JPH0217452A - センサ - Google Patents
センサInfo
- Publication number
- JPH0217452A JPH0217452A JP1104823A JP10482389A JPH0217452A JP H0217452 A JPH0217452 A JP H0217452A JP 1104823 A JP1104823 A JP 1104823A JP 10482389 A JP10482389 A JP 10482389A JP H0217452 A JPH0217452 A JP H0217452A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pendulum
- sensor
- projecting elements
- sensor according
- bending
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 11
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 241001417501 Lobotidae Species 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0802—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/12—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
- G01P15/123—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance by piezo-resistive elements, e.g. semiconductor strain gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Air Bags (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野J
本発明は、車両又は車両部分の許容位置からずれたりに
制御信号を発しかつ荊1阿漕をqする振り子がエツチン
グされている1′し結晶材′B製の保持体を持つ、車両
、特に自動車、にある乗客保護装置4を例えば自励的に
作動させるための、加速度測定用センサに関する。
制御信号を発しかつ荊1阿漕をqする振り子がエツチン
グされている1′し結晶材′B製の保持体を持つ、車両
、特に自動車、にある乗客保護装置4を例えば自励的に
作動させるための、加速度測定用センサに関する。
加速度検出器において振り子を1つ又は複数のねじり棒
に吊しかつホイートストンプリツジに配置されたひすみ
測定条片によって棒のねじれを測定することは公知であ
る。これらの検出器は比較的強く横方向に影響を受けや
すくかつねじり棒の破損の際の警報装置4を持っていな
い。
に吊しかつホイートストンプリツジに配置されたひすみ
測定条片によって棒のねじれを測定することは公知であ
る。これらの検出器は比較的強く横方向に影響を受けや
すくかつねじり棒の破損の際の警報装置4を持っていな
い。
本発明の課題は、上述の欠点を回避することである。
この課シ■は、振り子が少なくとも2つの曲げ棒に取り
付けられていることによって解決される。
付けられていることによって解決される。
請求項1の特徴を持つ、本発明によるセンサには、この
センサが特に簡1fvかつ正確に加速度を測定するとい
う利rHがある。振り子の平面における加速力に対する
横方向感度は減少される。
センサが特に簡1fvかつ正確に加速度を測定するとい
う利rHがある。振り子の平面における加速力に対する
横方向感度は減少される。
2つの曲げ棒を使用することによって、これらの棒のね
じりにより横方向信号を抑制することができる。振り子
及び基板の異なる熱++のツJQによる外乱信号は発生
しない。さらに、個別棒の誤調整による誤りのある信号
を回避することができる。信号計算は特に簡単である。
じりにより横方向信号を抑制することができる。振り子
及び基板の異なる熱++のツJQによる外乱信号は発生
しない。さらに、個別棒の誤調整による誤りのある信号
を回避することができる。信号計算は特に簡単である。
ホイートストンプリツジの抵抗の特別の配置により、セ
ンサの機械部分、すなわち持にセンサの振り子の簡単な
8Ill能検査が可能である。ホイートストンプリツジ
の抵抗の閉じられた電気回路は、突片の機械的損傷によ
り遮断される。それによって検出器の機械的伏態の電気
的監視が可能である。
ンサの機械部分、すなわち持にセンサの振り子の簡単な
8Ill能検査が可能である。ホイートストンプリツジ
の抵抗の閉じられた電気回路は、突片の機械的損傷によ
り遮断される。それによって検出器の機械的伏態の電気
的監視が可能である。
請求項5に記載の抵抗の配置により、振動する地震質1
、すなわち振り子全体、も電気的監視に入れることがで
きる。
、すなわち振り子全体、も電気的監視に入れることがで
きる。
持許晴求の範囲の実施態様項に記載された手段により、
請求項1に挙げられたセンサの有利な別の構成が可能で
ある。
請求項1に挙げられたセンサの有利な別の構成が可能で
ある。
本発明の実施例が図面に示されておりかつ以下に詳細に
説明されている。
説明されている。
第1図において、lOでシリコン小片が示されており、
このシリコン小片からセンサ11が製造される。このシ
リコン小片の表面に、地層質量として使われるセンサ1
1の振り子12がエツチングされているので、外枠13
が得られる。
このシリコン小片からセンサ11が製造される。このシ
リコン小片の表面に、地層質量として使われるセンサ1
1の振り子12がエツチングされているので、外枠13
が得られる。
この場合、異方性及び選択性エツチング技術を用いるこ
とができる。さらに、IC製造から従来公知のその他の
製造方法を用いることも可能である。振り子12は、こ
の振り子を弾性的に枠13に吊している2つの突片を持
つように、表面からエツチングされている。これらの突
#r14.15は振り子12の外縁に対して平行に、特
