JPH02199386A - 特に真空技術のための弁またはフランジ用のシール装置 - Google Patents
特に真空技術のための弁またはフランジ用のシール装置Info
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- JPH02199386A JPH02199386A JP1264127A JP26412789A JPH02199386A JP H02199386 A JPH02199386 A JP H02199386A JP 1264127 A JP1264127 A JP 1264127A JP 26412789 A JP26412789 A JP 26412789A JP H02199386 A JPH02199386 A JP H02199386A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 230000008961 swelling Effects 0.000 abstract 3
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
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- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
- F16J15/021—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L23/00—Flanged joints
- F16L23/16—Flanged joints characterised by the sealing means
- F16L23/18—Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S277/00—Seal for a joint or juncture
- Y10S277/913—Seal for fluid pressure below atmospheric, e.g. vacuum
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、フランジと皿状部材に設けられた互いに対向
する少なくとも二つのシール面を備え、このシール面に
、皿ばねとして形成され軸方向に摺動可能なシール要素
が接触可能である、特に真空技術のための弁またはフラ
ンジ用のシール装置に関する。
する少なくとも二つのシール面を備え、このシール面に
、皿ばねとして形成され軸方向に摺動可能なシール要素
が接触可能である、特に真空技術のための弁またはフラ
ンジ用のシール装置に関する。
例えば米国特許第4318532号明細書または***国
特許第3116401号明細書によって、冒頭に述べた
種類のシール装置を次のように形成することが知られて
いる。すなわち、対向する二つのケーシングフランジに
、皿ばねを押しつけ可能な斜めのシール面を設け、押し
棒を介して軸方向に押圧するように形成することが知ら
れている。
特許第3116401号明細書によって、冒頭に述べた
種類のシール装置を次のように形成することが知られて
いる。すなわち、対向する二つのケーシングフランジに
、皿ばねを押しつけ可能な斜めのシール面を設け、押し
棒を介して軸方向に押圧するように形成することが知ら
れている。
この公知のシール装置は、皿ばねの外周部と傾斜したケ
ーシングフランジとの間のシール座のところで、力が分
散するという欠点がある。
ーシングフランジとの間のシール座のところで、力が分
散するという欠点がある。
この場合、力伝達角度は常に例えば約12°である。
約12°のこの角度を下回ることはできない。
なぜなら、この角度が例えば8°になると、皿ばねがシ
ール座で挟まれ、もはや開放できないからである。
ール座で挟まれ、もはや開放できないからである。
すなわち、シール座における不所望な力分散が欠点であ
る。この場合、軸方向の力と、それに対して垂直な方向
のシール力が常に発生する。
る。この場合、軸方向の力と、それに対して垂直な方向
のシール力が常に発生する。
すなわち、シール力は前記のカニ角形の力分散によって
定まり、軸方向の力によって生じる。
定まり、軸方向の力によって生じる。
本発明の課題は、はるかに大きなシール力を軸方向に対
して垂直な方向に発生させるために、できるだけ小さな
力を軸方向に加えるだけで済むように、冒頭に述べた種
類のシール装置を改良することである。
して垂直な方向に発生させるために、できるだけ小さな
力を軸方向に加えるだけで済むように、冒頭に述べた種
類のシール装置を改良することである。
この課題を解決するための、本発明によるシール装置は
