JPH02119235A - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置Info
- Publication number
- JPH02119235A JPH02119235A JP27345588A JP27345588A JPH02119235A JP H02119235 A JPH02119235 A JP H02119235A JP 27345588 A JP27345588 A JP 27345588A JP 27345588 A JP27345588 A JP 27345588A JP H02119235 A JPH02119235 A JP H02119235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary table
- probe
- probe card
- wafer
- switching matrix
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 101
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 14
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 55
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 17
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体装置の特性を自動測定する場合に用い
ることができるプローブカード自動交換を主要とするプ
ローブ装置に関するものである。
ることができるプローブカード自動交換を主要とするプ
ローブ装置に関するものである。
従来の技術
従来のプローブ装置は、プローブカードに検査用データ
を記憶したメモリ手段を設けることにより、プロービン
グの検査条件等の設定操作を自動的に行うものであった
(例えば特開昭63−76447号公報)。
を記憶したメモリ手段を設けることにより、プロービン
グの検査条件等の設定操作を自動的に行うものであった
(例えば特開昭63−76447号公報)。
第2図は上記従来のプローブ装置の一例である。
第2図において、24はプローブカード、25はプロー
ビング検査用プローブ、26は検査用データを記憶した
メモリ手段、27は半導体テスタに接続する接続手段で
ある。
ビング検査用プローブ、26は検査用データを記憶した
メモリ手段、27は半導体テスタに接続する接続手段で
ある。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記従来のプローブ装置においてはプロ
ーブカードに検査用データを記憶するメモリを具備する
ため、各TEGマスクによって相違している複数個のプ
ーブカードを使用する場合、各プローブカードを収容し
ておくプローブカード・トレイをメモリを具備した分だ
け拡大しなければならない。従って、プローブ装置の拡
大につながり、ひいては、クリーンルームの単位面積当
たりの使用効率を下げることにつながる。
ーブカードに検査用データを記憶するメモリを具備する
ため、各TEGマスクによって相違している複数個のプ
ーブカードを使用する場合、各プローブカードを収容し
ておくプローブカード・トレイをメモリを具備した分だ
け拡大しなければならない。従って、プローブ装置の拡
大につながり、ひいては、クリーンルームの単位面積当
たりの使用効率を下げることにつながる。
また、仮にζ プローブカードを頻繁に使用して、上記
プローブカードと半導体テスタとの接続時にプローブカ
ードが破損した場合、メモリまでも破損する危険性があ
り、しかも、プローブカードが破損していて、メモリが
正常である場合、上記プローブカードを購入する場合、
メモリがある分だけ高価になり、プローブカード使用上
及びコストダウンにおいて支障をきたすことになる。
プローブカードと半導体テスタとの接続時にプローブカ
ードが破損した場合、メモリまでも破損する危険性があ
り、しかも、プローブカードが破損していて、メモリが
正常である場合、上記プローブカードを購入する場合、
メモリがある分だけ高価になり、プローブカード使用上
及びコストダウンにおいて支障をきたすことになる。
本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、簡単
な構成で上記プローブカードの自動交換を行うことがで
き、しかも安全に、上記プローブカードと半導体テスタ
との接続部であるスイッチングマトリックス・コネクタ
部とを接続することができるプローブ装置を提供するこ
とを目的とする。
な構成で上記プローブカードの自動交換を行うことがで
き、しかも安全に、上記プローブカードと半導体テスタ
との接続部であるスイッチングマトリックス・コネクタ
部とを接続することができるプローブ装置を提供するこ
とを目的とする。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために本発明のプローブ装置では、
プローブカードと、半導体テスタとの接続部であるスイ
ッチングマトリックス・コネクタ部と、半導体装置検査
部に位置する上記スイッチングマトリックス・コネクタ
下部に位置し、回転運動できる回転式テーブルと、上下
