JPH0217452A - センサ - Google Patents

センサ

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JPH0217452A
JPH0217452A JP1104823A JP10482389A JPH0217452A JP H0217452 A JPH0217452 A JP H0217452A JP 1104823 A JP1104823 A JP 1104823A JP 10482389 A JP10482389 A JP 10482389A JP H0217452 A JPH0217452 A JP H0217452A
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pendulum
sensor
projecting elements
sensor according
bending
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JP1104823A
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Jiri Marek
ジリ・マレク
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Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
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    • G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
    • G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野Ｊ 本発明は、車両又は車両部分の許容位置からずれたりに
制御信号を発しかつ荊１阿漕をｑする振り子がエツチン
グされている１′し結晶材′Ｂ製の保持体を持つ、車両
、特に自動車、にある乗客保護装置４を例えば自励的に
作動させるための、加速度測定用センサに関する。
〔従来の技術〕
加速度検出器において振り子を１つ又は複数のねじり棒
に吊しかつホイートストンプリツジに配置されたひすみ
測定条片によって棒のねじれを測定することは公知であ
る。これらの検出器は比較的強く横方向に影響を受けや
すくかつねじり棒の破損の際の警報装置４を持っていな
い。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明の課題は、上述の欠点を回避することである。
〔課題を解決するための手段〕
この課シ■は、振り子が少なくとも２つの曲げ棒に取り
付けられていることによって解決される。
〔発明の効果〕
請求項１の特徴を持つ、本発明によるセンサには、この
センサが特に簡１ｆｖかつ正確に加速度を測定するとい
う利ｒＨがある。振り子の平面における加速力に対する
横方向感度は減少される。
２つの曲げ棒を使用することによって、これらの棒のね
じりにより横方向信号を抑制することができる。振り子
及び基板の異なる熱＋＋のツＪＱによる外乱信号は発生
しない。さらに、個別棒の誤調整による誤りのある信号
を回避することができる。信号計算は特に簡単である。
ホイートストンプリツジの抵抗の特別の配置により、セ
ンサの機械部分、すなわち持にセンサの振り子の簡単な
８Ｉｌｌ能検査が可能である。ホイートストンプリツジ
の抵抗の閉じられた電気回路は、突片の機械的損傷によ
り遮断される。それによって検出器の機械的伏態の電気
的監視が可能である。
請求項５に記載の抵抗の配置により、振動する地震質１
、すなわち振り子全体、も電気的監視に入れることがで
きる。
持許晴求の範囲の実施態様項に記載された手段により、
請求項１に挙げられたセンサの有利な別の構成が可能で
ある。
〔実施例〕
本発明の実施例が図面に示されておりかつ以下に詳細に
説明されている。
第１図において、ｌＯでシリコン小片が示されており、
このシリコン小片からセンサ１１が製造される。このシ
リコン小片の表面に、地層質量として使われるセンサ１
１の振り子１２がエツチングされているので、外枠１３
が得られる。
この場合、異方性及び選択性エツチング技術を用いるこ
とができる。さらに、ＩＣ製造から従来公知のその他の
製造方法を用いることも可能である。振り子１２は、こ
の振り子を弾性的に枠１３に吊している２つの突片を持
つように、表面からエツチングされている。これらの突
＃ｒ１４．１５は振り子１２の外縁に対して平行に、特
に−直線をなすように延びている。両突片１４゜】５の
間に空間１７が振り子１２からエツチングで空けられて
いるので、これらの突片１４．１５は曲げ梁として作用
することができる。特に突片１４．１５が振り子】２の
外縁と一直線をなすように延びている場合は、これらの
突片１４４１５がカニいに遠く離れていればいるほど、
ねじりにより生ずる横方向力を良好に回避することがで
きる。
しかしこれらの突片１４．＋５は任意の他の形状も持つ
ことができる。この場合重要なのは、これらの製甲がで
きるだけ大きい相互ｒＪｊ隔を置いて、すなわち空間１
７の長さをできるだけ大きくして配置され、その結果曲
げの際に突片のねじりがほとんどあり得ないということ
である。励作の確実性を高めるために第３の突片を空間
１７の範囲に配置することも可能であることはもちろん
である。
突片のたわみを測定するために、すなわち振り子１２の
偏向を検知するために、振り子１２及び枠１３上に、ホ
イートストンプリツジ回路に接続された、ひずみの影禅
を受けやすい４つの抵抗２０ないし２３が配置されてい
る。対向する抵抗２０．２２はそれぞれ突片１４．＋５
の一方に配置されている。これらの抵抗２１．２３は空
間１７の範囲においてハウジング１０又は振り子１２上
で互いに対向している。ホイートストンプリツジ回路に
接続された抵抗２０ないし２３によって、振り子１２の
機械的状態を電気的に監視することができる。突片１４
，１５が損傷せしめられる場合は、例えばこれらの突片
のうちの１つが破損する場合は、ホイートストンプリツ
ジ回路の閉じられた電気回路が遮断される。第１図によ
る構成では、ブリッジ回路の導線が最小限に抑えられて
いる。抵抗２０ないし２３を突片及び振り子に拡散させ
又は埋め込むことができ又は圧電抵抗原理に基づいて動
作することができるひずみ測定条片の形の薄膜又は厚膜
技術で塗付することができる。しかし、第２図に示され
ているように、抵抗２＋ａを振り子１２の空間１７とは
反対側の端部にも配：４することができる。それによっ
て振り子１２全体の機械的動作能力を監視することが可
能である。なぜならば導線が振り子１２の全周にわたっ
て設けられているからである。これらの導線が振り子の
１つの個所において損傷される場合は、すなわち振り子
１２が機械的に損傷される場合は、閉じられた電気回路
が遮断されかつそれにより誤信号が発せられる。
さらに振り子１２の自由端の範囲においてこの振り子上
に接着線２６が張られている。この接着線２６は枠１３
に固定されておりかつ電気回路の一部である。振り子１
２があまり激しく振動する場合は、振り子１２により接
着線２６が破壊されかつ電気回路が遮断される。それに
よって、振り子１２の振動制限又は機能検査によるいわ
ゆる過負荷保護が可能である。
抵抗２０ないし２３のホイートストンプリツジ回路から
導線は図示してない制′ａ装置へ通じており、この制？
ｌｆＪ装置は自動車の乗客保護装置又は例えばベルト緊
張装置、エアバッグ、ロールバー、鼎告点滅装置、中央
拘束装置あるいは又制動機用固着防止装置のような他の
装置を作動させることができ又は車Ｇ調整装置を制御す
ることができる。
加速度検出器の機能は十分に知られており、従ってここ
では詳述されていない。振り子１２が不作動位置から偏
向せしめられる場合は、突片１４．１５が抵抗２０　、
２２の範囲に、おいて曲げられかつこれらの抵抗におい
て比例する抵折変化が生ぜしめられる。この抵抗変化は
評価回路で評価されかつさらに制御装置へ送られる。
【図面の簡単な説明】
第１図はセンサの斜視図、第２図は第１図の変形例の斜
視図である。 ＩＯ・・・シリコン小片、ｌｌ・・・センサ、１２・・
・振り子、１４．１５・・・突片

