JPH02181705A - カラーフイルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、例えばフルカラーもしくはマルチカラーの液
晶表示デイスプレィ、又は液晶カラーテレビにおける液
晶表示素子を製作する際に適用されるカラーフィルタの
製造方法に関し、特にカラーフィルタパターンを印刷法
により形成する技術の改良に関する。

（従来の技術） 従来、カラーフィルタを製造する場合、例えば透明基板
上にゼラチン、カゼイン、グリユーポリビニルアルコー
ル等の天然又は合成高分子物質からなる媒染層を設け、
適当な染料を溶解した渋色浴中に浸漬処理することによ
り着色する処理を行う染色法を採用していた。

この染色法によると、使用可能な染料が非常に多く、カ
ラーフィルタとして頁末される分光特性にどのようにも
対応することができる。

その反面、基板を渋色浴中に浸漬するという湿式１程が
含まれるため、染色態様を副部することが困難である。

しかも、所定のパターン通りに各色を染め分ける場合に
は、各色の染色工程毎に、ホトレジストで耐染マスクを
形成し、染色後にマスクを剥離する工程が必要となるた
め、歩留が低く、安価にカラーフィルタを製造すること
ができない。

一方、スクリーン印刷法やオフセット印刷法による従来
のカラーフィルタの製造方法では、低コストでカラーフ
ィルタを製造することができる。

しかし、印刷工程でインクが版から離れるとぎに液体力
学的な力が発生するため、これに起因してインクの定＠
後にはミクロ的に見ると山形の凸部が現われるという不
具合が生じる。

そこで、カラーフィルタを印刷形成した後、研磨してカ
ラーフィルタパターン平面を平坦化するカラーフィルタ
の製造方法が提案されたく特開昭６１−３１２３号公報
）。しかし、カラーフィルタ表面を直接研磨する場合、
カラーフィルタ表面の凹凸は数μ鴎であるため、均一に
研磨することが困難である。しかも、カラーフィルタパ
ターンが欠落したり、カラーフィルタパターンに傷がつ
いたりすることがあり、更に研磨の際に発生するゴミが
付着することもあり、これらいずれの場合でも表示品位
が著しく低下してしまう。

係る問題を解消する方法として、インクを印刷塗布した
後に、インク表面をローうで加圧し平坦化する方法が提
案されている（特開昭６３−１８７２１７Ｍ公報）。し
かし、単にローラでインク表面を加圧する場合、各カラ
ーフィルタ基板間での膜厚のバラツキが大となりがちで
、分光特性へ与える影響が大きい。この分光特性の変動
は、カラーフィルタの品質のバラツキとなり、歩留りの
低下を招来することになる。

（発明が解決しようとする課題） 従って、上記した従来のカラーフィルタの製造方法のい
ずれの場合にあっても、カラーフィルタを＾品質で且つ
低コストで製造することができなかった。

本発明は、係る事情に鑑みてなされもので、その目的と
するところは、平滑性に優れ且つカラーフィルタ基板間
でカラーフィルタ膜厚のバラツキのないカラーフィルタ
を低コストで製造し得るカラーフィルタの製造方法を提
供することにある。

［発明の構成］ 〈課題を解決するための手段） 本発明は、上記の目的を達成するため、透明基板上にカ
ラーフィルタパターンを印刷後、印刷されたカラーフィ
ルタパターンをセミキュアする工程と、カラーフィルタ
パターンの画素部周辺に所定厚さのスペーサを印刷する
工程と、カラーフィルタパターン及びスペーサを加圧処
理してカラーフィルタパターンをスペーサの厚さで均一
に平坦化する工程と、スペーサを除去する工程と、カラ
ーフィルタパターンを硬化する工程とを有することを特
徴とするカラーフィルタパターンの製造方法である。

