JPH02100417A - 光mosリレー - Google Patents
光mosリレーInfo
- Publication number
- JPH02100417A JPH02100417A JP63252810A JP25281088A JPH02100417A JP H02100417 A JPH02100417 A JP H02100417A JP 63252810 A JP63252810 A JP 63252810A JP 25281088 A JP25281088 A JP 25281088A JP H02100417 A JPH02100417 A JP H02100417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power
- photodiode
- gate
- receiving element
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 20
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 101150079361 fet5 gene Proteins 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- MMOXZBCLCQITDF-UHFFFAOYSA-N N,N-diethyl-m-toluamide Chemical compound CCN(CC)C(=O)C1=CC=CC(C)=C1 MMOXZBCLCQITDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100484930 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) VPS41 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000881 depressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、発光素子と受光素子とからなる光結合器にパ
ワーMOSFETを組み合わせた光MOSリレー(光M
OSスイッチ)に関する。
ワーMOSFETを組み合わせた光MOSリレー(光M
OSスイッチ)に関する。
従来、一般にこの種の光MO3IJレーにあっては、受
光素子として光起電力素子が用いられ、発光素子からの
光を受光することにより光起電力素子が起電力を発生し
、この起電力がゲートに印加されることによりパフ−M
OSFETがON/OFF駆動するもので、交直両用に
使用できる等の利点を有する。
光素子として光起電力素子が用いられ、発光素子からの
光を受光することにより光起電力素子が起電力を発生し
、この起電力がゲートに印加されることによりパフ−M
OSFETがON/OFF駆動するもので、交直両用に
使用できる等の利点を有する。
第2図は従来の光MOSリレーの回路構成例を示すもの
で、この例ではパワーMOSFET4−1.4−2とし
てNチャネルエンハンスメント型を使用しているが、接
続を一部変更するだけでPチャネルエンハンスメント型
やデブレッシ日ン型を使用することができる。
で、この例ではパワーMOSFET4−1.4−2とし
てNチャネルエンハンスメント型を使用しているが、接
続を一部変更するだけでPチャネルエンハンスメント型
やデブレッシ日ン型を使用することができる。
発光素子としての発光ダイオード(LED)1に順方向
電流が流れていない状態では、光起電力素子として、の
太陽電池アレー2には未だ起電力が発生しない。このた
めパワーMOSFET4−1゜4−2のゲート・ソース
間の電位差はOVで、パフ−MOSFET4−1.4−
2はOFF状態であり、出力電極12.13間に電圧印
加しても電流は流れない。一方、入力電極10.11間
に発光ダイオード1が順方向バイアスとなるように電圧
を印加すると、発光ダイオード1には順方向電流が流れ
てこれが発光する。この発光によって太陽電池アレー2
には光起電力が発生し、パワーMOSFET4−1.4
−2のゲート・ソース間の容最を充電し、そのゲート電
位がゲートしきい値以上になると、パワーMOSFET
4−1.4−2はON状態となり、出力電極12.13
間の電圧印加により電流が流れる。なお、パワーMOS
FET4−1゜4−2は出力電極12.13間で逆直列
に接続され、パワーMOSFET4−1.4−2の逆方
