JPH02131947A - 液体噴射記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体噴射記録ヘッド、詳しくは、インク等の
記録用液体の小滴を発生させ、それを紙などの被記録材
に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式に用いる記
録用液体の小滴発生用の記録ヘッドに関する。

〔従来の技術］ インク等の記録用液体の小滴を発生させ、それを紙など
の被記録材に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式
は、記録時の騒音の発生が無視できる程度に極めて小さ
く、かつ高速記録が可能であり、しかも普通紙に定着な
どの特別な処理を必要とせずに記録を行なうことのでき
る記録方式として注目され、最近種々のタイプのものが
活発に研究されている。

液体噴射記録方式に用いられる記録装置の記録ヘッド部
は、一般に、記録用液体を吐出するためのオリフィス（
液体吐出口）と、該オリフィスに運通し、記録用液体を
吐出するためのエネルギーが記録用液体に作用する部分
を有する液体通路と、該液体通路に供給する記録用液体
を貯留するだめの液室とを有して構成されている。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路の一部を構成する記録用液体に吐出エネルギ
ーを作用させる部分（エネルギー作用部）の所定の位置
に配設された発熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐
出エネルギー発生素子によって発生されるものが多い。

このような構成の液体噴射記録ヘッドを製造する方法と
しては、例えば、ガラス、金属等の平板に切削やエッチ
ング等によって、微細な溝を形成し、更にこの溝を形成
した平板に他の適当な板を接合して液体通路を形成する
工程を含む方法、あるいは例えば吐出エネルギー発生素
子の配置された基板上に硬化した感光性樹脂の溝壁をフ
ォトリソグラフィー工程によって形成して、基板上に液
体通路となる溝を設け、このようにして形成された溝付
き板に、他の平板（覆い）を接合して液体通路を形成す
る工程を含む方法が知られている（例えば特開昭５７−
４３８７６号）．これらの液体噴射記録ヘッドの製造方
法のなかでは、感光性樹脂を使用した後者の方法は、前
者の方法に対して、液体通路をより精度良く、かつ歩留
り良く微細加工でき、しかも量産化が容易であるので、
品質が良く、より安価な液体噴射記録ヘッドを提供する
ことができるという利点を有している。

このような記録ヘッドの製造に用いる感光性樹脂として
は、印刷版、プリント配線等におけるパターン形成用と
して用いられてきたもの、あるいはガラス、金属、セラ
ミックス等に用いる光硬化型の塗料や接着剤として知ら
れているものが用いられており、また作業能率などの面
からドライフィルムタイプの樹脂が主に利用されてきた
。

〔発明が解決しようとする課題〕

感光性樹脂の硬化膜を構成の一部に利用する記録ヘッド
において、高度な記録特性、耐久性及び信頼性等の優れ
た特性を得るためには、用いる感光性樹脂に、 （１）特に、硬化膜として基板等との接着性に優れてい
る、 （２）硬化した際の機械的強度及び耐久性等に優れてい
る、 （３）パターン露光を用いたパターンニングの際の感度
及び解像度に優れている などの特性を有していることが要求される。

ところが、これまでに知られている液体噴射記録ヘッド
の形成に用いられてきた感光性樹脂には、上記の要求特
性を全て満足したものは少ないのが現状である。

例えば、記録ヘッド用の感光性樹脂として、印刷版、プ
リント配線等におけるパターン形成用として用いられて
いるものは、感度及び解像度においては優れているが、
基板として用いられるガラス、セラミックス、プラスチ
ックフィルムなどに対する接着性や密着性に劣り、しか
も硬化した際の機械的強度や耐久性が十分でない。その
ため、記録ヘッドの製造段階において、または使用にと
もなって、例久ば液体通路内の記録用液体の流れを阻害
したり、あるいは液滴吐出方向を不安定にするなどして
記録特性を低下させる等、記録ヘッドの信頼性を著しく
損なう原因となる樹脂硬化膜の変形や基板からの剥離、
損傷などが起き易いという欠点を有している。

一方、ガラス、金属、セラミックス等に用いる光硬化型
の塗料や接着剤として知られているものは、これらの材
質からなる基板に対する密着性や接着性に優れ、かつ硬
化した際に十分な機械的強度や耐久性が得られるという
利点を有しているものの、感度及び解像度に劣るために
、より高強度の露光装置や長時間の露光操作が必要とさ
れ、また、その特性上、解像度良く精密な高密度パター
ンを得ることができないために、特に微細な精密加工が
要求される記録ヘッド用としては向いていないという問
題点を有している。

また、従来の種々の用途に利用されている感光性樹脂組
成物においては、例えば金属との錯体形成能を有する複
素環式化合物等の種々の添加助剤、あるいはカップリン
グ剤等を感光性樹脂組成物に添加し、金属等との密着性
を向上させていた（特公昭５１−５９３４、特公昭５８
−２４０３５など）．シかしこの方法には、長期間が経
過すると、上記添加助剤等がその組成物の酸化および腐
蝕等の現象を引き起こしてしまうという問題があった。

一方、そのような添加助剤等を添加しなくとも十分な密
着性を有する硬化組成物を得ることを目的として、枝鎖
に極性基を有するグラフト共重合体より成る高分子物質
が特開昭６１−２８３６４５　，特開昭６１−２８３６
４６において開示されている。そこで開示された高分子
物質（グラフト共重合高分子）を含有する活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物は、添加助剤等に頼ること無く、
密着性の向上、更には塗膜の耐久性の向上を実現するこ
とができるという利点を有している。

しかしながら、この組成物においては、その高分子物質
（グラフト共重合高分子）の分子設計に困難性が伴なう
という問題がまだ残されていた。

すなわち、一般に、枝鎖の分子量および含有率を一定に
しつつ、グラフト共重合体全体の重量平均分子量を広範
囲（５万〜３５万程度）に渡り適宜所望の値の分子量に
なるよう合成することは、技術的に困難を伴なう． つまり、パターン形成時の現像特性、すなわち未重合部
の溶解速度、重合部の膨潤性、そしてそれらの結果とし
ての感度、パターンのシャープさ、解像度を良好なもの
とするには、高分子物質の平均分子量は小さ過ぎてはな
らない。グラフト共重合高分子において、比較的大きな
分子量の幹鎖に、有効な密着性が得られる程度に十分な
長さを持った技鎖を多数結合させ、上述した目的に合致
する平均分子量を得ることは、現在の合成技術において
は、立体的障害の点から困難を伴なうものである。

言い替えれば、高分子物質の平均分子量が低すぎると、
それを用いたパターン形成材料の現像特性、すなわち未
重合部の溶解速度、重合部の膨潤性、そしてそれらの結
果としての感度、パターンのシャープさ、解像度の調節
に一定の制限を受けるのである。

