JPH0221258A - 酸素濃度センサーの製造方法 - Google Patents
酸素濃度センサーの製造方法Info
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- JPH0221258A JPH0221258A JP17043388A JP17043388A JPH0221258A JP H0221258 A JPH0221258 A JP H0221258A JP 17043388 A JP17043388 A JP 17043388A JP 17043388 A JP17043388 A JP 17043388A JP H0221258 A JPH0221258 A JP H0221258A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は内燃鍬関の排気ガスなどの各種ガス中に含ま
れる酸素の濃度を検出するためのセンサーに関し、特に
チタニア（ＴｉＯ２）を検出素子として用いた酸素濃度
センサーの製造方法に関するものである。
れる酸素の濃度を検出するためのセンサーに関し、特に
チタニア（ＴｉＯ２）を検出素子として用いた酸素濃度
センサーの製造方法に関するものである。
従来の技術
最近の自動車等においては、内燃は関に供給される混合
気の空燃比を排気ガス中の酸素濃度に応じてフィードバ
ック制御するため、排気ガス中の酸素濃度を検出するこ
とが行なわれており、このような酸素濃度センサーとし
てはチタニア（ＴｉＯ２）を検出素子として用いたもの
が開発されている。Ｔ ｉ Ｏ２は、酸素濃度に対応し
て直接的に電気抵抗が変化するところから、簡便にセン
サーを構成することができるため、注目を浴びている。
気の空燃比を排気ガス中の酸素濃度に応じてフィードバ
ック制御するため、排気ガス中の酸素濃度を検出するこ
とが行なわれており、このような酸素濃度センサーとし
てはチタニア（ＴｉＯ２）を検出素子として用いたもの
が開発されている。Ｔ ｉ Ｏ２は、酸素濃度に対応し
て直接的に電気抵抗が変化するところから、簡便にセン
サーを構成することができるため、注目を浴びている。
第３図にＴｉＯ２を検出素子として用いた酸素濃度セン
サーの代表的な例を示す。
サーの代表的な例を示す。
第３図において、アルミナ（Ａｌ２Ｏ２）等の電気絶縁
性材料からなる基板１上に白金（Ｐｔ）、銀（Ａ９）等
の導電性材料からなる一対の電極２Ａ、２Ｂが間隔を置
いて形成され、その電極２Ａ。
性材料からなる基板１上に白金（Ｐｔ）、銀（Ａ９）等
の導電性材料からなる一対の電極２Ａ、２Ｂが間隔を置
いて形成され、その電極２Ａ。
２Ｂ上の部分および電極２Ａ、２Ｂの間の部分を覆うよ
うに検出素子としてのＴｉＯ２層３が形成され、さらに
そのＴｉＯ２層３の上にＡｉ’２０３等の保護層４が形
成されている。なお基板１の内部には素子部加熱用の白
金ヒータ５が埋込まれている。このような酸素濃度セン
サーにおいては、酸素濃度に応じて電極２Ａ、２層間の
抵抗値が変化するから、検出した酸素濃度を電気信号と
して取出すことができる。
うに検出素子としてのＴｉＯ２層３が形成され、さらに
そのＴｉＯ２層３の上にＡｉ’２０３等の保護層４が形
成されている。なお基板１の内部には素子部加熱用の白
金ヒータ５が埋込まれている。このような酸素濃度セン
サーにおいては、酸素濃度に応じて電極２Ａ、２層間の
抵抗値が変化するから、検出した酸素濃度を電気信号と
して取出すことができる。
ところで従来のＴｉＯ２を用いた酸素濃度センサーにお
いて、検出素子としてのＴｉＯ２層を形成する方法とし
ては、例えば実開昭６１−１７００６０＠に開示されて
いるように、ＴｉＯ２粉末のスラリーを塗布法もしくは
浸漬法によりコーティングし、その後焼成する方法、あ
るいは特開昭６１−２４７９５０号に示されているよう
に、スパッタリングやイオンブレーティング等のＰＶＤ
法によりＴｉＯ２層を生成させる方法、さらには特開昭
５７−３９３４１号に示されるようにＴ ｉ ０２粉末
ペーストをスクリーン印刷により印刷後焼成する方法が
知られている。
