JP2006322820A - アクチュエータの変位の測定方法および測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 アクチュエータの動作時において変位の測定を高い精度で容易に行うことができ、測定系がシンプルな構成となるアクチュエータの変位の測定方法を提供すること
【解決手段】 アクチュエータの可動体1に、ナイフエッジ2を可動軸に対して所定角度(例えば90度)で交叉する姿勢に取り付けるとともに、ナイフエッジ2は共焦点光学系の光ビーム中に位置して当該光ビーム径を部分的に遮る取り合い関係にセットし、アクチュエータの動作時に、ナイフエッジ2による部分的な遮りを通過した分の光パワーを測定するとともに理論値データとの比較を行い、ナイフエッジ2の面が含む軸方向(x軸)における変位量を定量化する。ナイフエッジ2の遮り位置に対して通過する光パワーが一意となるので、通過分の光パワーから逆にナイフエッジ2の端縁位置(遮り位置)を知ることができ、その結果、z軸について微量移動する可動体1のx軸方向における変位量が定量的に測定できる。
【選択図】 図1
【解決手段】 アクチュエータの可動体1に、ナイフエッジ2を可動軸に対して所定角度(例えば90度)で交叉する姿勢に取り付けるとともに、ナイフエッジ2は共焦点光学系の光ビーム中に位置して当該光ビーム径を部分的に遮る取り合い関係にセットし、アクチュエータの動作時に、ナイフエッジ2による部分的な遮りを通過した分の光パワーを測定するとともに理論値データとの比較を行い、ナイフエッジ2の面が含む軸方向(x軸)における変位量を定量化する。ナイフエッジ2の遮り位置に対して通過する光パワーが一意となるので、通過分の光パワーから逆にナイフエッジ2の端縁位置(遮り位置)を知ることができ、その結果、z軸について微量移動する可動体1のx軸方向における変位量が定量的に測定できる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、アクチュエータの変位の測定方法に関するもので、より具体的には、所定軸について微量移動する可動体の他軸方向における変位を定量化する測定方法の改良に関する。
対象物について、その変位を測定する方法としては、変位計を用いて三角測量の要領で測定を行う三角測距方式や、工場顕微鏡を用いて寸法測定を行う方法などが知られている。微量な変位の検出(測定)には、例えば特許文献1,2などに見られるように、光学系を利用した測定系を用い、変位測定を高精度に行うような技術の提案がある。
また、アクチュエータなどにおいてその可動体(対象物)が動的に微量移動するようなときは、当該変位を測定するには、例えばレーザドップラ法による光波測距方式などを用いている。
特開平6−34319号公報
特許第3304571号公報
しかしながら、そうした従来の変位の測定方法では以下に示すような問題がある。まず、三角測距方式や工場顕微鏡による測定は、対象物を停止させた静的な状態で行うことになり、アクチュエータの動作時における測定、つまり現在起動中で微量移動している可動体の変位測定には適さない。
また、光波測距方式による測定は、反射面が必要であるため構成が煩雑で小型化に適さないばかりか、速度を変位に変換するために誤差を生じる。特に、微小距離の変位を計測する場合には、その誤差の影響が大きくなり好ましくない。さらに、装置価格がとても高価であるという問題も有する。
この発明は上記した課題を解決するもので、その目的は、アクチュエータの動作時において変位の測定を高い精度で容易に行うことができ、測定系がシンプルな構成となるアクチュエータの変位の測定方法および測定装置を提供することにある。
上記した目的を達成するために、本発明に係るアクチュエータの変位の測定方法は、所定軸について微量移動する可動体を有したアクチュエータの変位を測定する方法であって、前記可動体にナイフエッジ等の遮光部材を可動軸に対して所定角度で交叉する姿勢に取り付けるとともに、その遮光部材は共焦点光学系の光ビーム中或いは平行な光ビーム中に位置させて当該光ビーム径を部分的に遮る取り合い関係にセットし、前記アクチュエータの動作時に、前記遮光部材による部分的な遮りを通過した分の光パワーを測定するとともに理論値データとの比較を行い、前記遮光部材の面を含む軸方向における変位量を定量化する手順を採るようにした。尚、所定角度は、実施の形態では、90度とし、可動体と直交するように配置したが、本発明はこれに限るとはなく、任意の傾斜するようにしてよい。