本発明は上記問題点に鑑み成されたものであり、その目
的は、添加助剤等を添加しなくとも十分な密着性を有し
、パターン形成時の現像特性に優れ、かつ液体噴射記録
ヘッドの構成部材として良好な特性を得られるようにそ
の特性を制御することが容易な活性エネルギー線硬化型
樹脂組成物を用い、安価で精密であり、信頼性が高く、
耐久性に優れた記録ヘッドを提供することにある。

本発明の他の目的は、液体通路が精度良くかっ歩留り良
く微細加工された構成を有した液体噴射記録ヘッドを提
供することにある。

本発明の他の目的は、マルチオリフィス化された場合に
も信頼性が高く、耐久性に優れた液体噴射記録ヘッドを
提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的は以下の本発明によって達成することができ
る。

本発明は、活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化物
をその構成の一部とする液体噴射記録ヘッドであって、
前記組成物が、 （Ａ）アルキルメタアクリレート、アクリ口ニトリルお
よびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマ
ー（以下「モノマー成分■」という）に由来する構造単
位を主体とする幹鎖に、下記一般式（ｘ）で表わされる
千ノマー及び下記一般式（Ｙ）で表わされるモノマーか
らなる群より選択された少なくとも一種のモノマー（以
下「モノマー成分■」という）に由来する構造単位を有
する枝鎖が付加されてなり、かつ数平均分子量が５千以
上であり、重量平均分子量が５万以下であるグラフト共
重合高分子と、 Ｒ１ ｉ ＣＨ２＝Ｃ　　　　　　　　　　　　・・・（ｘ）０＝
Ｃ−ＮＨ−ＣＨ２−０−Ｒ２ Ｒ１ ＣＨ２＝Ｃ　　　　　　　　　　　　・・・（ｙ）０＝
Ｃ−０−Ｒ３−ＯＨ （ただし、Ｒｌは水素、もしくは炭素原子数が１〜３の
アルキル基またはヒドロキシアルキル基を表わし、Ｒ２
は水素、もしくは炭素原子数が１〜４のヒドロキシ基を
有していてもよいアルキル基またはアシル基を表わし、
Ｒ３は炭素原子数２〜６のアルキル基、あるいはハロゲ
ン置換されたアルキル基、 −Ｃ−Ｃ　Ｈ　ｚ六一ｏ　−ｆｃ　Ｈ　ｚ−｝−＝（た
だし、２≦ｍ十ｎ≦６、ｎ≠０、ｍ≠○）で表わされる
アルキルエーテル基、 （ただし、２≦ｍ＋ｎ≦４、ｎ＝ｏあるいはｍ＝Ｏの場
合も含む） で表わされるフェニルアルキル基である。）（Ｂ）メチ
ルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、イソブ
チルメタアクリレート、ｔ−プチルメタアクリレート、
ペンジルメタアクリレート、アクリロニトリル、インボ
ルニルメタアクリレート、イソボルニルアクリレート、
トリシクロデカンアクリレート、トリシクロデカンメタ
アクリレート、トリシクロデカン才キシエチルメタアク
リレート、スチレン、ジメチルアミノエチルメタクリレ
ート、シクロへキシルメタクリレートからなるモノマー
からなる群より選ばれた一種以上のモノマー（以下「モ
ノマー成分◎」という）に由来する構造単位を有し、か
つ前記一般式（ｘ）表わされるモノマー及び前記一般式
（ｙ）で表わされるモノマーかうなる群より選択された
少なくとも一種のモノマー（以下モノマー成分■′とい
う；ただし、モノマー成分■とモノマー成分■′は同一
の組成を有するものであっても、異なる組成のものであ
っても良い）に由来する構造単位を有し、かつ数平均分
子量が５万以上であり、重量平均分子量が３５万以下で
あり、ガラス転移温度が６０℃以上である線状高分子と
、 （Ｃ）オリゴエステルジオールあるいはオリゴエーテル
ジ才一ルと二価イソシアネートから得られるエステル化
されたポリウレタンの分子鎖末端がアクリル酸エステル
化された化合物（以下、光重合性ポリウレタンと略称す
る。）と、（Ｄ）光開始剤と を含むことを特徴とする。

本発明の液体噴射記録ヘッドは所望に応じて種々の構成
を取ることができるが、少なくとも上記樹脂組成物の硬
化物がその構成の一部として用いられる。

以下、図面に従って本発明の液体噴射記録ヘツドの一例
を詳細に説明する。

第１図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一例であり、第
１図（ａ）はその主要部の斜視図、第１図（ｂ）は第１
図（ａ）のＣ−Ｃ線に添った切断断面図である。

この液体噴射記録ヘッドは、基本的に、基板１と、該基
板上に設けられ、所定の形状にパターンニングされた樹
脂硬化膜からなる液体通路壁３Ｈと、該液体通路壁土に
積層された覆い７とを有してなり、これらの部材によっ
て、記録用液体を吐出するためのオリフィス９、該オリ
フィスに連通し、記録用液体を吐出するためのエネルギ
ーが記録用液体に作用する部分を有する液体通路６−２
及び該液体通路に供給する記録用液体を貯留するための
液室６−１が形成されている。更に、覆いに設けられた
貫通孔８には、記録ヘッド外部から液室６−１に記録用
液体を供給するための供給管ＩＯが接合されている。尚
、第１図（ａ）には、供給管１０は省略してある。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路６−２の一部を構成する記録用液体に吐出エ
ネルギーを作用させる部分の所定の位置に配設された発
熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐出エネルギー発
生素子２に、これら素子に接続してある配線（不図示）
を介して吐出信号を所望に応じて印加することにより発
生される。

本発明の記録ヘッドを構成する基板ｌは、ガラス、セラ
ミックス、プラスチックあるいは金属等からなり、発生
素子２が所望の個数所定位置に配設される。なお、第１
図の例においては発生素子が２個設けられているが、発
熱素子の個数及び配置は記録ヘッドの所定の構成に応じ
て適宜決定される。

また、覆い７は、ガラス、セラミックス、プラスチック
または金属等の平板からなり、融着あるいは接着剤を用
いた接着方法により液体通路壁３Ｈ上に接合されており
、また所定の位置に供給管ＩＯを接続するための貫通孔
８が設けられている。

この記録ヘッドにおいて、液体通路６−２及び液室６−
１の壁３Ｈを構成する所定の形状にパターンニングされ
た樹脂硬化膜は、基板１上に、または覆い７上に設けた
前述した構成成分（Ａ）〜（Ｄ）を含む活性エネルギー
線硬化型樹脂組成物からなる層をフォトリソグラフィー
工程によってパターンニングして得られたものである。