、皿状部材の環状***部が弾性的な範囲内で半径方向に
変形可能であり、軸方向に調節可能な小径のリングと皿
状部材の環状***部との間に、皿ばねが設けられ、この
皿ばねのために、約12°の角度の開放状態の場合に、
皿ばねの外径部が皿状部材の環状***部の内径部に接触
し、皿ばねの内径部が方向に向けて軸方向に調節可能な
リングに接触するような間隔が設けられ、この皿ばねが
錠止状態で、軸方向に調節可能なフランジのシール力を
、シール線に沿って半径方向外向きに、皿状部材の環状
***部に伝達し、皿ばねが閉鎖状態で死点まで完全に圧
縮され、それによって軸方向から半径方向への理論的に
無限大の力の伝達を可能にすることを特徴とする。
、皿状部材の環状***部が弾性的な範囲内で半径方向に
変形可能であり、軸方向に調節可能な小径のリングと皿
状部材の環状***部との間に、皿ばねが設けられ、この
皿ばねのために、約12°の角度の開放状態の場合に、
皿ばねの外径部が皿状部材の環状***部の内径部に接触
し、皿ばねの内径部が方向に向けて軸方向に調節可能な
リングに接触するような間隔が設けられ、この皿ばねが
錠止状態で、軸方向に調節可能なフランジのシール力を
、シール線に沿って半径方向外向きに、皿状部材の環状
***部に伝達し、皿ばねが閉鎖状態で死点まで完全に圧
縮され、それによって軸方向から半径方向への理論的に
無限大の力の伝達を可能にすることを特徴とする。
この技術思想によって、シール面が一つだけしか存在し
ないという重要な効果が得られる。
ないという重要な効果が得られる。
一方、***国特許出願公開第2947585号公報の場
合には、二つの異なるシール面が設けられている。
合には、二つの異なるシール面が設けられている。
本発明に従って、皿状部材を使用することによって、前
記***間特許出願公報に示しであるような内側のシール
座はもはや必要でない。すなわち、皿状部材の外周部に
シール座を一つ設けるだけでよい。
記***間特許出願公報に示しであるような内側のシール
座はもはや必要でない。すなわち、皿状部材の外周部に
シール座を一つ設けるだけでよい。
他の重要な利点は、本発明による力分散が***国特許第
2947585号明細書による力分散に比べて優れてい
る点にある。
2947585号明細書による力分散に比べて優れてい
る点にある。
この場合、同様に、軸方向に移動可能なリングが示しで
あるが、このリングは円錐形のシール面を備え、このシ
ール面は傾斜した皿ばねと共に、互いにほぼ垂直なシー
ル面を生じる。
あるが、このリングは円錐形のシール面を備え、このシ
ール面は傾斜した皿ばねと共に、互いにほぼ垂直なシー
ル面を生じる。
この場合、斜めに沿って案内されるこのシール面には、
前述の不所望な力分散が生じる。これは、シール圧力が
比較的にきびしく制限されるという欠点があり、また両
シール座で皿ばねが転動し、早く摩耗することになる。
前述の不所望な力分散が生じる。これは、シール圧力が
比較的にきびしく制限されるという欠点があり、また両
シール座で皿ばねが転動し、早く摩耗することになる。
本発明では、皿ばねの傾斜運動が軸方向に行われる。こ
の場合、皿ばねが、閉鎖状態で互いに一直線上に並ぶ、
互いに対向する円筒状の接触面に接触し、それによって
一種の、皿ばねのスナップ作用が達成される。
の場合、皿ばねが、閉鎖状態で互いに一直線上に並ぶ、
互いに対向する円筒状の接触面に接触し、それによって
一種の、皿ばねのスナップ作用が達成される。
本発明の好ましい実施形では、フランジ継手において、
2個のフランジが互いに軸方向に移動可能であるときに
、フランジの間の中間室に、フランジの分離隙間を架橋
する皿状部材がシール要素として設けられ、この皿状部
材の外周部が分離隙間に入っていて、皿状部材の内周部
に、傾斜可能な皿ばねが接触し、この皿ばねの内周部が
軸方向に移動可能なリングの外周部に支持されている。
2個のフランジが互いに軸方向に移動可能であるときに
、フランジの間の中間室に、フランジの分離隙間を架橋
する皿状部材がシール要素として設けられ、この皿状部
材の外周部が分離隙間に入っていて、皿状部材の内周部
に、傾斜可能な皿ばねが接触し、この皿ばねの内周部が
軸方向に移動可能なリングの外周部に支持されている。
弁またはフランジのシール装置は原理的には同じように
機能する。
機能する。
本発明は、特許請求の範囲の個々の請求項の対象だけで
なく、個々の請求項の相互の組合せも対象とする。明細
書と図面に開示されているすべての記載と特徴、特に図
面に示した空間的な構造は、それが個別的にまたは組合
せにおいて、技術水準と比べて新規である場合には、本
発明にとって重要なものであるとして請求する。
なく、個々の請求項の相互の組合せも対象とする。明細
