JPH0192668A - コンデンサの漏洩電流測定方法 - Google Patents
コンデンサの漏洩電流測定方法Info
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- JPH0192668A JPH0192668A JP25098487A JP25098487A JPH0192668A JP H0192668 A JPH0192668 A JP H0192668A JP 25098487 A JP25098487 A JP 25098487A JP 25098487 A JP25098487 A JP 25098487A JP H0192668 A JPH0192668 A JP H0192668A
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 45
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 33
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims abstract description 15
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
コンデンサの試験において漏洩電流を測定する方法に関
し、 測定装置を簡略化し作業効率を向上させることを目的と
し、 漏洩電流を測定するに際して被測定コンデンサ４を、プ
ローブ７と切換えスイッチ８を介して試験用電源１と電
流検出回路２に接続し、電流検出回路２により被測定コ
ンデンサ４の漏洩電流を測定した後、漏洩電流測定時に
被測定コンデンサ４に蓄積された電気を、プローブ７と
切換えスイッチ８を介して放電せしめてその電流値を検
出し、漏洩電流を測定した時の被測定コンデンサ４とプ
ローブ７との接触状態を、放電電流値から検知するよう
に構成する。
し、 測定装置を簡略化し作業効率を向上させることを目的と
し、 漏洩電流を測定するに際して被測定コンデンサ４を、プ
ローブ７と切換えスイッチ８を介して試験用電源１と電
流検出回路２に接続し、電流検出回路２により被測定コ
ンデンサ４の漏洩電流を測定した後、漏洩電流測定時に
被測定コンデンサ４に蓄積された電気を、プローブ７と
切換えスイッチ８を介して放電せしめてその電流値を検
出し、漏洩電流を測定した時の被測定コンデンサ４とプ
ローブ７との接触状態を、放電電流値から検知するよう
に構成する。
本発明はコンデンサの試験において漏洩電流を測定する
方法に係り、特に測定装置を簡略化し作業効率を向上さ
せる漏洩電流の測定方法に関する。
方法に係り、特に測定装置を簡略化し作業効率を向上さ
せる漏洩電流の測定方法に関する。
半導体集積回路等と組合せて使用されるコンデンサでは
、漏洩電流が大きいと半導体集積回路が破壊される場合
があり、その製造工程における漏洩電流の測定は極めて
重要視されている。しかしかかる漏洩電流の測定におい
て被測定コンデンサのリード端子と、試験電源や電流検
出回路との接続はプローブを介して行われ、例えば電流
検出回路において漏洩電流が検出されなくても、被測定
コンデンサの特性が優れていて検出できないのか、或い
はリード端子とプローブとの接触が悪くて検出できない
のか判別できない。そこで漏洩電流と共にプローブの接
触状態を検出できる測定方法の確立が望まれている。
、漏洩電流が大きいと半導体集積回路が破壊される場合
があり、その製造工程における漏洩電流の測定は極めて
重要視されている。しかしかかる漏洩電流の測定におい
て被測定コンデンサのリード端子と、試験電源や電流検
出回路との接続はプローブを介して行われ、例えば電流
検出回路において漏洩電流が検出されなくても、被測定
コンデンサの特性が優れていて検出できないのか、或い
はリード端子とプローブとの接触が悪くて検出できない
のか判別できない。そこで漏洩電流と共にプローブの接
触状態を検出できる測定方法の確立が望まれている。
第３図は従来の漏洩電流測定方法を示す回路図である。
従来の漏洩電流の測定には図示の如く試験電源１と電流
検出回路２と導通判定回路３が用いられ、電流検出回路
２は例えば増幅回路２１と電流計２２とで構成されてい
る。試験電源１および電流検出回路２或いは導通判定回
路３と被測定コンデンサ４とは、プローブ５とプローブ
の接続先を切り換える切換えスイッチ６を介して接続さ
れており、プローブ５として２木の電極がそれぞれ同一
リード端子と接触する多極プローブが、また切換えスイ
ッチ６として多極プローブの各電極の接続先を、それぞ
れ同時に切り換えられる多回路スイッチが用いられてい
る。
検出回路２と導通判定回路３が用いられ、電流検出回路
