストの計算領域）は、図６のように
し、例えば次の（１）式のような計算式で行う。

【００４０】

【数１】

【００４１】半導体ウェハーの場合、シリコン面から形
成されるパターンの膜厚は、重ねる層ごとの厚さと枚数
によっておおよそ決定できる。そこから、ステージ３の
光軸方向の移動量と加算する画像の枚数を決める。そこ
で、画像取込位置から、決定されたステージ３の光軸方
向の移動量と加算する画像の枚数に従って、加算メモリ
１２に加算画像を生成する。加算された画像は、除算器
１３で加算枚数で画像データを除算し、空間フィルタ回
路１４で、エッジ強調などの回復処理を施した後に画像
表示メモリ１７に送り、テレビモニター５で表示する。
この光軸方向の複数の面にピントのあった画像で標本全
体のイメージをつかむ。

【００４２】次に、測定したい測定点をポインティング
デバイス６を使ってテレビモニター５の画面上で指定す
る。このように指定した測定点を中心にコントラストを
求める領域を限定する。測定領域は、図７のようにＸ，
Ｙ方向にパターンを充分含む範囲とする。そして、ステ
ージ３をはじめの画像取込位置に戻し、ステージ３を制
御可能な最小の移動量で移動させながら、移動するごと
に測定点のコントラスト値とステージ３の移動位置をＲ
ＡＭ２３に記録する。ステージ３の移動終了点は、メカ
的な移動限界点かコントラスト値としきい値とに基づい
てＣＰＵ２２が判断する。

【００４３】ステージ３が移動終了点に達した段階で、
ＲＡＭ２３には図８のように測定点毎のステージ位置と
そのときのコントラスト値が記録されているので、コン
トラストの最大値に対応するステージ３の位置（Ｚ0
面、Ｚ1 面）をそれぞれ求め、それらのテージ３の位置
の差から測定点の高さが求められる。当然、測定点毎の
平面座標も使えば、３次元空間の距離を算出できる。

【００４４】このように本実施形態によれば、予め測定
画像の光軸方向の複数の面にピントの合った画像を作り
出すことで、視野内の任意の計測点を一度に指定できる
とともに計測毎に光軸を移動させる必要がない。

【００４５】また、測定点毎にコントラストを算出する
領域を独立に設定することで、より正確に測定点に依存
したコントラストが求められ、合焦位置の決定の精度が
向上する。

【００４６】＜実施形態の変形＞なお、前述した実施形
態では、コントラストを求める際の計算領域として縦、
横方向のコントラストの測定ラインを選んであるが、対
角線上の測定ラインでもよい。

【００４７】また、コントラストの計算式は、（１）式
に基づいて行う場合について説明したが、これに限らな
い。さらに、顕微鏡１のステージ駆動回路４から、ステ
ージ位置を読み取れる構成としたが、ステージ位置を読
み取れる機構がない場合は、ステージ３を移動する際に
ロータリーエンコーダー等で移動量を測定するようにす
ればよい。

【００４８】また、テレビモニター５の画面上のＸＹ方
向の長さは、長さがあらかじめわかっている標本でテレ
ビモニター５上の１画素当たりの長狭を校正（キャリブ
レーション）しておけばよい。

【００４９】標本の合焦位置を調節する焦準機構として
標本を載置するステージを移動させるようにしている
が、ステージは動かずに対物レンズ等の光学系を移動さ
せるようにしてもよい。

【００５０】

【発明の効果】本発明によれば、既存の光学顕微鏡に何
等変更を加えずに標本の距離を測定できる距離計測装置
を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の距離計測装置の第１の実施の形態を示
すブロック図。

【図２】図１の空間フィルタ回路の機能を説明するため
の図。

【図３】図１の表示メモリ制御回路１６の機能を説明す
るための図。

【図４】図１の距離計測装置の動作を説明するための
図。

【図５】光学顕微鏡における画像のコントラストと光軸
の関係を示す図。

【図６】図１のコントラストの計算領域を説明するため
の図。

【図７】図１のポインティングデバイスを使用して測定
領域を限定する場合の説明図。

【図８】図１の測定原理を説明するための図。

【図９】従来のレーザ走査型顕微鏡の概略構成を示す
図。

【図１０】図９の課題を説明するための図。

【符号の説明】

１…顕微鏡、 ２…ＣＣＤカメラ、 ３…ステージ、 ４…ステージ駆動回路、 ５…テレビモニター、 ６…ポインティングデバイス、 ７…アナログ信号処理回路、 ８…フレームメモリ、 ９…フレームメモリ制御回路、 １０…画像データ加算器、 １１…加算メモリ制御回路、 １２…加算メモリ、 １３…除算器、 １４…空間フィルタ回路、 １５…信号切換器、 １６…表示メモリ制御回路、 １７…画像表示メモリ、 １８…オーバーレイメモリ、 １９…信号切換器、 ２０…ビデオ信号処理回路、 ２１…ステージ駆動Ｉ／Ｆ回路、 ２２…ＣＰＵ、 ２３…ＲＡＭ、 ２４…ＲＯＭ、 ２５…ポインティングデバイス制御回路、 ２６…装置本体。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ０３Ｂ 3/00 Ａ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 標本に対する合焦位置を調節可能な焦準
   機構を有する光学顕微鏡と、 前記焦準機構により合焦位置を変化させながら前記標本
   の複数の画像を撮影する撮影手段と、 前記撮影手段により撮影した複数の画像を記憶する画像
   記憶手段と、 前記画像記憶手段により記憶された複数枚の画像を加算
   し、記憶する画像加算記憶手段と、 前記画像加算記憶手段により加算記憶された画像を読出
   し２次元の画像の回復処理を行う画像処理手段と、 前記画像処理手段により処理された画像を表示する画像
   表示手段と、 測定したい位置の画像を前記画像表示手段の画面で指示
   する座標位置指示手段と、 前記画像記憶手段と、前記画像加算記憶手段と、前記座
   標位置指示手段の制御・演算を行う中央処理手段と、 前記座標位置指示手段で指示した位置において前記撮影
   手段によって得られた複数の画像のうち最大コントラス
   ト値を有する画像に対応するステージの位置を求め、そ
   れらの差から前記標本の距離を検出する合焦位置検出手
   段と、を具備したことを特徴とする距離計測装置。
2. 【請求項２】 前記画像記憶手段により記憶された複数
   枚の画像を圧縮し、１画面分の画像に構成する画像構成
   手段を有する請求項１記載の距離計測装置。