書と図面に開示されているすべての記載と特徴、特に図
面に示した空間的な構造は、それが個別的にまたは組合
せにおいて、技術水準と比べて新規である場合には、本
発明にとって重要なものであるとして請求する。
以下、複数の実施例を示した図に基づいて本発明の詳細
な説明する。この場合、本発明の価値のある特徴と本発
明の効果が図面とその説明から明らかになる。
な説明する。この場合、本発明の価値のある特徴と本発
明の効果が図面とその説明から明らかになる。
第1a図には、弁シールにおける主フランジ1が示しで
ある。この主フランジは内側にあるケーシング段差部に
、シール座1oを備えている。
ある。この主フランジは内側にあるケーシング段差部に
、シール座1oを備えている。
閉鎖位置において、このシール座には、シール尖端部(
シール刃)24の球状の外周部が接触する。このシール
尖端部は金属製の皿状部材2のフランジ18に形成され
ている。
シール刃)24の球状の外周部が接触する。このシール
尖端部は金属製の皿状部材2のフランジ18に形成され
ている。
皿状部材2の半径方向内側には、リング4が設けられて
いる。このリングは皿状部材2と共に、中実軸19に支
承されている。この場合、リング4は中実軸19上で記
入矢印方向に成る程度の軸方向遊び25を有する。
いる。このリングは皿状部材2と共に、中実軸19に支
承されている。この場合、リング4は中実軸19上で記
入矢印方向に成る程度の軸方向遊び25を有する。
フランジ18の内周とリング4の外周の間の中間室32
には、皿ばね3が設けられている。
には、皿ばね3が設けられている。
この皿ばねは付勢要素として、リング4に軸方向(矢印
6方向)に加えられる閉鎖力を、記入した矢印7と反対
方向にシール座1oに伝達する。
6方向)に加えられる閉鎖力を、記入した矢印7と反対
方向にシール座1oに伝達する。
皿状部材2と主フランジ1の間には、小さな隙間(約0
.05+nm)がある。皿ばね3は材料を選択すること
によって非常に動くことができるがまたはスリットを形
成して(内側から外側へおよびその逆に)、非常に動く
ことができるようになっている。リング4に力(矢印参
照)が作用すると、先ず、皿状部材2のフランジ18が
主フランジに接触するまで、外側へ押圧される。
.05+nm)がある。皿ばね3は材料を選択すること
によって非常に動くことができるがまたはスリットを形
成して(内側から外側へおよびその逆に)、非常に動く
ことができるようになっている。リング4に力(矢印参
照)が作用すると、先ず、皿状部材2のフランジ18が
主フランジに接触するまで、外側へ押圧される。
リング4が更に矢印6方向に押圧されると、リングは皿
ばね3と皿状部材2を介して主フランジ1に対してシー
ル力を加える。その際、リングは直径が少しだけ内側へ
圧縮される。皿ばね3と皿状部材2は圧縮され、フラン
ジ1は幾分外側へ逃げる。係合している個々の面の間の
移行部は幾分(弾性的に)変形する(ヘルツ応力)。錠
止状態(第1a図)で、矢印7方向の力(すなわち、シ
ール力に対して垂直方向の力)が零になるように、そし
て前記の変形を行いかつシール力を付加的に加えるため
に、リング4に力を加えるように、全体が計算されて設
計されている。シール力は半径方向内側へ均一に分配さ
れて向き、それによって外周では分配されて互いに相殺
される。
ばね3と皿状部材2を介して主フランジ1に対してシー
ル力を加える。その際、リングは直径が少しだけ内側へ
圧縮される。皿ばね3と皿状部材2は圧縮され、フラン
ジ1は幾分外側へ逃げる。係合している個々の面の間の
移行部は幾分(弾性的に)変形する(ヘルツ応力)。錠
止状態(第1a図)で、矢印7方向の力(すなわち、シ
ール力に対して垂直方向の力)が零になるように、そし
て前記の変形を行いかつシール力を付加的に加えるため
に、リング4に力を加えるように、全体が計算されて設
計されている。シール力は半径方向内側へ均一に分配さ
れて向き、それによって外周では分配されて互いに相殺
される。
上述の変形はきわめて小さい。従って、皿ばね3の角度
は非常に平らに(約10°)に保たれる。シール要部が
まだ接触しない変形の開始範囲では、力の伝達は良好で
はない(矢印方向7のシール方向に比較した垂直方向6
の力の比は約1=6〜1:10)。
は非常に平らに(約10°)に保たれる。シール要部が
まだ接触しない変形の開始範囲では、力の伝達は良好で
はない(矢印方向7のシール方向に比較した垂直方向6
の力の比は約1=6〜1:10)。
すなわち、先ず最初は、初期隙間8を架橋しなければな
らない。この隙間8を克服すると、カフは太き(増大す
る。そのとき、力の伝達も同じように増大する。力の伝
達は既にl:15になり、良好である。シールカフが大
きくなればなるほど、皿ばねは死点に近づく。最後に、