に−直線をなすように延びている。両突片14゜】5の
間に空間17が振り子12からエツチングで空けられて
いるので、これらの突片14.15は曲げ梁として作用
することができる。特に突片14.15が振り子】2の
外縁と一直線をなすように延びている場合は、これらの
突片14415がカニいに遠く離れていればいるほど、
ねじりにより生ずる横方向力を良好に回避することがで
きる。
とができる。さらに、IC製造から従来公知のその他の
製造方法を用いることも可能である。振り子12は、こ
の振り子を弾性的に枠13に吊している2つの突片を持
つように、表面からエツチングされている。これらの突
#r14.15は振り子12の外縁に対して平行に、特
に−直線をなすように延びている。両突片14゜】5の
間に空間17が振り子12からエツチングで空けられて
いるので、これらの突片14.15は曲げ梁として作用
することができる。特に突片14.15が振り子】2の
外縁と一直線をなすように延びている場合は、これらの
突片14415がカニいに遠く離れていればいるほど、
ねじりにより生ずる横方向力を良好に回避することがで
きる。
しかしこれらの突片14.+5は任意の他の形状も持つ
ことができる。この場合重要なのは、これらの製甲がで
きるだけ大きい相互rJj隔を置いて、すなわち空間1
7の長さをできるだけ大きくして配置され、その結果曲
げの際に突片のねじりがほとんどあり得ないということ
である。励作の確実性を高めるために第3の突片を空間
17の範囲に配置することも可能であることはもちろん
である。
ことができる。この場合重要なのは、これらの製甲がで
きるだけ大きい相互rJj隔を置いて、すなわち空間1
7の長さをできるだけ大きくして配置され、その結果曲
げの際に突片のねじりがほとんどあり得ないということ
である。励作の確実性を高めるために第3の突片を空間
17の範囲に配置することも可能であることはもちろん
である。
突片のたわみを測定するために、すなわち振り子12の
偏向を検知するために、振り子12及び枠13上に、ホ
イートストンプリツジ回路に接続された、ひずみの影禅
を受けやすい4つの抵抗20ないし23が配置されてい
る。対向する抵抗20.22はそれぞれ突片14.+5
の一方に配置されている。これらの抵抗21.23は空
間17の範囲においてハウジング10又は振り子12上
で互いに対向している。ホイートストンプリツジ回路に
接続された抵抗20ないし23によって、振り子12の
機械的状態を電気的に監視することができる。突片14
,15が損傷せしめられる場合は、例えばこれらの突片
のうちの1つが破損する場合は、ホイートストンプリツ
ジ回路の閉じられた電気回路が遮断される。第1図によ
る構成では、ブリッジ回路の導線が最小限に抑えられて
いる。抵抗20ないし23を突片及び振り子に拡散させ
又は埋め込むことができ又は圧電抵抗原理に基づいて動
作することができるひずみ測定条片の形の薄膜又は厚膜
技術で塗付することができる。しかし、第2図に示され
ているように、抵抗2+aを振り子12の空間17とは
反対側の端部にも配:4することができる。それによっ
て振り子12全体の機械的動作能力を監視することが可
能である。なぜならば導線が振り子12の全周にわたっ
て設けられているからである。これらの導線が振り子の
1つの個所において損傷される場合は、すなわち振り子
12が機械的に損傷される場合は、閉じられた電気回路
が遮断されかつそれにより誤信号が発せられる。
偏向を検知するために、振り子12及び枠13上に、ホ
イートストンプリツジ回路に接続された、ひずみの影禅
を受けやすい4つの抵抗20ないし23が配置されてい
る。対向する抵抗20.22はそれぞれ突片14.+5
の一方に配置されている。これらの抵抗21.23は空
間17の範囲においてハウジング10又は振り子12上
で互いに対向している。ホイートストンプリツジ回路に
接続された抵抗20ないし23によって、振り子12の
機械的状態を電気的に監視することができる。突片14
,15が損傷せしめられる場合は、例えばこれらの突片
のうちの1つが破損する場合は、ホイートストンプリツ
ジ回路の閉じられた電気回路が遮断される。第1図によ
る構成では、ブリッジ回路の導線が最小限に抑えられて
いる。抵抗20ないし23を突片及び振り子に拡散させ
又は埋め込むことができ又は圧電抵抗原理に基づいて動
作することができるひずみ測定条片の形の薄膜又は厚膜
技術で塗付することができる。しかし、第2図に示され
ているように、抵抗2+aを振り子12の空間17とは
反対側の端部にも配:4することができる。それによっ
て振り子12全体の機械的動作能力を監視することが可
能である。なぜならば導線が振り子12の全周にわたっ
て設けられているからである。これらの導線が振り子の
1つの個所において損傷される場合は、すなわち振り子
12が機械的に損傷される場合は、閉じられた電気回路
が遮断されかつそれにより誤信号が発せられる。
さらに振り子12の自由端の範囲においてこの振り子上
に接着線26が張られている。この接着線26は枠13
に固定されておりかつ電気回路の一部である。振り子1
2があまり激しく振動する場合は、振り子12により接
着線26が破壊されかつ電気回路が遮断される。それに
よって、振り子12の振動制限又は機能検査によるいわ
ゆる過負荷保護が可能である。
に接着線26が張られている。この接着線26は枠13
に固定されておりかつ電気回路の一部である。振り子1
2があまり激しく振動する場合は、振り子12により接
着線26が破壊されかつ電気回路が遮断される。それに
よって、振り子12の振動制限又は機能検査によるいわ
ゆる過負荷保護が可能である。
抵抗20ないし23のホイートストンプリツジ回路から
導線は図示してない制′a装置へ通じており、この制?
lfJ装置は自動車の乗客保護装置又は例えばベルト緊
張装置、エアバッグ、ロールバー、鼎告点滅装置、中央
拘束装置あるいは又制動機用固着防止装置のような他の
装置を作動させることができ又は車G調整装置を制御す
ることができる。
導線は図示してない制′a装置へ通じており、この制?
lfJ装置は自動車の乗客保護装置又は例えばベルト緊