そして、前記アクチュエータに取り付けた前記遮光部材は、前記光ビームの光軸に沿って移動し、前記変位量は前記遮光部材の移動方向と直交方向の変位量とすることができる。
本発明では、ナイフエッジ等遮光部材が光学系の光ビーム中に位置して当該光ビーム径を部分的に遮るので、その遮り位置に対して通過する光パワーが一意となり特有の光パワー特性を示す。そして、この光パワー特性は解析により算出でき、理論値データと呼べる。このため、遮り状態での光パワーを測定して理論値データと照合することでは、通過分の光パワーから逆にナイフエッジ(遮光部材)の端縁位置(遮り位置)を知ることがで、遮り位置の差分からアクチュエータの変位量を得ることができる。すなわち、アクチュエータの動的な変位量が定量的に測定できる。
また、上述した測定方法を実施するのに適した本発明の測定装置は、例えば、共焦点レンズ系、或いは平行の光束を形成するレンズ系と、そのレンズ系で生成される光ビームの一部を遮る遮光部材と、遮光部材により遮られた前記光ビームの光強度を検出する検出手段とを備え、前記遮光部材は、測定対象のアクチュエータの所定位置に取り付けられ、そのアクチュエータの動作に伴い前記光ビームの光軸に沿って移動するように設定し、前記検出手段は、前記遮光手段の移動に伴う前記光強度の変化から前記光軸と直交する方向の前記遮光部材の変位量を定量化するように構成した。
以上のように、本発明に係るアクチュエータの変位の測定方法および測定装置では、ナイフエッジ等の遮光部材の遮り位置に対して通過する光パワーが一意となる関係からアクチュエータの変位量が定量的に測定できる。このための測定系はナイフエッジ(遮光部材)が所定の光学系に対して遮り位置をとるため構成がシンプルであり、コスト面に優れるメリットがある。そして、測定は非接触となり、アクチュエータの動作時において変位の測定を高い精度で容易に行うことができる。
図1は、本発明の好適な一実施の形態を示している。本実施の形態において、アクチュエータの変位の測定方法は、可動体1を有したアクチュエータの変位を測定する方法であり、可動体1はz軸(図中の左右方向)について微量移動し、測定系は可動体1のx軸方向(z軸と直交する方向)における変位を定量化する構成になっている。なお、アクチュエータの本体は図示を省略してある。
つまり本発明にあっては、可動体1にナイフエッジ2を可動軸に対して所定角度(例えば90度)で交叉する姿勢に取り付けるとともに、ナイフエッジ2は共焦点光学系の光ビーム中に位置して当該光ビーム径を部分的に遮る取り合い関係にセットし、アクチュエータの動作時に、ナイフエッジ2による部分的な遮りを通過した分の光パワーを測定するとともに理論値データとの比較を行い、ナイフエッジ2の面が含む軸方向(x軸)における変位量を定量化する手順を採る。
測定系は、光源3を他端に接続した光ファイバ4と、フォトダイオード5を他端に接続した光ファイバ6とを対向させるとともに、光ファイバ4,6の向き合わせ端にはそれぞれレンズ7,8を配置して光ビームをコリメートする構成として光コリメータ系(光コリメータ)を構築してある。向き合わせの光コリメータは所定に光結合をとることで共焦点光学系をなし、フォトダイオード5はオシロスコープ9と接続し、時間的に継続して測定する構成になっている。
共焦点光学系は、光ビーム軸を可動体1の可動軸つまりz軸に合わせてあり、ナイフエッジ2はxy平面に存在して光ビーム径を部分的に遮る設定になっている。具体的には図2に示すように、光源3の光波長が1.55μmにおいて、光ファイバ4,6はMFD(Mode Field Diameter)9.5μm、コリメート用のレンズ7,8は焦点距離1.3mmとし、各レンズ7,8は光ファイバ端からそれぞれ1.543mmにレンズ主面が位置する条件では、光コリメータはウエスト位置8.02mmにおいてウエスト半径25μmとなり、両者を向き合わせて光結合をとるので共焦点光学系が構築できる。
この共焦点光学系において、ナイフエッジ2により光ビーム径の一部を遮り、通過した分の光パワーを計測することでは、ナイフエッジ2の位置に対する通過分の光パワー特性を得ることができ、遮りなしを1とした光パワー比は図3に示すような特性となる。つまり、ナイフエッジ2の端縁が光ビーム径の中心にあるときは光パワー比が0.5となり、中心からのズレ量に応じて漸減あるいは漸増する傾斜した特性となる。これは数値解析により求めることができ、理論値データと呼ぶことにする。
