JPH02185602A - 動翼先端すき間計測装置 - Google Patents

動翼先端すき間計測装置

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JPH02185602A
JPH02185602A JP1004420A JP442089A JPH02185602A JP H02185602 A JPH02185602 A JP H02185602A JP 1004420 A JP1004420 A JP 1004420A JP 442089 A JP442089 A JP 442089A JP H02185602 A JPH02185602 A JP H02185602A
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JP
Japan
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light
lens
tip
optical fiber
moving blade
Prior art date
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Pending
Application number
JP1004420A
Other languages
English (en)
Inventor
Haruomi Makita
槙田 晴臣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/14Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は航空用ソエットエンゾンの圧縮機およびタービ
ン等の動翼の回転中の先端すき間の針側に適用される測
定装置に関する。
本発明は発電用ガスタービン、車輌用ガスタービンその
他産業用ターぽ機械の動翼先端すき間計掬等にも利用で
自る。
〔従来の技術〕
従来の装置を1IE3図に示す。513図に示す従来の
光学(レーデ)式すき間針側装置ではレーデ発生器21
に於て発生し九レーデは投光用光ファイバークー1ル2
2を介して光学系筒JJK導かれ、プリズム24を通り
て動翼25の先端面で反射され再びプリズム24を通り
、受光用光ファイバーケーブル26を介して画像信号処
理装置27へ送られる。動翼先端位置の変化は受光ビー
ムの破線位置への移動として#J像信号処理装置に表わ
れる。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来の装置では(1)7’l)ズムが主流ガスに近接し
ている丸め、主fiガス中の燃焼生成物等が付着し易い
、(2)受光ケーブルはビーム位置を画像化する必要上
、数百万事の7アイパーの束になる丸め、破損しやすく
、又高価である、(3)画像信号処理装置はイメージイ
ンテンシ7アイヤを含み、これは真空管であるため振動
、衝撃Kli<、又高価である1等の問題があシ、短時
間の地上試験用としては使えるが、実機エンノンに装着
してフィードバック制御を行なう実用化の域には達して
いないのが現状である。更に又光学系が非軸対称である
ため簡の径が大きくスペース的にも問題がある。
本発明はこれらの問題を解決したすき間計測装置を提供
することを目的とする。
〔線層を解決するための手段〕
本発F!Al1c係る動翼先端すき間計測装置は投光回
路と、投光用光ファイバーケーブルと、光プローブと、
受光用光7アイパーケーブルと、受光回路からなる動翼
先熾すき間計測装置において、前記光プローブは投光用
光ファイバーケーツルから出射する光を平行ビームにす
るレンズと、投光と受光の光を分離するハーフミラ−と
、可変焦点用可動レンズと、対物レンズと、受光用光フ
ァイバーケーブルの入口に集光させる丸めのレンズを具
備することを特徴とする。
〔作用〕
従来の光学(レーデ)式すき間針側装置が三角糊量法の
゛°慮11K基ずくのく対し1本発明のすき間計渕装置
は動員先端面上に可変焦点レンズの焦点が結ばれ走時に
受光素子の出力が極大となることを利用し九町変焦点式
である丸め、主流ガスに近接する!リズムが不要にな〕
、又受光素子が1個のため受光用光7アイパーケーブル
は1本の7アイパーでよく、1i1i偉信号処理装置(
イメージインテンシ7アイヤ)が不l!になる。更に又
主光学系が軸対称配置のレンズ群で構成されるため、光
学系簡の径を小さくすることができる。
〔実施例〕
本発明の実施例を第1図〜第2図に示す。
#I1図は本発明のす自問計測装置の構成を示す。
第1図において6は高温になるケーシングJK磯付ける
光グローブ本体であシ、動翼2とケーシング1のすき間
を計測する。3は投光回路4に受光回路15を格納し電
子g品を常温に近い環境に保つエレクトロニクス部であ
る。6の光グロー1本体と3のエレクトロニクス部は、
投光用の単芯光ファイバーケーブル5と、受光用の単芯
光7アイパーケーブルJ4によ)結ばれる。6の光プロ
