JP5613333B2 - モジュール式プローバおよびこのプローバの運転方法 - Google Patents
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Description
2 モジュール制御装置
3 第1プロセス制御装置
4 第2プロセス制御装置
5 第1機械制御装置
6 第2機械制御装置
7 第1ユーザインタフェース
8 第2ユーザインタフェース
9 第1検査ユニット
10 第2検査ユニット
11 装入ユニット
12 表示装置
13 入力装置
14 操作装置、ジョイスティック
15 取扱操作システム
16 積み込み装置
17 試験基板貯蔵庫、ウェハマガジン
18 チャック
19 収容面
20 載置板
21 試験基板、ウェハ
22 方向づけステーション
23 位置決めユニット
24 駆動装置
25 探触子ホルダ
26 探触子構造体、探触子
27 プローブカード
28 中央穴
29 ハウジング
30 監視ユニット
31 監視ユニットの制御装置
32 記憶ユニット
33 表示装置
34 入力装置
35 操作装置
Claims (8)
- 以下試験基板(21)と呼ぶ電子的な半導体構成要素を検査および試験するためのプローバであって、
少なくとも一つの第1検査ユニット(9)と第2検査ユニット(10)を具備し、
前記各検査ユニット(9、10)が、チャック(18)の収容面(19)上に前記試験基板(21)を収容および保持するためのチャック(18)と、前記試験基板(21)を電気的に接触させるための多数の探触子(26)を有する探触子構造体(26)を備えた探触子ホルダ(25)と、前記チャック(18)と前記探触子構造体(26)を互いに位置決めするための動力式駆動装置(24)を有する位置決めユニット(23)とを備え、
少なくとも一つの前記検査ユニット(9、10)が前記試験基板(21)を前記チャック(18)に手動で積み込みするための積み込み装置(16)を備え、
前記第1検査ユニット(9)の前記動力式駆動装置(24)を制御するための少なくとも一つの第1機械制御装置(5)と、前記第2検査ユニット(10)の前記動力式駆動装置(24)を制御するための少なくとも一つの第2機械制御装置(6)とを具備し、
前記第1検査ユニット(9)の検査プロセスを制御するための少なくとも一つの第1プロセス制御装置(3)と、前記第2検査ユニット(10)の検査プロセスを制御するための少なくとも一つの第2プロセス制御装置(4)とを具備し、少なくとも一つの前記プロセス制御装置(3、4)が前記試験基板(21)の情報と検査過程を記憶するために記憶ユニット(32)を備え、
試験基板貯蔵庫(17)と一方の検査ユニットおよび他方の検査ユニット(9、10)との間で試験基板(1)を自動で受け取りおよび受け渡すために取扱操作システム(15)を備えた装入ユニット(11)を具備し、
前記第1と第2のプロセス制御装置(3、4)および/または前記第1と第2の機械制御装置(5、6)および/または前記装入ユニット(11)を制御するためのモジュール制御装置(2)を具備し、
表示装置(33)と入力装置(34)を備えた少なくとも一つのユーザインタフェース(7、8)を具備し、そして
前記ユーザインタフェース(7、8)から以下の制御装置の内の少なくとも一つ、すなわち第1プロセス装置(3)あるいは第2プロセス装置(4)あるいはモジュール制御装置(2)までの電子的な接続部を選択的に形成するための切り換え装置(1)とを具備しているプローバ。 - 前記検査ユニット(9、10)のチャック(18)の少なくとも一つが載置板(20)を備え、この載置板の表面が前記収容面(19)を形成し、前記載置板(20)を備えた前記検査ユニット(9、10)の前記積み込み装置(16)および/または前記装入ユニット(11)が、前記検査ユニット(9、10)から前記載置板(20)を取り出すための手段を備えている、請求項1に記載のプローバ。
- 前記ユーザインタフェース(7、8)が前記第1および/または第2の検査ユニット(9、10)の動力式駆動装置(24)を操作するための操作装置(35)を備えている、請求項1または2に記載のプローバ。
- 他のユーザインタフェース(7、8)が配置され、一方のユーザインタフェースが第1ユーザインタフェース(7)として前記第1検査ユニット(9)に付設され、他方のユーザインタフェースが第2ユーザインタフェース(8)として前記第2検査ユニット(10)に付設されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載のプローバ。
- 前記切り換え装置(1)を用いて、
その都度前記モジュール制御装置(2)に接続された前記検査ユニット(9、10)を全自動運転するために、前記モジュール制御装置(2)が一方の検査ユニットまたは両検査ユニット(9、10)に接続されているかあるいは、
その都度前記ユーザインタフェース(7、8)に接続された前記検査ユニット(9、10)を半自動運転するために、前記プローバの一つのユーザインタフェース(7、8)が一方の検査ユニットまたは両検査ユニット(9、10)に接続され、
全自動運転時に、前記モジュール制御装置(2)に連結された前記検査ユニット(9、10)の前記チャック(18)への前記試験基板(21)の積み込みと、前記試験基板(21)と前記探触子(26)の相対的な位置決めと、前記接触および測定が自動化されて行われ、
半自動運転時に、前記ユーザインタフェース(7、8)に接続された前記検査ユニット(9、10)の前記チャック(18)への前記試験基板(21)の積み込みが手動で行われる、請求項1〜4のいずれか一項に記載のプローバを運転するための方法。 - 全自動運転時に、検査過程が前記モジュール制御装置(2)の記憶ユニット(32)に記憶されていることにより、あるいは前記モジュール制御装置(2)に接続された前記検査ユニット(9、10)の前記プロセス制御装置(3、4)を作動させることにより、前記モジュール制御装置(2)が前記検査ユニット(9、10)を直接制御し、この場合検査過程が前記プロセス制御装置(3、4)の記憶ユニット(32)に記憶されている、請求項5に記載のプローバを運転するための方法。
- 半自動運転時に、前記チャック(18)に載っている前記試験基板(21)と前記探触子(26)の相対的な位置決めの少なくとも一部が、前記動力式駆動装置(24)を操作するための前記ユーザインタフェース(7、8)への入力によって行われる、請求項5または6に記載のプローバを運転するための方法。
- 半自動運転時に、前記チャック(18)に載っている前記試験基板(21)と前記探触子(26)を相対的に位置決めするための少なくとも1つの単一ステップが自動化されて行われる、請求項5〜7のいずれか一項に記載のプローバを運転するための方法。
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