張装置、エアバッグ、ロールバー、鼎告点滅装置、中央
拘束装置あるいは又制動機用固着防止装置のような他の
装置を作動させることができ又は車G調整装置を制御す
ることができる。
加速度検出器の機能は十分に知られており、従ってここ
では詳述されていない。振り子12が不作動位置から偏
向せしめられる場合は、突片14.15が抵抗20 、
22の範囲に、おいて曲げられかつこれらの抵抗におい
て比例する抵折変化が生ぜしめられる。この抵抗変化は
評価回路で評価されかつさらに制御装置へ送られる。
では詳述されていない。振り子12が不作動位置から偏
向せしめられる場合は、突片14.15が抵抗20 、
22の範囲に、おいて曲げられかつこれらの抵抗におい
て比例する抵折変化が生ぜしめられる。この抵抗変化は
評価回路で評価されかつさらに制御装置へ送られる。
第1図はセンサの斜視図、第2図は第1図の変形例の斜
視図である。 IO・・・シリコン小片、ll・・・センサ、12・・
・振り子、14.15・・・突片
視図である。 IO・・・シリコン小片、ll・・・センサ、12・・
・振り子、14.15・・・突片
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 車両又は車両部分の許容位置からずれた際に制御信
号を発しかつ地震質量を有する振り子(12)がエッチ
ングされている単結晶材料製の保持体(10)を持つ、
車両、特に自動車、にある乗客保護装置を例えば自動的
に作動させるための、加速度測定用センサ(11)にお
いて、振り子(12)が少なくとも2つの曲げ棒(14
、15)に取り付けられていることを特徴とする、加速
度測定用センサ。 2 曲げ棒(14、15)が振り子(12)の縦軸線に
対してほぼ平行に延びていることを特徴とする、請求項
1に記載のセンサ。 3 曲げ棒(14、15)が振り子(12)の外縁と一
直線をなすように延びていることを特徴とする、請求項
1及び2のうち1つに記載のセンサ。 4 保持体(10)がシリコン小片であることを特徴と
する、請求項1ないし3のうち1つに記載のセンサ。 5、曲げ棒(14、15)上に半ブリッジ回路の抵抗(
21、23)が存在することを特徴とする、請求項1な
いし4のうち1つに記載のセンサ。 6、曲げ棒(14、15)上及び曲げ棒(14、15)
の間の範囲の保持体(10)上及び曲げ棒(14、15
)の間の範囲の振り子(12)上に、それぞれホイート
ストンプリツジ回路の抵抗(20ないし23)が配置さ
れていることを特徴とする、請求項1ないし4のうち1
つに記載のセンサ。 7、抵抗(21a)が振り子(12)の曲げ4(14、
15)とは反対側の端部に配置されていることを特徴と
する、請求項6に記載のセンサ。 8、抵抗(21)が振り子(12)の曲げ棒(14、1
5)とは反対側の端部にできるだけ近く振り子(12)
上に配置されていることを特徴とする、請求項6に記載
のセンサ。 9、振り子(12)の範囲に接着線(26)が配置され
ており、この接着線が振り子(12)の運動を制限する
ことを特徴とする、請求項1ないし8のうち1つに記載
のセンサ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3814952A DE3814952A1 (de) | 1988-05-03 | 1988-05-03 | Sensor |
DE3814952.4 | 1988-05-03 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0217452A true JPH0217452A (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=6353460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1104823A Pending JPH0217452A (ja) | 1988-05-03 | 1989-04-26 | センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4955234A (ja) |
JP (1) | JPH0217452A (ja) |
DE (1) | DE3814952A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04105034U (ja) * | 1991-02-18 | 1992-09-10 | 株式会社精工舎 | 給紙カセツト |
JPH0629937U (ja) * | 1992-04-27 | 1994-04-19 | 株式会社村上開明堂 | インナーミラー脱落機構 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3814949C1 (ja) * | 1988-05-03 | 1989-08-03 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | |
JP2811768B2 (ja) * | 1989-07-17 | 1998-10-15 | 株式会社デンソー | 半導体式加速度センサおよびその製造方法 |
US5034891A (en) * | 1989-11-03 | 1991-07-23 | Trw Vehicle Safety Systems Inc. | Method and apparatus for sensing a vehicle crash with frequency domain boost |
DE4000903C1 (ja) * | 1990-01-15 | 1990-08-09 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | |
DE4003473A1 (de) * | 1990-02-06 | 1991-08-08 | Bosch Gmbh Robert | Kristallorientierter bewegungssensor und verfahren zu dessen herstellung |