矢印7方向の力が最大にあると、伝達比は理論的には1
:無限大である。そのとき、リング4の横断面とその材
料は力を決定する。矢印6方向に外れないようにするた
めに、ストッパー9が皿状部材2に固定または取り外し
可能に設けられている。
らない。この隙間8を克服すると、カフは太き(増大す
る。そのとき、力の伝達も同じように増大する。力の伝
達は既にl:15になり、良好である。シールカフが大
きくなればなるほど、皿ばねは死点に近づく。最後に、
矢印7方向の力が最大にあると、伝達比は理論的には1
:無限大である。そのとき、リング4の横断面とその材
料は力を決定する。矢印6方向に外れないようにするた
めに、ストッパー9が皿状部材2に固定または取り外し
可能に設けられている。
皿ばねは矢印6方向へのリング4の軸方向移動によって
、互いに対向する円筒状接触面21゜22の間で食い込
んで固定され、皿ばねに作用する半径方向外向きの力は
、半径方向外側へ曲がる皿状部材2のフランジ18上で
全く同じ方向に、すなわちシール座の方向(矢印7の方
向)に生じる。それによってフランジは同様に、矢印7
と反対方向に半径方向外向きに押圧され、そのシール尖
端部24は大きなシール力を加えながら、ケーシング固
定の主フランジ1のシール座10に当たる。
、互いに対向する円筒状接触面21゜22の間で食い込
んで固定され、皿ばねに作用する半径方向外向きの力は
、半径方向外側へ曲がる皿状部材2のフランジ18上で
全く同じ方向に、すなわちシール座の方向(矢印7の方
向)に生じる。それによってフランジは同様に、矢印7
と反対方向に半径方向外向きに押圧され、そのシール尖
端部24は大きなシール力を加えながら、ケーシング固
定の主フランジ1のシール座10に当たる。
本発明では、軸方向において、従来の装置よりもはるか
に小さな閉鎖力しか必要としない。
に小さな閉鎖力しか必要としない。
なぜなら、力の真直ぐな伝達が常に矢印7と反対方向に
(それに対して曲がった力を加えないで)達成されるか
らである。
(それに対して曲がった力を加えないで)達成されるか
らである。
この場合、半径方向外向きに変形可能なフランジI8を
備えた皿状部材2を使用することが重要である。このフ
ランジはその外周端部に、シール尖端部24を備えてい
る。
備えた皿状部材2を使用することが重要である。このフ
ランジはその外周端部に、シール尖端部24を備えてい
る。
半径方向外側へ変形可能なシールフランジ18を備えた
皿状部材を使用することによって、シール座を1個しか
設ける必要がないという利点がある。従来の普通のシー
ルの場合には、シール座が二つ設けられている。
皿状部材を使用することによって、シール座を1個しか
設ける必要がないという利点がある。従来の普通のシー
ルの場合には、シール座が二つ設けられている。
フランジ18のシール尖端部24はいろいろな形に形成
可能である。シール尖端部は球状断面に形成可能である
。すなわち、成る半径を有していてもよい。しかし、台
形状の断面を有するような刃先として形成してもよい。
可能である。シール尖端部は球状断面に形成可能である
。すなわち、成る半径を有していてもよい。しかし、台
形状の断面を有するような刃先として形成してもよい。
更に、皿ばね3の内側接触面21が環状溝23の範囲に
設けられることが重要である。この環状溝は軸方向にお
いて、上側と下側が突起17によって画成される。それ
によって、皿ばね3がその傾斜運動時に(第1a図から
第1b図への移行参照)滑り落ちることがない。
設けられることが重要である。この環状溝は軸方向にお
いて、上側と下側が突起17によって画成される。それ
によって、皿ばね3がその傾斜運動時に(第1a図から
第1b図への移行参照)滑り落ちることがない。
更に、皿状部材4が成る程度の遊び25をもって中心軸
19に支承されることが大切である。
19に支承されることが大切である。
それによって、シール状態で皿ばね3の食い込みによる
皿状部材の変形を吸収することができる。
皿状部材の変形を吸収することができる。
本発明の場合には、矢印6方向の非常に小さな閉鎖力に
よって、矢印7方向の大きなシール力を発生できること
が重要である。この場合、皿ばね3は実質的に摩耗しな
い。
よって、矢印7方向の大きなシール力を発生できること
が重要である。この場合、皿ばね3は実質的に摩耗しな
い。
この場合、すべての材料はその弾性範囲内で応力を受け
るべきである。塑性変形は望ましくない。
るべきである。塑性変形は望ましくない。
第4図には、皿ばね3の第1の実施例の断面が示しであ
る。この皿ばねは第1b図の負荷されていない状態で組
み込まれる。
る。この皿ばねは第1b図の負荷されていない状態で組
み込まれる。
第5図は皿ばね3aの他の実施例を示している。この場
