JPH02148553A - 電子顕微鏡用真空試料室のスリップリング装置 - Google Patents
電子顕微鏡用真空試料室のスリップリング装置Info
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- JPH02148553A JPH02148553A JP63299556A JP29955688A JPH02148553A JP H02148553 A JPH02148553 A JP H02148553A JP 63299556 A JP63299556 A JP 63299556A JP 29955688 A JP29955688 A JP 29955688A JP H02148553 A JPH02148553 A JP H02148553A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は電子顕微鏡用真空試料室に配設した試料姿勢制
御装置へ電力を供給するスリップリング装置に関する。
御装置へ電力を供給するスリップリング装置に関する。
(従来技術)
従来のスリップリング装置はベークライトや樹脂などを
用いて円盤状の固定基盤、回転基盤を形成し、接着剤に
より電極を取り付けていた。
用いて円盤状の固定基盤、回転基盤を形成し、接着剤に
より電極を取り付けていた。
(発明が解決しようとする問題点)
ところで上記従来技術を真空室内で使用すると固定基盤
、回転基盤、接着剤、ハンダ、電線等から有害なガス放
出が多く、また、電極部の取り付けは接着剤によってい
るので発熱により接着不良が発生する。一方、電極部は
すべり機構のため真空室内に摩擦熱が蓄積され、高温と
なり耐熱性が問題となってくるだけでなく摩耗も大きく
なる。
、回転基盤、接着剤、ハンダ、電線等から有害なガス放
出が多く、また、電極部の取り付けは接着剤によってい
るので発熱により接着不良が発生する。一方、電極部は
すべり機構のため真空室内に摩擦熱が蓄積され、高温と
なり耐熱性が問題となってくるだけでなく摩耗も大きく
なる。
(問題点を解決するための手段)
本発明は上記問題点を解決することを目的とし、セラミ
ックスからなる円板状の基盤の少なくとも一方の面に同
心円状の複数個の凹溝を形成し、該凹溝内にリング状電
極を嵌合固定して固定基盤を形成し、セラミックスから
なる円板状の基盤の所定位置に円孔を穿設し、該円孔内
に鍔付円筒状金具を嵌合固定するとともに、内部に通電
用ボールとスプリングとを入れ該スプリングで通電ボー
ルを押圧して一部を外方に突出させるようにして回転基
盤を形成し、固定基盤に対向配設した回転基盤の通電ボ
ールを固定基盤のリング状電極に圧接回転する如くした
ことを特徴とするものである。
ックスからなる円板状の基盤の少なくとも一方の面に同
心円状の複数個の凹溝を形成し、該凹溝内にリング状電
極を嵌合固定して固定基盤を形成し、セラミックスから
なる円板状の基盤の所定位置に円孔を穿設し、該円孔内
に鍔付円筒状金具を嵌合固定するとともに、内部に通電
用ボールとスプリングとを入れ該スプリングで通電ボー
ルを押圧して一部を外方に突出させるようにして回転基
盤を形成し、固定基盤に対向配設した回転基盤の通電ボ
ールを固定基盤のリング状電極に圧接回転する如くした
ことを特徴とするものである。
以下5図示した実施例に基づいて具体的に説明する。1
は真空チェンバ用材料、例えば、アルミニウム合金、ス
テンレス鋼、ガラス、セラミックスからなる真空試料室
、2は電子顕微鏡ヘッドで真空試料室1上面に密嵌合し
上下動するようになっている。3は前記電子顕微鏡ヘッ
ド直下に配設した姿勢制御部筐体、4は該筐体3底部中
心に固定した超音波モータで、その垂直回転軸5は筐体
3に固定された支持台6,7の軸受8,9に軸支され、
上端に回転テーブル1oが一体に固定されている。回転
テーブル10の上面の軸受ハウジング11.11’ に
窒化硅素、もしくはステンレス鋼からなるスピンドル状
の試料ホルダー12を回転自在に軸支されている。
は真空チェンバ用材料、例えば、アルミニウム合金、ス
テンレス鋼、ガラス、セラミックスからなる真空試料室
、2は電子顕微鏡ヘッドで真空試料室1上面に密嵌合し
上下動するようになっている。3は前記電子顕微鏡ヘッ
ド直下に配設した姿勢制御部筐体、4は該筐体3底部中
心に固定した超音波モータで、その垂直回転軸5は筐体
3に固定された支持台6,7の軸受8,9に軸支され、
上端に回転テーブル1oが一体に固定されている。回転
テーブル10の上面の軸受ハウジング11.11’ に
窒化硅素、もしくはステンレス鋼からなるスピンドル状
の試料ホルダー12を回転自在に軸支されている。
試料ホルダー12はその中央上半部を切欠し、試料保持
部12aを形成している。13.13’は回転テーブル