ーツ本体は5の投光用ファイバーケーブルから出射され
る光を平行ビームにするレンズ1と、投光と受光の光を
分離するハーフ19−IIと、可変焦点用可動レンズ9
とこれを保持するスプリング10および回転する動翼先
端面に投光ビームス4ツトを作るための対物レンズ11
からなる投光系と、動翼先4I/c当って反射する光を
集光するのKも用いる11の対物レンズ、9の可動レン
ズ、8のハーフミラ−および光を14の受光用光ファイ
バーケーブルの入口に集光させる丸めの12のレンズか
らなる受光系に分けられる。
次に本発明によるすき間計測装置の作動について述べる
。5の光ファイバーケーブルには3よシ光が送られ80
光f o −f内の一燗で光が出射する。5の光ファイ
バーの直径は十分小さく出射端では点光源とみなすこと
ができる。出射し九九は1のレンズによシ平行ビームと
なシ、8のバー7オラーを過つ’(後可動レンズ9、対
物レンズ11によシ動翼2の先端面近傍に光ビームスポ
ットを緒儂させる。ここで可動レンズ9は10のスプリ
ングによシ保持されておpHの加圧空気を周期的に変動
させることによ〕1周期的に位置が変動し、従って9,
11のノン、f1#による焦点距離を周期的に変動させ
ることができる。翼端に結像し走光は反射し、11,9
のレンズを通りた後8のハーフζツーで分けられ投光光
軸と90’@げられ九方向へ進み、JJのノンtKよシ
14の受光用光ファイバーケーツル入口付近に集光され
る。14の光ファイバーの直径は十分小さいため、動翼
2の先端面上に光ビームスポットが丁度焦点を結んだ時
に光量が急激なピーク値に達する。従って受光回路の出
力もまたピーク値となシ、仁の時のレンズ群9.11の
焦点距離は可動レンズ9の位置すなわち加圧空気13の
圧力の関数であるから。
この圧力を別に計測することによシ容易にすき間を知る
ことができる。今レンズ9.11のm!距離を各々fl
、f、レンズ間の距離をXとするとレンズ群としての焦
点距離fは公式によ) 1−±十ニー上、従って4÷−でeバカ;]7丁−1f
l   f冨  f、fl 方スプリング10のバネ定数をk、加圧空気13菖2図
は本願実施例の作動原理を図解したもので、第2図−)
は加圧空気の圧力pを適当に周期的に変動させている状
況を示す。(tは時刻)第2−6)は受光量の出力qの
予想変化であシビームスIットが丁度動翼先端面上に焦
点を結ぶ毎にピーク値を示している。例えば時刻tIに
おいてqが極大となシこの時の加圧空気圧力をp#とす
ると、第2図(c)のp;kxの関係から、この時のレ
ンズ間距jli(すなわちすきま) ! W ! iが
求まる。第2図(e)にはこのようにして時間的に変化
するすきま(x)が離散的に求まる状況を示す。なお本
実施例に示した可動し/−e、スプリングおよび加圧空
気の組合せKよる可変焦点距離機構と、圧力針側による
焦点距離測距方式は、−例と示し九ものであシ、本出願
請求範囲を制約するものではない。
〔発明の効果〕
本発明は前述のようKm成されているので次に記載する
ような効果を奏する。
111  光学(レーデ)式ターが機械動翼先端すき間
計において、対物レンズを主流ガスから遠ざけるととく
よル異物付着をなくすことができる。
(21受光系を可変焦点くよる輝度判定回路としたこと
Kよシ光7アイパーを一芯化し、又イメージインテンシ
7アイヤを不用にしてシステム全体の信頼性、耐久性、
低廉性を大幅に高め、更には小型化を可能にすることが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示す図、第2図は本発明の実
施例の作動原理を示す図、第3図は従来装置を示す図で
ある。 1・・・ケーシング、;1,26・・・動翼、3・・・
エレクトロニクス部、4・・・投光回路、5,22・・
・投光用光ファイバーケーブル、6・・・光!ロープ、
1.12・・・レンズ、8・・・ハーフミラ−9・・・
可動レンズ、10・・・スゲリング、11・・・対物レ
ンズ、13・・・加圧空気、14.16・・・受光用光
ファイバーケーブル、15・・・受光回路、24・・・
グリズム、27・・・画像信号処理装置。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  投光回路と、投光用光ファイバーケーブルと、光プロ
    ーブと、受光用光ファイバーケーブルと、受光回路から
    なる動翼先端すき間計測装置において、前記光プローブ
    は投光用光ファイバーケーブルから出射する光を平行ビ
    ームにするレンズと、投光と受光の光を分離するハーフ
    ミラーと、可変焦点用可動レンズと、対物レンズと、受
    光用光ファイバーケーブルの入口に集光させるためのレ
    ンズを具備することを特徴とする動翼先端すき間計測装
    置。
JP1004420A 1989-01-11 1989-01-11 動翼先端すき間計測装置 Pending JPH02185602A (ja)