以上、液体通路壁３｝１の構成に該樹脂組成物の硬化膜
を用いた例を説明したが、該樹脂組成物の硬化膜（硬化
物）は、記録ヘッドのその他の部分に好適に利用し得る
。

例えば、液体通路に垂直な記録ヘッドの部分断面として
表した第７図（ａ）〜（ｈ）に示すように １　覆い７として（ａ） ２．液体通路壁３Ｈ及び覆い７として（ｂ）（この場合
液体通路壁３Ｈと覆い７は一体化されて形成されていて
も良いし、別途形成後接合されたものあっても良い．） ３．各種樹脂等から形成した液体通路壁３Ｈと覆い７と
の接着層１４（ｃ）、（８）及び（ｇ）とし４．液体通
路壁３Ｈ及び液体通路壁３Ｈと覆い７との接着層１４と
して（ｄ）及び（ｆ） ５．液体通路壁３Ｈ及び液体通路壁３Ｈと覆い７との接
着Ｎ１４（２層構成）として（ｈ） の利用を挙げることができる。なお、上記構成のなかで
第７図（ａ）〜（８）、（ｈ）の構成及び第７図（ｆ）
における液体通路壁３Ｈの形成には、トライフィルムタ
イプのものが好適に利用でき、また第７図（ｆ）及び（
Ｇ）の接着剤層ｌ４には、液体状で用いて硬化させるタ
イプが好適に用いられる。

更に、本発明の記録ヘッドは、第８図（ａ）及び（ｂ）
並びに第９図に示す液体通路（６−２　）に対して垂直
な方向に液滴な吐出する構造を有するものであっても良
く、その際には、例えば第１０図（ａ）及び（ｂ）に示
す部分等上記第７図に示したのと同様の部分などに該樹
脂組成物の硬化膜が好適に利用できる． 以下、本発明の記録ヘッドの構成の用いる前述した構成
成分（Ａ）〜（Ｄ）を含む活性エネルギー線硬化型樹脂
組成物について説明する．該樹脂組成物は、特に硬化膜
とした際にガラス、プラスチック、セラミックス等から
なる基板等の各種部材に対して良好な接着性を有し、か
つインク等の記録用液体に対する耐性及び機械的強度に
も優れ、しかも活性エネルギー線によるバターニングに
よって精密で高解像度のパターンを形成することができ
るという液体噴射記録ヘッドの構成部材として優れた特
性を有するものである。

更に、この樹脂組成物は、ドライフィルムとして用いる
ことができ、その際にも上記の優れた特性が発揮される
． 該樹脂組成物に含まれる前記グラフト共重合高分子（Ａ
）の幹鎖は、前述のモノマー成分■を生成分として形成
される． 枝鎖に用いるモノマーとしては、前述のモノマー成分■
に加え、必要に応じて以下の極性モノマーを併用するこ
とが可能である． （１）アミノ基またはアルキルアミノ基含有アクリルモ
ノマー （ＩＩ）カルボキシル基含有アクリルまたはビニルモノ
マー （ＩＩＩ）Ｎ−ビニルビロリドン、もしくはその誘導体 （ＩＶ）　ビニルビリジン、もしくはその誘導体また、
疎水性モノマーも、約２５モル％以下の範囲内で共重合
の成分として用いることができる。

該グラフト共重合高分子（Ａ）は、例えば「ボリマーア
ロイ基礎と応用」　（高分子学会編集、東京化学同人側
発行、１９８１年）のｌＯ〜３５頁に記載されているよ
うな、従来より公知の種々の重合方法で得ることができ
る。それらの方法としては、■連鎖移動法、■放射線を
用いる方法、■酸化重合法、■イオングラフト重合法、
■マクロモノマー法などがある。これらの方法を用い、
先に例示したモノマー成分■とモノマー成分■を用いて
、数平均分子量５千以上、重１平均分子量５万以下のグ
ラフト共重合高分子が得らえるように適宜重合条件を選
定して重合することによって、該グラフト共重合高分子
（Ａ）を得ることができる．なお、前記方法■〜■のう
ち、■あるいは■の方法を用いると、共重合高分子（Ａ
）の鎖枝の長さが揃うので好ましい．特に■のマクロモ
ノマー法はより好ましい方法である。

該樹脂組成物に含まれる前記線状高分子（Ｂ）は、前述
したモノマー成分◎を主成分とし、かつ前述したモノマ
ー成分■′を加え、数平均分子量５万以上、重量平均分
子量３５万以下で、ガラス転移温度６０℃以上の重合体
になるように、適宜重合条件を選定しつつ、従来より公
知の方法を用いて重合することにより得ることができる
。なお、モノマー成分■′は、５モル％から３０モル％
の範囲で加えることが好ましい。線状高分子中にこの千
ノマー成分■′を３０モル％を越久て含有させると、硬
化塗膜中の極性基濃度が高くなり、密着性向上の効果が
それ以上上昇せずに、耐水性の低下が現われてくるので
好ましくない。また、得られた線状高分子中のモノマー
成分■′が５モル％以下であると、基板との密着性だけ
でなく塗膜の結合剤としての効果が不十分になる。

該樹脂組成物の硬化膜に、高いガラス転移温度を与え、
耐水性を高める目的では、前述した千ノマー成分◎とし
て、メチルメタクリレート、イソポルニルメタクリレー
ト、イソボルニルアクリレート、トリシクロデカンメタ
クリレート、トリシクロデカンアクリレート等は特に好
ましい結果を与える。

前記光重合性ポリウレタン（Ｃ）としては、例えば才リ
ゴエステルアクリレート、オリゴエーテルアクリレート
等が挙げられる。

この光重合性ポリウレタン（Ｃ）は、下記■〜■の材科
を用いて得ることができる． ■二価イソシアネート ００ル ■１１０−　［Ｒ’−０−Ｒ’一〇］．一〇．オリゴエ
ーテルジオールル すなわち、■と■を反応させた後、■と反応させること
によってオリゴエステルウレタンアクリレートが得られ
る、また、■と■を反応させた後、■と反応させること
によってオリゴエーテルウレタンアクリレートが得られ
る。

化合物■の例としては、トリレンジイソシアナート、ヘ
キサメチレンジイソシアナート、ジフエニルメタンジイ
ソシアナート、リジンジイソシアナート、イソホロンジ
イソシアナート、キシリレンジシソシアナート、ジシク
ロヘキサンメタンジイソシアナート、トリメチルヘキサ
ンメチレンジイソシアナートが挙げられる． オリゴエステルジオールを形成するＲ４は、二価アルコ
ールの残基であり、Ｒ４を構成できる二価アルコールと
しては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、
ネオペンチルグリコール、１，４−ペンタンジオール、
１．６−ヘキサンジオール、ビスフェノールＡ、ポリエ
チレングリコール、ボリブロビレングリコール、テトラ
メチレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、
水酸基末端液状ゴム、シリコールジオール等が挙げられ
る。

Ｒ′は二塩基酸の残基であり、Ｒｇを構成できる二塩基
酸としては、アジビン酸、フタル酸、こはく酸、グルタ
ル酸、セバシン酸、ビメリン酸、アゼライン酸、イソフ
タル酸等が挙げられるオリゴエーテルジ才−ル■を形成
するＲ８およびＲ７は、ポリエーテルの残基であり、エ
チレンオキシド、ブロビレンオキシド、テトラヒド口フ
ランの開環重合体のアルキル鎖な表している。