向には寄生ダイオードが存在するため、電流を双方向に
流することか可能である。したがって本例は交直両用の
半導体リレーとして使用可能であるが、直流のみに使用
する場合には一方のパワーMOSFETを省略すれば良
い。
電流が流れていない状態では、光起電力素子として、の
太陽電池アレー2には未だ起電力が発生しない。このた
めパワーMOSFET4−1゜4−2のゲート・ソース
間の電位差はOVで、パフ−MOSFET4−1.4−
2はOFF状態であり、出力電極12.13間に電圧印
加しても電流は流れない。一方、入力電極10.11間
に発光ダイオード1が順方向バイアスとなるように電圧
を印加すると、発光ダイオード1には順方向電流が流れ
てこれが発光する。この発光によって太陽電池アレー2
には光起電力が発生し、パワーMOSFET4−1.4
−2のゲート・ソース間の容最を充電し、そのゲート電
位がゲートしきい値以上になると、パワーMOSFET
4−1.4−2はON状態となり、出力電極12.13
間の電圧印加により電流が流れる。なお、パワーMOS
FET4−1゜4−2は出力電極12.13間で逆直列
に接続され、パワーMOSFET4−1.4−2の逆方
向には寄生ダイオードが存在するため、電流を双方向に
流することか可能である。したがって本例は交直両用の
半導体リレーとして使用可能であるが、直流のみに使用
する場合には一方のパワーMOSFETを省略すれば良
い。
次に、発光ダイオード1の順方向電流をOFFにすると
、太陽電池アレー2の光起電力は消滅し、パワーMO5
FET4−1 4−2のゲート・ソース間に蓄積された
電荷が放電し始め、そしてゲート・ソース間電圧がしき
い値以下になると、パワーMO5FET4−1.4−2
は再度OFF状態となる。ところで、太陽電池アレー2
はダイオードの順方向電圧以下の電圧において高インピ
ーダンスを持つため、ゲート電荷の放電時定数は非常に
長くなるので、発光ダイオード1の発光停止からパワー
MOSFET4−1.4−2のOFFまでに要する応答
時間は遅い。このため、本例では放電をバイパスさせる
べく放電抵抗3を付加して放電時定数を短縮させである
。
、太陽電池アレー2の光起電力は消滅し、パワーMO5
FET4−1 4−2のゲート・ソース間に蓄積された
電荷が放電し始め、そしてゲート・ソース間電圧がしき
い値以下になると、パワーMO5FET4−1.4−2
は再度OFF状態となる。ところで、太陽電池アレー2
はダイオードの順方向電圧以下の電圧において高インピ
ーダンスを持つため、ゲート電荷の放電時定数は非常に
長くなるので、発光ダイオード1の発光停止からパワー
MOSFET4−1.4−2のOFFまでに要する応答
時間は遅い。このため、本例では放電をバイパスさせる
べく放電抵抗3を付加して放電時定数を短縮させである
。
しかしながら、この放電抵抗3の付加によって、パワー
MOSFET4−1.4−2のゲート・ソース間容量の
充電時においては、太陽電池アレー2から生じる電流の
一部が放電抵抗3を介して消失するため、発光ダイオー
ド1の発光開始からパワーMO5FET4−1.4−2
のON状態までの応答時間が長くなるという欠点がある
。
MOSFET4−1.4−2のゲート・ソース間容量の
充電時においては、太陽電池アレー2から生じる電流の
一部が放電抵抗3を介して消失するため、発光ダイオー
ド1の発光開始からパワーMO5FET4−1.4−2
のON状態までの応答時間が長くなるという欠点がある
。
第3図は、上記従来例の欠点を改良した別の光MO3I
Jレーを示ず回路構成図で、第2図示の単一の放電抵抗
3の代わりに、放電用FET5.放電用太陽電池アレー
6および放電抵抗7からなる放電回路が設けられている
。放電用FET5はデプレッション型FETで、放電用
太陽電池アレー6が受光しない状態ではON状態であり
、これによりパワーMOSFET4−1.4−2のゲー
ト・ソース間電圧はOvで、その出力はOFF状態であ
る。発光ダイオード1に順方向電流が流れると、発光ダ
イオード1から受光した太陽電池アレー2.6には光起
電力が発生する。太陽電池アレー6の光起電力によって
FET5のゲート電位をソース電位以下になるようゲー
ト・ソース間容量が充電される。そのゲート電位がFE
T5のしきい値以上になると、FET5はOFF状態と
なり、太陽電池アレー2の光起電力がパワーMOSFE
T4−1.4−2のゲート・ソース間にそのまま印加し
て、ゲート・ソース間容量を充電し、そしてしきい値以
