DE4023845C1

DE4023845C1 - Shut-off valve for semiconductor producinvacuum equipment - has valve disc pressed against valve seal by actuator and seal between disc and seat

Info

Publication number: DE4023845C1
Application number: DE19904023845
Authority: DE
Inventors: Friedrich Nueziders At Geiser
Original assignee: VAT Holding AG
Current assignee: VAT Holding AG
Priority date: 1990-07-27
Filing date: 1990-07-27
Publication date: 1992-04-02
Anticipated expiration: 2010-07-28
Also published as: AT396285B; ATA211991A; JPH04236866A

Abstract

Shut-off valve, e.g. for vacuum equipment producing semiconductors, has a valve housing (1) with a valve seat (11), against which a valve disc (10) can be pressed by an actuating mechanism, with a seal (24) between the disc and seat. The valve disc, supported by a valve block (8), can deform elastically under the forces of the actuating mechanism. Within the sealing zone defines by the seat and disc when the valve is closed, an aperture (13) is provided. At least the part of the disc contg. this aperture can be pressed against the valve block by closing pressure and a seal (12) surrounds the aperture. ADVANTAGE - Simple means of providing throttling action.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Absperrventil mit den Merkmalen des Oberbe griffes des Patentanspruches 1.The invention relates to a shut-off valve with the features of the Oberbe handle of claim 1.

Absperrventile dieser Art sind für viele Zwecke bekannt geworden. Bei modernen Fertigungstechnologien, beispielsweise bei der Halbleiterfertigung, werden in Vakuumbehältern Arbeitsvorgänge abgewickelt, wobei in dem vom Behälter um schlossenen "Arbeitsraum" nicht nur ein sehr niedriger Unterdruck (Vakuum) herrscht, dieser "Arbeitsraum" muß auch möglichst rein - staubfrei - sein. Um die Werkstücke in diese Arbeitsstation zu bringen, müssen diese geöffnet wer den, darüber hinaus ist es notwendig, zwischen den einzelnen Arbeitstakten - Beschicken - Bearbeiten - Entnahme - Beschicken - usf. - den Behälter zu be lüften bzw. das in ihm befindliche Gas abzusaugen, aus welchem Grund diese Be hälter u. a. an einer zu einer Vakuumpumpe führenden Leitung angeschlossen sind, wobei zwischen Behälter und Vakuumpumpe in dieser Leitung ein Absperr ventil liegen muß. Aus all diesen Gründen ist trotz Beachtung höchster Rein heitsvorschriften kaum vermeidbar, daß nicht wenigstens einzelne Staubpartikeln in den Vakuumbehälter gelangen. Um zu vermeiden, daß diese eingedrungenen Staubpartikeln im Inneren des Behälters sich frei bewegen und sich gar auf dem zu behandelnden Werkstück absetzen, ist sowohl beim Absaugen des im Behälter befindlichen Gases zur Herstellung des Vakuums wie auch beim nachfolgenden Be lüften darauf zu achten, daß bei der Einleitung der genannten Prozesse im Be hälter turbulente Gasströmungen vermieden werden, die die eingedrungenen Staub partikeln im Behälter bewegen könnten. Beim Beginn des Absaugvorganges muß da her die Leistung der Vakuumpumpe so lange gedrosselt sein, bis die mittleren freien molekularen Weglängen des im Behälter befindlichen Gases einen ausrei chend hohen Wert erreicht haben, erst dann darf die volle Leistung der Vakuum pumpe wirksam werden. Korrespondierend gilt diese Aussage für das nachfolgende Belüften des Rezipienten oder Behälters. Zur Drosselung der Belüftung bzw. des Absaugvorganges dient unter anderem das Absperrventil.Shut-off valves of this type have become known for many purposes. With modern Manufacturing technologies, for example in semiconductor manufacturing, are in Vacuum containers are processed, being in the order of the container closed "workspace" not only a very low vacuum (vacuum) prevails, this "work space" must also be as clean as possible - dust-free. Around To bring the workpieces into this workstation, they must be opened In addition, it is necessary to distinguish between the individual work cycles - Loading - processing - removal - loading - etc. - to load the container ventilate or suck off the gas in it, for what reason this loading holder u. a. connected to a line leading to a vacuum pump are, with a shut-off valve in this line between the container and the vacuum pump valve must lie. For all these reasons, the highest level of purity is observed Safety regulations can hardly be avoided that not at least individual dust particles get into the vacuum container. To prevent them from entering Dust particles inside the container move freely and even on the Settling the workpiece to be treated is both when vacuuming the in the container located gas for producing the vacuum as well as in the subsequent loading air to ensure that when initiating the processes mentioned in Be container turbulent gas flows are avoided, which can prevent the ingress of dust could move particles in the container. At the beginning of the suction process must be there the performance of the vacuum pump must be throttled until the middle one free molecular path lengths of the gas in the container have reached a sufficiently high value, only then the full power of the vacuum pump take effect. Correspondingly, this statement applies to the following Aeration of the recipient or container. For throttling ventilation or The shut-off valve is used for the suction process.