運動できる回転式テーブル支持棒と、上記回転式テーブ
ル内に異種TEG(テスト・エレメント・グループ)マ
スクパターンに対応できる複数個のプローブカードを設
置することができるプローブカード・トレイと、上記回
転式テーブルの回転運動と上記回転式テーブル支持棒の
上下運動を手動で動作させるためのテーブル制御用ジョ
イスティックと、ウェハを載せているプロービングのた
めのX・Y・2ステージと、上記XIIY@Zステージ
の上下運動及び左右運動を手動で動作させるためのX−
Y・Zステージ制御用ジョイスティックと、自動測定時
に必要な情報、すなわち、オート・アライメントの情報
(例えば、品種、チップサイズ、オーバドライブ、オリ
フラの方向設定等)と、起点チップの情報と、上記TE
Gマスクパターンのパッドとプローブとのコンタクトポ
イントの情報等を記録するためのフロッピーディスク及
びフロッピーディスク・ドライブを具備したコントロー
ラと、複数のオート・アライメント用ウェハ及び自動測
定用ウェハを搬送するためのウェハ搬送部を備えたプロ
ーブ装置である。
プローブカードと、半導体テスタとの接続部であるスイ
ッチングマトリックス・コネクタ部と、半導体装置検査
部に位置する上記スイッチングマトリックス・コネクタ
下部に位置し、回転運動できる回転式テーブルと、上下
運動できる回転式テーブル支持棒と、上記回転式テーブ
ル内に異種TEG(テスト・エレメント・グループ)マ
スクパターンに対応できる複数個のプローブカードを設
置することができるプローブカード・トレイと、上記回
転式テーブルの回転運動と上記回転式テーブル支持棒の
上下運動を手動で動作させるためのテーブル制御用ジョ
イスティックと、ウェハを載せているプロービングのた
めのX・Y・2ステージと、上記XIIY@Zステージ
の上下運動及び左右運動を手動で動作させるためのX−
Y・Zステージ制御用ジョイスティックと、自動測定時
に必要な情報、すなわち、オート・アライメントの情報
(例えば、品種、チップサイズ、オーバドライブ、オリ
フラの方向設定等)と、起点チップの情報と、上記TE
Gマスクパターンのパッドとプローブとのコンタクトポ
イントの情報等を記録するためのフロッピーディスク及
びフロッピーディスク・ドライブを具備したコントロー
ラと、複数のオート・アライメント用ウェハ及び自動測
定用ウェハを搬送するためのウェハ搬送部を備えたプロ
ーブ装置である。
作用
本発明は前記した構成により、上記回転式テーブルに具
備された数カ所のプローブカード・トレイに複数個のプ
ローブカードを固定し、上記回転式テーブルを回転させ
ることによって、上記スイッチングマトリックス・コネ
クタ部の下部に第1番目のTEGマスクパターンに対応
するプローブカードが配置されているようにする。そし
て、上記回転式テーブル支持棒を上方向へ移動させるこ
とにより、上記回転式テーブル支持棒と連結している回
転式テーブルを上方向へ移動させ、上記プローブカード
上部のスイッチングマトリックス・コネクタ・ピンと上
記スイッチングマトリックス・コネクタとを連結させる
。上記連結後、第1番目のTEGマスクパターンに対応
するオート・アライメント用ウェハを上記X・Y@Zス
テージに搬送する。上記搬送後、第1番目のTEGマス
クパターンに対応するオート・アライメント用ウェハの
アライメントを行う。上記アライメントが終了した後、
上記XIIYIIZステージを上下運動または左右運動
させることによってTEGマスク・パターンのパッドと
プローブとのコンタクトポイントを決定する。上記コン
タクトポイントを決定した後、上記アライメントの情報
(例えば、品種、チップサイズ、オーバドライブ、オリ
フラの方向設定等)と起点チップの情報と上記コンタク
トポイントの情報等を上記コントローラに具備されたフ
ロッピーディスク内に記録する。上記フロッピーディス
ク内に上記情報を記録した後、上記第1番目のTEGマ
スクパターンに対応するオート・アライメント用ウェハ
をウェハボックスに収納する。
備された数カ所のプローブカード・トレイに複数個のプ
ローブカードを固定し、上記回転式テーブルを回転させ
ることによって、上記スイッチングマトリックス・コネ
クタ部の下部に第1番目のTEGマスクパターンに対応
するプローブカードが配置されているようにする。そし
て、上記回転式テーブル支持棒を上方向へ移動させるこ
とにより、上記回転式テーブル支持棒と連結している回
転式テーブルを上方向へ移動させ、上記プローブカード
上部のスイッチングマトリックス・コネクタ・ピンと上
記スイッチングマトリックス・コネクタとを連結させる
。上記連結後、第1番目のTEGマスクパターンに対応
するオート・アライメント用ウェハを上記X・Y@Zス
テージに搬送する。上記搬送後、第1番目のTEGマス
クパターンに対応するオート・アライメント用ウェハの
アライメントを行う。上記アライメントが終了した後、
上記XIIYIIZステージを上下運動または左右運動
させることによってTEGマスク・パターンのパッドと
プローブとのコンタクトポイントを決定する。上記コン
タクトポイントを決定した後、上記アライメントの情報
(例えば、品種、チップサイズ、オーバドライブ、オリ
フラの方向設定等)と起点チップの情報と上記コンタク
トポイントの情報等を上記コントローラに具備されたフ
ロッピーディスク内に記録する。上記フロッピーディス
ク内に上記情報を記録した後、上記第1番目のTEGマ