10上の試料ホルダー12両側下方に配設された2組の
ピエゾ恥動機構である。
部12aを形成している。13.13’は回転テーブル
10上の試料ホルダー12両側下方に配設された2組の
ピエゾ恥動機構である。
14.14’はアクチュエータシューで、試料ホルダー
12に当接する部分14aはアルミ材で構成されている
。従って、試料ホルダー12との接触が異部材となり、
真空中での凝若がなくなるとともに、摩耗係数差が大き
いためにアクチュエーター14,14’ による試料ホ
ルダー12の回転が効果的に行われる。15.15’は
フィード用ピエゾ、16.16’ はクランプ用ピエゾ
、17.17’ は板ばね、18.18’ はフィード
レバーである。19は試料ホルダー12の水平軸回動位
置決め用のロータリーエンコーダである。20は超音波
モータ4の回動位置決め用のロータリーエンコーダであ
る。21は支持台6.7の中間に配設されたスリップリ
ング機構の固定基盤で、その上下に前記垂直回転軸5に
一体に固定された回転基盤22.23が対向し、外部よ
り固定基盤21に供給された電力を回転基盤22.23
より回転テーブル10上のピエゾ素子、ロータリーエン
コーダ19、およヒ超音波モータ4、ロータリーエンコ
ーダ20に伝達している。
12に当接する部分14aはアルミ材で構成されている
。従って、試料ホルダー12との接触が異部材となり、
真空中での凝若がなくなるとともに、摩耗係数差が大き
いためにアクチュエーター14,14’ による試料ホ
ルダー12の回転が効果的に行われる。15.15’は
フィード用ピエゾ、16.16’ はクランプ用ピエゾ
、17.17’ は板ばね、18.18’ はフィード
レバーである。19は試料ホルダー12の水平軸回動位
置決め用のロータリーエンコーダである。20は超音波
モータ4の回動位置決め用のロータリーエンコーダであ
る。21は支持台6.7の中間に配設されたスリップリ
ング機構の固定基盤で、その上下に前記垂直回転軸5に
一体に固定された回転基盤22.23が対向し、外部よ
り固定基盤21に供給された電力を回転基盤22.23
より回転テーブル10上のピエゾ素子、ロータリーエン
コーダ19、およヒ超音波モータ4、ロータリーエンコ
ーダ20に伝達している。
固定基盤21はセラミックスからなる円板状の基盤であ
り、両面にはそれぞれ同心円状の凹溝21a・・・・が
複数条形成されている。各凹溝21a内には、リング状
電極21b・・・・・・が嵌合固定されている。高温使
用時には、リング状電極21bがセラミックス製基盤2
1より熱膨張が大きく、基盤21へのリング状電極21
bの嵌合がより強固となる。固定基盤21の外周端面か
ら半径方向内方に向って電線埋設用孔21cが穿設され
ており、またこの孔21cには各凹溝21aの底部と連
絡される孔21d・・・・が穿設されている。
り、両面にはそれぞれ同心円状の凹溝21a・・・・が
複数条形成されている。各凹溝21a内には、リング状
電極21b・・・・・・が嵌合固定されている。高温使
用時には、リング状電極21bがセラミックス製基盤2
1より熱膨張が大きく、基盤21へのリング状電極21
bの嵌合がより強固となる。固定基盤21の外周端面か
ら半径方向内方に向って電線埋設用孔21cが穿設され
ており、またこの孔21cには各凹溝21aの底部と連
絡される孔21d・・・・が穿設されている。
これら孔21cおよび21dには外部電源と前記リング
状電極21bとを連結する電線24aが配設されている
。回転基ff122.23はセラミックスからなる円板
状の基盤の所定位置に円孔22a。
状電極21bとを連結する電線24aが配設されている
。回転基ff122.23はセラミックスからなる円板
状の基盤の所定位置に円孔22a。
23aを穿設し、その円孔22a、2:lla内に鍔付
円筒状金具22b、23bを嵌合固定している。その中
に通電ボール22c、23cを入れられ、その上から内
面に3個の突部22a、23eを突設し、電線24bを
接続したリング状の電極22f、23fがかぶせられて
いる。該電極22f、23fの上をスプリング22d、
23dによって押圧することにより、4電ボール22c
、23cは押圧されて一部を外方に突出させている。固
定基盤21は姿勢制御部筐体3に外周を固定し、その上
下に配設した回転基盤22.23を垂直回転軸5に固定
し、通電ボール22c、23cを固定基盤21のリング
状電極21bに圧接している。固定基盤21には外部電
源からの電線24aが各リング状電極21bに接続され
1回転基盤22.23の各通電ボール22c、23cの
リング電極22f、23fに接続された電、124bは
垂直回転軸5の内部を通って回転テーブル10上に配設
されたピエゾ駆動機構13.13’ のピエゾ素子及び
ロータリーエンコーダ19と筺体3の底部にある超音波
モータ4及びロータリーエンコーダ2oに接続されてい