Aus der DE 31 26 584 A1 ist ein Schieber mit variablem Durchlaßquerschnitt be kannt. Der Ventilteller ist zweigeteilt und besteht aus einem Oberteil und einem Unterteil, welcher um seine Mittelachse gegenüber dem Oberteil gedreht werden kann. In das Oberteil und das Unterteil ist je eine quadratische Öff nung eingelassen, welche bei geschlossenem Ventil nicht übereinander liegen, so daß zur vakuumdichten Absperrung des Ventils der gesamte Ventilteller mit Hilfe der Dichtungen vakuumdicht verspannt wird, wenn Kugelpaare von der sich weiterbewegten Stange aus den Vertiefungen herausgedrückt werden.From DE 31 26 584 A1 a slide valve with a variable passage cross section is be knows. The valve disk is divided into two parts and consists of an upper part and a lower part, which is rotated about its central axis with respect to the upper part can be. In the upper part and the lower part is a square opening recessed which are not on top of each other when the valve is closed, so that for the vacuum-tight shut-off of the valve with the entire valve plate Aid the seals is clamped vacuum tight when pairs of balls come off moving rod can be pushed out of the wells.

Zur Einstellung des maximalen Saugquerschnittes wird wieder der gesamte Dicht block, bestehend aus dem zweigeteilten Ventilteller, den eingebauten Drossel scheiben und dem Gegenteller mit Hilfe der Stange in den Gehäuseinnenraum ge zogen. Um den Saugquerschnitt der Saugleitung auf den gewünschten Wert zu dros seln, wird der Dichtblock vom Gehäuseinnenraum in die Saugleitung vollständig bis zum Anschlag zurückgeschoben. Das Ventilteller-Unterteil dreht sich dabei um seine Mittelachse soweit, daß die Öffnungen übereinander liegen. Um eine Dre hung ohne Reibung der Dichtung durchzuführen, können z. B. die beiden Teile mit Hilfe einer Feder auf Abstand gehalten werden. Die Drehung des Unterteiles beim Herausfahren des Dichtblockes aus dem Gehäuseinnenraum kann z. B. dadurch erreicht werden, daß mit Hilfe einer Arretierung der Kopf eines am Unterteil befestigten Bautenzugs fixiert wird. Wird nun der Dichtblock in die Saugleitung verschoben, so dreht sich der Unterteil um einen festgelegten Winkel. Durch die Größe der Öffnungen im Ventilteller wird der maximale Saugquerschnitt im Drosselzustand festgelegt. Dabei sind zur Leitwertverbesserung auch im Gegen teller Öffnungen eingeschnitten, welche den Öffnungen gegenüberliegen. Um den durch den Querschnitt der Öffnungen festgelegten Leitwert des Schieber ventils weiter zu verkleinern, sind auf dem Ventilteller-Oberteil Drossel schieber seitlich vor jeder Öffnung angebracht, welche z. B. durch Schienen zwangsgeführt und mit Hilfe von Federn fixiert sind. Dieser Schieber ist sehr kompliziert aufgebaut und enthält zahlreiche, im unmittelbaren Dichtbe reich bewegbare Teile, so daß dieser Schieber nicht nur sehr teuer in der Her stellung ist, sondern noch sehr störanfällig dazu.The entire seal is used again to set the maximum suction cross section block, consisting of the two-part valve disc, the built-in throttle discs and the counter plate using the rod in the interior of the housing pulled. To reduce the suction cross-section of the suction line to the desired value seln, the sealing block from the housing interior into the suction line is complete pushed back as far as it will go. The lower part of the valve plate turns around its central axis so far that the openings lie one above the other. At a three o'clock hung without friction of the seal, z. B. the two parts be kept at a distance using a spring. The rotation of the lower part when moving the sealing block out of the housing interior z. B. thereby achieved that with the help of a locking head on the lower part fortified building train is fixed. Now the sealing block is in the suction line moved, the lower part rotates by a fixed angle. By the size of the openings in the valve plate becomes the maximum suction cross section in the Throttle condition set. There are also countermeasures to improving the conductance cut openings that are opposite the openings. To the guide value of the slide determined by the cross-section of the openings to reduce the valve further, are throttles on the upper part of the valve plate slider attached to the side of each opening, which z. B. by rails are guided and fixed with the help of springs. This slider is very complicated structure and contains numerous, in the immediate seal richly movable parts, so that this slide is not only very expensive to manufacture position, but also very susceptible to failure.