スクパターンに対応するオート・アライメント用ウェハ
をウェハボックスに収納する。
上記収納後、上記回転式支持棒を下方向に移動させるこ
とにより、上記プローブカード上部のスイッチングマト
リックス・コネクタ・ピンと上記スイッチングマトリッ
クス・コネクタ部とを分離する。
とにより、上記プローブカード上部のスイッチングマト
リックス・コネクタ・ピンと上記スイッチングマトリッ
クス・コネクタ部とを分離する。
以後、上記第1番目のオート・アライメント用ウェハに
対して行った制御を複数の異種TEGマスクパターンに
対応するオート拳アライメント用ウェハに対して、上記
複数の異種TEGマスクパターンに対応する複数のプロ
ーブカードを用いて、上記プローブカードの数、すなわ
ち、オート拳アライメント用ウェハの数だけ繰り返す。
対して行った制御を複数の異種TEGマスクパターンに
対応するオート拳アライメント用ウェハに対して、上記
複数の異種TEGマスクパターンに対応する複数のプロ
ーブカードを用いて、上記プローブカードの数、すなわ
ち、オート拳アライメント用ウェハの数だけ繰り返す。
上記各プローブカードについての制御後、最後のオート
・アライメント用ウェハを取り出し、上記スイッチング
マトリックス・コネクタ・ピンと上記スイッチングマト
リックス・コネクタ部とを分離する。
・アライメント用ウェハを取り出し、上記スイッチング
マトリックス・コネクタ・ピンと上記スイッチングマト
リックス・コネクタ部とを分離する。
上記分離後、実際に測定すべきウェハを測定すべき数だ
け、上記プローブ装置に設置されたウェハ搬送部(ロー
ダ一部)のローダーに挿入し、上記フロッピーディスク
上に記録した情報に従って、第1番目のウェハからオー
ト働アライメントを開始する。すると、第1番目のTE
Gマスクパターンに対応するウェハの起点チップの箇所
にプローブが配置されるので、上記起点チップの配置を
確認後、システムコントローラであるコンピュータ、す
なわち、端末上で予めプログラミングされた自動測定用
プログラムを起動させ、自動測定を開始する。上記自動
測定開始後、上記自動測定用プログラムに従って、上記
回転式テーブル及び回転式テーブル支持棒等が制御され
、プローブカードの自動交換が可能となる。
け、上記プローブ装置に設置されたウェハ搬送部(ロー
ダ一部)のローダーに挿入し、上記フロッピーディスク
上に記録した情報に従って、第1番目のウェハからオー
ト働アライメントを開始する。すると、第1番目のTE
Gマスクパターンに対応するウェハの起点チップの箇所
にプローブが配置されるので、上記起点チップの配置を
確認後、システムコントローラであるコンピュータ、す
なわち、端末上で予めプログラミングされた自動測定用
プログラムを起動させ、自動測定を開始する。上記自動
測定開始後、上記自動測定用プログラムに従って、上記
回転式テーブル及び回転式テーブル支持棒等が制御され
、プローブカードの自動交換が可能となる。
実施例
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第1図は本発明の実施例におけるプローブ装置のブロッ
ク図を示すものである。第1図において、1は複数の異
種TEGマスクパターンに対応する複数個のプローブカ
ード、2は上記プローブカードに具備されたプローブ、
3は上記プローブカードに具備されたスイチングマトリ
ックス・コネクタ・ピン、4は上記複数個のプローブカ
ードを設置することができる複数個のプローブカード・
トレイ、5は上記プローブカードを上記プローブカード
・トレイに固定する固定ネジ、6は自動測定プログラム
に応じて上記複数個のプローブカードの中から自動測定
時に必要なプローブカードを上記半導体テスタとの接続
部であるスイッチングマトリックス・コネクタ部の下部
に配置するため、上記プローブカード・トレイが回転す
る回転式テーブル、7は上記回転式テーブルを支持し、
上記スイッチングマトリックス・コネクタ部とプローブ
カードを接続または分離させるために上下運動を行う回
転式テーブル支持棒、8は上記回転式テーブルの回転運
動及び回転式テーブル支持体の上下運動を手動で制御す
るためのテーブル制御用ジョイスティック、9は上記プ
ローブカードと上記半導体テスタを接続させるためのス
イッチングマトリックス・コネクタ部、10は上記オー
ト・アライメントにおける情報と起点チップの情報及び
コンタクトポイントの情報等を記録するためのフロッピ
ーディスク、11は上記フロッピーディスクを収納し、
起動させるためのフロッピーディスク・ドライブ、 1
2は各TEGマスクパターンに対応する複数のオート・
アライメント用ウェハ、13は複数の自動測定用ウェハ
、14aと14bは上記オート・アライメント用ウェハ
及び上記自動測定用ウェハを搬送するウェハ搬送部(ロ
ーダ一部)、15はプロービングのためのX11Y・Z
ステージ、16は、上記X・Y−Zステージを手動で制
御するためのX@Y・Zステージ制御用ジョイスティッ
ク、17はプローブ装置と各種の測定器とを結合し、組
み合わせるためのスイッチングマトリックス、18は上
記スイッチングマトリックスを制御するスイッチングマ
トリックス・コントローラ、 19はデジタルφボルト
メータ等の各種の測定器、20はシステムコントローラ
、21aと21bはウェハボックス、22は上記フロッ
ピーディスクとフロッピーディスク・ドライブを具備し
たコントローラ、23はプローブ装置本体である。