DE4016471A1 (de) * | 1990-05-22 | 1991-11-28 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanischer neigungssensor |
US5233213A (en) * | 1990-07-14 | 1993-08-03 | Robert Bosch Gmbh | Silicon-mass angular acceleration sensor |
JP3435844B2 (ja) * | 1994-03-07 | 2003-08-11 | 株式会社デンソー | 半導体加速度センサ及びその製造方法 |
JP3186975B2 (ja) * | 1995-04-12 | 2001-07-11 | センソノール・エイ・エス | 力センサー |
FR2736723B1 (fr) * | 1995-07-12 | 1997-09-19 | Sagem | Accelerometre pendulaire a actionneur capacitif de test |
DE19649715C2 (de) * | 1996-11-30 | 2001-07-12 | Telefunken Microelectron | Anordnung zur Messung von Beschleunigungen |
KR100638928B1 (ko) * | 2001-09-04 | 2006-10-26 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 미소 구조체와 이것을 수용하는 패키지 구조체 및 가속도계 |
CN101750519B (zh) * | 2009-12-11 | 2013-06-26 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | 高量程加速度传感器横向响应波的自跟踪识别方法及*** |
CN102491261B (zh) * | 2011-12-23 | 2014-12-03 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于引线键合的mems自组装过程的限位方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62118259A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-29 | Fujitsu Ltd | 加速度センサ |
JPS62190774A (ja) * | 1986-02-18 | 1987-08-20 | Nissan Motor Co Ltd | 加速度センサ |
JPS6391568A (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-22 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 圧電抵抗ひずみ計の製造方法並びにこのひずみ計を含む加速度計の製造方法 |
JPH01163620A (ja) * | 1987-12-21 | 1989-06-27 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体加速度センサ |
JPH01284764A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-16 | Shuhei Furuichi | 力学量センサー |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL271209A (ja) * | 1960-11-15 | |||
JPS5331161Y2 (ja) * | 1973-08-17 | 1978-08-03 | ||
DE2943231A1 (de) * | 1978-03-17 | 1980-12-11 | Hitachi Ltd | Semiconductor pressure sensors having a plurality of pressure-sensitive diaphragms and method of manufacturing the same |
US4522072A (en) * | 1983-04-22 | 1985-06-11 | Insouth Microsystems, Inc. | Electromechanical transducer strain sensor arrangement and construction |
US4488445A (en) * | 1983-10-28 | 1984-12-18 | Honeywell Inc. | Integrated silicon accelerometer with cross-axis compensation |
DE3342186A1 (de) * | 1983-11-23 | 1985-05-30 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Beschleunigungsaufnehmer |
GB2174500B (en) * | 1985-05-04 | 1988-02-10 | Stc Plc | Accelerometer |
JPS62118529A (ja) * | 1985-11-19 | 1987-05-29 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPS62213280A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-19 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体加速度センサ |
DE3611360A1 (de) * | 1986-04-04 | 1987-10-08 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zur selbsttaetigen ausloesung von insassenschutzvorrichtungen |