Hier setzt die Erfindung ein, die darauf abzielt, ein Absperrventil mit einer Drosselmöglichkeit zu schaffen, das gegenüber der bekannten Konstruktion einen sehr einfachen und damit betriebssicheren Aufbau hat, was vorschlagsgemäß durch jene Maßnahmen gelingt, die Gegenstand und Inhalt des Patentanspruches 1 sind. In den Unteransprüchen werden zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfin dung erläutert.This is where the invention comes in, which aims to provide a shut-off valve with a Throttle possibility to create one over the known construction very simple and therefore reliable construction, which is proposed succeeds by those measures, the subject and content of the claim 1 are. In the subclaims expedient refinements of the Erfin explained.

Die Zeichnung veranschaulicht ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, ohne sie auf dieses Ausführungsbeispiel einzuschränken.The drawing illustrates an embodiment of the invention without it restrict to this embodiment.

Es zeigen: Show it:

Die Fig. 1, 2 und 3 ein Absperrventil nach der Erfindung im Längsschnitt, und zwar in drei verschiedenen Betriebsstellungen nämlich offen, gedrosselt und geschlossen; Figures 1, 2 and 3 a shut-off valve according to the invention in longitudinal section, namely in three different operating positions namely open, throttled and closed;

Fig. 4 veranschaulicht ein Detail. Figure 4 illustrates a detail.

Das als Eckventil ausgebildete Absperrventil besitzt ein Ventilgehäuse 1 mit einem seitlichen Anschlußflansch 2 und einem unteren Anschlußflansch 3. Nach oben hin ist das Ventilgehäuse 1 mit einem Kopfflansch 4 abgeschlossen, der einen Teil des Gehäuses bildet, wobei zwischen Gehäuserand und Kopfflansch 4 eine Kopfdichtung 5 liegt. Im Inneren des Gehäuses 1 und benachbart dem unte ren Anschlußflansch 3 liegt der Ventilsitz 11 und - bei geöffnetem Ventil oberhalb desselben der Ventilteller 10, der hier als dünnwandiger Hohlkegel ausgebildet ist, der an seiner, dem Ventilsitz 11 zugewandten Seite eine um laufende Dichtung 24 trägt. Innerhalb des von dieser Dichtung 24 umgrenzten Bereiches des Ventiltellers 1 liegt eine Drosselöffnung 13, die ihrerseits von einer Drosseldichtung 12 umgeben ist (Fig. 4). Diese Drosseldichtung 12 liegt auf der Seite des Ventiltellers 10, der dem Ventilkloben 8 zugewandt ist, an dem der Ventilteller 10 befestigt ist. Die Anordnung ist so getroffen, daß bei entlastetem Ventilteller 10 zwischen dessen Oberseite, die die Dros seldichtung 12 trägt, und der Unterseite des Ventilklobens 8 ein Zwischenraum verbleibt (Fig. 1 und 2). Beim gezeigten Ausführungsbeispiel ist dieser Ventil kloben 8 mit einer als Kolbenstange 9 ausgebildeten Ventilspindel verbunden. Diese Kolbenstange 9 ragt durch eine im Kopfflansch 4 vorgesehene und mit einer Ventilspindeldichtung 6 bestückte Bohrung in einen Zylinder 14 einer Kolben- Zylinder-Einheit, die vorzugsweise mittels eines gasförmigen Mediums beauf schlagbar ist.The shut-off valve, which is designed as a corner valve, has a valve housing 1 with a lateral connecting flange 2 and a lower connecting flange 3 . At the top, the valve housing 1 is closed with a head flange 4 , which forms part of the housing, a head gasket 5 being located between the housing edge and the head flange 4 . Inside the housing 1 and adjacent to the unte ren connecting flange 3 is the valve seat 11 and - when the valve is open above the valve plate 10 , which is designed here as a thin-walled hollow cone, which carries on its side facing the valve seat 11 a running seal 24 . A throttle opening 13 is located within the area of the valve disk 1 delimited by this seal 24 , which in turn is surrounded by a throttle seal 12 ( FIG. 4). This throttle seal 12 is located on the side of the valve plate 10 which faces the valve block 8 to which the valve plate 10 is attached. The arrangement is such that when the valve plate 10 is relieved, an intermediate space remains between its upper side, which carries the Dros seal 12 , and the underside of the valve block 8 ( FIGS. 1 and 2). In the exemplary embodiment shown, this valve block 8 is connected to a valve spindle designed as a piston rod 9 . This piston rod 9 projects through a bore provided in the head flange 4 and equipped with a valve stem seal 6 into a cylinder 14 of a piston-cylinder unit, which can preferably be impacted by means of a gaseous medium.