ク図を示すものである。第1図において、1は複数の異
種TEGマスクパターンに対応する複数個のプローブカ
ード、2は上記プローブカードに具備されたプローブ、
3は上記プローブカードに具備されたスイチングマトリ
ックス・コネクタ・ピン、4は上記複数個のプローブカ
ードを設置することができる複数個のプローブカード・
トレイ、5は上記プローブカードを上記プローブカード
・トレイに固定する固定ネジ、6は自動測定プログラム
に応じて上記複数個のプローブカードの中から自動測定
時に必要なプローブカードを上記半導体テスタとの接続
部であるスイッチングマトリックス・コネクタ部の下部
に配置するため、上記プローブカード・トレイが回転す
る回転式テーブル、7は上記回転式テーブルを支持し、
上記スイッチングマトリックス・コネクタ部とプローブ
カードを接続または分離させるために上下運動を行う回
転式テーブル支持棒、8は上記回転式テーブルの回転運
動及び回転式テーブル支持体の上下運動を手動で制御す
るためのテーブル制御用ジョイスティック、9は上記プ
ローブカードと上記半導体テスタを接続させるためのス
イッチングマトリックス・コネクタ部、10は上記オー
ト・アライメントにおける情報と起点チップの情報及び
コンタクトポイントの情報等を記録するためのフロッピ
ーディスク、11は上記フロッピーディスクを収納し、
起動させるためのフロッピーディスク・ドライブ、 1
2は各TEGマスクパターンに対応する複数のオート・
アライメント用ウェハ、13は複数の自動測定用ウェハ
、14aと14bは上記オート・アライメント用ウェハ
及び上記自動測定用ウェハを搬送するウェハ搬送部(ロ
ーダ一部)、15はプロービングのためのX11Y・Z
ステージ、16は、上記X・Y−Zステージを手動で制
御するためのX@Y・Zステージ制御用ジョイスティッ
ク、17はプローブ装置と各種の測定器とを結合し、組
み合わせるためのスイッチングマトリックス、18は上
記スイッチングマトリックスを制御するスイッチングマ
トリックス・コントローラ、 19はデジタルφボルト
メータ等の各種の測定器、20はシステムコントローラ
、21aと21bはウェハボックス、22は上記フロッ
ピーディスクとフロッピーディスク・ドライブを具備し
たコントローラ、23はプローブ装置本体である。
以上のように構成された本実施例のプローブ装置につい
て、以下にその動作を説明する。
て、以下にその動作を説明する。
まず、本発明のプローブ装置本体23及び上記各種の測
定器19及びシステムコントローラ20等の電源を投入
し、上記プローブカード・トレイ4に測定すべき複数の
異種TEGマスクパターンに対応する複数個のプローブ
カード1を上記固定ネジ5を用いて固定する。次ぎに、
上記テーブル制御用ジョイスティック8を用いて、上記
回転式テーブル6を回転させ、上記スイッチングマトリ
ックス・コネクタ部9の下部に測定すべき第1番目のT
EGマスクパターンに対応する上記プローブカードlが
配置されているようにする。そして上記テーブル制御用
ジョイスティック8によって、上記回転式テーブル6の
下部に連結された回転式テーブル支持棒7を上方向へ移
動させることにより、上記回転式テーブル支持棒7と連
結している回転式テーブル6を上方向へ移動させ、上記
プローブカード1上部に具備されであるスイッチングマ
トリックス・コネクタΦピン3と上記スイッチングマト
リックス・コネクタ部8とを連結させる。
定器19及びシステムコントローラ20等の電源を投入
し、上記プローブカード・トレイ4に測定すべき複数の
異種TEGマスクパターンに対応する複数個のプローブ
カード1を上記固定ネジ5を用いて固定する。次ぎに、
上記テーブル制御用ジョイスティック8を用いて、上記
回転式テーブル6を回転させ、上記スイッチングマトリ
ックス・コネクタ部9の下部に測定すべき第1番目のT
EGマスクパターンに対応する上記プローブカードlが
配置されているようにする。そして上記テーブル制御用
ジョイスティック8によって、上記回転式テーブル6の
下部に連結された回転式テーブル支持棒7を上方向へ移
動させることにより、上記回転式テーブル支持棒7と連
結している回転式テーブル6を上方向へ移動させ、上記
プローブカード1上部に具備されであるスイッチングマ
トリックス・コネクタΦピン3と上記スイッチングマト
リックス・コネクタ部8とを連結させる。
上記連結後、第1番目のTEGマスクパターンに対応す
るオート・アライメント用ウェハ12を上記ウェハ搬送
部14aを用いて上記ウェハボックス21aから取り出
し、上記X11Y112ステージ15に搬送する。上記
搬送後、上記第1番目のTEGマスクパターンに対応す
るオート・アライメント用ウェハ12のアライメントを
行う。上記アライメントが終了した後、上記プローブ装
置に設置されたXIY112ステージ制御用ジョイステ
ィック16を用いて、上記プローブ装置に具備されてお
り、かつ上記オート−アライメント用ウェハ12を載せ
ているプロービングのためのX−Y・Zステージ15を
上下運動または左右運動させることによって、手動で上
記TEGマスク・パターンのバンドと上記プローブカー
ドlに具備されたプローブ2とのコンタクトポイントを
決定する。
るオート・アライメント用ウェハ12を上記ウェハ搬送
部14aを用いて上記ウェハボックス21aから取り出
し、上記X11Y112ステージ15に搬送する。上記
搬送後、上記第1番目のTEGマスクパターンに対応す