-
1988
- 1988-05-03 DE DE3814952A patent/DE3814952A1/de not_active Withdrawn
-
1989
- 1989-03-24 US US07/328,936 patent/US4955234A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-04-26 JP JP1104823A patent/JPH0217452A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62118259A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-29 | Fujitsu Ltd | 加速度センサ |
JPS62190774A (ja) * | 1986-02-18 | 1987-08-20 | Nissan Motor Co Ltd | 加速度センサ |
JPS6391568A (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-22 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 圧電抵抗ひずみ計の製造方法並びにこのひずみ計を含む加速度計の製造方法 |
JPH01163620A (ja) * | 1987-12-21 | 1989-06-27 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体加速度センサ |
JPH01284764A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-16 | Shuhei Furuichi | 力学量センサー |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04105034U (ja) * | 1991-02-18 | 1992-09-10 | 株式会社精工舎 | 給紙カセツト |
JPH0629937U (ja) * | 1992-04-27 | 1994-04-19 | 株式会社村上開明堂 | インナーミラー脱落機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4955234A (en) | 1990-09-11 |
DE3814952A1 (de) | 1989-11-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0217452A (ja) | センサ | |
US5121180A (en) | Accelerometer with central mass in support | |
US4926689A (en) | Proofmass suspension assembly for accelerometers | |
EP3187841A1 (en) | Fibre bragg grating vibration sensor and vibration measurement element thereof | |
JPH0810232B2 (ja) | 加速度センサ | |
US6467361B2 (en) | Strain gage sensor having an unstrained area | |
US3995247A (en) | Transducers employing gap-bridging shim members | |
US5415044A (en) | Semiconductor acceleration sensor including means for detecting weight detachment | |
JP2005532540A (ja) | 加熱装置を備えたセンサ及び方法 | |
US5827967A (en) | Semiconductor accelerometer including strain gauges forming a wheatstone bridge and diffusion resistors | |
GB2174500A (en) | Accelerometer | |
JPS59174710A (ja) | 測定装置の探触子 | |
TWI794448B (zh) | 扭力壓力感測裝置及電動起子 | |
US3506857A (en) | Compressive mode piezoelectric transducer with isolation of mounting base strains from the signal producing means thereof | |
JPH02504078A (ja) | 加速度センサ | |
US6184764B1 (en) | Pendulum mass acceleration sensor | |
JP3433439B2 (ja) | センシング素子 | |
CH668651A5 (it) | Dispositivo sensore elettrico di accelerazione o di vibrazioni. | |
JPH06300776A (ja) | 回転加速度計 | |
US5095749A (en) | Proofmass suspension assembly for accelerometers | |
JPH0262967A (ja) | センサ | |
JPH08248060A (ja) | 半導体加速度検出装置 | |
US6796176B2 (en) | Inertial sensor with an integrated temperature probe | |
GB2334588A (en) | Monitoring correct operation of a sensor module comprising a Wheatstone bridge circuit | |
US3591924A (en) | Displacement transducer |