２は例えば増幅回路２１と電流計２２とで構成されてい
る。試験電源１および電流検出回路２或いは導通判定回
路３と被測定コンデンサ４とは、プローブ５とプローブ
の接続先を切り換える切換えスイッチ６を介して接続さ
れており、プローブ５として２木の電極がそれぞれ同一
リード端子と接触する多極プローブが、また切換えスイ
ッチ６として多極プローブの各電極の接続先を、それぞ
れ同時に切り換えられる多回路スイッチが用いられてい
る。
図において多極プローブ５の電極はいずれも電流検出側
に接続されており、被測定コンデンサ４の一方のリード
端子には試験電源１が、また被測定コンデンサ４の他方
のリード端子には電流検出回路２が、それぞれ切換えス
イッチ６と多極プローブ５の２本の電極を介して接続さ
れている。この状態では被測定コンデンサ４に試験電圧
が印加されその時の漏洩電流を測定することができる。
に接続されており、被測定コンデンサ４の一方のリード
端子には試験電源１が、また被測定コンデンサ４の他方
のリード端子には電流検出回路２が、それぞれ切換えス
イッチ６と多極プローブ５の２本の電極を介して接続さ
れている。この状態では被測定コンデンサ４に試験電圧
が印加されその時の漏洩電流を測定することができる。
被測定コンデンサ４の漏洩電流を測定した後切換えスイ
ッチ６を切り換えると、多極プローブ５の全ての電極が
導通判定回路３に接続される。導通判定回路３はそれぞ
れの多極プローブ５に対応する導通チ、１７り回路を具
えており、同一多極プローブ５のそれぞれの電極が確実
にリード端子に接触していると、導通チエツク回路は多
極プローブの電極とリード端子を介して接地される。し
かるにいずれか−木の電極がリード端子に接触していな
いと、その電極に関連する導通チエツク回路が接地され
ず接触不良を容易に検出することができる。
ッチ６を切り換えると、多極プローブ５の全ての電極が
導通判定回路３に接続される。導通判定回路３はそれぞ
れの多極プローブ５に対応する導通チ、１７り回路を具
えており、同一多極プローブ５のそれぞれの電極が確実
にリード端子に接触していると、導通チエツク回路は多
極プローブの電極とリード端子を介して接地される。し
かるにいずれか−木の電極がリード端子に接触していな
いと、その電極に関連する導通チエツク回路が接地され
ず接触不良を容易に検出することができる。
例えば前述の漏洩電流検出において漏洩電流が検出でき
ず、しかも導通判定においてプローブとリード端子との
接触に異常が無ければ、この被測定コンデンサは良品と
判定しても支障は無いが、導通判定においてプローブと
リード端子との接触に異常が発見された場合は、被測定
コンデンサと多極プローブの接触状態がチエツクされ漏
洩電流の再測定が行われる。
ず、しかも導通判定においてプローブとリード端子との
接触に異常が無ければ、この被測定コンデンサは良品と
判定しても支障は無いが、導通判定においてプローブと
リード端子との接触に異常が発見された場合は、被測定
コンデンサと多極プローブの接触状態がチエツクされ漏
洩電流の再測定が行われる。
しかし従来の試験方法では多極プローブが用いられてお
り、多回路を同時に切り換えられる切換えスイッチを必
要とするなど回路構成が複雑で、しかも２本の電極のい
ずれか一方が接触していないと、漏洩電流の再測定が行
われ作業効率が極めて悪いという問題があった。
り、多回路を同時に切り換えられる切換えスイッチを必
要とするなど回路構成が複雑で、しかも２本の電極のい
ずれか一方が接触していないと、漏洩電流の再測定が行
われ作業効率が極めて悪いという問題があった。
第１図は本発明になる漏洩電流測定方法の原理を示す回
路図である。なお全図を通し同じ対象物は同一記号で表
している。
路図である。なお全図を通し同じ対象物は同一記号で表
している。
漏洩電流の測定時に被測定コンデンサに蓄積された電気
を放電するときの電流値から、プローブの接触状態を検
知できることに着目し上記問題点の解決を図ったもので
ある。即ち上記問題点は漏洩電流を測定するＪこ際して
被測定コンデンサ４を、プローブ７と切換えスイッチ８
を介して試験用電源１と電流検出回路２に接続し、電流
検出回路２により被測定コンデンサ４の漏洩電流を測定
した後、漏洩電流測定時に被測定コンデンサ４に蓄積さ
れた電気を、プローブ７と切換えスイッチ８を介して放
電せしめてその電流値を検出し、漏洩電流を測定した時
の被測定コンデンサ４とプローブ７との接触状態を、放
電電流値から検知する本発明になるコンデンサの漏洩電
流測定方法によって解決される。
を放電するときの電流値から、プローブの接触状態を検
知できることに着目し上記問題点の解決を図ったもので
ある。即ち上記問題点は漏洩電流を測定するＪこ際して