合、外周に、半径方向内向きのスリット26が設けられ
、このスリットに対して交互に、半径方向外向きのスリ
ット27が内周に設けられている。このスリット26.
27は外周面または内周面から所定の間隔28を有する
。
合、外周に、半径方向内向きのスリット26が設けられ
、このスリットに対して交互に、半径方向外向きのスリ
ット27が内周に設けられている。このスリット26.
27は外周面または内周面から所定の間隔28を有する
。
それによって、皿ばね3aは斜め方向に良好な弾力性が
あるが、半径方向においては非常に安定しており、わず
かしか圧縮できない。従って、リング4から半径方向外
向きに水平方向に発生する力は、同じ水平方向でシール
座10に直接伝達可能である。
あるが、半径方向においては非常に安定しており、わず
かしか圧縮できない。従って、リング4から半径方向外
向きに水平方向に発生する力は、同じ水平方向でシール
座10に直接伝達可能である。
それによって、力の直線的な伝達は常に、第1a図の水
平方向に行われ、従来不利であった力の分散を生じない
。
平方向に行われ、従来不利であった力の分散を生じない
。
第2図と第3図は変形実施例、すなわちフランジ継手を
示している。この場合、第2図はシール状態のフランジ
継手を示し、第3図は開放状態のフランジ継手を示して
いる。
示している。この場合、第2図はシール状態のフランジ
継手を示し、第3図は開放状態のフランジ継手を示して
いる。
第3図では、対称に形成された二つのフランジ11.1
2が互いに向き合っていて、その間に中間室29を形成
している。この場合、半径方向外側にある、中間室29
の内側端面には、シールのシール面16が形成されてい
る。
2が互いに向き合っていて、その間に中間室29を形成
している。この場合、半径方向外側にある、中間室29
の内側端面には、シールのシール面16が形成されてい
る。
中間室29内には、金属製の皿状部材13が設けられて
いる。皿状部材13の内周と皿ばね14の外周の間には
円筒状の接触面22が形成されている。皿ばねは前記と
同じ方法で組み込まれている。
いる。皿状部材13の内周と皿ばね14の外周の間には
円筒状の接触面22が形成されている。皿ばねは前記と
同じ方法で組み込まれている。
同様に、反対側には円筒状の接触面21が設けられてい
る。
る。
この場合にも、第1a図と第1b図の実施例で示したよ
うな環状溝23を設けることができる。
うな環状溝23を設けることができる。
更に、前記実施例と同じ機能が得られる。すなわち、ね
じ20によるねし継手を介して両フランジ11.12を
ねし止めする際に、軸方向に動かすことによって、先ず
シール面16が互いに案内される。この場合、上側のシ
ール面ののそばにはテーパ部30が設けられている。こ
のテーパ部は、シール面を当接させる際に皿状部材3の
そばを案内され、このシール面を傷つけることがない。
じ20によるねし継手を介して両フランジ11.12を
ねし止めする際に、軸方向に動かすことによって、先ず
シール面16が互いに案内される。この場合、上側のシ
ール面ののそばにはテーパ部30が設けられている。こ
のテーパ部は、シール面を当接させる際に皿状部材3の
そばを案内され、このシール面を傷つけることがない。
それによって、斜めの運動が達成される。この場合、両
フランジ11.12をねし止めすることによって同時に
、リング15を矢印6方向に向けて下方へ動かし、それ
によってシール状態で一直線上に並ぶ互いに対向する両
接触面21.22の間の中間室内で、皿ばね14を再び
(さび止めし、半径方向外向きのシール圧力を矢印7方
向に加える。このシール圧力はシール14からシール面
16への必要なシール力を生じる。
フランジ11.12をねし止めすることによって同時に
、リング15を矢印6方向に向けて下方へ動かし、それ
によってシール状態で一直線上に並ぶ互いに対向する両
接触面21.22の間の中間室内で、皿ばね14を再び
(さび止めし、半径方向外向きのシール圧力を矢印7方
向に加える。このシール圧力はシール14からシール面
16への必要なシール力を生じる。
リング15は両フランジ11.12の間で、その上面と
底面がある程度の間隔を有していなければならない。そ
れによって、リングは半径方向の遊び25により、中間
室29内で動(ことができる。
底面がある程度の間隔を有していなければならない。そ
れによって、リングは半径方向の遊び25により、中間
室29内で動(ことができる。
第1a図と第1b図の場合には更に、皿状部材2が図示
していない連行突起を介して軸方向に移動可能なリング
4に連結されている。
していない連行突起を介して軸方向に移動可能なリング
4に連結されている。
第1a図において開放運動を達成するために、リング4