いて、検出素子としてのＴｉＯ２層を形成する方法とし
ては、例えば実開昭６１−１７００６０＠に開示されて
いるように、ＴｉＯ２粉末のスラリーを塗布法もしくは
浸漬法によりコーティングし、その後焼成する方法、あ
るいは特開昭６１−２４７９５０号に示されているよう
に、スパッタリングやイオンブレーティング等のＰＶＤ
法によりＴｉＯ２層を生成させる方法、さらには特開昭
５７−３９３４１号に示されるようにＴ ｉ ０２粉末
ペーストをスクリーン印刷により印刷後焼成する方法が
知られている。
発明が解決すべき問題点
前述のように検出素子としてＴ ｒ ０２を用いた酸素
濃度センサーにおけるＴｉＯ２層形成方法のうち、塗布
もしくは浸漬によりＴｉＯ２層を形成する方法では、Ｔ
ｉＯ２層の厚みが数百趨以上と著しく大きくなり、その
ため酸素濃度の変化に対する応答性が低くならざるを得
す、しかも厚さの制御が困難であるため、多数のセンサ
ーを製造する場合に厚みが均一で特性も均一なセンサー
を製造することが困難であった。
濃度センサーにおけるＴｉＯ２層形成方法のうち、塗布
もしくは浸漬によりＴｉＯ２層を形成する方法では、Ｔ
ｉＯ２層の厚みが数百趨以上と著しく大きくなり、その
ため酸素濃度の変化に対する応答性が低くならざるを得
す、しかも厚さの制御が困難であるため、多数のセンサ
ーを製造する場合に厚みが均一で特性も均一なセンサー
を製造することが困難であった。
一方スバッタリングやイオンブレーティング等のＰＶＤ
法による場合は、厚み１〜２＃程度の極めて薄質なＴｉ
Ｏ２層を高精度で得ることができるため、酸素濃度の変
化に対する応答性の優れたセンサーを製造することがで
きると考えられるが、実際にはＴ ｉ ０２層が薄過ぎ
るため耐久性に劣り、ＴｉＯ２の熱劣化や基板、電極と
ＴｉＯ２層との間の剥離が生じ易く、さらには被測定ガ
ス中の不純物や還元雰囲気による劣化も生じ易く、その
ため初期の応答性は良好でも次第に応答性が低下する問
題があり、またこのほか製造にあたって真空系を必要と
するため高コストとなり、量産には不適当である等の問
題もあった。
法による場合は、厚み１〜２＃程度の極めて薄質なＴｉ
Ｏ２層を高精度で得ることができるため、酸素濃度の変
化に対する応答性の優れたセンサーを製造することがで
きると考えられるが、実際にはＴ ｉ ０２層が薄過ぎ
るため耐久性に劣り、ＴｉＯ２の熱劣化や基板、電極と
ＴｉＯ２層との間の剥離が生じ易く、さらには被測定ガ
ス中の不純物や還元雰囲気による劣化も生じ易く、その
ため初期の応答性は良好でも次第に応答性が低下する問
題があり、またこのほか製造にあたって真空系を必要と
するため高コストとなり、量産には不適当である等の問
題もあった。
さらにスクリーン印刷法による場合、前述の特開昭５７
−３９３４１号では５０〜１００趨のＴｉＯ２層を形成
できる旨記載されているが、焼成後の厚みで５０趨を得
ようとすれば１００趨以上の厚さで印刷しなければなら
ず、このような厚い層をスクリーン印刷法によって印刷
すれば厚みが不均一となって厚さ精度が著しく低下し、
そのため均質な特性のセンサーを得ることが困難となる
問題がある。
−３９３４１号では５０〜１００趨のＴｉＯ２層を形成
できる旨記載されているが、焼成後の厚みで５０趨を得
ようとすれば１００趨以上の厚さで印刷しなければなら
ず、このような厚い層をスクリーン印刷法によって印刷
すれば厚みが不均一となって厚さ精度が著しく低下し、
そのため均質な特性のセンサーを得ることが困難となる
問題がある。
この発明は以上の事情を背景としてなされたもので、Ｔ
ｉＯ２を検出素子として用いた酸素濃度センサーを製造
するにあたり、数十趨程度の適切な厚みを有するＴ ｉ
０２層を高精度で形成して、応答性に優れると同時に
耐久性にも優れた酸素濃度センサーを製造することがで
きる方法を提供することを目的とするものである。
ｉＯ２を検出素子として用いた酸素濃度センサーを製造
するにあたり、数十趨程度の適切な厚みを有するＴ ｉ
０２層を高精度で形成して、応答性に優れると同時に
耐久性にも優れた酸素濃度センサーを製造することがで
きる方法を提供することを目的とするものである。