上になると、パワーMOSFET41.4−2がON状
態となる。放電抵抗7は第2図示の放電抵抗3と同様の
機能を果たすものである。放電用FET5が流すべき電
流はパワーMOSFET4−.1.4−2の駆動電流に
比して十分小さいため、放電用FET5は小形素子で実
現できる。このため、放電用FET5のゲート・ソース
間容量は十分小さく、そのゲート・ソース間容量の充電
時において放電抵抗7によるリークがあっても、放電用
FET5は太陽電池アレー6の光起電力によって十分早
く応答動作し、OFF動作はかなり高速に行われる。
Jレーを示ず回路構成図で、第2図示の単一の放電抵抗
3の代わりに、放電用FET5.放電用太陽電池アレー
6および放電抵抗7からなる放電回路が設けられている
。放電用FET5はデプレッション型FETで、放電用
太陽電池アレー6が受光しない状態ではON状態であり
、これによりパワーMOSFET4−1.4−2のゲー
ト・ソース間電圧はOvで、その出力はOFF状態であ
る。発光ダイオード1に順方向電流が流れると、発光ダ
イオード1から受光した太陽電池アレー2.6には光起
電力が発生する。太陽電池アレー6の光起電力によって
FET5のゲート電位をソース電位以下になるようゲー
ト・ソース間容量が充電される。そのゲート電位がFE
T5のしきい値以上になると、FET5はOFF状態と
なり、太陽電池アレー2の光起電力がパワーMOSFE
T4−1.4−2のゲート・ソース間にそのまま印加し
て、ゲート・ソース間容量を充電し、そしてしきい値以
上になると、パワーMOSFET41.4−2がON状
態となる。放電抵抗7は第2図示の放電抵抗3と同様の
機能を果たすものである。放電用FET5が流すべき電
流はパワーMOSFET4−.1.4−2の駆動電流に
比して十分小さいため、放電用FET5は小形素子で実
現できる。このため、放電用FET5のゲート・ソース
間容量は十分小さく、そのゲート・ソース間容量の充電
時において放電抵抗7によるリークがあっても、放電用
FET5は太陽電池アレー6の光起電力によって十分早
く応答動作し、OFF動作はかなり高速に行われる。
しかしながら、本来的にパワーMOSFET4−1.4
−2のON動作時における応答速度は、太陽電池アレー
2の光起電力の如何と、パワーMOSFETfl−1,
4−2のゲート・ソース間容量で決定されるものであり
、放電回路の開閉用に太陽電池アレー6を付設すること
は、その分太陽電池アレー2の光起電力を低減させる事
態となる故、第2図示の光MO3IJレーのON動作応
答速度は数100μs乃至数ms以上で、通常の半導体
リレーに比して相当低速となる。
−2のON動作時における応答速度は、太陽電池アレー
2の光起電力の如何と、パワーMOSFETfl−1,
4−2のゲート・ソース間容量で決定されるものであり
、放電回路の開閉用に太陽電池アレー6を付設すること
は、その分太陽電池アレー2の光起電力を低減させる事
態となる故、第2図示の光MO3IJレーのON動作応
答速度は数100μs乃至数ms以上で、通常の半導体
リレーに比して相当低速となる。
本発明の目的は、ON動作およびOFF!II作を共に
高速化することが可能な光MO3IJレーを提供するこ
とにある。
高速化することが可能な光MO3IJレーを提供するこ
とにある。
本発明に係る光MO3IJレーの構成は、光起電力受光
素子の代わりに光導電形受光素子を用いると共に、出力
電極等から電力供給され光導電形受光素子に電圧印加す
べき電源回路を内蔵してなるもので、ON/OFF動作
時における放電操作等を不要とし、光電流のを無に基づ
いてパワーMOSFETをON/OFF制御するもので
ある。
素子の代わりに光導電形受光素子を用いると共に、出力
電極等から電力供給され光導電形受光素子に電圧印加す
べき電源回路を内蔵してなるもので、ON/OFF動作
時における放電操作等を不要とし、光電流のを無に基づ
いてパワーMOSFETをON/OFF制御するもので
ある。
かかる手段によれば、光導電形受光素子が受光したとき
、又は受光停止したとき光電流の有無があるので、例え
ば電源回路中の抵抗の電圧降下の有無やコンデンサの充
放電の変化によってパワーMOSFETのゲート電圧等
が制御され、これによりパワーMOSFETのON/O
FF駆動が高速で達成されることとなる。
、又は受光停止したとき光電流の有無があるので、例え
ば電源回路中の抵抗の電圧降下の有無やコンデンサの充
放電の変化によってパワーMOSFETのゲート電圧等