被測定コンデンサ４を、プローブ７と切換えスイッチ８
を介して試験用電源１と電流検出回路２に接続し、電流
検出回路２により被測定コンデンサ４の漏洩電流を測定
した後、漏洩電流測定時に被測定コンデンサ４に蓄積さ
れた電気を、プローブ７と切換えスイッチ８を介して放
電せしめてその電流値を検出し、漏洩電流を測定した時
の被測定コンデンサ４とプローブ７との接触状態を、放
電電流値から検知する本発明になるコンデンサの漏洩電
流測定方法によって解決される。
第１図において電流検出回路によって被測定コンデンサ
の漏洩電流を測定した後、被測定コンデンサに蓄積され
た電気を放電せしめて放電電流を検出し、放電電流値か
ら被測定コンデンサとプローブとの接触状態を検知する
ことによって、被測定コンデンサに接触させるプローブ
が単極のプローブになり、切換えスイッチの回路数が減
少して回路構成が簡略化されると共に、被測定コンデン
サのリード端子とプローブの接触が確実になり、漏洩電
流を再測定する回数が減って作業効率を向上させること
ができる。
の漏洩電流を測定した後、被測定コンデンサに蓄積され
た電気を放電せしめて放電電流を検出し、放電電流値か
ら被測定コンデンサとプローブとの接触状態を検知する
ことによって、被測定コンデンサに接触させるプローブ
が単極のプローブになり、切換えスイッチの回路数が減
少して回路構成が簡略化されると共に、被測定コンデン
サのリード端子とプローブの接触が確実になり、漏洩電
流を再測定する回数が減って作業効率を向上させること
ができる。
以下添付図により本発明の漏洩電流測定方法について詳
細に説明する。なお第２図は本発明の一実施例を示す回
路図である。
細に説明する。なお第２図は本発明の一実施例を示す回
路図である。
本発明になる漏洩電流の測定方法では第１図に示す如く
試験電源１と電流検出回路２が用いられ、被測定コンデ
ンサ４の一方のリード端子はプローブ７と切換えスイッ
チ８を介して試験電源１に、また他方のリード端子はプ
ローブ７を介して電流検出回路２に接続される。図にお
いて切換えスイッチ８は試験電源１側に接続されており
、かかる場合は被測定コンデンサ４に試験電圧が印加さ
れて、その時の漏洩電流を電流検出回路２において測定
することができる。
試験電源１と電流検出回路２が用いられ、被測定コンデ
ンサ４の一方のリード端子はプローブ７と切換えスイッ
チ８を介して試験電源１に、また他方のリード端子はプ
ローブ７を介して電流検出回路２に接続される。図にお
いて切換えスイッチ８は試験電源１側に接続されており
、かかる場合は被測定コンデンサ４に試験電圧が印加さ
れて、その時の漏洩電流を電流検出回路２において測定
することができる。
漏洩電流を測定した後切換えスイッチ８を切り換えると
、それまで試験電源１に接続されていたプローブ７が抵
抗Ｒを介して接地され、被測定コンデンサ４に蓄積され
ていた電気が抵抗Ｒを介して放電されて、電流検出回路
２によってその時の放電電流が検出される。
、それまで試験電源１に接続されていたプローブ７が抵
抗Ｒを介して接地され、被測定コンデンサ４に蓄積され
ていた電気が抵抗Ｒを介して放電されて、電流検出回路
２によってその時の放電電流が検出される。
切換えスイッチ８を切り換えることにより放電される電
気は、漏洩電流を測定する際にプローブ７とリード端子
の接触点を介して、被測定コンデンサ４に印加され蓄積
された電気であり、プローブ７とリード端子が確実に接
触していれば必ず放電電流が検出される。一方プローブ
７がリード端子に接触していない場合は、漏洩電流を測
定する際に被測定コンデンサ４に電気が蓄積されず、ま
た漏洩電流を測定する前に被測定コンデンサ４に電気が
蓄積されていても放電電流は流れない。接触不良の場合
は放電電流が流れてもその値が極めて微弱なため容易に
識別することができる。
気は、漏洩電流を測定する際にプローブ７とリード端子
の接触点を介して、被測定コンデンサ４に印加され蓄積
された電気であり、プローブ７とリード端子が確実に接
触していれば必ず放電電流が検出される。一方プローブ
７がリード端子に接触していない場合は、漏洩電流を測
定する際に被測定コンデンサ４に電気が蓄積されず、ま
た漏洩電流を測定する前に被測定コンデンサ４に電気が
蓄積されていても放電電流は流れない。接触不良の場合
は放電電流が流れてもその値が極めて微弱なため容易に
識別することができる。
第２図に示す実施例では漏洩電流の測定と接触状態の検
出を一層安定化するために、試験電源１と電流検出回路
２の他に放電電流検知回路９を設けている。即ち被測定
コンデンサ４の一方のリード端子はプローブ７と切換え
スイッチ８を介して試験型ｔＸ１に、また他方のリード
端子はプローブ７と切換えスイッチ８を介して電流検出