る。
円筒状金具22b、23bを嵌合固定している。その中
に通電ボール22c、23cを入れられ、その上から内
面に3個の突部22a、23eを突設し、電線24bを
接続したリング状の電極22f、23fがかぶせられて
いる。該電極22f、23fの上をスプリング22d、
23dによって押圧することにより、4電ボール22c
、23cは押圧されて一部を外方に突出させている。固
定基盤21は姿勢制御部筐体3に外周を固定し、その上
下に配設した回転基盤22.23を垂直回転軸5に固定
し、通電ボール22c、23cを固定基盤21のリング
状電極21bに圧接している。固定基盤21には外部電
源からの電線24aが各リング状電極21bに接続され
1回転基盤22.23の各通電ボール22c、23cの
リング電極22f、23fに接続された電、124bは
垂直回転軸5の内部を通って回転テーブル10上に配設
されたピエゾ駆動機構13.13’ のピエゾ素子及び
ロータリーエンコーダ19と筺体3の底部にある超音波
モータ4及びロータリーエンコーダ2oに接続されてい
る。
次に作用について説明する。試料ホルダー12の試料保
持部12aに試料を載置する。電線24aの夫々により
固定基盤21のリング状電極21bに所定の電力が供給
′され1回転基盤22゜23の電極22b、23bに電
力が伝達される。超音波モータ4を作動すると回転テー
ブル10が水平回転し、ロータリーエンコーダ20によ
り位置決めが行われる。さらに、2組のピエゾ駆動機構
13.13’ 、ロータリーエンコーダ19、および超
音波モータ4、ロータリーエンコーダ20に電力が供給
される。その結果、方のピエゾ駆動機構13のクランプ
状態を解除し、他方のピエゾ駆動機構13′のアクチュ
エーター14′を試料ホルダー12に接触させ。
持部12aに試料を載置する。電線24aの夫々により
固定基盤21のリング状電極21bに所定の電力が供給
′され1回転基盤22゜23の電極22b、23bに電
力が伝達される。超音波モータ4を作動すると回転テー
ブル10が水平回転し、ロータリーエンコーダ20によ
り位置決めが行われる。さらに、2組のピエゾ駆動機構
13.13’ 、ロータリーエンコーダ19、および超
音波モータ4、ロータリーエンコーダ20に電力が供給
される。その結果、方のピエゾ駆動機構13のクランプ
状態を解除し、他方のピエゾ駆動機構13′のアクチュ
エーター14′を試料ホルダー12に接触させ。
フィード用ピエゾ16′ を作動してアクチュエーター
14′を前進し、試料ホルダー12を回転する。同時に
クランプを解除されている他方のピエゾ駆動機枯13は
元の位置に戻され″、前記ピエゾ昧動機構13′の作動
が停止すると同時に、一方のピエゾ駆動機構13を作動
して試料ホルダー12を同一方向に回転する。この動作
を繰返して試料ホルダー12を連続回転する。
14′を前進し、試料ホルダー12を回転する。同時に
クランプを解除されている他方のピエゾ駆動機枯13は
元の位置に戻され″、前記ピエゾ昧動機構13′の作動
が停止すると同時に、一方のピエゾ駆動機構13を作動
して試料ホルダー12を同一方向に回転する。この動作
を繰返して試料ホルダー12を連続回転する。
(効 果)
本発明によるとセラミックスからなる円板状の基盤の少
なくとも一方の面に同心円状の複数個の凹溝を形成し、
該凹溝内にリング状電極を嵌合固定して固定基盤を形成
し、セラミックスからなる円板状の基盤の所定位置に円
孔を穿設し、該円孔内に鍔付円筒状金具を嵌合固定する
とともに、内部に通電用ボールとスプリングとを入れ該
スプリングで通電ボールを押圧して一部を外方に突出さ
せるようにして回転基盤を形成し、固定基盤に対向配設
した回転基盤の通電ボールを固定基盤のリング状電極に
圧接回転する如くしであるので、固定基盤1回転基盤か
ら有害なガス放出がなく、又電極部に接着剤、ハンダが
使用されていないので発熱により接着不良が発生しない
。したがって1通電に支障を生ぜず耐熱性がアップでき
真空環境での使用に好適である。
なくとも一方の面に同心円状の複数個の凹溝を形成し、
該凹溝内にリング状電極を嵌合固定して固定基盤を形成
し、セラミックスからなる円板状の基盤の所定位置に円
孔を穿設し、該円孔内に鍔付円筒状金具を嵌合固定する
とともに、内部に通電用ボールとスプリングとを入れ該
スプリングで通電ボールを押圧して一部を外方に突出さ
せるようにして回転基盤を形成し、固定基盤に対向配設
した回転基盤の通電ボールを固定基盤のリング状電極に
圧接回転する如くしであるので、固定基盤1回転基盤か
ら有害なガス放出がなく、又電極部に接着剤、ハンダが
使用されていないので発熱により接着不良が発生しない
。したがって1通電に支障を生ぜず耐熱性がアップでき
真空環境での使用に好適である。
第1図は本発明の一実施例正断面図、第2図は第1図の