は矢印6方向と反対方向に下方へ動くと、皿状部材2の
前記連行突起はリング4に係合する。それによって、皿
状部材2は同様に矢印6方向と反対方向において、シー
ル面IOから離れ、矢印6方向と反対方向に下方へ連行
される。
は矢印6方向と反対方向に下方へ動くと、皿状部材2の
前記連行突起はリング4に係合する。それによって、皿
状部材2は同様に矢印6方向と反対方向において、シー
ル面IOから離れ、矢印6方向と反対方向に下方へ連行
される。
本発明の場合には、例えば***国特許第2947585
号明細書の場合のように、力がシール要素を介して分散
しないで、別個の部材、すなわち浮動するリング4と共
に皿ばね3,3aを介して分散する。従って、本発明に
従って得られる力の分散を効果的にするために、別個の
部材によって行われる運動により、別個の部材は微細な
掻き傷や損傷に対して敏感でない。
号明細書の場合のように、力がシール要素を介して分散
しないで、別個の部材、すなわち浮動するリング4と共
に皿ばね3,3aを介して分散する。従って、本発明に
従って得られる力の分散を効果的にするために、別個の
部材によって行われる運動により、別個の部材は微細な
掻き傷や損傷に対して敏感でない。
第1a図は本発明による弁シールの閉鎖状態を示す概略
図、第1b図は弁シールの開放状態を示す図、第2図は
本発明によるフランジシールの閉鎖状態を示す図、第3
図は第2図のフランジシールの開放状態を示す図、第4
図は第1の実施例の皿ばねの断面を示す図、第5図は皿
ばねの第2実施例の平面図である。 1・・・フランジ、 2・・・皿状部材、3・・・皿
ばね、 4・・・リング、 5・・・間隔、 6・
・・方向、 18・・・***部プ3
図、第1b図は弁シールの開放状態を示す図、第2図は
本発明によるフランジシールの閉鎖状態を示す図、第3
図は第2図のフランジシールの開放状態を示す図、第4
図は第1の実施例の皿ばねの断面を示す図、第5図は皿
ばねの第2実施例の平面図である。 1・・・フランジ、 2・・・皿状部材、3・・・皿
ばね、 4・・・リング、 5・・・間隔、 6・
・・方向、 18・・・***部プ3
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、フランジと皿状部材に設けられた互いに対向する少
なくとも二つのシール面を備え、このシール面に、皿ば
ねとして形成され軸方向に摺動可能なシール要素が接触
可能である、特に真空技術のための弁またはフランジ用
のシール装置において、皿状部材(2)の環状***部(
18)が弾性的な範囲内で半径方向に変形可能であり、
軸方向に調節可能な小径のリング(4)と皿状部材(2
)の環状***部(18)との間に、皿ばね(3)が設け
られ、この皿ばねのために、約12°の角度の開放状態
の場合に、皿ばねの外径部が皿状部材(2)の環状***
部(18)の内径部に接触し、皿ばねの内径部が方向(
6)に向けて軸方向に調節可能なリング(4)に接触す
るような間隔(5)が設けられ、この皿ばね(3)が錠
止状態で、軸方向に調節可能なフランジ(1)のシール
力を、シール線に沿って半径方向外向きに、皿状部材(
2)の環状***部(18)に伝達し、皿ばね(3)が閉
鎖状態で死点まで完全に圧縮され、それによって軸方向
から半径方向への理論的に無限大の力の伝達を可能にす
ることを特徴とするシール装置。 2、皿状部材(2)の半径方向に変形可能な***部(1
8)の、シール座(10)に付設された外側の面が、シ
ール尖端部(24)として形成されていることを特徴と
する、請求項1記載のシール装置。 3、リング(4)が半径方向の遊び(25)をもってそ
の中心軸(19)に支承されていることを特徴とする、
請求項1または請求項2記載のシール装置。 4、皿ばね(3a)の外周に、半径方向内側へ向いたス
リット(26)がずらして加工され、このスリットに対
向してかつ交互に、半径方向外側へ向いたスリット(2
7)が内周に設けられていることを特徴とする、請求項
1から請求項3までのいずれか一つに記載のシール装置
。 5、皿状部材(2)が連行突起を介して、軸方向に移動
可能なリング(4)に係合していることを特徴とする、
請求項1から請求項4までのいずれか一つに記載のシー
ル装置。 6、両フランジ(11、12)が軸方向に互いに移動可
能であるフランジ継手において、フランジ(11、12
)の間の中間室(29)内で、シール要素としての皿状
部材(13)の外周部が、分離隙間(31)を架橋する
ようにフランジに接触し、傾くことができる皿ばね(1
4)が皿状部材の内周部に接触し、皿ばねの内周部が軸
方向に移動可能なリング(15)の外周部に支持されて
いることを特徴とする、請求項1から請求項4までのい