An ihrem inneren Ende trägt die Kolbenstange 9 einen scheibenförmigen Kolben 17 mit einer Kolbendichtung 19. Dieser Kolben 17 ist mit der Kolbenstange 9 fest verbunden. Zwischen diesem Kolben 17 und dem Kopfflansch 4 des Ventilge häuses 1 ist ein weiterer scheibenförmiger Kolben 18 mit einer Kolbendichtung 20 vorgesehen, der jedoch auf der Kolbenstange 9 axial verschiebbar gelagert ist. Die Außendurchmesser dieser beiden Kolben 17 und 18 sind unterschiedlich, wobei der Durchmesser des verschiebbar gelagerten Kolbens 18 etwas größer ist als jener des fest mit der Kolbenstange 9 verbundenen Kolbens 17. Entsprechend abgestuft ist die Bohrung des Zylinders 14, wobei der durch die unterschied lichen Durchmesser der Bohrungen gebildete Absatz 25 einen Anschlag für den Kolben 18 bildet.At its inner end, the piston rod 9 carries a disk-shaped piston 17 with a piston seal 19 . This piston 17 is firmly connected to the piston rod 9 . Between this piston 17 and the top flange 4 of the Ventilge housing 1 , a further disk-shaped piston 18 is provided with a piston seal 20 , which is however axially displaceably mounted on the piston rod 9 . The outer diameters of these two pistons 17 and 18 are different, the diameter of the displaceably mounted piston 18 being somewhat larger than that of the piston 17 fixedly connected to the piston rod 9 . The bore of the cylinder 14 is graduated accordingly, the shoulder 25 formed by the different diameters of the bores forming a stop for the piston 18 .

In die jeweils dem Kopfflansch 4 zugewandten Abschnitte der beiden Bohrungsab schnitte des Zylinders 14 münden Einlaßbohrungen 15 und 16 für die Beaufschla gung der Kolben 17 bzw. 18 mit einem vorzugsweise gasförmigen Druckmedium (Druckluft).In each of the head flange 4 facing sections of the two Bohrab sections of the cylinder 14 open inlet bores 15 and 16 for the loading of the pistons 17 and 18 with a preferably gaseous pressure medium (compressed air).