すなわち、ナイフエッジ2が共焦点光学系の光ビーム中に位置して当該光ビーム径を部分的に遮るので、その遮り位置に対して通過する光パワーが一意となり、特有の光パワー特性を示し、この光パワー特性は解析により算出でき、理論値データと呼べる。したがって、遮り状態での光パワーを測定して理論値データと照合することでは、通過分の光パワーから逆にナイフエッジ2の端縁位置(遮り位置)を知ることができ、遮り位置の差分からアクチュエータの変位量を得ることができる。
測定手順としては、まず、ナイフエッジ2による遮りがない状態の光パワーを測定して光パワー比を演算するための基準値を得る。次に、ウエスト位置でナイフエッジ2が光ビーム径の一部を遮るセット状態においてアクチュエータを動作させて可動体1を動かし、通過分の光パワーを測定する。これはアクチュエータの動作時において動的に行い、オシロスコープ9により波形観測し、時間的に継続して測定を行う。このとき、通過分の光パワー測定値は基準値との演算により光パワー比に変換し、図3に示す理論値データと照合することで遮り位置の変位量を得ることができる。その結果、z軸について微量移動する可動体1のx軸方向における変位を定量化することができる。
このように本発明にあっては、アクチュエータの変位量が定量的に測定でき、このための測定系はナイフエッジ2が所定の光学系に対して遮り位置をとるものなので構成がシンプルであり、コスト面に優れるメリットがある。そして、測定は非接触となり、アクチュエータの動作時において変位の測定を高い精度で容易に行うことができる。
なお、動的変位の測定では、光パワーの測定を高速化することで高い周波数特性が得られる。例えば、光通信用の波形モニタは数百MHzの周波数特性を有する。さらに、光ビームのウエスト径を変えることで変位の測定範囲や分解能の調整ができる。
また、本発明にかかる変位測定は、アクチュエータの動作時において測定を行うような動的変位の測定には限らない。つまり、アクチュエータの可動体1そのものについて、微量移動する変位量が規定値にあるか否かを検査するような用途にも適用できる。その場合は、ナイフエッジ2と共焦点光学系は可動体1が微量移動するz軸について変位を検出し得る取り合い関係にセットし、受光側光ファイバ6の他端にフォトダイオード5に替えて光パワーメータを接続する構成を採る。
測定手順としては、まず、ナイフエッジ2による遮りがない状態の光パワーを測定して光パワー比を演算するための基準値を得る。次に、ウエスト位置でナイフエッジ2により光ビーム径の一部を遮り、通過分の光パワーを測定して基準値との演算により光パワー比に変換する。この後、アクチュエータを動作させて可動体1を変位し、そして通過分の光パワーを測定して基準値との演算により光パワー比に変換する。したがって、これら光パワー比は図3に示す理論値データと照合することができ、遮り位置の差分が可動体1の変位量に対応し、アクチュエータについて変位の測定が行える。このように、本発明にかかる変位測定は可動体1が静的に変位するような測定にも適用することができる。
なお、上述した実施の形態では、レンズ系は共焦点レンズ系とし、そこで生成される光ビームは、光軸方向の中央部分で絞られるようにしたが、コリメータレンズ等を用いて平行光束(光ビーム)を生成するようにしてもよい。また、光強度を検出するに際し、上述した例では、レンズ8とファイバ6により光をフォトダイオード5に導いているが、大口径のフォトダイオードなどにより光りビームを空間に直接測定するようにしてもよい。
本発明の効果を実証するため次のように動的変位の測定を行った。つまり、測定系は前述した図1に示す構成とし、共焦点光学系は前述した図2に示す条件設定を採っており、アクチュエータの可動体をz軸に微量に移動させてx軸の動的変位を測定した。
可動体の移動量はz軸について1mmとした。その結果、図4に示すような測定結果を得た。同図から明らかなように、当該測定例では、可動体はz軸での連続した1mmの微量移動に伴いx軸に−2μm〜+6μmの変位があり、すなわち、アクチュエータの動作において、わずかながら横ブレがあることを測定できた。このように、本発明にあっては、変位量がきわめて微量であっても測定し得ることを確認した。
1 可動体
2 ナイフエッジ(遮光部材)
3 光源
4,6 光ファイバ
5 フォトダイオード
7,8 レンズ
9 オシロスコープ
2 ナイフエッジ(遮光部材)
3 光源
4,6 光ファイバ
5 フォトダイオード
7,8 レンズ
9 オシロスコープ