本発明の一例では、透明基板上に一色分のカラーフィル
タパターンを印刷後、印刷されたカラーフィルタパター
ンをセミキュアする工程と、カラーフィルタパターンの
画素部周辺に所定厚さのスペーサを印刷する工程と、カ
ラーフィルタパターン及びスペーサを加圧処理してカラ
ーフィルタパターンをスペーサの厚さで均一に平坦化す
る工程と、スペーサを除去する工程と、カラーフィルタ
パターンを硬化する工程とを、カラーフィルタパターン
の色数に応じて順次繰り返すことによりカラーフィルタ
を製造するものである。

本発明の他の一例では、透明基板上に全色分のカラーフ
ィルタパターンを印刷及びセミキュア工程をカラーフィ
ルタの色数に応じて順次繰り返して形成後、カラーフィ
ルタパターンの画素部周辺に所定厚さのスペーサを印刷
する工程と、カラーフィルタパターン及びスベーりを加
圧処理してカラーフィルタパターンをスペーサの厚さで
均一に平坦化する工程と、スペーサを除去する工程と、
カラーフィルタパターンを硬化する工程とを行うことに
よりカラーフィルタを製造するものである。

こうした本発明による製造方法において、透明基板とし
ては、カラーフィルタの使用目的に応じて種々のものを
使用することができ、特に限定されるものではない。具
体的には、・透明基板として、例えばガラス、光学用樹
脂板、ポリメチルメタクリレート、ポリエステル、ポリ
アミド等の樹脂フィルタなどを挙げることができる。ま
た、用途の面からみれば、透明基板として、液晶デイス
プレィ面、ブラウン管表示面、撮像管の受光面などが挙
げられる。

カラーフィルタパターンの印刷法としては、スクリーン
印刷法やオフセット印刷法などを採用することができる
が、特にこれらに限定されるものではない。印刷パター
ンも特に限定されるものではなく、例えばドツトパター
ン、千鳥パターン、ストライプパターン、多角形パター
ンなどのいずれでもよい。また、描画のコントラストを
向上させるために、パターン相互間に光ａｉｉ＆パター
ンを形成してもよい。

カラーフィルタパターン及びスペーサを加圧する方法と
しては、ローラや精密プレス機を用いる方法や、カラー
フィルタパターン及びスペーサの形成面を加熱しながら
そのローラや精密プレス機を用いて加圧する方法などが
あるが、特に限定されるものではない。更に、カラーフ
ィルタパターン及びスペーサを加圧するものがプレスで
ある場合、プレスの型材には、金属板、ガラス板、各種
樹脂板などがあるが、特にその型材が限定されるもので
ない。カラーフィルタパターン及びスペーサを加圧する
ものがローラである場合、ローうには、金属メツキなど
による鏡面仕上げローラや、天然ゴム、スチレン−ブタ
ジェン共重合体、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、ブ
ナルゴム、エチレンプロピレンゴム、ウレタンゴム、シ
リコンゴムなどの材質を択一的に選択してなるゴムロー
ラを用いることができるが、特に限定されるものではな
い。

しかし、プレスの型材及びローラは、インキ受容性が強
いと、加圧処理する際カラーフィルタパターンが付着し
、パターン欠落や汚れが発生するため、インキ剥離の良
いシリコーン化合物、もしくはフッ素化合物、あるいは
双方の８合体などを材質としたものが好適である。具体
的には、例えば剥離性の良いローラを形成するため、天
然ゴム。

ニトリルゴム、ブチルゴム、エチレンプＯビ１ノンゴム
、ウレタンゴム等を被覆したゴムロールとしたり、ある
いはブランケットの表面に、シリコンオイル、シリコン
オイル、シリコーンゴムンで代表される剥離材をＷ！！
１５したものとしたりすると良い。更にシリコーンゴム
のｍＩｌ！ｓでブラケットの表面を形成したり、シリコ
ーンゴムを材質としてローラ全体を形成したりしても良
い。

また、ローラの剥離性向上させる観点では、フッ素系樹
脂、フッ素系ゴムも利用し得るし、更にフッ素樹脂微粉
末をシリコーンゴムあるいは上記した各種ゴムに混和し
てなるものも利用し待る。