が制御され、これによりパワーMOSFETのON/O
FF駆動が高速で達成されることとなる。
次に、本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
第1図は、本発明に係る光M OS F E T IJ
シレー一実施例を示す回路構成図である。なお、第1図
中においては第2図又は第3図に示す部分と同一部分に
は同一参照符号を付し、その説明を省略する。21は、
従来の太陽電池アル−と異なり、パワーMOSFET4
−1.4−2のゲート・ソース間に接続された光導電形
受光素子としての光ダイオードである。破線で囲む30
は、この光ダイオード21に逆方向電圧を印加する電源
回路である。
シレー一実施例を示す回路構成図である。なお、第1図
中においては第2図又は第3図に示す部分と同一部分に
は同一参照符号を付し、その説明を省略する。21は、
従来の太陽電池アル−と異なり、パワーMOSFET4
−1.4−2のゲート・ソース間に接続された光導電形
受光素子としての光ダイオードである。破線で囲む30
は、この光ダイオード21に逆方向電圧を印加する電源
回路である。
電源回路30は、出力電極12.13から直流を得る整
流器としてのダイオード22−1 、22−2と、光ダ
イオード21に逆方向電圧を加えるコンデンサ26と、
光ダイオード21の逆方向電流により電圧降下をパワー
MOSFET4−1.4−2のゲートGに印加する抵抗
27と、光ダイオード21.抵抗27およびコンデンサ
26を負荷とするソースフォロアのMOS F E T
25と、このMOSFET25のゲートGの電位を安定
化させるNチャネルデプレッション型MOSFET23
およびツェナーダイオード24とから構成されている。
流器としてのダイオード22−1 、22−2と、光ダ
イオード21に逆方向電圧を加えるコンデンサ26と、
光ダイオード21の逆方向電流により電圧降下をパワー
MOSFET4−1.4−2のゲートGに印加する抵抗
27と、光ダイオード21.抵抗27およびコンデンサ
26を負荷とするソースフォロアのMOS F E T
25と、このMOSFET25のゲートGの電位を安定
化させるNチャネルデプレッション型MOSFET23
およびツェナーダイオード24とから構成されている。
コンデンサ26には出力電極12.13、ダイオード2
2−1.22−2、MO5FET25を介して電荷が充
電されており、光ダイオード21の電位はFET25の
ゲート電位よりそのゲートしきい値電圧だけ低い電位に
保たれている。したがって、発光ダイオード1が発光し
ていない場合(光ダイオード不導通時)には、パワーM
OSFET4−1.4−2のゲート電圧がコンデンサ2
6の電圧で、ソース電圧より高イタめ、パワーMO5F
ET4−1゜4−2はON状態にある。一方、発光ダイ
オード1に順方向電流が流れて発光すると、光ダイオー
ド21は導通して、コンデンサ26およびF E T2
5から抵抗27を介して光電流が光ダイオード21に流
れ、抵抗27の電圧降下がパワーMO5FET4−1゜
4−2のゲートGに印加され、これによりパワーMOS
FET4−1.4−2はOFF状態となる。
2−1.22−2、MO5FET25を介して電荷が充
電されており、光ダイオード21の電位はFET25の
ゲート電位よりそのゲートしきい値電圧だけ低い電位に
保たれている。したがって、発光ダイオード1が発光し
ていない場合(光ダイオード不導通時)には、パワーM
OSFET4−1.4−2のゲート電圧がコンデンサ2
6の電圧で、ソース電圧より高イタめ、パワーMO5F
ET4−1゜4−2はON状態にある。一方、発光ダイ
オード1に順方向電流が流れて発光すると、光ダイオー
ド21は導通して、コンデンサ26およびF E T2
5から抵抗27を介して光電流が光ダイオード21に流
れ、抵抗27の電圧降下がパワーMO5FET4−1゜
4−2のゲートGに印加され、これによりパワーMOS
FET4−1.4−2はOFF状態となる。
このように、受光素子として光ダイオード21が使用さ
れているため、太陽電池アレーに比して応答速度が一般
的に速いことは勿論、光ダイオードからの限られた光量
を単一の光ダイオード21が独占的に受光できるので、
従来の光MOSリレーに比して高速化を図り得る。光ダ
イオード21の導通時に一部消失したコンデンサ26の
電荷は光ダイオード21の不導通時に補填されるが、F
E T25をソースフォロアとしであるから、光ダイ
オード21の不導通時には電源コンデンサ26は高速充