上記方法により得ることのできる光重合性ポリウレタン
（Ｃ）としては、例えば、１．１０−デカンジ才−ルと
イソホロンジイソシアナートとの反応から得られる反応
生成物と、２−ヒドロキシブチルメタクリレートとを反
応して得られるポリウレタンアクリレート：ネ才ペンチ
ルグリコールとアジビン酸から得られるポリエステルボ
リ才一ルとイソホロンジイソシアナートの反応物生成物
に、更に２−ヒドロキシエチルアクリレートを反応させ
て得られるポリウレタンアクリレート；ビスフェノール
Ａ１モルに対して２モルの割合のプロビレノキシドを付
加して得たアルコール化合物とトリレンジイソシアナー
トとの反応生成物に２一ヒドロキシエチルアクリレート
を反応させて得られるポリウレタンアクリレート；ヒド
ロキシビバリルとパレートと１．６−ヘキサンジ才一ル
ジイソシアナートとの反応生成物に３−クロロ−２−ヒ
ドロキシブ口ビルメタアクリレートを反応させて得られ
るポリウレタンアクリレート等を挙げることができる。

なお、市販品としては、下記一般式で表わされるＡＲＯ
ＮＩＸ　　Ｍ−１１００、Ｍ−１２００（東亜合成化学
工業株式会社製） ＣＨ２＝ＣｆｌＣＯＯ−　Ｒ’　−００ＣＮＨ−Ｒ−Ｎ
｝ＩｃＯＯ　−ｐｏｌｙｏｌ　−−ＯＯＣＮＨ　−Ｒ−
Ｎ｝ＩＣＯＯ−　Ｒ’　−００ＣＣＨ＝ＣＨ２　：ＮＫ
エステルＵ−４−１０８−Ａ　（２官能性ボリウレタン
）．ＮＫエステルＵ−４ＨＡ　（４官能性ポリウレタン
）（いずれも新中村化学工業社製）、ＰＨＴＯＴＭＥＲ
　　６００８　（ＳＡＮＮＯＰＣＯ　　株式会社製）等
を挙げることができる。

また、更に任意成分として、低粘度の反応性希釈千ノマ
ーを含有させてもよい。

前記光開始剤（Ｄ）としては、ベンジルエーテル、ペン
ジルメチルケタノール（イルガキュア６５１、チバ・ガ
イギー■製など）、ペンゾインアルキルエーテル類：ベ
ンゾインイソブチルエーテル、ペンゾインイソプ口ビル
エーテル、ペンゾインーｎ−プチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテル、ベンゾインメチルエーテルなど、ベ
ンゾフエノン類：ベンゾフェノン、４．４゜−ビス（Ｎ
，Ｎジエチルアミノ）ペンゾフェノン、ペンゾフェノン
メチルエーテルなど、アントラキノン類：２一二チルア
ントラキノン、２−ｔｅｒｔブチルアントラキノンなど
、キサントン類：２，４−ジメチルチ才キサントン、２
．４−ジイソブ口ビルチ才キサントンなど、アセトフエ
ノン類：２．２−ジメトキシー２−フェニルアセトフェ
ノン、α、α−ジクロロー４−フェノキシアセトフェノ
ン、ｐ　−　ｔｅｒｔ　−プチルトリク口ロアセトフェ
ノン、ｐ−ｔｅｒｔ−プチルジク口ロアセトフェノン、
２．２−ジェトキシアセトフエノン、ｐ−ジメチルアミ
ノアセトフェノンなど、あるいはヒドロキシシク口へキ
シルフェニルケトン（イルガキュア１８４、チバ・ガイ
ギー■製など），１−（４−イソブロビルフェニル）−
２−ヒドロキシー２−メチルプロパン−１−オン（ダロ
キュア１１１６　　メルク■製など）、２一ヒドロキシ
−２−メチル−１−フエニルプロパン−１−オン（ダロ
キュア１１７３、メルク■製なと）等が好適に用いられ
るものとして挙げられる。これらの光重合開始剤に加え
て、光重合促進剤としてアミン化合物を添加してもよい
．その光重合促進剤に用いられるアミノ化合物としては
、エタノールアミン、エチル−４−ジメチルアミノベン
ゾエート、２−（ジメチルアミノ）エチルベンゾエート
、ｐ−ジメチルアミノ安恵香酸ｎ−アミルエステル、ｐ
−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル等が挙げ
られる。

次に、以上の各組成分の配合比は、これら組成分を含む
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の本発明の液体噴射
記録ヘッドにおける使用部位あるいは使用目的に応じて
適宜選択される。

例えば、グラフト共重合高分子（Ａ．）と線状高分子（
Ｂ）ト（７）重量比率ハ（Ａ）：（Ｂ）＝　８０：２０
〜５０：５０の範囲が望ましく、この範囲であるとグラ
フト共重合高分子に基づく良好な密着性と、線状高分子
に基づく良好なパターニング性が得られる。

高分子物質の合計量（Ａ）＋（Ｂ）に対して、光重合性
ポリウレタン（Ｃ）との重量比率は、　（Ａ）　＋　（
Ｂ）：（Ｃ）＝　　１００：５０〜１００：２００の範
囲が望ましい。光開始剤（Ｄ）は、前記樹脂の合計量（
Ａ）◆（Ｂ）　＋　（Ｃ）に対して　（Ａ）　＋　（Ｂ
）　＋　（Ｃ）　：　（Ｄ）　＝　１００：　１〜１０
０：１０の範囲で用いる。

また、上記光開始剤（ＤＪ及び光重合促進剤（Ｅ）を用
いる場合のこれらの添加ｆｆｉ　｛（Ｄ）　＋（Ｅ）　
）は、前記樹脂の合計量（Ａ）　＋　（Ｂ）　＋　（Ｃ
）に対して｛　（Ａ）＋（Ｂ）十（Ｃ））　：　｛（Ｄ
）＋（Ｅ））　＝　１００：　ＩＮ１００：１０の範囲
で用いるのが望ましい． 更に、該活性エネルギー線硬化型樹脂組成物には、必要
に応じて、縮合架橋触媒、熱重合禁止剤、充てん剤、染
料や顔料等の着色剤、ヒドロキノンやバラメトキシフェ
ノール等の熱安定剤、密着促進剤、可塑剤、シワ力やタ
ルク等の体質顔料、塗工適性を与えるレベリング剤など
を添加しても良い。

例えば、縮合架橋触媒としては、パラトルエンスルホン
酸に代表されるスルホン酸、ギ酸などのカルボン酸等が
挙げられる。熱重合禁止剤としては、ハイドロキノンお
よびその誘導体、バラメトキシフェノール、フェノチア
ジン等が挙げられる。着色剤としては、油溶性染科及び
顔料が活性エネルギー線の透過を実質的に防げない範囲
で添加され得る。充填剤は、塗膜の硬度上昇、着色、密
着性、機械的強度上昇のために、塗料一般で使用される
体質顔料、プラスチック微粒子等が用いられる。密着促
進剤としては、無機質表面改質剤としてのシランカップ
リング剤、低合子界面活性剤等がある。