更に詳述すると、シリコーンとしては、ジメチルポリシ
ロキサンの各種分子量のもの、その他メチルハイドロジ
エンポリシロキサン、メチルフェニルシリコーンオイル
、メチル塩素化フェニルシリコーンオイル、あるいはこ
れらポリシロキサンと有機化合物との共重合体など、変
成したものを種々適用することができる。

シリコーンゴムとしては、二液型のジオルガノポリシロ
キサンと、架橋剤としての三官能性以上のシランあるい
はシロキサン及び硬化触媒とを組み合せたものを使用す
ることができる。更に一液型ではジオルガノポリシロキ
サンと、アセトンオキム、各穢メトキシシラン、メチル
トリアセトキシシラン等とを組み合せたものを適宜用い
ることができる。

フッ素樹脂としては、ポリテトラフルＡＯエチレン、テ
トラフルＡロエチレンーヘキサフルオロブロビレン共重
合体、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビ
ニリデンなどがフィルムあるいは離型剤の形で用いるこ
とができる。

このような関係でカラーフィルタパターンを加圧処理す
る場合、この加圧処理は、カラーフィルタパターンのイ
ンクをセミキュア後に行うのが好適である。ここで、セ
ミキュアとは、インクの表面がローラ等に付着しないＦ
ｊ度に硬化しているが、ローラ等により外部応力を加え
るとパターンが変形するような半硬化の状態をいう。こ
れは、インクが未峻化のままであると、加圧′処理する
際にローラやプレス型材にインクが付着しやすく、パタ
ーン欠落や汚れが発生するなどの問題が生じ、逆にイン
クが完全に硬化した状態にあると、加圧処理してもパタ
ーンが変形せず、カラーフィルタ表面の凹凸を改善する
ことができない場合があるからである。

そして、カラーフィルタパターンのインクとしては、ポ
リイミド系樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポ
リエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリスルホン
系樹脂、メラミン系樹脂。

シリコン系樹脂の中から選ばれる少なくとも一種以上の
樹脂に着色材を混合又は溶解させたものを主成分とする
ものを挙げることが出来る。

着色材としては、無機又は有機の着色材の１種又は混合
物等積々のものが用いられる。例えば、アゾ系着色剤、
アンスラキノン系春色剤、インジゴイド系着色剤、キナ
クリドン系着色剤、イソインドリノン系着色剤、インダ
スロン系着色創、ジオキサジン系着色剤、インダスレン
系着色剤、トリフェニルメタン系着色剤、ニトロソ系着
色剤、フタロシアニン系顔料、分散性染料、塩基性染料
、油溶性染料、酸性染料等が挙げられるが、本発明に使
用可能な着色材は耐熱性、他医薬品性、耐溶剤性、耐光
性が要求されるため、特に顔料が望ましい。

一方、カラーフィルタパターンと一緒に加圧処理される
スペーサとしては、スペーサ剤、界面活性剤、水溶性高
分子化合物及び溶剤からなるものが用いられる。

上記スペーサ剤は、スペーサの厚さみを規定し、加圧処
理によって、厚みが変化しない物が用いられる。例えば
、ガラスファイバー粉末、酸化アルミナ粉、ガラス及び
プラスチック性ビーズなどが挙げられる。またスペーサ
剤の粒径としては、カラーフィルタパターンの印刷膜厚
さの１／３以上９／１０以上の範囲が望ましく、最適に
は３１５以上３／４以下の範囲が好ましい。これは、ス
ペーサの厚みが印刷膜厚の１／３以下の場合加圧処理に
よるパターン形状の変化が大きすぎるため他画素と混色
する等の問題があり、又、９／１０以上の場合加圧処理
によるパターン形状の変化が小さすぎるため表面凹凸を
改善するのが困難となるためである。

上記界面活性剤は、カラーフィルタ基板上にスペーサー
を密着性よく形成し、しかもスペーサ除去工程において
水の浸透を速めて、スペーサの除去を容易にし、カラー
フィルタ基板上へのスペーサの残留を防止する作用を有
する。