Im oberen Zylinderboden ist eine Ent- bzw. Belüftungsöffnung 22 vorgesehen. Eine in diesem Boden angeordnete, fixierbare Schraube 26 dient als einstell barer Anschlag für den Kolben 17. Schlußendlich ist noch zu erwähnen, daß zwi schen der Innenseite des Kopfflansches 4 und dem Ventilkloben 8 eine von der Kolbenstange 9 durchsetzte Schließfeder 7 vorgesehen ist, wobei diese Bauteile noch zusätzlich von einem dichten, axial verformbaren Metallbalg 27 umschlos sen sind. Zwischen dem Zylinder 14 und dem Kopfflansch 4 ist noch eine Dich tung 21 vorgesehen.A ventilation opening 22 is provided in the upper cylinder base. An arranged in this floor, fixable screw 26 serves as an adjustable stop for the piston 17th Finally, it should also be mentioned that between the inside of the head flange 4 and the valve block 8 a locking spring 7 penetrated by the piston rod 9 is provided, these components being additionally enclosed by a dense, axially deformable metal bellows 27 . Between the cylinder 14 and the head flange 4 , a device 21 is provided for you.

Soweit zum konstruktiven Aufbau des Absperrventiles nach den vorliegenden Zeichnungen.So far for the construction of the shut-off valve according to the present Drawings.

Bei geöffnetem Absperrventil (Fig. 1) ist der Kolben 17 in seiner oberen End lage; der Kolben 18 liegt am Kopfflansch 4 an und der zwischen den beiden Kol ben befindliche Zylinderraum ist über die Bohrung 15 mit dem Druckmedium beauf schlagt; die Schließfeder 7 ist vorgespannt, der Ventilkloben 8 mit dem Ventil teller 10 angehoben.When the shut-off valve ( Fig. 1) is open, the piston 17 is in its upper end position; the piston 18 bears against the head flange 4 and the cylinder space located between the two pistons Ben is struck through the bore 15 with the pressure medium; the closing spring 7 is biased, the valve block 8 with the valve plate 10 raised.

In der Drosselstellung (Fig. 2) ist über die Bohrung 16 der unterhalb des Kol bens 18 befindliche Zylinderraum mit dem Druckmedium beaufschlagt. Der zwischen beiden Kolben 17 und 18 befindliche Zwischenraum wird über die Bohrung 15 entlüftet, der Ventilteller 10 liegt über seine Dichtung 24 dicht am Ventilsitz 11 auf. Über die Drosselöffnung 13 sind die beidseitig des Ventiltellers 10 liegenden Räume des Ventilgehäuses 1 miteinander verbunden. Der Dichtdruck wird über die Schließfeder 7 aufgebracht, der verschiebbar gelagerte Kolben 18 liegt am Ab satz 25 an.In the throttle position ( FIG. 2), the cylinder chamber located below the piston ben 18 is pressurized with the pressure medium via the bore 16 . The space between the two pistons 17 and 18 is vented via the bore 15 , the valve plate 10 lies tightly against the valve seat 11 via its seal 24 . The spaces of the valve housing 1 located on both sides of the valve plate 10 are connected to one another via the throttle opening 13 . The sealing pressure is applied via the closing spring 7 , the slidably mounted piston 18 rests on the set 25 .

In der Schließstellung (Fig. 3) ist der Zylinder 14 zur Gänze entlüftet, der Ventilteller 10 wird durch die Kraft der Schließfeder 7 flachgedrückt, so daß die Drosseldichtung 12 an der Wandung 23 des Ventilklobens 8 dicht anliegt.In the closed position ( Fig. 3), the cylinder 14 is completely vented, the valve plate 10 is flattened by the force of the closing spring 7 , so that the throttle seal 12 lies tight against the wall 23 of the valve block 8 .