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製のために、上述の活
性エネルギー線硬化型樹脂組成物を溶液状で用いる際、
あるいはドライフィルムとする際に、該樹脂組成物をフ
ィルム基材であるプラスチックフィルムなどの上に塗布
する場合などに用いる溶剤としては、アルコール類、グ
リコールエーテル類、グリコールエステル類等の親水性
溶剤などが挙げられる。もちろん、これら親水性溶剤を
主体とし、それらに必要に応じてメチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトン等のケトン類、酢酸エチル、酢
酸イソブチル等のエステル類、トルエン、キシレン等の
芳香族炭化水素及びそのハロゲン置換体、塩化メチレン
、１，１．１−トリクロルエタン等の塩素含有の脂肪族
溶剤等を適宜混合したものを用いることもできる．尚、
これら溶剤は、本発明の樹脂組成物の現像液として用い
ることもできる。

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製に際して、該樹脂組
成物は、通常の方法によって基板等の上に硬化層を形成
できる。

例えば、 （１）基板等の上に硬化した塗布膜からなる層を形成す
る場合； 液体状の上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を基板
等の上に液状塗布膜を形成するため付与し、引き続いて
蒸発乾燥させる。そして得られた乾燥塗布膜に、活性エ
ネルギー線を照射することでこれを硬化させて、硬化塗
布膜からなる層とする。

（２）基板等の上に所望パターンの形状の硬化した塗布
膜からなる層を形成する場合（その１）；液体状の上記
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を液状塗布膜を形成
するため基板等の上に付与し、引き続いて蒸発乾燥させ
る。そして乾燥した塗布膜からなる層に所望のパターン
にレーザービームを走査し、未露光部を１，　１．　１
−　１−リクロ口エタン等の適当な溶剤で除去すること
で基板等の上に所望のパターン形状の硬化塗布膜層を形
成する。

（３）基板等の上に所望のパターン形状の硬化塗布膜か
らなる層を形成する場合（その２）；基板等の上に、液
体状の上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を液状塗
布膜を形成するために付与し、続いて蒸発乾燥する．得
られた乾燥塗布膜からなる層上に、活性エネルギー線が
透過しない所望の形状をもったパターンを有するフォト
マスクを重ね合わせ、フォトマスク上から活性エネルギ
ー線で露光する。そして、未露光部を１．１，ｉトリク
ロ口エタン等の適当な溶剤によって除去し、基板等の上
に所望のパターン形状の硬化した塗布膜からなる層を形
成する。

（４）感光性ドライフィルムを形成し、基板等の上に前
記ドライフイルムを積層する場合：液体状の上記活性エ
ネルギー線硬化型樹脂を液状膜を形成するためポリエチ
レンテレフタレートフィルム上に付与し、続いて蒸発乾
燥して前記ポリエチレンテレフタレートフィルム上に感
光性ドライフィルムを得る。そのドライフィルムを積層
体を得るため通常の積層方法によって基板等の上に積層
する。そして、基板等の上に積層した感光性ドライフィ
ルムを上記した方法（１）と同様の方法で活性エネルギ
ー線で照射することで硬化する． 硬化した感光性フィルムを所望のパターンに形成したい
場合は支持体上に積層した上記ドライフィルムを上記し
た方法（２）又は（３）と同様の方法で処理する。

活性エネルギー線硬化型樹脂組成物が前記一般式（ｘ）
によって表わされるモノマーを含むものである場合、上
記（１）〜（４）の方法で得た硬化膜を更に８０℃〜２
００℃の温度で加熱処理して縮合硬化させることは望ま
しい。

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製過程において、上記
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化、あるいは該
樹脂組成物へのパターン露光等に用いる活性エネルギー
線としては、既に広く実用化されている紫外線あるいは
電子線などが挙げられる。紫外線光源としては、波長２
５０ｎｍ〜４５０ｎｍの光を多く含む高圧水銀灯、超高
圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられ、実用的
に許容されるランブー被照射物間の距離において３６５
ｎｍの近傍の光の強度が１　ｍＷ／ｃｍ２〜１００ｍＷ
／ｃｍ２程度のものが好ましい。電子線照射装置として
は、特に限定はないが、０．５〜２０Ｍ　Ｒａｄの範囲
の線量な有する装置が実用的に適している。

以下、液体通路壁３Ｈをドライフィルムタイプの上記樹
脂組成物から得られる硬化膜を用いて形成する場合を一
例として、図面を用いて本発明の液体噴射記録ヘッドの
製造方法を説明する．第２図〜第６図は、本発明の液体
噴射記録ヘッドの製作手順を説明するための模式図であ
る．本発明の液体噴射記録ヘッドを形成するには、まず
、第２図に示すように、ガラス、セラミック、プラスチ
ックあるいは金属等の基板１上に発熱素子やビエゾ素子
等の吐出エネルギー発生素子２が所望の個数配置される
。尚、必要に応じて記録用液体に対する耐性、電気絶縁
性等を基板１表？に付与する目的で、該表面にＳｉＯ■
、Ｔａ２ｋ５、ガラス等の保護層を被覆してもよい。ま
た、吐出エネルギー発生素子２には、図示されていない
が、記録信号入力用電極が接続してある． 次に、第２図の工程を経て得られた基板１の表面を清浄
化すると共に例えば８０〜１５０℃で乾燥させた後、第
３図（ａ）及び第３図（ｂ）に示したようにドライフィ
ルムタイプ（膜厚、約２０μ瓜〜２００μｍ）の前述し
た活性エネルギー線硬化型樹脂組成物３を、４０〜１３
０℃程度に加温して、例えば０．５〜０．　４　ｆ　／
　ｍｉｎ．の速度、１〜３Ｋｇ／Ｃｍ２の加圧条件下で
基板面ＩＡ上にラミネートする。

続いて、第４図に示すように、基板面ＩＡ上に設けたド
ライフィルム層３上に、活性エネルギー線を透過しない
所定の形状のパターン４Ｐを有するフォトマスク４を重
ね合わせた後、このフォトマスク４の上部から露光を行
なう。

なお、フォトマスク４と基板１との位置合わせは、露光
、現像処理等の工程を経て、最終的に形成される液体通
路領域中に上記素子２が位置するように行なわれ、例え
ば、位置合せマークを、基板１とマスク４のそれぞれに
予め描いておき、そのマークに従って位置合わせする方
法等によって実施できる。

このように露光を行うと、前記パターンに覆われた領域
以外、すなわちドライフィルム層３の露光された部分が
重合硬化し、露光されなかった部分が、溶剤可溶性のま
まであるのに対して溶剤不溶性となる． このパターン露光に用いる活性エネルギー線としては、
上述した活性エネルギー線硬化型組成物の成分の種類等
に応じて、従来より公知の活性エネルギー線のうち好適
なものを適宜選定して用いればよく、具体的には、例え
ば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、
カーボンアーク灯、電子ビームなどを挙げることができ
る。