界面活性剤としては、非イオン性界面活性剤。

アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤。

両性界面活性剤があるが、アニオン性界面活性剤は酸性
用液中で分解し易くまた、カチオン性界面活性剤及び両
性界面活性剤では、密着性及び浸透性の改善効果が低い
ため、非イオン性界面活性剤が好ましい。

非イオン性界面活性剤としては、例えばフッ素系、ケイ
素系、ポリオリフイン系、脂肪アルコール系、脂肪酸系
等の非イオン性界面活性剤を挙げることができる。また
、非イオン性界面活性剤へ配合割合は、スペーサの固形
分に対してｏ、ｏｉ〜１０重量％の範囲、より好ましく
は０．５〜５重量％の範囲とすることが望ましい。なお
、非イオン性界面活性剤は混合物として用いることがで
きるが、この場合には各非イオン性界面活性剤の合計用
を上記範囲で配合すればよい。このように非イオン性界
面活性剤の配合量を上記範囲に限定した理由は、そのｆ
ｆ１８０．０１重量％未満にすると＠着性及び浸透性の
改善効果が低く一方その量が１０臣聞％を越えると、水
溶性高分子化合物との相溶性が低下し、均質なスペーサ
膜が得られなくなるおそれがあるからである。

上記水溶性高分子化合物としては、例えば、ポリビニル
アルコール、ポリビニルピロリドン、ビニルピロリドン
とビニルアルコールとの共重合体、ビニルメチルエーテ
ルと無水マレイン酸との共重合体、メチルセルロース、
ヒドロキシメチルセルロース、ヒドロキシプロピルセル
ロース、セルロースアセテートブチレート、酢酸セルロ
ース、ポリビニルブチラール ユー及びこれらの共重合体又は、誘導体等の高分子化合
物を挙げることができる。これらの水溶性高分子化合物
は、単独でも、２種以上の混合物で使用してもよい。

上記溶剤としては、例えば水を用いることができる。

上述した加圧処理工程後に行うスペーサを除去する工程
としては、水洗を用いることができる。

水洗の方法としては、従来、水槽に基板を浸漬して水洗
を行っていた。しかしこの場合、どうしても水槽中に水
洗により発生するゴミが蓄積してしまい、カラーフィル
タ基板表面にゴミが付着し不良の［囚となるなどの問題
がある。このため本発明においては、少なくとも恒温槽
、ポンプ、フィルタ、スプレーノズルからなる洗浄＠置
を用いることによって、恒温槽で一定温度にコントロー
ルされた洗浄水を非常に細かいフィルタ（０，１μｍか
ら５μｍの範囲が好ましい。）により濾過した後、スプ
レーノズルから噴射させてカラーフィルタ基板に当て、
洗浄し、スペーサを除去するため、常に、濾過直後の洗
浄水を用いて洗浄できるため、洗浄により発生するゴミ
の付着が防止できる。また、恒温槽により、洗浄水温度
を一定にすることによって洗浄時間の管理等が容易にで
きる。

〈作用） 本発明によれば印刷法によって、所望のカラーフィルタ
パターンを形成した後、当該、印刷されたカラーフィル
タパターンをセミキュアすることによって、加圧処理の
際に、カラーフィルタパターンが剥Ｍ′ｔｊるのを防止
することができる。また、そのカラーフィルタパターン
の画素部周辺にスペーサを設けることによって、加圧処
理によって生じる。カラーフィルタ基板間のカラーフィ
ルタパターン膜厚のバラツキを防止しながら、加圧処理
によってカラーフィルタ表面の凹凸を平坦化することが
できる。更に平坦化するために設けＩＣスペーサは、液
晶表示パネルを作成する際に障害となる為、加圧処理後
にスペーサを除去する必要がある。このため、本発明に
おいては、水溶性高分子化合物からなる水溶性のスペー
サを用いることにより、水洗によって、容易に除去する
ことかできる。また、少なくども恒温槽、ポンプ、フィ
ルタスプレーノズルからなる洗浄ａ置を用いることによ
って常に濾過直後の洗浄水を用いて洗浄できるため、洗
浄により発生するゴミの付着が防止できる。