問題点を解決するための手段
この発明の方法は、ＴｉＯ２を検出素子とする酸素濃度
センサーを製造するにあたり、電気絶縁性材料からなる
基板上に予め一対の電極を形成しておき、その電極間の
部分および電極上の部分を連続的に覆うようにＴｉもし
くはＴｉＨをプラズマ溶射して溶射層を形成し、その後
酸化性雰囲気にて高温で溶射層を加熱してその溶射層を
酸化させ、これによりＴｉＯ２１ｍを生成させることを
特徴とするものである。
センサーを製造するにあたり、電気絶縁性材料からなる
基板上に予め一対の電極を形成しておき、その電極間の
部分および電極上の部分を連続的に覆うようにＴｉもし
くはＴｉＨをプラズマ溶射して溶射層を形成し、その後
酸化性雰囲気にて高温で溶射層を加熱してその溶射層を
酸化させ、これによりＴｉＯ２１ｍを生成させることを
特徴とするものである。
作 用
この発明の方法においては、電気絶縁性材料からなる基
板上に予め一対の電極を形成しておき、その電極上の部
分および電極間の部分を覆うようにＴｉ粉末（金属Ｔｉ
粉末）もしくはＴｉＨ粉末（水素化チタン粉末）をプラ
ズマ溶射する。この溶射時においては、高温によってＴ
ｉＨ粉末の場合は分解と若干の酸化が生じ、またＴｉ粉
末の場合も若干の酸化が生じるため、溶射層としてはＴ
ｉＯを主体とする層が得られる。その後酸化性雰囲気中
において高温で加熱すれば、溶射層の酸化が進行してＴ
ｉＯ２層となる。このＴｉＯ２はルチル型の結晶構造を
持ち、酸素濃度に応じた酸素欠陥を生じるため、酸素濃
度に応じて電気抵抗が変化し、したがってＨ素濃度セン
サーとして作動させることができる。
板上に予め一対の電極を形成しておき、その電極上の部
分および電極間の部分を覆うようにＴｉ粉末（金属Ｔｉ
粉末）もしくはＴｉＨ粉末（水素化チタン粉末）をプラ
ズマ溶射する。この溶射時においては、高温によってＴ
ｉＨ粉末の場合は分解と若干の酸化が生じ、またＴｉ粉
末の場合も若干の酸化が生じるため、溶射層としてはＴ
ｉＯを主体とする層が得られる。その後酸化性雰囲気中
において高温で加熱すれば、溶射層の酸化が進行してＴ
ｉＯ２層となる。このＴｉＯ２はルチル型の結晶構造を
持ち、酸素濃度に応じた酸素欠陥を生じるため、酸素濃
度に応じて電気抵抗が変化し、したがってＨ素濃度セン
サーとして作動させることができる。
ここで、最終的に生成されるＴｉＯ２層とその前の溶射
層とは厚みが実質的に同じであり、プラズマ溶射により
形成される溶剤層は、その厚みを数十翔程度に高精度で
制御することができ、したがって最終的に生成されるＴ
ｉＯ２層の厚みも数十趨程度に高精度に制御することが
できる。酸素濃度に対する応答性は、ＴｉＯ２層が薄い
程良好であるが、逆に薄過ぎれば耐久性が低下する。
層とは厚みが実質的に同じであり、プラズマ溶射により
形成される溶剤層は、その厚みを数十翔程度に高精度で
制御することができ、したがって最終的に生成されるＴ
ｉＯ２層の厚みも数十趨程度に高精度に制御することが
できる。酸素濃度に対する応答性は、ＴｉＯ２層が薄い
程良好であるが、逆に薄過ぎれば耐久性が低下する。
ＴｉＯ２層の厚みが数十顯程度であれば耐久性を損なう
ことなく、優れた応答性を得ることができるのである。
ことなく、優れた応答性を得ることができるのである。
なおＴｉＯ２層の厚みは、具体的には１０〜１００趨程
度、より望ましくは２０〜７０顯程度が好ましい。
度、より望ましくは２０〜７０顯程度が好ましい。
なおまた、溶射材料としてこの発明のようにＴｉもしく
はＴｉＨを用いずに、ＴｉＯ２を用いて溶射たけでＴ
ｉ Ｏ２層を形成することも考えられるが、このように
ＴｉＯ２をＦｇ射した場合には、本発明者等の実験によ
ればＴｉ（ｈ−ｘの不定比化合物が生成され、そのまま
では酸素濃度センサーとしては使用できず、溶射後にや
はり酸化処理を行なうことが必要となる。しかるにこの
ように不定比化合物が生成されている場合の酸化処理の
条件設定は極めて困難となる。これに対し、この発明の
方法の場合には酸化のための条件設定には特に困難はな
い。また、本願発明者等の実験によれば、ＴｉＯ２をへ