るオート・アライメント用ウェハ12のアライメントを
行う。上記アライメントが終了した後、上記プローブ装
置に設置されたXIY112ステージ制御用ジョイステ
ィック16を用いて、上記プローブ装置に具備されてお
り、かつ上記オート−アライメント用ウェハ12を載せ
ているプロービングのためのX−Y・Zステージ15を
上下運動または左右運動させることによって、手動で上
記TEGマスク・パターンのバンドと上記プローブカー
ドlに具備されたプローブ2とのコンタクトポイントを
決定する。
上記コンタクトポイントを決定した後、上記アライメン
トの情報(例えば、品種、チップサイズ、オーバドライ
ブ、オリフラの方向設定等)と、起点チップの情報と、
上記コンタクトポイントの情報等を上記フロッピーディ
スク10に記録する。
トの情報(例えば、品種、チップサイズ、オーバドライ
ブ、オリフラの方向設定等)と、起点チップの情報と、
上記コンタクトポイントの情報等を上記フロッピーディ
スク10に記録する。
上記記録後、上記オート・アライメント用ウェハ12は
ウェハ搬送部14bを通して、上記ウェハ搬送部14b
に設置されたウェハボックス21bに収納される。上記
収納後、上記テーブル制御用ジョイスティック8を用い
て、上記回転式支持棒7を下方向に移動させることによ
り、上記プローブカード1上部のスイッチングマトリッ
クス・コネクタ・ピン3と上記スイッチングマトリック
ス・コネクタ部9とを分離する。上記分離が終了した後
、上記テーブル制御用ジョイスティック8を用いて、上
記回転式テーブル6を回転させ、上記スイッチングマト
リックス・コネクタ部9の下部に第2番目のTEGマス
クパターンに対応するプローブカード1を配置する。上
記プローブカード1を配置した後、上記テーブル制御用
ジョイスティック8を用いて、上記第1番目のTEGマ
スクパターンに対応するプローブカード1及び上記回転
式テーブル6の回転運動と上記回転式テーブル支持棒7
の上下運動を制御した場合と同様の制御し、上記プロー
ブカード1に具備されたスイッチングマトリックス−コ
ネクタ・ピン3と上記スイッチングマトリックス・コネ
クタ部9を連結させる。上記連結後、第2番目のTEG
マスクパターンに対応するオート・アライメント用ウェ
ハ12を上記ウェハ搬送部14aを用いて、上記X−Y
・Zステージ15に搬送させる。上記搬送後、上記第2
番目のTEGマスクパターンに対応するオ−ト・アライ
メント用ウェハ12のアライメントを行う。上記アライ
メントとコンタクトポイントを決定後、第2番目のTE
Gマスクパターンに対応するアライメントの情報と起点
チップの情報とコンタクトポイントの情報等を上記フロ
ッピーディスク10に記録する。上記記録後、第2番目
のTEGマスクパターンに対応するオートアライメント
用ウェハ12をウェハ搬送部14bに設置されたウェハ
ボックス21bに収納する。上記収納後、上記スイッチ
ングマトリックス・コネクタ・ピン3と上記スイッチン
グマトリックス・コネクタ部9を分離させる。以後、上
記第1番目のTEGマスクパターンと第2番目のTEG
マスクパターンに対する制御と同様の制御を、測定すべ
き複数の異種TEGマスクパターンに対応する複数のオ
ート・アライメント用ウェハ12に対して、上記測定す
べき複数の異種TEGマスクパターンに対応する複数の
プローブカード1を用いて、上記複数のプローブカード
1の数、すなわち、複数のオート・アライメント用ウェ
ハ12の数だけ繰り返す。
ウェハ搬送部14bを通して、上記ウェハ搬送部14b
に設置されたウェハボックス21bに収納される。上記
収納後、上記テーブル制御用ジョイスティック8を用い
て、上記回転式支持棒7を下方向に移動させることによ
り、上記プローブカード1上部のスイッチングマトリッ
クス・コネクタ・ピン3と上記スイッチングマトリック
ス・コネクタ部9とを分離する。上記分離が終了した後
、上記テーブル制御用ジョイスティック8を用いて、上
記回転式テーブル6を回転させ、上記スイッチングマト
リックス・コネクタ部9の下部に第2番目のTEGマス
クパターンに対応するプローブカード1を配置する。上
記プローブカード1を配置した後、上記テーブル制御用
ジョイスティック8を用いて、上記第1番目のTEGマ
スクパターンに対応するプローブカード1及び上記回転
式テーブル6の回転運動と上記回転式テーブル支持棒7
の上下運動を制御した場合と同様の制御し、上記プロー
ブカード1に具備されたスイッチングマトリックス−コ
ネクタ・ピン3と上記スイッチングマトリックス・コネ
クタ部9を連結させる。上記連結後、第2番目のTEG
マスクパターンに対応するオート・アライメント用ウェ
ハ12を上記ウェハ搬送部14aを用いて、上記X−Y
・Zステージ15に搬送させる。上記搬送後、上記第2
番目のTEGマスクパターンに対応するオ−ト・アライ
メント用ウェハ12のアライメントを行う。上記アライ
メントとコンタクトポイントを決定後、第2番目のTE
Gマスクパターンに対応するアライメントの情報と起点
チップの情報とコンタクトポイントの情報等を上記フロ
ッピーディスク10に記録する。上記記録後、第2番目
のTEGマスクパターンに対応するオートアライメント
用ウェハ12をウェハ搬送部14bに設置されたウェハ
ボックス21bに収納する。上記収納後、上記スイッチ
ングマトリックス・コネクタ・ピン3と上記スイッチン
グマトリックス・コネクタ部9を分離させる。以後、上