例えば、紫外線光源としては、波長２５０ｎｍ〜４５０
ｎｍの光を多く含む高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタル
ハライドランプ等が挙げられ、実用的に許容されるラン
ブー被照射物間の距離において３６５ｎｍの近傍の光の
強度が１　ｍＷ／　ｃｍ２〜１００ｍＷ／ｃｍ’程度の
ものが好ましい。電子線照射装置としては、特に限定は
ないが、０４５〜２０　Ｍ　Ｒａｄの範囲の線量を有す
る装置が実用的に適している。

ドライフィルム層３のパターン露光を終了したら、次に
、露光済みのドライフィルム３を、例えばＩ，　１，　
ｌ−　トリクロルエタン等の揮発性有機溶剤中に浸漬す
るなどして現像処理し、溶剤可溶性であるドライフィル
ム層３の未重合（未硬化）部分を基板１上から溶解除去
し、第５図（ａ）および第５図（ｂ）に示すように基板
ｌ上に残存した樹脂硬化膜３Ｈによって最終的に液体通
路６−２及び液室６−１となる溝を形成する。

次に、基板１上の硬化樹脂膜３Ｈを、少なくとも８０℃
以上の温度で、１０分〜３時間程度加熱し熱重合させる
。なお、熱硬化性のグラフト共重合高分子が樹脂組成物
３に用いられている場合には、この加熱処理温度を、少
なくとも１００℃で５〜６０分程度とする。

なお、本例の記録ヘッドにおいては、液体通路６−２及
び液室６−１となる溝の形成に、ドライフィルムタイプ
の樹脂組成物、つまり固体状のものを使用した例につい
て説明しているが、本発明の記録ヘッドの形成に際して
使用できる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物としては
、固体状のもののみに限られるものではなく、液状のも
のももちろん使用可能である。

基板上に液状の樹脂組成物を用いて該組成物からなる層
を形成する方法としては、例えばレリーフ画像の作製時
に用いられるスキージによる方法、すなわち所望の樹脂
組成物の塗膜の厚さに相当した高さの壁を基板の周囲に
設け、スキージによって余分な樹脂組成物を除去する方
法等を挙げることができる。この場合、樹脂組成物の粘
度は、１００ｃｐ〜３０００ｃｐが適当である。また、
基板の周囲に置く壁の高さは、感光性樹脂組成物の含有
する溶剤分の蒸発による減量分を見込んで決定する必要
がある。

また、固体状の樹脂組成物を用いる場合には、前記のよ
うにドライフィルムを基板上に加熱圧着して貼着する方
法等が好適である。

しかしながら、本発明の記録ヘッドを形成するに際して
は、取扱い上で、あるいは厚さの制御が容易かつ正確に
できる点に於いて、固体状のフィルムタイプのものが便
利である。

このようにして、樹脂硬化膜３Ｈによって最終的に液体
通路６−２及び液室６−１を構成する溝を形成した後、
第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示すように、溝の覆い
となる平板７を樹脂硬化膜３Ｈ上に接着剤に接合し、接
合体を形成する。

第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示した工程に於いて、
覆い７を付設する具体的な方法としては、例えばガラス
、セラミック、金属、プラスチック等の平板７にエボキ
シ樹脂系接着剤を厚さ３〜４μｍにスビンコートした後
、予備加熱して接着剤層を、いわゆるＢステージ化させ
、これを硬化したドライフィルム３Ｈ上に貼り合わせた
後前記接着剤層を、本硬化させる等の方法があるが、ア
クリル系樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリエチレン等の熱可塑性
樹脂の平板７を樹脂硬化膜３Ｈ上に、直接、熱融着させ
る等の接着剤を使用しない方法でも良い。

また、覆い７の液体通路と接合する側に、本発明におけ
る樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物からなる樹脂層を設け
、これを液体通路を形成した樹脂硬化膜３Ｈと熱融着さ
せ、しかる後に活性エネルギー線を照射して加熱すると
いう方法、すなわち本発明における樹脂硬化膜形成用の
樹脂組成物を接着剤として用いる方法も好ましい． 尚、第６図に於いて、６−１は液室、６−２は液体通路
、８は液室６−１に不図示の記録ヘッド外部から内部へ
記録用液体を供給するための供給管（不図示）を連結す
るための貫通孔を示す．このようにして、基板１上に設
けられた樹脂硬化ｙＡ３Ｈと平板７との接合が完了した
後、この接合体を第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示し
た液体通路６−２の下流側にあたるＣ−Ｃに添って切削
して、切削面に於ける液体通路の開口部である、記録用
液体を吐出するためのオリフィスを形成する。

この工程は、吐出エネルギー発生素子２と才リフィス９
との間隔を適正化するために行なうものであり、ここで
切削する領域は適宣選択される．この切削に際しては、
半導体工業で通常採用されているダイシング法等を採用
することができる。

なお、本発明でいう液体通路下流部とは、記録ヘッドを
用いて記録を行なっている際の記録用液体の流れ方向に
於ける下流領域、具体的には、吐出エネルギー発生素子
２の設置位置より下流の液体通路の部分を言う。

切削が終了したところで、切削面を研磨して平滑化し、
貫通孔８に供給管ＩＯを取付けて第１図に示したような
液体噴射記録ヘッドを完成する。

なお、以上説明した例では、基板１上に樹脂硬化膜３Ｈ
を形成した後、これに覆い７が接合されたが、覆い７側
に樹脂硬化膜３Ｈを形成した後これを基板１に接合して
も良い。また、液体通路６−２と液室６−１とは別々に
形成されたものであっても良い。

［実施例］ 以下、合成例および実施例により本発明を更に祥細に説
明する。

合成例１ 本発明の液体噴射記録ヘットの作製に用いる活性エネル
ギー線硬化型樹脂組成物を構成する成分として、以下に
示すものを用意した。

グラフト此重Ａｗ　　　（Ａ） ２−ヒドロキシブチルメタクリレート５０重量部、Ｎ−
メチロールアクリルアミド５０重量部を用い、チ才グリ
コール酸を連鎖移動剤、アゾビスイソブチロニトリルを
重合開始剤として用い、ラジカル連鎖移動重合を行ない
、分る鎖の末端にカルホキシ基を持つ才リゴマーを得た
。

この才リゴマーに、グリシジルメタアクリレートを反応
させることにより、分子鎖の片末端にメタアクリロイル
基を持つマクロモノマーを得た。

このマクロモノマーのＧＰＣ法による数平均分子量は、
約３千であった。このマクロモノマー２０重量部とメチ
ルメタクリレート８０重量部とを、メチルセロソルブ溶
媒中で溶液重合し、重量平均分子量が約４万、数平均分
子量が約１万の熱硬化性グラフト共重合高分子を得た。