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US07/446,867 US5017796A (en) 1989-01-11 1989-12-06 Moving blade tip clearance measurement apparatus and method with moveable lens

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008535000A (ja) * 2005-03-23 2008-08-28 マイクロスキャン・システムズ・インコーポレーテッド 光源とイメージ・センサを使用する焦点合せシステム
CN109141264A (zh) * 2018-10-19 2019-01-04 西安交通大学 一种解调三维叶尖间隙的方法及其装置
CN112414314A (zh) * 2020-11-25 2021-02-26 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种三光束激光干涉法发动机叶尖间隙测量方法及装置
CN112432602A (zh) * 2020-11-25 2021-03-02 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种双光束激光干涉法发动机叶尖间隙测量方法及装置
CN114136223A (zh) * 2021-11-04 2022-03-04 西安交通大学 一种用于自动测量大电机气隙的光纤检测装置

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6215118B1 (en) * 1995-11-02 2001-04-10 Agilent Technologies, Inc. Autoalignment and autofocus mechanism for coupling light between an optical fiber and a physical specimen
US6575011B1 (en) 2001-04-19 2003-06-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Blade tip clearance probe and method for measuring blade tip clearance
DE10242373B4 (de) * 2002-09-12 2009-07-16 Siemens Ag Konfokaler Abstandssensor
JP4509578B2 (ja) 2004-01-09 2010-07-21 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工方法及びレーザ加工装置
JP4601965B2 (ja) * 2004-01-09 2010-12-22 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工方法及びレーザ加工装置
JP4598407B2 (ja) * 2004-01-09 2010-12-15 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工方法及びレーザ加工装置
GB2427683B (en) * 2005-06-25 2007-06-20 Rolls Royce Plc A gap monitor arrangement
GB0514108D0 (en) * 2005-07-08 2005-08-17 Rolls Royce Plc A monitoring arrangement
US8164761B2 (en) 2008-10-24 2012-04-24 Prime Photonics, Lc Differential focus blade clearance probe and methods for using same
US8593296B2 (en) 2010-10-19 2013-11-26 General Electric Company System and method for turbine bucket tip shroud deflection measurement
US8553237B2 (en) 2011-01-14 2013-10-08 Prime Photonics, Lc Optical blade clearance probe
CN102967270B (zh) * 2012-11-14 2015-11-18 西南科技大学 测量发动机叶尖间隙的方法及其***
GB201401437D0 (en) 2014-01-28 2014-03-12 Third Dimension Software Ltd Positioning device for an optical triangulation sensor
US9593941B2 (en) * 2014-09-24 2017-03-14 Hood Technology Corporation Clearance detection system and method using frequency identification
CN104515474A (zh) * 2014-12-12 2015-04-15 天津大学 一种实时监测的叶尖间隙测量方法
CN104501728A (zh) * 2014-12-12 2015-04-08 天津大学 一种基于全光纤叶尖定时的叶尖间隙测量方法
GB2541689B (en) 2015-08-26 2020-04-15 Rolls Royce Plc Apparatus and methods for determining location of at least a part of an object
CN109269625B (zh) * 2018-10-24 2020-06-02 西安交通大学 一种基于动态阈值的双光纤束叶端定时测量方法
US20220090582A1 (en) * 2020-09-24 2022-03-24 Parker-Hannifin Corporation Optical systems and methods for measuring turbine blade tip clearance

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5533629A (en) * 1978-09-01 1980-03-08 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Gap measurement and device therefor
JPS6324114A (ja) * 1986-07-16 1988-02-01 Alps Electric Co Ltd 磁気ヘツドの浮上量測定方法及びその装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3704657A (en) * 1971-05-05 1972-12-05 Computervision Corp Adaptive optical focusing system
JPS52119927A (en) * 1976-04-02 1977-10-07 Hitachi Ltd Device for automatic focus control
DE2908757C2 (de) * 1979-03-06 1986-10-16 Baumgartner, Viktor, 8028 Taufkirchen Abstandsänderungs-Meßanordnung
US4326804A (en) * 1980-02-11 1982-04-27 General Electric Company Apparatus and method for optical clearance determination
US4349244A (en) * 1980-04-23 1982-09-14 Jenoptik Jena Gmbh High quality objective using air bearing
US4674882A (en) * 1985-03-08 1987-06-23 Mechanical Technology Incorporated Precision optical displacement measuring instrument using servo controlled fiber optic sensor
US4743771A (en) * 1985-06-17 1988-05-10 View Engineering, Inc. Z-axis height measurement system
US4679905A (en) * 1985-08-02 1987-07-14 Bell & Howell Company Linear adjustment apparatus
WO1987001466A1 (en) * 1985-09-10 1987-03-12 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Optical head device
US4800286A (en) * 1987-08-10 1989-01-24 Macmillan Bloedel Limited Measurement of variation in flute profile height
US4845556A (en) * 1987-10-30 1989-07-04 General Electric Company Video spot detector

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5533629A (en) * 1978-09-01 1980-03-08 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Gap measurement and device therefor
JPS6324114A (ja) * 1986-07-16 1988-02-01 Alps Electric Co Ltd 磁気ヘツドの浮上量測定方法及びその装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008535000A (ja) * 2005-03-23 2008-08-28 マイクロスキャン・システムズ・インコーポレーテッド 光源とイメージ・センサを使用する焦点合せシステム
CN109141264A (zh) * 2018-10-19 2019-01-04 西安交通大学 一种解调三维叶尖间隙的方法及其装置
CN109141264B (zh) * 2018-10-19 2019-11-08 西安交通大学 一种解调三维叶尖间隙的方法及其装置
CN112414314A (zh) * 2020-11-25 2021-02-26 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种三光束激光干涉法发动机叶尖间隙测量方法及装置
CN112432602A (zh) * 2020-11-25 2021-03-02 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种双光束激光干涉法发动机叶尖间隙测量方法及装置
CN112432602B (zh) * 2020-11-25 2021-12-28 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种双光束激光干涉法发动机叶尖间隙测量方法及装置
CN114136223A (zh) * 2021-11-04 2022-03-04 西安交通大学 一种用于自动测量大电机气隙的光纤检测装置

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Publication number Publication date
US5017796A (en) 1991-05-21

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