記第1番目のTEGマスクパターンと第2番目のTEG
マスクパターンに対する制御と同様の制御を、測定すべ
き複数の異種TEGマスクパターンに対応する複数のオ
ート・アライメント用ウェハ12に対して、上記測定す
べき複数の異種TEGマスクパターンに対応する複数の
プローブカード1を用いて、上記複数のプローブカード
1の数、すなわち、複数のオート・アライメント用ウェ
ハ12の数だけ繰り返す。
上記各プローブカード1についての制御の後、最後オー
トアライメント用ウェハ12をウェハ搬送部14bを用
いて、ウェハボックス21bに収納する。上記収納後、
実際に測定すべきウェハを測定すべき数だけ、上記ウェ
ハ搬送部14aのウェハボックス21aに挿入し、上記
フロッピーディスク10上に記録した情報に従って、第
1番目の自動測定用ウェハ13からオート・アライメン
トを開始する。すると、第1番目のTEGマスクパター
ンに対応する自動測定用ウェハ13の起点チップの箇所
にプローブ2が配置されるので、上記起点チップの配置
を確認後、システムコントローラ20であるコンピュー
タ、すなわち、端末上で予めプログラミングされた自動
測定プログラムを起動させ、自動測定を開始する。上記
自動測定開始後、上記自動測定用プログラムに従って、
上記回転式テーブル6及び回転式テーブル支持棒7等が
制御され、上記プローブカード1の自動交換が可能とな
り、自動測定を行う場合の作業の効率化を図ることがで
きる。
トアライメント用ウェハ12をウェハ搬送部14bを用
いて、ウェハボックス21bに収納する。上記収納後、
実際に測定すべきウェハを測定すべき数だけ、上記ウェ
ハ搬送部14aのウェハボックス21aに挿入し、上記
フロッピーディスク10上に記録した情報に従って、第
1番目の自動測定用ウェハ13からオート・アライメン
トを開始する。すると、第1番目のTEGマスクパター
ンに対応する自動測定用ウェハ13の起点チップの箇所
にプローブ2が配置されるので、上記起点チップの配置
を確認後、システムコントローラ20であるコンピュー
タ、すなわち、端末上で予めプログラミングされた自動
測定プログラムを起動させ、自動測定を開始する。上記
自動測定開始後、上記自動測定用プログラムに従って、
上記回転式テーブル6及び回転式テーブル支持棒7等が
制御され、上記プローブカード1の自動交換が可能とな
り、自動測定を行う場合の作業の効率化を図ることがで
きる。
発明の詳細
な説明したように、本発明によれば、半導体パラメトリ
ック・テスタを用いたTEGマスク・パターンの自動測
定時において、複数の相違した異1fflTEGマスク
パターンに対応するプローブカードの自動交換ができ、
上記複数の異種TEGマスクパターンの自動測定が可能
となり、作業の効率化を図ることができる。
ック・テスタを用いたTEGマスク・パターンの自動測
定時において、複数の相違した異1fflTEGマスク
パターンに対応するプローブカードの自動交換ができ、
上記複数の異種TEGマスクパターンの自動測定が可能
となり、作業の効率化を図ることができる。
また、本発明の回転式テーブルは半導体テスタとの接続
部であるスイッチングマトリックスコネクタ部と接続す
るものであり、かつプローブカードを収納するプローブ
カード・トレイは上記回転式テーブルに内臓されている
ものであるから、プローブ装置内において、複数個のプ
ローブカードの収納面積を節約でき、上記プローブカー
ド収納によるプローブ装置の拡大をしなくてもよくなり
、ひいては、クリーンルームの単位面積当たりの使用効
率を増加させることにつながり、実用上、極めて価値の
高いものである。
部であるスイッチングマトリックスコネクタ部と接続す
るものであり、かつプローブカードを収納するプローブ
カード・トレイは上記回転式テーブルに内臓されている
ものであるから、プローブ装置内において、複数個のプ
ローブカードの収納面積を節約でき、上記プローブカー
ド収納によるプローブ装置の拡大をしなくてもよくなり
、ひいては、クリーンルームの単位面積当たりの使用効
率を増加させることにつながり、実用上、極めて価値の
高いものである。
第1図は本発明における一実施例のプローブ装置のブロ
ック図、第2図は従来のプローブ装置のブロック図であ
る。 1・・・プローブカード、2・O・プローブ、3・・・
スイチングマトリックス・コネクタ番ピン、4・・φプ
ローブカード・トレイ、5・・Φ固定ネジ、6・・一回
転式テーブル、7・・・回転式テーブル支持棒、8・・
・テーブル制御用ジョイスティック、9φ・・スイッチ
ングマトリックス・コネクタ部、10・・・フロッピー
ディスク、11・・・フロッピーディスク・ドライブ、
12・・・オート・アライメント用ウェハ、13拳拳・
自動測定用ウェハ、14a及び14b・・・ウェハ搬送
部(ローダ一部)、15・−・X・Y@Zステージ、1
6・・・X@Y@Zステージ制御用ジョイスティック、
17・・・スイッチングマトリックス、18φ・・スイ
ッチングマトリックス・コントローラ、19・e・各種
の測定器、20・・・システムコントローラ、21a及
び21b+111・ウェハボックス、22・・・コント
ローラ、23拳・・プローブ装置本体。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか1名
ック図、第2図は従来のプローブ装置のブロック図であ
る。 1・・・プローブカード、2・O・プローブ、3・・・