（実施例） 以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。

実施例１ 本発明に係る一実施例のカラーフィルタの製造方法を第
１図（ａ　）から同図（ｅ　）を参照して説明する。

まず、第１図（ａ　）に示すように、透明ガラス基板１
上に、ウレタンアクリル系樹脂にカーボン粉末を混練し
たブラックインクを、用いて、格子状の光遮蔽パターン
２をスクリーン印刷により形成した。この光遮蔽パター
ン２は、各カラーフィルタパターンの相互分離を確保し
、コントラストを向上させるとともに、カラーフィルタ
パターンを形成する際にインクの位置ずれを緩和する目
的で形成される。

次に、第１図（ｂ）に示すように、ウレタンアクリル系
の樹脂に、赤色顔料として、パーマネントピンクＦＢＬ
（山間色素（株）製）、緑色顔料として、フタロシアニ
ン　グリーンＢ６０９　（山間色素（株）製）、青色顔
料として、フタロシアニン　ブルーＫＲＯ（山間色素（
株）製）、をそれぞれ混練した。赤色インク、緑色イン
ク、青色インクを用い、光遮蔽パターン間にはじめに赤
色インクをスクリーン印刷して、赤色カラーフィルタパ
ターンを形成した。その後１００℃で１５分間加熱し、
セミキュアを行った。同様に緑色インク、青色インクを
用い王れぞれ印刷、セミキュアを行い、赤、緑、青、各
色パターンからなるカラーフィルタパターン３を形成し
た。これらのパターンは、印刷時の流体力学的な要因の
ために、その表面は平坦にならず、模式的に図示するよ
うに山形になる。また、このときの平均膜厚は、約８μ
ｍであった。

次に第１図（Ｃ）及び第２図（ａ　）に示すように、カ
ラーフィルタパターン３の画素部全体を略囲むようにそ
の周辺に、ポリビニルアルコール樹脂に、平均粒径５μ
ｍのガラスファイバー粉末と、ポリオキシエチレンノニ
ルフェニルエーテル系界面活性剤１．０重量％及び水を
混練した後、スクリーン印刷し、スペーサ４を形成した
。

次いで第１図（（１）に示】ように、オフセット印刷用
のブランケット（明治ゴム製）に、下記組成のシリコー
ンゴム層を２〜３［Ｉ１１厚に形成したローラ５を用い
て３　（ｋｑ／ｃｍ２　）で加圧し、カラーフィルタパ
ターンをスペーサの厚さまで均一に平坦化を行った。

くシリコーンゴム層の組成〉 ・型取り用シリコーンゴムＪＳＥ３５０−５ＲＴＶ（東
芝シリコーン製）＝１００部 ・硬化剤ＣＥ６１　：０．５部 次いで第３図に示すような洗浄装置を用いて恒温槽７で
約４０℃に加熱された水を０．５μ薗フイルタ１１を通
して、スプレーノズル１２から噴射させて、カラーフィ
ルタ基板１３を洗浄し、スペーサ４を除去した。この洗
浄装置を用いることにより、スペーサ４の除去工程によ
って発生するゴミがカラーフィルタパターン３の部分に
付着するのを防ぐことができる。

次いでカラーフィルタパターン３をよく風乾したのち、
１５０℃で３０分間加熱し硬化を完全に行った。

次いで第１図（ｅ）に示すように、透明な、アクリル樹
脂からなる平担化層６を形成し、カラーフィルタを製造
した。

実施１ｆｌＪ　２ この実施例２の工程を図示すると実施例１同様となるの
で第１図（ａ　）〜（ｅ　）を援用する。実施例１と同
様に、光遮蔽パターンを形成し、次に光遮蔽パターン間
に、実施例１と同様の赤色インクをスクリーン印刷して
、赤色カラーフィルタパターン３を形成した。その後、
１００℃で１５分間加熱し、セミキュアを行った。次い
で実Ｍ例１と同様にスペーサを形成し、その後実施例１
と同様のローラ５を用いて、３　（ｋｉＪ１０１２　）
で加圧し、カラーフィルタパターン３をスペーサ厚まで
均一に平坦化を行った。次いで、実施例１と同様の洗ｒ
ｐ４！ｉｉ置を用いて洗浄し、スペーサ４を除去した。