電されると共に、光ダイオード21の導通時にはMO6
FET25から抵抗27への光電流の供給も行われ、O
N/OFF切換時の応答性が速い。また、MOSFET
25のゲート電圧を一定保持する安定化回路(FET2
3.ツェナーダイオード24)が設けられているため、
MOSFET25の動作安定化に寄与している。更に、
太陽電池アレーを使用した従来の光MO3’Jレーの半
導体製造プロセスにおいては透電体分離等の工程が必要
となるが、本実施例においてはこの工程が不要で、安価
な通常のプロセスにより電源回路30等を同一チップ上
に集積可能である。
れているため、太陽電池アレーに比して応答速度が一般
的に速いことは勿論、光ダイオードからの限られた光量
を単一の光ダイオード21が独占的に受光できるので、
従来の光MOSリレーに比して高速化を図り得る。光ダ
イオード21の導通時に一部消失したコンデンサ26の
電荷は光ダイオード21の不導通時に補填されるが、F
E T25をソースフォロアとしであるから、光ダイ
オード21の不導通時には電源コンデンサ26は高速充
電されると共に、光ダイオード21の導通時にはMO6
FET25から抵抗27への光電流の供給も行われ、O
N/OFF切換時の応答性が速い。また、MOSFET
25のゲート電圧を一定保持する安定化回路(FET2
3.ツェナーダイオード24)が設けられているため、
MOSFET25の動作安定化に寄与している。更に、
太陽電池アレーを使用した従来の光MO3’Jレーの半
導体製造プロセスにおいては透電体分離等の工程が必要
となるが、本実施例においてはこの工程が不要で、安価
な通常のプロセスにより電源回路30等を同一チップ上
に集積可能である。
以上説明したように、本発明に係る光MOSFETリレ
ーは、従来の光MOSFETリレーにおける受光素子と
しての太陽電池アレーに代えて、光導電形受光素子を用
い、これに電圧印加すべき電源回路を内蔵し、該光導電
形受光素子の光電流の有無を以てパワーMOSFETの
ON/OFF制御するものであるから次の効果を奏する
。
ーは、従来の光MOSFETリレーにおける受光素子と
しての太陽電池アレーに代えて、光導電形受光素子を用
い、これに電圧印加すべき電源回路を内蔵し、該光導電
形受光素子の光電流の有無を以てパワーMOSFETの
ON/OFF制御するものであるから次の効果を奏する
。
■光導電形受光素子自体、太陽電池アレーに比して応答
速度が速く、かつ単一の光導電形受光素子が発光量のす
べてを独占的に受光可能であるから、大きな明暗変化を
捉えることができる故、従来に比して高速スイッチング
が実現される。
速度が速く、かつ単一の光導電形受光素子が発光量のす
べてを独占的に受光可能であるから、大きな明暗変化を
捉えることができる故、従来に比して高速スイッチング
が実現される。
■電源回路等を同一チップ上に集積できることは勿論、
誘電体分離等の分離手段を必要とせず、通常のプロセス
で安価に製造できる。
誘電体分離等の分離手段を必要とせず、通常のプロセス
で安価に製造できる。
第1図は、本発明に係る光MO3!jレーの一実施例を
示す回路構成図である。 第2図は、従来の光MO3IJレーの一例を示す回路構
成図である。 第3図は、従来の別の光MO5!Jレーを示す回路構成
図である。 1 発光ダイオード、4−1.4−2 パワーMOS
F ET、 10.11 人力電極、12.13
出力電極、21 発光ダイオード、22−1.22
−2 ダイオード、23一定電流源FET、24
ツェナーダイオード、25−M OS F E T、
26 コンデンサ、27 抵抗、30 電源回路
。 第2図 第1図 第3図
示す回路構成図である。 第2図は、従来の光MO3IJレーの一例を示す回路構
成図である。 第3図は、従来の別の光MO5!Jレーを示す回路構成
図である。 1 発光ダイオード、4−1.4−2 パワーMOS
F ET、 10.11 人力電極、12.13
出力電極、21 発光ダイオード、22−1.22
−2 ダイオード、23一定電流源FET、24
ツェナーダイオード、25−M OS F E T、
26 コンデンサ、27 抵抗、30 電源回路
。 第2図 第1図 第3図
Claims (1)
- 1)発光素子と、これからの光を受光する受光素子と、
この受光素子の出力により駆動されるパワーMOSFE
Tとを含む光MOSリレーにおいて、該受光素子として
光導電形受光素子を用い、これに電圧印加すべき電源回
路を内蔵し、該光導電形受光素子の光電流の有無を以て