徐琳］Ｌ也王ユｌ メチルメタクリレートと、２−ヒドロキシブチルメタク
リレートと、Ｎメチロールアクリルアミドとを、８０：
１０：１０のモル比で重合して得た線状アクリル共重合
体。この線状アクリル共重合体の数平均分子量は約１０
万、その重量平均分子量は約２７万である。

゛′重Ａ　ポリウレタンＣ） ジシクロへキシルジイソシアナートとボリブロビレング
リコール共重合体（分子量：２００）成分と２−ヒドロ
キシエチルアクリレート成分から成る分子量２０００の
光重合性ポリウレタン友ｌ推旦」） イルガキュア６５１（チバ・ガイギー社製）裂■ クリスタルバイオレット 次に、以上の材料を通常の混合技術で以下に示すような
重量比で混合することによって、液体状の活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物を得た。

材料　　　　　　　　重量部 （Ａ）　　　　　　　　　　　　　　　５０（Ｂ）　　
　　　　　　　　　　　　　５０（Ｃ）　　　　　　　
　　　　　　　　＋２０（Ｄ）７ 染料　　　　　　　　　　０．１ メチルエチルケトン　２５０ 次に、このようにして得られた液体状の樹脂組成物の一
部を、リバースコータにて２５μｍのポリエチレンテレ
フタレートフィルム（ルミラーＴタイプ）に塗布し、得
られた塗布膜を乾燥させて、膜享が８０μｍの乾燥塗布
膜層（ドライフィルム）を得た。

更に、該乾燥塗布膜層上に４０μｍの延伸ポリエチレン
フィルムをカバーフィルムとして積層し、ドライフィル
ムとしての活性エネルギー線硬化型樹脂組成物層（厚さ
；８０μｍ）が、２枚のフイルムの間にサン１へイッチ
された構成の積層体を得た。

実施例１ 合成例１で製造したトライフィルムを用い、先に明細書
中で説明した第１図〜第６図の工程に？って、吐出エネ
ルギー発生素子としてｌＯ個の発熱素子［ハフニウムボ
ライド（ＨｆＢｚ）　］及び該発熱素子に対応して設け
られたオリフィス（才リフィス寸法；　８０ｇｍ　Ｘ　
１２０　ｎ、ピッチ０．２００　ｍｍ）を有する第７図
（ｄ）に示すようなオンデマンド型液体噴射記録ヘッド
の作成を以下のようにして実施した。尚、記録ヘッドは
、同形状のものを各３０個宛試作した。

まず、シリコンからなる基板上に発熱素子の複数を所定
の位置に配設し、これらに記録信号印加用電極を接続し
た。

次に、発熱素子が配設された基板面上に保護膜としての
ＳｉＯ■層（厚さ１．０μｍ）を設け、保護層の表面を
清浄化すると共に乾燥させた後、保護層に重ねて、１０
０℃に加温された合成例１で得た膜厚８０μｍのドライ
フィルムを、ロール温度１００℃、周速１．　０ｍ／　
ｍｉｎ．の条件下でゴムロールを用いて、ポリエチレン
フィルムを剥離しながらラミネートした。

続いて、基板面上に設けたドライフィルム上に、液体通
路及び液室の形状に対応したパターンを有するフォトマ
スクを重ね合わせ、最終的に形成される液体通路中に上
記素子が設けられるように位置合せを行なって真空密着
した後、このフォトマスクの上部から３６５ｎｍ付近で
の紫外線強度が１０ｍＷ／ｃｍ”であってコリメーショ
ン偏角が３゜の平行度の高い超高圧水銀灯を用いて２０
秒間ドライフィルムを露光した。

次に、露光終了後、基板上のドライフィルムからポリエ
チレンテレフタレートフィルムを剥離した後、該ドライ
フィルムを１．１．１−トリクロルエタン（商品名エタ
ーナＮｕ）で２０℃、５０秒間のスプレー現像処理し、
ドライフィルムの未重合（未硬化）部分を基板上から溶
解除去して、基板上に残存した硬化ドライフィルム膜に
よって最終的に液体通路及び液室となる溝を形成した． 現像処理を終了した後、基板上の硬化ドライフィルム膜
に、先にパターン露光に用いたのと同様の条件で５分間
の超高圧水銀灯による後照射（ＵＶボストキュア）を行
ない、更に１５０℃でｌ５分間の加熱処理を行ない後硬
化処理を施した。

このようにして、硬化ドライフィルム膜からなる壁によ
って液体通路及び液室となる溝を基板上に形成した。

一方、液室が形成され且つ貫通孔の設けられたソーダガ
ラス製平板（天板）に、合成例１で得たドライフィルム
を、ロール温度１２０℃、ロール速度ｌｍ／ｍｉｎの条
件下でゴムロールを用いて、ポリエチレンフィルムを剥
離しながらラミネートした。次に、膜厚１０μｍのメカ
マスクを用いた以外は前記液体通路及び液室の形成工程
と同様の条件で露光及び現像を行い、前記液室上部に当
る部分のトライフィルム該平板から除去した。

次に、この平板上の硬化ドライフィルム膜面と先に得た
基板上の硬化フィルム膜面とを加圧接合し、平板側から
紫外線照射（　５０ｍＷ／　ｃｍ２，　６０秒）を行う
ことにより接着固定し、接合体を形成した。

続いて、接合体の液体通路の下流側、すなわち吐出エネ
ルギー発生素子の設置位置から下流側へ０．１５０ｍｍ
のところを液体通路に対して垂直に、市販のダイシング
・ソー（商品名；　ＤＡＤ　２Ｈ／６型、ＤＩＳＣＯ社
製）を用いて切削し、記録用液体を吐出するための才リ
フィスを形成した。

最後に、切削面を洗浄したのち乾燥させ、更に、切削面
を研磨して平滑化し、貫通孔に記録用液体の供給管を取
付けて液体噴射記録ヘッドを完成した。得られた記録ヘ
ッドは、何れもマスクバクーンを忠実に再現した液体通
路及び液室な有する寸法精度に優れたものであった。ち
なみに、才リフィス寸法は、縦８０±５μｍ、横８０±
５μｍ、オノフィスピッチは、２００±５μｍの範囲に
あった。

このようにして試作した記録ヘッドの品質及び長期使用
に際しての耐久性を以下のようにして試験した。

まず、得られた記録ヘッドについて、次の各組成からな
る記録用液体中に、６０℃で１０００時間浸漬処理（記
録ヘツ１〜の長期使用時に匹敵する環境条件）する耐久
試験を実施した。