ピエゾ恥動機構斜視図、第3図は第2図の7クチユエー
タシユーが試料ホルダーに接触している部分の正面図、
第4図は第1図の試料ホルダー支持装置側面図、第5図
は固定基盤の平面図、第6図は固定基盤の凹溝に嵌合固
定されているリング状電極の平面図、第7図は固定基盤
の正断面図、第8図は回転基盤のセラミック円盤平面図
、第9図は回転基盤の電極部正断面図、第10図は通電
ボールの電極斜視図である。 1・・・真空試料室 2・・・電子顕微鏡ヘッド
3・・・姿勢制御部筺体 4・・・超音波モータ5・
・・垂直回転軸 6,7・・・支持台8.9・・
・軸受 10・・・回転テーブル11.11’
・・・ハウジング 12・・・試料ホルダー 21・・・固定基盤21a
・・・凹溝 21b・・・リング状電極22
.23・・・回転基盤 22a、23a・・・円孔 22b、23b・・・鍔付円筒状金具 22c、23c・・・通電ボール 22d、23d・・・スプリング
ピエゾ恥動機構斜視図、第3図は第2図の7クチユエー
タシユーが試料ホルダーに接触している部分の正面図、
第4図は第1図の試料ホルダー支持装置側面図、第5図
は固定基盤の平面図、第6図は固定基盤の凹溝に嵌合固
定されているリング状電極の平面図、第7図は固定基盤
の正断面図、第8図は回転基盤のセラミック円盤平面図
、第9図は回転基盤の電極部正断面図、第10図は通電
ボールの電極斜視図である。 1・・・真空試料室 2・・・電子顕微鏡ヘッド
3・・・姿勢制御部筺体 4・・・超音波モータ5・
・・垂直回転軸 6,7・・・支持台8.9・・
・軸受 10・・・回転テーブル11.11’
・・・ハウジング 12・・・試料ホルダー 21・・・固定基盤21a
・・・凹溝 21b・・・リング状電極22
.23・・・回転基盤 22a、23a・・・円孔 22b、23b・・・鍔付円筒状金具 22c、23c・・・通電ボール 22d、23d・・・スプリング
Claims (1)
- セラミックスからなる円板状の基盤の少なくとも一方の
面に同心円状の複数個の凹溝を形成し、該凹溝内にリン
グ状電極を嵌合固定して固定基盤を形成し、セラミック
スからなる円板状の基盤の所定位置に円孔を穿設し、該
円孔内に鍔付円筒状金具を嵌合固定するとともに、内部
に通電用ボールとスプリングとを入れ該スプリングで通
電ボールを押圧して一部を外方に突出させるようにして
回転基盤を形成し、固定基盤に対向配設した回転基盤の
通電ボールを固定基盤のリング状電極に圧接回転する如
くなした電子顕微鏡用真空試料室のスリップリング装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63299556A JPH02148553A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 電子顕微鏡用真空試料室のスリップリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63299556A JPH02148553A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 電子顕微鏡用真空試料室のスリップリング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02148553A true JPH02148553A (ja) | 1990-06-07 |
Family
ID=17874152
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63299556A Pending JPH02148553A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 電子顕微鏡用真空試料室のスリップリング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02148553A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100391665B1 (ko) * | 2001-05-10 | 2003-07-12 | 현대자동차주식회사 | 자동차 윈도우의 열선 컨넥터 구조 |
-
1988
- 1988-11-29 JP JP63299556A patent/JPH02148553A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100391665B1 (ko) * | 2001-05-10 | 2003-07-12 | 현대자동차주식회사 | 자동차 윈도우의 열선 컨넥터 구조 |
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