スイチングマトリックス・コネクタ番ピン、4・・φプ
ローブカード・トレイ、5・・Φ固定ネジ、6・・一回
転式テーブル、7・・・回転式テーブル支持棒、8・・
・テーブル制御用ジョイスティック、9φ・・スイッチ
ングマトリックス・コネクタ部、10・・・フロッピー
ディスク、11・・・フロッピーディスク・ドライブ、
12・・・オート・アライメント用ウェハ、13拳拳・
自動測定用ウェハ、14a及び14b・・・ウェハ搬送
部(ローダ一部)、15・−・X・Y@Zステージ、1
6・・・X@Y@Zステージ制御用ジョイスティック、
17・・・スイッチングマトリックス、18φ・・スイ
ッチングマトリックス・コントローラ、19・e・各種
の測定器、20・・・システムコントローラ、21a及
び21b+111・ウェハボックス、22・・・コント
ローラ、23拳・・プローブ装置本体。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか1名
Claims (1)
- プローブカードと半導体テスタとの接続部であるスイッ
チングマトリックス・コネクタ部と、半導体装置検査部
に位置する上記スイッチングマトリックス・コネクタ下
部に位置し、回転運動できる回転式テーブルと、上下運
動できる回転式テーブル支持棒と、上記回転式テーブル
内に異種のTEG(テスト・エレメント・グループ)マ
スクパターンに対応できる複数個のプローブカードを設
置することができるプローブカード・トレイと、上記回
転式テーブルの回転運動と上記回転式テーブル支持棒の
上下運動を手動で動作させるためのテーブル制御用ジョ
イスティックと、ウェハを載せているプロービングのた
めのX・Y・Zステージと、上記X・Y・Zステージの
上下運動及び左右運動を手動で動作させるためのX・Y
・Zステージ制御用ジョイスティックと、自動測定時に
必要な情報、すなわち、オート、アライメントの情報(
例えば、品種、チップサイズ、オーバドライブ、オリフ
ラの方向設定等)と、起点チップの情報と、上記TEG
マスクパターンのパッドとプローブとのコンタクトポイ
ントの情報等を記録するためのフロッピーディスク及び
フロッピーディスク・ドライブを具備したコントローラ
と、複数のオート・アライメント用ウェハ及び自動測定
用ウェハを搬送するためのウェハ搬送部を備えたことを
特徴とするプローブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27345588A JPH02119235A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27345588A JPH02119235A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | プローブ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02119235A true JPH02119235A (ja) | 1990-05-07 |
Family
ID=17528153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27345588A Pending JPH02119235A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | プローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02119235A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103858218A (zh) * | 2011-07-06 | 2014-06-11 | 塞莱敦体系股份有限公司 | 具有一探针装置的测试***及转位机构 |
US20140354322A1 (en) * | 2011-10-14 | 2014-12-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Probe card partition scheme |
US9018966B2 (en) | 2011-07-06 | 2015-04-28 | Celadon Systems, Inc. | Test apparatus having a probe card and connector mechanism |
-
1988
- 1988-10-28 JP JP27345588A patent/JPH02119235A/ja active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI572872B (zh) * | 2011-07-06 | 2017-03-01 | 色拉頓系統公司 | 具有一探針裝置之測試系統及轉位機構 |
TWI570413B (zh) * | 2011-07-06 | 2017-02-11 | 色拉頓系統公司 | 具有一探針卡之測試設備及連接器機構 |
CN106847723B (zh) * | 2011-07-06 | 2020-02-18 | 塞莱敦体系股份有限公司 | 具有一探针装置的测试***及转位机构 |
US8994390B2 (en) * | 2011-07-06 | 2015-03-31 | Celadon Systems, Inc. | Test systems with a probe apparatus and index mechanism |