１２０３等からなる基板に直接溶射した場合、基板との
密着性が劣り、そのため著しく溶！）１層が剥離し易く
なって実用に耐えないことが判明した。これに対しこの
発明のようにＴｉもしくはＴｉＨを溶射してから酸化さ
せた場合には、Ａ１１２０３等からなる基板との密着性
を充分に得ることができ、耐剥離性も良好となる。
はＴｉＨを用いずに、ＴｉＯ２を用いて溶射たけでＴ
ｉ Ｏ２層を形成することも考えられるが、このように
ＴｉＯ２をＦｇ射した場合には、本発明者等の実験によ
ればＴｉ（ｈ−ｘの不定比化合物が生成され、そのまま
では酸素濃度センサーとしては使用できず、溶射後にや
はり酸化処理を行なうことが必要となる。しかるにこの
ように不定比化合物が生成されている場合の酸化処理の
条件設定は極めて困難となる。これに対し、この発明の
方法の場合には酸化のための条件設定には特に困難はな
い。また、本願発明者等の実験によれば、ＴｉＯ２をへ
１２０３等からなる基板に直接溶射した場合、基板との
密着性が劣り、そのため著しく溶！）１層が剥離し易く
なって実用に耐えないことが判明した。これに対しこの
発明のようにＴｉもしくはＴｉＨを溶射してから酸化さ
せた場合には、Ａ１１２０３等からなる基板との密着性
を充分に得ることができ、耐剥離性も良好となる。
実施例
第１図（Ａ）に示すようなＡ＆２０３からなる電気絶縁
性の基板１を用意した。なお基板１は、予め内部に白金
ヒータ５を埋込んだ構成とされている。この基板１上に
、第１図（Ｂ）に示すように一対の白金電極２Ａ、２Ｂ
をスクリーン印刷法によって形成した。具体的には、基
板１上に白金ペーストを電極形状にスクリーン印刷し、
大気中において約９００℃で１時間加熱して電極２Ａ、
２Ｂを形成した。なおこの電極２Ａ、２Ｂは、基板１の
未焼成の段階、すなわちアルミナグリーンシートの状態
で白金ペーストをスクリーン印刷し、その後脱脂焼成し
て形成することも可能である。
性の基板１を用意した。なお基板１は、予め内部に白金
ヒータ５を埋込んだ構成とされている。この基板１上に
、第１図（Ｂ）に示すように一対の白金電極２Ａ、２Ｂ
をスクリーン印刷法によって形成した。具体的には、基
板１上に白金ペーストを電極形状にスクリーン印刷し、
大気中において約９００℃で１時間加熱して電極２Ａ、
２Ｂを形成した。なおこの電極２Ａ、２Ｂは、基板１の
未焼成の段階、すなわちアルミナグリーンシートの状態
で白金ペーストをスクリーン印刷し、その後脱脂焼成し
て形成することも可能である。
次いで第１図＜Ｃ＞に示すように、プラズマ溶射ガン６
を用いてＡｒプラズマによりＴｉ金属粉もしくはＴｉＨ
粉末を溶射し、電極２Ａ、２Ｂ上の部分および電極２Ａ
、２Ｂ間の部分を覆うように第１図（Ｄ＞に示すような
溶射層７を形成した。
を用いてＡｒプラズマによりＴｉ金属粉もしくはＴｉＨ
粉末を溶射し、電極２Ａ、２Ｂ上の部分および電極２Ａ
、２Ｂ間の部分を覆うように第１図（Ｄ＞に示すような
溶射層７を形成した。
この時の溶剤層の厚みは、数十顯オーダーとした。
次いで大気中で１１００℃×２時間加熱して溶射層を酸
化させ、第１図（Ｅ）に示すようにＴｉＯ２層３を形成
した。その後、Ｔ ！ ０２層３を覆うようにＡｌ２２
ｏ３粉末を溶射して、第１図（Ｆ）に示すように保護層
４を形成した。なおこの保護層４は、カーボン、オイル
ミスト等の付着物を防止するためのものである。
化させ、第１図（Ｅ）に示すようにＴｉＯ２層３を形成
した。その後、Ｔ ！ ０２層３を覆うようにＡｌ２２
ｏ３粉末を溶射して、第１図（Ｆ）に示すように保護層
４を形成した。なおこの保護層４は、カーボン、オイル
ミスト等の付着物を防止するためのものである。
以上のようにして得られたこの発明の方法による酸素濃
度センサーを、自動車用エンジンの排気ガス系路中に設
置し、その耐久性能を調べた。
度センサーを、自動車用エンジンの排気ガス系路中に設
置し、その耐久性能を調べた。
比較のため、ＴｉＯ２層３をスパッタリングにより １
〜２ｔＪＪｎ程度の厚みに形成した酸素濃度センサーに
ついても同様に耐久性能を調べた。なおこの比較例のセ
ンサニは、ＴｉＯ２層３以外については前記と同様とし