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １　車両又は車両部分の許容位置からずれた際に制御信
    号を発しかつ地震質量を有する振り子（１２）がエッチ
    ングされている単結晶材料製の保持体（１０）を持つ、
    車両、特に自動車、にある乗客保護装置を例えば自動的
    に作動させるための、加速度測定用センサ（１１）にお
    いて、振り子（１２）が少なくとも２つの曲げ棒（１４
    、１５）に取り付けられていることを特徴とする、加速
    度測定用センサ。 ２　曲げ棒（１４、１５）が振り子（１２）の縦軸線に
    対してほぼ平行に延びていることを特徴とする、請求項
    １に記載のセンサ。 ３　曲げ棒（１４、１５）が振り子（１２）の外縁と一
    直線をなすように延びていることを特徴とする、請求項
    １及び２のうち１つに記載のセンサ。 ４　保持体（１０）がシリコン小片であることを特徴と
    する、請求項１ないし３のうち１つに記載のセンサ。 ５、曲げ棒（１４、１５）上に半ブリッジ回路の抵抗（
    ２１、２３）が存在することを特徴とする、請求項１な
    いし４のうち１つに記載のセンサ。 ６、曲げ棒（１４、１５）上及び曲げ棒（１４、１５）
    の間の範囲の保持体（１０）上及び曲げ棒（１４、１５
    ）の間の範囲の振り子（１２）上に、それぞれホイート
    ストンプリツジ回路の抵抗（２０ないし２３）が配置さ
    れていることを特徴とする、請求項１ないし４のうち１
    つに記載のセンサ。 ７、抵抗（２１ａ）が振り子（１２）の曲げ４（１４、
    １５）とは反対側の端部に配置されていることを特徴と
    する、請求項６に記載のセンサ。 ８、抵抗（２１）が振り子（１２）の曲げ棒（１４、１
    ５）とは反対側の端部にできるだけ近く振り子（１２）
    上に配置されていることを特徴とする、請求項６に記載
    のセンサ。 ９、振り子（１２）の範囲に接着線（２６）が配置され
    ており、この接着線が振り子（１２）の運動を制限する
    ことを特徴とする、請求項１ないし８のうち１つに記載
    のセンサ。
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