次いでカラーフィルタパターン３をよく風乾した後、１
５０℃で３０分間加熱し硬化を完全に行っＩこ　。

次に、実施例１と同様の緑色インクをスクリーン印刷し
て、緑色カラーフィルタパターンを形成した。その後、
１００℃で１５分間加熱しセミキュアを行った。次いで
実施例１と同様にスペーサ４を形成し、その後実施例１
と同様のローラ５を用いて３　（ｋｇ／ｃｍ２　）で加
圧しカラーフィルタパターンをスペーサ厚まで均一に平
坦化を行った。

次いで、実施例１と同様の洗浄＠ｒｌを用いて洗浄し、
スペーサ４を除去した。次いでカラーフィルタパターン
３をよく風乾した後、１５０℃で３０分間加熱し、硬化
を完全に行った。

次に、実施例１と同様のＲ色インクをスクリーン印刷し
て青色カラーフィルタパターン３を形成した。その後、
１００℃で１５分間加熱し、セミキュアを行った。次い
で実施例１と同様にスペーサ４を形成し、その後実施例
１と同様のローラ５を用いて３　（ｋｇ／ｃｍ２　）で
加圧し、カラーフィルタパターンをスペーサ４の厚まで
均一に平坦化を行った。

次いで実施例１と同様の洗浄装置を用いて洗浄し、スペ
ーサを除去した。次いでカラーフィルタパターンをよく
風乾した後、１５０℃で３０分間加熱し、硬化を完全に
行った。

次いで、透明なアクリル樹脂からなる平担化層を形成し
、カラーフィルタを製造した。

なお、上述した実施例１．実施例２では、カラーフィル
タパターンを形成した後、表面平滑性を更に改善するた
め、透明なアクリル樹脂からなる平担化層を形成したが
、この平担化層は必要に応じ形成しなくてもよい。

更に、実施例１．実施例２において、スペーサ４は、カ
ラーフィルタパターンの画素部全体を略囲むように形成
したが、第２図（ｂ）に示すように、カラーフィルタパ
ターン３の・相互間の光遮蔽ノ５ターン２上にスペーサ
４を形成してもよい。この場合、光遮蔽パターンはＣｒ
等の金属７ｉＩＰｉをリソグラフィ法により形成した物
を用いることが望ましい。

以上、本発明の実施例を実箆例１．実施例２として示し
たが、これらと従来との相違をより明確にするため、以
下、比較例１．比較例２として従来の製造方法の具体例
を例示した。

比較例１ 第４図（ａ　）に示すように、実施例１と同様に、透明
ガラス基板１上に実施例１と同様の黒インクを用い光遮
蔽パターン２をスクリーン印刷により形成した。

次に第４図（ｂ）に示すように、実施例１と、同様の赤
色インク、緑色インク、青色インクを用い、光遮蔽パタ
ーン間に、はじめに、赤色インクをスクリーン印刷して
、赤色カラーフィルタパターンを形成した。その後、１
００℃で１５分間加熱し、セミキュアを行った。同様に
緑色インク、青色インクを用い、それぞれ印剛、セミキ
ュアを行い、赤、緑、青、各色パターンからなるカラー
フィルタパターン３を形成した。

次に第４図（Ｃ）に示すように、カラーフィルタパター
ンを実Ｘ１１１と同様のローラ５を用いて３　（ｋｇ／
ｃｍ２　）で加圧し、カラーフィルタパターンの平坦化
を行い第４図（ｄ　’）に示すようなカラーフィルタパ
ターンを得た。