た。
〜２ｔＪＪｎ程度の厚みに形成した酸素濃度センサーに
ついても同様に耐久性能を調べた。なおこの比較例のセ
ンサニは、ＴｉＯ２層３以外については前記と同様とし
た。
その結果、この発明の方法による酸素濃度センサーは、
スパッタリング法を用いた比較例の酸素濃度センサーと
比較して格段に優れた耐久性を有し、長時間排気ガス中
にさらした場合の応答特性の低下が少ないことが判明し
た。具体的には、長時間排気ガス中にさらした後の比較
例のセンサーの自己フィードバック出力波形は第２図破
線Ｂに示すようになっていたのに対し、この発明の方法
によるセンサーでは自己フィードバックによって出力波
形が第２図実線Ａで示すようになっており、この図から
、この発明の方法によるセンサーでは長時間排気ガスに
さらされた後でも応答周期が短かく、応答特性の低下が
少なく、耐久性が良好であることが判る。
スパッタリング法を用いた比較例の酸素濃度センサーと
比較して格段に優れた耐久性を有し、長時間排気ガス中
にさらした場合の応答特性の低下が少ないことが判明し
た。具体的には、長時間排気ガス中にさらした後の比較
例のセンサーの自己フィードバック出力波形は第２図破
線Ｂに示すようになっていたのに対し、この発明の方法
によるセンサーでは自己フィードバックによって出力波
形が第２図実線Ａで示すようになっており、この図から
、この発明の方法によるセンサーでは長時間排気ガスに
さらされた後でも応答周期が短かく、応答特性の低下が
少なく、耐久性が良好であることが判る。
発明の効果
この発明の方法によれば、検出素子としてのＴｉＯ２層
を数十顯程度の厚さで均一にかつ高精度で形成すること
ができ、そのため酸素濃度の変化に対する応答性が良好
でしかも耐久性も優れた酸素濃度センサーを得ることが
でき、またプラズマ溶射法を適用しているため量産が可
能でかつスパッタリング等のＰＶＤ法を用いた場合より
も格段にコスト低減を図ることができる。
を数十顯程度の厚さで均一にかつ高精度で形成すること
ができ、そのため酸素濃度の変化に対する応答性が良好
でしかも耐久性も優れた酸素濃度センサーを得ることが
でき、またプラズマ溶射法を適用しているため量産が可
能でかつスパッタリング等のＰＶＤ法を用いた場合より
も格段にコスト低減を図ることができる。
第１図（Ａ）〜（Ｆ）はこの発明の実施例を段隅的に示
す略解的な縦断面図、第２図はこの発明の実施例および
比較例の酸素濃度センサーの自己フィードバック応答特
性を示す線図、第３図はＴｉＯ２を使用した従来の一般
的な酸素濃度センサーの略解的な縦断面図である。 １・・・基板、 ２Ａ、２Ｂ・・・電極、 ３・・・Ｔ
ｌＯ２層、 ７・・・溶剤層。 第１図 ５ ｃ−タ
す略解的な縦断面図、第２図はこの発明の実施例および
比較例の酸素濃度センサーの自己フィードバック応答特
性を示す線図、第３図はＴｉＯ２を使用した従来の一般
的な酸素濃度センサーの略解的な縦断面図である。 １・・・基板、 ２Ａ、２Ｂ・・・電極、 ３・・・Ｔ
ｌＯ２層、 ７・・・溶剤層。 第１図 ５ ｃ−タ
Claims (1)
- ＴｉＯ＿２を検出素子とする酸素濃度センサーを製造す
るにあたり、電気絶縁性材料からなる基板上に予め一対
の電極を形成しておき、その電極間の部分および電極上
の部分を連続的に覆うようにＴｉもしくはＴｉＨをプラ
ズマ溶射して溶射層を形成し、その後酸化性雰囲気にて
高温で溶射層を加熱してその溶射層を酸化させ、これに
よりＴｉＯ＿２層を生成させることを特徴とする酸素濃
度センサーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63170433A JP2625922B2 (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | 酸素濃度センサーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63170433A JP2625922B2 (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | 酸素濃度センサーの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221258A true JPH0221258A (ja) | 1990-01-24 |