記録用液体成分 １）Ｈ２０　／ジエチレングリコール／ｌ．３−ジメチ
ル−２一イミダゾリジノン／Ｃ．Ｉ．ダイレクトブルー
８６′１ （＝５７／３０／１０／３重量部）　ｐＨ＝８．０２）
Ｈ．Ｏ　／ジエチレングリコール／Ｎ−メチル−２−ビ
ロリドン／Ｃ．Ｉ．ダイレクトブラック＋５４“２（・
５５／３０／１０／５重量部）ｐＨ・９．０３）Ｈ２０
　／ジエチレングリコール／ボリエチレングリコール＃
４００／Ｎ−メチル−２−ビロリドン／Ｃ．Ｌダイレク
トイエロー８６”３ （・６５／１０／１０／１０／５重量部）　ｐＨ・７．
０４）Ｈ２０　／エチレングリコール／トリエチレング
リコール／トリエチレングリコールモノメチルエーテル
／Ｃ．　Ｉ．フードブラック２“４（＝６７／１０／１
５／５／３重量部）　ｐＨ＝ｌＯ．０尚、注）“１〜゛
４は、水溶性染料であり、ｐＨの調整には、カセイソー
ダを用いた。

耐久試験後、該試験を実施した各ヘッドにつき基仮及び
覆いと硬化ドライフィルム膜の接合状態を観察した結果
、すべての記録ヘッドにおいて剥離や損傷は全く認めら
れず、良好な密着性を示していた． 次いでこれとは別に、得られた記録ヘッドのｌＯ個につ
いて、各ヘッドを記録装置に取付け、前記の記録用液体
を用いてｌＯＢパルスの記録信号を１４時間連続的に記
録ヘッドに印加して印字を行なう印字試験を実施した。

何れの記録ヘッドに関しても、印字開始直後と１４時間
経過後において、記録用液体の吐出性能及び印字状態共
に性能の低下が殆ど認められず、耐久性に優れた記録ヘ
ッドであった． 〔発明の効果１ 以上説明したように、本発明の液体噴射記録ヘッドの構
成に用いられる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、
グラフト共重合高分子（Ａ）を構成成分とするので、添
加助剤等を添加しなくとも、種々の部材に対して十分な
密着性を有し、かつ線状高分子（Ｂ）を構成成分として
含むので、パターン形成時の現像特性に優れる。また、
同時にその硬化膜は十分な耐薬品性、耐久性等を有する
。

更には、該組成物は、その構成成分である高分子物質と
して、グラフト共重合高分子と線状高分子とを併用して
用いるので、そのグラフト共重合高分子のみを高分子物
質として用いた場合に比べて、少ない活性エネルギー線
照射で、現像液に対する耐溶剤の塗膜になる。その結果
、高感度、解像度のアップ、部材の種類あるいは状態に
左右されずにパターン形成ができる等のパターニングプ
ロセスの性質が向上し、作業条件巾が拡大する。

従って、該組成物の硬化物をその構成の一部とすること
によって本発明の記録ヘッドは、安価で精密であり、信
頼性が高く、耐久性に優れたものとなる。また、液体通
路壁を該組成物の硬化膜で形成すれば、精度良くかつ歩
留り良く微細加工された液体通路を有する記録ヘッドが
得られる。

更に、本発明の記録ヘッドは上記の構成を有することに
より、マルチ才リクィス化された場合にも信頼性が高く
、耐久性に優れたものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本発明の液体噴射記録ヘッドならびに
その製造方法を説明するための模式図、第７図及び第ｌ
Ｏ図は樹脂硬化膜の使用部分を示す記録ヘットの液体通
路に垂直な面での横断面部分図、第８図（ａ）及び（ｂ
）並びに第９図は記録ヘッドの他の構成を示す図である
。 １：基板 ２：吐出エネルギー発生素子 ３：樹脂層 ３１｛：樹脂硬化膜（液体通路壁） ４：フォトマスク ４Ｐ：マスクパターン ６−１＝液室 ６−２．液体通路 ７：覆い ８：貫通孔 ９：才リフィス １０：供給管 １Ｉ；電極 １２：上部保護層 ｌ３：発熱抵抗層 １４：接着層

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化物をその
   構成の一部とする液体噴射記録ヘッドであって、前記組
   成物が、 （Ａ）アルキルメタアクリレート、アクリロニトリルお
   よびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマ
   ーに由来する構造単位を主体とする幹鎖に、下記一般式
   （ｘ）で表されるモノマー及び下記一般式（ｙ）で表さ
   れるモノマーからなる群より選択された少なくとも一種
   のモノマーに由来する構造単位を有する枝鎖が付加され
   てなり、かつ数平均分子量が５千以上であり、重量平均
   分子量が５万以下であるグラフト共重合高分子と、▲数
   式、化学式、表等があります▼・・・（ｘ） ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（ｙ） ［ただし、Ｒ＾１は水素、もしくは炭素原子数が１〜３
   のアルキル基またはヒドロキシアルキル基を表わし、Ｒ
   ＾２は水素、もしくは炭素原子数が１〜４のヒドロキシ
   基を有していてもよいアルキル基またはアシル基を表わ
   し、Ｒ＾３は炭素原子数２〜６のアルキル基、あるいは
   ハロゲン置換されたアルキル基、 ▲数式、化学式、表等があります▼ （ただし、２≦ｍ＋ｎ≦６、ｎ≠０、ｍ≠０）で表わさ
   れるアルキルエーテル基、 ▲数式、化学式、表等があります▼ （ただし、２≦ｍ＋ｎ≦４、ｎ＝０あるいはｍ＝０の場
   合も含む） で表わされるフェニルアルキル基である。］（Ｂ）メチ
   ルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、イソブ
   チルメタアクリレート、ｔ−ブチルメタアクリレート、
   ベンジルメタアクリレート、アクリロニトリル、イソボ
   ルニルメタアクリレート、イソボルニルアクリレート、
   トリシクロデカンアクリレート、トリシクロデカンメタ
   アクリレート、トリシクロデカンオキシエチルメタアク
   リレート、スチレン、ジメチルアミノエチルメタクリレ
   ート、シクロヘキシルメタクリレートからなる群より選
   ばれた一種以上のモノマーに由来する構造単位を有し、
   かつ前記一般式（ｘ）で表わされるモノマー及び前記一
   般式（ｙ）で表わされるモノマーからなる群より選択さ
   れた少なくとも一種のモノマーに由来する構造単位を有
   し、かつ数平均分子量が５万以上であり、重量平均分子
   量が３５万以下であり、ガラス転移温度が６０℃以上で
   ある線状高分子と、 （Ｃ）オリゴエステルジオールあるいはオリゴエーテル
   ジオールと二価イソシアネートから得られるポリウレタ
   ンの分子鎖末端がアクリル酸エステル化された化合物と （Ｄ）光開始剤と を含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ２）前記グラフト共重合高分子と前記線状高分子との重
   量比が８０：２０〜５０：５０である請求項１に記載の
   液体噴射記録ヘッド。 ３）前記グラフト共重合高分子および前記線状高分子の
   合計重量と前記活性エネルギー線硬化性オリゴマーとの
   重量比が１００：５０〜１００：２００である請求項１
   または２に記載の液体噴射記録ヘッド。 ４）前記グラフト共重合高分子、前記線状高分子および
   前記活性エネルギー線硬化性オリゴマーの合計重量と光
   開始剤との重量比が１００：１〜１００：１０である請
   求項１〜３のいずれかに記載の液体噴射記録ヘッド。