Soll aus dieser Schließstellung nach Fig. 3 wieder in die Drosselstellung nach Fig. 2 übergegangen werden, so wird der unterhalb des Kolbens 18 liegende Zy linderraum über die Bohrung 16 beaufschlagt, so daß dieser frei bewegliche Kolben 18 bis zum Anschlag 25 angehoben wird und dabei den Kolben 17 mit der Kolbenstange 9 etwas anhebt.If the transition from the closed position shown in FIG. 3 to the throttle position shown in FIG. 2 is made, the cylinder chamber lying underneath the piston 18 is pressurized via the bore 16 so that this freely movable piston 18 is raised to the stop 25 and thereby raises the piston 17 with the piston rod 9 somewhat.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Ventilteller 10 als Hohlkegel ausge bildet. Es ist möglich und liegt im Rahmen der Erfindung, den Ventilteller 10 so auszubilden, daß er die Form einer flachen, ebenen Scheibe besitzt, wenn er unbelastet ist. In diesem Fall ist die Unterseite des Ventilklobens 8 als flacher Kegel oder etwas bombiert ausgebildet, so daß der erforderliche Zwi schenraum entsteht. Anstelle einer einzigen Drosselöffnung 13, wie gezeigt, können im Ventilteller 10 mehrere solcher Öffnungen vorgesehen sein. Es ist auch möglich, die Drosselöffnung 13 so auszubilden, daß in sie eine Düse ein setzbar ist, wobei eventuell mehrere solcher einsetzbarer Düsen mit unter schiedlichen Düsenöffnungen bevorratet werden, so daß je nach Verwendungszweck Drosselöffnungen unterschiedlicher Öffnungsweiten einsetzbar sind. Zweckmäßiger weise ist der Ventilteller 10 am Kloben 8 leicht lösbar befestigt, so daß auch mehrere Ventilteller 10 mit unterschiedlichen Drosselöffnungen bevorratet werden können. Zeigt das besprochene Ausführungsbeispiel als Betätigungseinrichtung für das Absperrventil eine pneumatisch beaufschlagbare Kolben-Zylinder-Einheit, so liegt es im Rahmen der Erfindung, einen Stellmotor oder einen Handantrieb mit einer Gewindespindel vorzusehen, wobei in diesem Falle die Gewindespindel die Kolbenstange 9 ersetzt und Gewindespindel und Ventilkloben über ein Dreh gelenk miteinander verbunden werden.In the exemplary embodiment shown, the valve plate 10 is formed out as a hollow cone. It is possible and within the scope of the invention to design the valve plate 10 in such a way that it has the shape of a flat, flat disk when it is unloaded. In this case, the underside of the valve block 8 is formed as a flat cone or somewhat convex, so that the required inter mediate space is created. Instead of a single throttle opening 13 , as shown, several such openings can be provided in the valve plate 10 . It is also possible to design the throttle opening 13 in such a way that a nozzle can be placed in it, with several such usable nozzles being stocked with different nozzle openings, so that throttle openings of different opening widths can be used depending on the intended use. Appropriately, the valve plate 10 is fastened to the block 8 in an easily detachable manner, so that a plurality of valve plates 10 with different throttle openings can also be stored. If the exemplary embodiment discussed shows an actuating device for the shut-off valve, a piston-cylinder unit which can be acted upon pneumatically, it is within the scope of the invention to provide an actuator or a manual drive with a threaded spindle, in which case the threaded spindle replaces the piston rod 9 and threaded spindle and valve block can be connected to each other via a swivel joint.

Legende zu den HinweisziffernLegend to the reference numbers

1 Ventilgehäuse
2 Anschlußflansch
3 Anschlußflansch
4 Kopfflansch
5 Kopfdichtung
6 Ventilspindeldichtung
7 Schließfeder
8 Ventilkloben
9 Kolbenstange
10 Ventilteller
11 Ventilsitz
12 Drosseldichtung
13 Drosselöffnung
14 Zylinder
15 Bohrung
16 Bohrung
17 Kolben
18 Kolben
19 Kolbendichtung
20 Kolbendichtung
21 Dichtung
22 Ent- bzw. Belüftungsöffnung
23 Wandung
24 Dichtung
25 Absatz
26 Anschlagschraube
27 Metallbalg 1 valve housing
2 connecting flange
3 connecting flange
4 head flange
5 head gasket
6 valve stem seal
7 closing spring
8 valve blocks
9 piston rod
10 valve plates
11 valve seat
12 Throttle seal
13 throttle opening
14 cylinders
15 hole
16 hole
17 pistons
18 pistons
19 piston seal
20 piston seal
21 seal
22 Ventilation opening
23 wall
24 seal
25 paragraph
26 stop screw
27 metal bellows