| JP2625922B2 JP2625922B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=15904828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63170433A Expired - Lifetime JP2625922B2 (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | 酸素濃度センサーの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2625922B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05281178A (ja) * | 1992-04-03 | 1993-10-29 | Kunihiro Nagata | 機能性厚膜素子の製造方法およびセンサ素子の製造方法 |
| JP2006023224A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Uchiya Thermostat Kk | ガス検知素子及びその製造方法 |
| JP2010091486A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガスセンサおよびその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5811844A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ｎｏ↓２ガス検知器及び検知方法 |
| JPS6110756A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-18 | Shinei Kk | ガスセンサの製造法 |
| JPS61247950A (ja) * | 1985-04-25 | 1986-11-05 | Diesel Kiki Co Ltd | チタニア酸素センサの製造方法 |
-
1988
- 1988-07-08 JP JP63170433A patent/JP2625922B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5811844A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ｎｏ↓２ガス検知器及び検知方法 |
| JPS6110756A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-18 | Shinei Kk | ガスセンサの製造法 |
| JPS61247950A (ja) * | 1985-04-25 | 1986-11-05 | Diesel Kiki Co Ltd | チタニア酸素センサの製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2006023224A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Uchiya Thermostat Kk | ガス検知素子及びその製造方法 |
| JP2010091486A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガスセンサおよびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2625922B2 (ja) | 1997-07-02 |
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