該パワーMOSFETをON/OFF制御することを特
徴とする光MOSリレー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63252810A JPH02100417A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 光mosリレー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63252810A JPH02100417A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 光mosリレー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02100417A true JPH02100417A (ja) | 1990-04-12 |
Family
ID=17242529
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63252810A Pending JPH02100417A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 光mosリレー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02100417A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012165228A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体リレー |
-
1988
- 1988-10-06 JP JP63252810A patent/JPH02100417A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012165228A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体リレー |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4419586A (en) | Solid-state relay and regulator | |
US4745311A (en) | Solid-state relay | |
US5013926A (en) | Photocoupler apparatus capable of shortening switching time of output contact | |
JPH01111383A (ja) | フオトカプラー | |
US5514996A (en) | Photo-coupler apparatus | |
US4349776A (en) | DC-to-DC Converters utilizing FET devices | |
JPS63153916A (ja) | 半導体スイツチ回路 | |
JPH02100417A (ja) | 光mosリレー | |
JPH10308529A (ja) | 半導体リレー | |
JP2743874B2 (ja) | ソリッドステートリレー | |
JPH07107975B2 (ja) | ソリッドステートリレー | |
JPS5860828A (ja) | Mos−fet駆動回路 | |
JP3451810B2 (ja) | 光結合型半導体リレー | |
JP2731655B2 (ja) | 光結合型リレー回路 | |
JPH06164354A (ja) | 半導体リレー | |
JPH05343972A (ja) | 半導体リレー回路 | |
JP2003249676A (ja) | 光結合型半導体リレー装置 | |
JPH0290720A (ja) | 半導体リレー回路 | |
JP2001015796A (ja) | 半導体リレー | |
JPH0998079A (ja) | 半導体リレー | |
JPH0297113A (ja) | ソリッド・ステート・リレー | |
JP2002026710A (ja) | スイッチ回路、リレー回路及びその駆動方法 | |
JPH04324711A (ja) | 半導体リレー回路 | |
JPH04324713A (ja) | 光結合型リレー回路 | |
JPH06232722A (ja) | 半導体リレー |