Claims

1. Absperrventil mit einem Ventilgehäuse (1) und einem Ventilsitz (11), gegen den mittels eines Betätigungsmechanismus ein Ventilteller (10) verstellbar und andrückbar ist und bei geschlossenem Ventil zwischen Ventilteller (10) und Ventilsitz (11) eine vorzugsweise ringförmige Dichtung (24) liegt, da durch gekennzeichnet, daß der von einem Ventilkloben (8) getragene Ventil teller (10) mit den betriebsmäßig über den Betätigungsmechanismus aufbring baren Stellkräften elastisch verformbar ist und innerhalb der von Ventilsitz (11) und Ventilteller (10) bei geschlossenem Ventil begrenzten Dichtzone im Ventilteller (10) und vorzugsweise benachbart dieser Dichtzone eine Öff nung (13) vorgesehen ist und zumindest der diese Öffnung (13) aufweisende Teil des Ventiltellers (10) durch Erhöhung des mit dem Betätigungsmechanis mus aufbringbaren Schließdruckes gegen den Ventilkloben (8) drückbar ist und bei gegen den Ventilkloben (8) gedrücktem Ventilteller (10) zwischen Ventilkloben (8) und Ventilteller (10) eine diese Öffnung (13) umschließen de Dichtung (12) liegt. 1. Shut-off valve with a valve housing ( 1 ) and a valve seat ( 11 ), against which a valve plate ( 10 ) can be adjusted and pressed against by means of an actuating mechanism, and a preferably annular seal ( 24 ) between valve plate ( 10 ) and valve seat ( 11 ) when the valve is closed ) is characterized by the fact that the valve plate ( 10 ) carried by a valve block ( 8 ) is elastically deformable with the actuating forces that can be applied operationally via the actuating mechanism and is limited within the valve seat ( 11 ) and valve plate ( 10 ) when the valve is closed sealing zone in the valve disk (10) and preferably adjacent to this sealing zone is a Publ voltage (13) is provided and at least the said opening (13) having part of the valve disc (10) by increasing the Betätigungsmechanis mus coatable closing pressure against the Ventilkloben (8) can be pressed and with the valve pressed against the valve block ( 8 ) eller ( 10 ) between valve block ( 8 ) and valve plate ( 10 ) enclose this opening ( 13 ) de seal ( 12 ).

2. Absperrventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilteller (10) als flacher Hohlkegel ausgebildet ist und randseitig eine Dichtung (24) trägt.2. Shut-off valve according to claim 1, characterized in that the valve plate ( 10 ) is designed as a flat hollow cone and carries a seal ( 24 ) at the edge.

3. Absperrventil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Ventilteller (10) benachbarte Wandung (23) des Ventilklobens (8) als ebene Fläche ausgebildet ist.3. Shut-off valve according to claim 1 or 2, characterized in that the valve plate ( 10 ) adjacent wall ( 23 ) of the valve block ( 8 ) is designed as a flat surface.

4. Absperrventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zwischen Ventilkloben (8) und Ventilteller (10) vorgesehene, die Öffnung (13) umge bende Dichtung (12) am Ventilteller (10) angeordnet ist.4. Shut-off valve according to claim 1, characterized in that between the valve block ( 8 ) and valve plate ( 10 ) provided, the opening ( 13 ) surrounding seal ( 12 ) is arranged on the valve plate ( 10 ).

5. Absperrventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die im Ventil teller (13) vorgesehene Öffnung (13) einen Düseneinsatz trägt und der Dü seneinsatz austauschbar im Ventilteller (10) angeordnet ist.5. Shut-off valve according to claim 1, characterized in that the opening in the valve plate ( 13 ) provided ( 13 ) carries a nozzle insert and the nozzle insert is interchangeably arranged in the valve plate ( 10 ).

6. Absperrventil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Betätigungsmechanismus eine vorzugsweise motorisch antreibbare Ge windespindel vorgesehen ist, die an ihrem freien Ende den Ventilkloben (8) trägt. 6. Shut-off valve according to one of claims 1 to 5, characterized in that a preferably motor-driven Ge threaded spindle is provided as the actuating mechanism, which carries the valve block ( 8 ) at its free end.

7. Absperrventil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Betätigungsmechanismus eine Kolben-Zylinder-Einheit vorgesehen ist und am freien Ende der Kolbenstange (9) der Ventilkloben (8) befestigt ist.7. Shut-off valve according to one of claims 1 to 5, characterized in that a piston-cylinder unit is provided as the actuating mechanism and is attached to the free end of the piston rod ( 9 ) of the valve block ( 8 ).