Claims (3)
- 所定軸について微量移動する可動体を有したアクチュエータの変位を測定する方法であって、
前記可動体にナイフエッジ等の遮光部材を可動軸に対して所定角度で交叉する姿勢に取り付けるとともに、その遮光部材は共焦点光学系の光ビーム中或いは平行な光ビーム中に位置させて当該光ビーム径を部分的に遮る取り合い関係にセットし、
前記アクチュエータの動作時に、前記遮光部材による部分的な遮りを通過した分の光パワーを測定するとともに理論値データとの比較を行い、前記遮光部材の面を含む軸方向における変位量を定量化することを特徴とするアクチュエータの変位の測定方法。 - 前記アクチュエータに取り付けた前記遮光部材は、前記光ビームの光軸に沿って移動し、前記変位量は前記遮光部材の移動方向と直交方向の変位量であることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの変位の測定方法。
- 共焦点レンズ系、或いは平行の光束を形成するレンズ系と、
そのレンズ系で生成される光ビームの一部を遮る遮光部材と、
遮光部材により遮られた前記光ビームの光強度を検出する検出手段とを備え、
前記遮光部材は、測定対象のアクチュエータの所定位置に取り付けられ、そのアクチュエータの動作に伴い前記光ビームの光軸に沿って移動するように設定し、
前記検出手段は、前記遮光手段の移動に伴う前記光強度の変化から前記光軸と直交する方向の前記遮光部材の変位量を定量化するように構成したことを特徴とするアクチュエータの変位の測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005146608A JP2006322820A (ja) | 2005-05-19 | 2005-05-19 | アクチュエータの変位の測定方法および測定装置 |
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JP2005146608A JP2006322820A (ja) | 2005-05-19 | 2005-05-19 | アクチュエータの変位の測定方法および測定装置 |
Publications (1)
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ID=37542613
Family Applications (1)
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JP2005146608A Withdrawn JP2006322820A (ja) | 2005-05-19 | 2005-05-19 | アクチュエータの変位の測定方法および測定装置 |
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JP (1) | JP2006322820A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106041944A (zh) * | 2016-08-06 | 2016-10-26 | 四川乐成电气科技有限公司 | 一种工业机器人一维运动轨迹测试装置 |
CN111248712A (zh) * | 2020-01-16 | 2020-06-09 | 哈尔滨尚饮科技有限公司 | 一种水果脱皮装置 |
CN113607062A (zh) * | 2021-08-02 | 2021-11-05 | 山东大学 | 微致动器位移及倾角测量装置及方法 |
US11491589B2 (en) | 2017-04-19 | 2022-11-08 | Volvo Truck Corporation | Laser brazing system with a jig for contacting the brazing wire and for blocking a first part of a laser beam in association with a detector, method of monitoring a laser brazing system |
-
2005
- 2005-05-19 JP JP2005146608A patent/JP2006322820A/ja not_active Withdrawn
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