US9018966B2 (en) | 2011-07-06 | 2015-04-28 | Celadon Systems, Inc. | Test apparatus having a probe card and connector mechanism |
US9024651B2 (en) | 2011-07-06 | 2015-05-05 | Celadon Systems, Inc. | Test apparatus having a probe card and connector mechanism |
US20140225636A1 (en) * | 2011-07-06 | 2014-08-14 | Celadon Systems, Inc. | Test systems with a probe apparatus and index mechanism |
US10145863B2 (en) | 2011-07-06 | 2018-12-04 | Celadon Systems, Inc. | Test systems with a probe apparatus and index mechanism |
CN106847723A (zh) * | 2011-07-06 | 2017-06-13 | 塞莱敦体系股份有限公司 | 具有一探针装置的测试***及转位机构 |
CN103858218A (zh) * | 2011-07-06 | 2014-06-11 | 塞莱敦体系股份有限公司 | 具有一探针装置的测试***及转位机构 |
TWI570417B (zh) * | 2011-07-06 | 2017-02-11 | 色拉頓系統公司 | 具有一探針卡之測試設備及連接器機構 |
US9726694B2 (en) | 2011-07-06 | 2017-08-08 | Celadon Systems, Inc. | Test systems with a probe apparatus and index mechanism |
US9513332B2 (en) * | 2011-10-14 | 2016-12-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Probe card partition scheme |
US20140354322A1 (en) * | 2011-10-14 | 2014-12-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Probe card partition scheme |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3009743B2 (ja) | 半導体デバイス搬送処理装置 | |
TWI418792B (zh) | 便利待測裝置之電氣或電子測試的設備 | |
US5444386A (en) | Probing apparatus having an automatic probe card install mechanism and a semiconductor wafer testing system including the same | |
JPH11202023A (ja) | テスト−バーンイン装置、それを用いたインラインシステム及びそのインラインシステムを用いたテスト方法 | |
JP5613333B2 (ja) | モジュール式プローバおよびこのプローバの運転方法 | |
US6404212B1 (en) | Testing of BGA and other CSP packages using probing techniques | |
US5086270A (en) | Probe apparatus | |
JPH0417347A (ja) | プローブ装置 | |
JPH02119235A (ja) | プローブ装置 | |
JPH11186348A (ja) | 半導体集積回路試験装置 | |
JPS6351651A (ja) | ウエハプロ−バのウエハ自動位置合わせ方法 | |
JP2005177892A (ja) | プローブ針研磨装置及びプローブ針研磨方法 | |
JPS6220695B2 (ja) | ||
JP2828989B2 (ja) | 半導体ウェハプローバ | |
JP2832741B2 (ja) | プローブ装置 | |
JPH02103947A (ja) | 半導体ウエハの検査装置 | |
JPH0878497A (ja) | 移載装置 | |
JP2583781B2 (ja) | プローブカード及びプローブ装置 | |
JPH067568B2 (ja) | プローバの制御方法 | |
US7821254B2 (en) | Method and apparatus for improving load time for automated test equipment | |
JP2726899B2 (ja) | プローブ装置 | |
JPH043107B2 (ja) | ||
JPS60148136A (ja) | 半導体試験装置 | |
JPS63244637A (ja) | プロ−ブ装置 | |
JPH0353179A (ja) | オートハンドラ |