8. Absperrventil nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das vom Zylinder (14) aufgenommene innere Ende der Kolbenstange (9) einen daran befestigten, vorzugsweise scheibenförmigen Kolben (17) trägt und auf der Kolbenstange (9) ein weiterer, vorzugsweise scheibenförmiger Kolben (18) verschiebbar gelagert ist, wobei der Durchmesser des verschiebbaren Kolbens (18) größer ist als der Durchmesser des fest an der Kolbenstange (9) angeordneten Kol bens (17) und die Bohrung des Zylinders (14) abgestuft ist und in der Wan dung des Zylinders (14) mindestens zwei Bohrungen (15, 16) zur Zuleitung eines Druckmediums vorgesehen sind und bei geschlossenem Ventil (Fig. 3) die Mündung der einen Bohrung (15) zwischen den beiden Kolben (17, 18) und die Mündung der anderen Bohrung (16) unter dem beweglich auf der Kolben stange (9) gelagerten Kolben (18) liegt.8. Shut-off valve according to claim 7, characterized in that the inner end of the piston rod ( 9 ) received by the cylinder ( 14 ) carries an attached, preferably disc-shaped piston ( 17 ) and on the piston rod ( 9 ) a further, preferably disc-shaped piston ( 18 ) is mounted displaceably, the diameter of the displaceable piston ( 18 ) being greater than the diameter of the piston ( 17 ) arranged on the piston rod ( 9 ) and the bore of the cylinder ( 14 ) being stepped and in the wall of the Cylinder ( 14 ) at least two holes ( 15 , 16 ) are provided for supplying a pressure medium and with the valve closed ( Fig. 3) the mouth of one bore ( 15 ) between the two pistons ( 17 , 18 ) and the mouth of the other bore ( 16 ) under the movable on the piston rod ( 9 ) mounted piston ( 18 ).

9. Absperrventil nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß bei geschlosse nem Ventil (Fig. 3) die beiden Kolben (17, 18) aneinander anliegen und dabei der Kolben (18) mit dem größeren Durchmesser von dem durch die un terschiedlichen Durchmesser des Zylinders (14) gebildeten stufenförmigen Absatz (25) distanziert ist.9. Shut-off valve according to claim 8, characterized in that when closed valve ( Fig. 3), the two pistons ( 17 , 18 ) abut each other and the piston ( 18 ) with the larger diameter of which by the un different diameter of the cylinder ( 14 ) formed step-shaped heel ( 25 ) is distanced.

10. Absperrventil nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der maximale Hub (H) des auf der Kolbenstange (9) verschiebbar gelager ten Kolbens (18) gleich oder etwas größer ist als das Ausmaß der axialen Verformung des Dichttellers (10).10. Shut-off valve according to one of claims 1 to 8, characterized in that the maximum stroke (H) of the piston ( 9 ) slidably mounted th piston ( 18 ) is equal to or slightly larger than the extent of the axial deformation of the sealing plate ( 10 ).

11. Absperrventil nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der auf der Kolbenstange (9) verschiebbar gelagerte Kolben (18) zwi schen dem auf der Kolbenstange (9) befestigten Kolben (17) und dem Ventil gehäuse (1) liegt und die Zylinderbohrung mit dem vergrößerten Durchmesser dem Ventilgehäuse (1) zugewandt ist.11. Shut-off valve according to one of claims 7 to 10, characterized in that the on the piston rod (9) displaceably mounted piston (18) rule Zvi the housing on the piston rod (9) piston fixed (17) and the valve (1) is and the cylinder bore with the enlarged diameter faces the valve housing ( 1 ).

12. Absperrventil nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Ventilkloben (8) und Ventilgehäuse (1) mindestens eine von der Gewindespindel bzw. der Kolbenstange (9) durchsetzte Schließfeder (7) vorgesehen ist und vorzugsweise ein diese Konstruktionsteile dicht um schließender, axial verformbarer Metallbalg (27) angeordnet ist.12. Shut-off valve according to one of claims 1 to 11, characterized in that between the valve block ( 8 ) and valve housing ( 1 ) at least one of the threaded spindle or the piston rod ( 9 ) penetrated by the closing spring ( 7 ) is provided and preferably one of these structural parts tight is arranged around closing, axially deformable metal bellows ( 27 ).