その後、１５０℃で３０分間加熱し、硬化を完全に行っ
た。次いで第４図（ｅ　）に示すように透明なアクリル
樹脂からなる平担化層６を形成しカラーフィルタを！！
！Ｊ造した。

比較例２ 第５図（ａ　）に示すように、実施例１と同様に、透明
ガラス基板１上に、実施例１と同様の黒インクを用い、
光遮蔽パターン２をスクリーン印刷により形成した。

次に第５図（ｂ）に示すように、実施例１と同様の赤色
インク、緑色インク、青色インクを用い、光遮蔽パター
ン間に、はじめに赤色インクをスクリーン印刷して、赤
色カラーフィルタパターンを形成した。その１１１００
℃で１５分間加熱し、セミキュアを行った。同様に、緑
色インク、青色インクを用い、それぞれ印刷、セミキュ
アを行い赤。

緑、青、各色パターンからなるカラーフィルタパターン
３を形成した。その後、１５０℃で３０分間加熱し、硬
化を完全に行った。

次いで第５図（Ｃ）に示すように、透明なアクリル樹脂
からなる平担化層６を形成し、カラーフィルタをａ造し
た。

次に、本発明の実施例１．実施例２について、比較例１
．比較例２との相違点を一例に従って説明する。

実施例１．実施例２．比較例１．比較例２の各方法によ
っておのおの１００枚のカラーフィルタを製造し、製造
されたカラーフィルりにおけるカラーフィルタ表面の凹
凸及びカラーフィルタ基板間でのカラーフィルタパター
ン膜厚Ｉ厚のバラツキを表面粗さ計測装置を用いて測定
したところ、結果として次の第１表に示す如くのデータ
が得られた。

（以下余白） 第１表 第１表から明らかなように、本発明実施例の方法で製造
されたカラーフィルタは、基板間でのカラーフィルタパ
ターン膜厚のバラツキが小ざくしかも表面平滑性に優れ
ていることがわかる。

本発明の実施例による製造方法であれば、上記した事象
以外にもゴミが付着し難“という利点があり、これを認
識容易とするため、比較例３として従来の製造方法の他
の例を示した。

比較例３ 実施例１と同様にして、加圧処理工程まで行った後、ス
ペーサを水槽中に浸漬して水洗し、除去した。その後実
施例１と同様に屓乾、硬化を行い。

平担化層を形成してカラーフィルタを製造した。

実施例１及び比較例３の方法により製造されたカラーフ
ィルりについてカラーフィルタパターン部に付着してい
るゴミの数について測定した。その結果を第２表に示す
。

第２表 第２表から明らかなように、本発明実施例の方法で製造
されたカラーフィルタは、ゴミがなく表示品位を向上で
きることがわかる。

［発明の効果］ 以上詳述したように、本発明のカラーフィルタの製造方
法によれば、カラーフィルタ基板間でのカラーフィルタ
パターン膜厚のバラツキが小さくしかも、表面の平滑性
に優れ、ゴミがなく表示品位の高いカラーフィルタを歩
留りよく、低コストで供給できるなど顕著な効果な奏す
るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例における各工程のカラーフィ
ルタの断面略図、第２図は、本発明の実施例におけるス
ペーサ形成後の正面略図、第３図は本発明の実施例にお
ける洗浄装置の概略図、第４図は比較例として示す従来
方法における各工程のカラーフィルタの断面略図、第５
図は比較例として示す他の従来方法における各工程のカ
ラーフィルタの断面略図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明基板上にカラーフィルタパターンを印刷後、
   印刷されたカラーフィルタパターンをセミキユアする工
   程と、カラーフィルタパターンの画素部周辺に所定厚さ
   のスペーサを印刷する工程と、カラーフィルタパターン
   及びスペーサを加圧処理してカラーフィルタパターンを
   スペーサの厚さで均一に平坦化する工程と、スペーサを
   除去する工程と、カラーフィルタパターンを硬化する工
   程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方
   法。