ずれか一つに記載のシール装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3834913.2 | 1988-10-13 | ||
DE3834913A DE3834913A1 (de) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | Dichtung fuer ventile oder flansche, insbesondere fuer die vakuumtechnik |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02199386A true JPH02199386A (ja) | 1990-08-07 |
JP2813748B2 JP2813748B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=6365058
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP1264127A Expired - Fee Related JP2813748B2 (ja) | 1988-10-13 | 1989-10-12 | 特に真空技術のための弁またはフランジ用のシール装置 |
Country Status (5)
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---|---|
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EP (1) | EP0364407B1 (ja) |
JP (1) | JP2813748B2 (ja) |
AT (1) | ATE123123T1 (ja) |
DE (3) | DE8817060U1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003504605A (ja) * | 1999-07-09 | 2003-02-04 | アドバンスト・エレクトロン・ビームズ・インコーポレーテッド | 電子ビーム加速器 |
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CN112524364A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-03-19 | 西安航天动力研究所 | 一种平面法兰用弹簧蓄能密封结构及配合安装方法 |
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-
1988
- 1988-10-13 DE DE8817060U patent/DE8817060U1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-13 DE DE3834913A patent/DE3834913A1/de not_active Withdrawn
-
1989
- 1989-10-12 DE DE58909251T patent/DE58909251D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-12 JP JP1264127A patent/JP2813748B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-12 EP EP89810779A patent/EP0364407B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-12 AT AT89810779T patent/ATE123123T1/de not_active IP Right Cessation
- 1989-10-12 US US07/420,476 patent/US4988075A/en not_active Expired - Lifetime
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DE3834913A1 (de) | 1990-04-19 |
DE58909251D1 (de) | 1995-06-29 |
ATE123123T1 (de) | 1995-06-15 |
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DE8817060U1 (de) | 1992-04-23 |
EP0364407A3 (de) | 1991-03-13 |
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