回路２に接続される。電流検出回路２は例えば増幅回路
２１と電流形２２とで構成されている。図において切換
えスイッチ８は試験電源１側と電流検出回路２側に接続
されており、かかる場合は被測定コンデンサ４に試験電
圧が印加されて、その時の漏洩電流を電流検出回路２に
おいて測定することができる。
出を一層安定化するために、試験電源１と電流検出回路
２の他に放電電流検知回路９を設けている。即ち被測定
コンデンサ４の一方のリード端子はプローブ７と切換え
スイッチ８を介して試験型ｔＸ１に、また他方のリード
端子はプローブ７と切換えスイッチ８を介して電流検出
回路２に接続される。電流検出回路２は例えば増幅回路
２１と電流形２２とで構成されている。図において切換
えスイッチ８は試験電源１側と電流検出回路２側に接続
されており、かかる場合は被測定コンデンサ４に試験電
圧が印加されて、その時の漏洩電流を電流検出回路２に
おいて測定することができる。
漏洩電流を測定した後切換えスイッチ８を切り換えると
、それまで試験電源１に接続されていたプローブと電流
検出回路２に接続されていたプローブが、放電電流検知
回路９のホトカップラ９１を介して短絡され、被測定コ
ンデンサ４に蓄積されていた電気がホトカップラ９１を
介して放電される。
、それまで試験電源１に接続されていたプローブと電流
検出回路２に接続されていたプローブが、放電電流検知
回路９のホトカップラ９１を介して短絡され、被測定コ
ンデンサ４に蓄積されていた電気がホトカップラ９１を
介して放電される。
放電電流検知回路９はホトカップラ９１と判定回路９２
とで構成されており、このホトカップラ９１の出力電流
に基づいて判定回路９２において、被測定：Ｖンデンサ
４とプローブ７の接触状態の良＝ ”’ｌ’ ｉす定さ
れる。
とで構成されており、このホトカップラ９１の出力電流
に基づいて判定回路９２において、被測定：Ｖンデンサ
４とプローブ７の接触状態の良＝ ”’ｌ’ ｉす定さ
れる。
このように電流検出回路によって被測定：Ｉン）！ンサ
の漏洩電流を測定した後、被測定二１ 二’ｉ’ ：升
に蓄積された電気を放電廿し、めて孜電電ｌＩ？Ｌを検
出し、放電電流値から被測定コン−）゛伏→トと一７°
ＩＩ−”’との接触状態を検知することによって、被測
定コンデンサに接触させるプローブが単極のプローブに
なり、切換えスイッチの回路数が減少して回路構成が簡
略化されると共に、被測定コンデンサのリード端子とプ
ローブの接触が確実になり、漏洩電流を再測定する回数
が減って作業効率を向上させることができる。
の漏洩電流を測定した後、被測定二１ 二’ｉ’ ：升
に蓄積された電気を放電廿し、めて孜電電ｌＩ？Ｌを検
出し、放電電流値から被測定コン−）゛伏→トと一７°
ＩＩ−”’との接触状態を検知することによって、被測
定コンデンサに接触させるプローブが単極のプローブに
なり、切換えスイッチの回路数が減少して回路構成が簡
略化されると共に、被測定コンデンサのリード端子とプ
ローブの接触が確実になり、漏洩電流を再測定する回数
が減って作業効率を向上させることができる。
上述の如く本発明によれば測定装置を簡略化し作業効率
を向上させる漏洩電流の測定方法を提供することができ
る。
を向上させる漏洩電流の測定方法を提供することができ
る。
第１図は本発明になる漏洩電流測定方法の原理を示す回
路図、 第２図は本発明の一実施例を示す回路図、第３図は従来
の漏洩電流測定方法を示す回路図、である。図において １は試験用電源、 ２は電流検出回路、４は被測定
コンデンサ、７はプローブ、８は切換えスイッチ、 ９
は放電電流検知回路、２１は増幅回路、 ２２は
電流計、９１はホトカップラ、 ９２は判定回路、を
それぞれ表す。
路図、 第２図は本発明の一実施例を示す回路図、第３図は従来
の漏洩電流測定方法を示す回路図、である。図において １は試験用電源、 ２は電流検出回路、４は被測定
コンデンサ、７はプローブ、８は切換えスイッチ、 ９
は放電電流検知回路、２１は増幅回路、 ２２は
電流計、９１はホトカップラ、 ９２は判定回路、を
それぞれ表す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 漏洩電流を測定するに際して被測定コンデンサ（４）を
、プローブ（７）と切換えスイッチ（８）を介して試験
用電源（１）と電流検出回路（２）に接続し、電流検出
回路（２）により該被測定コンデンサ（４）の漏洩電流
を測定した後、 漏洩電流測定時に該被測定コンデンサ（４）に蓄積され
た電気を、該プローブ（７）と該切換えスイッチ（８）
を介して放電せしめてその電流値を検出し、漏洩電流を
測定した時の該被測定コンデンサ（４）と該プローブ（
７）との接触状態を、該放電電流値から検知することを
特徴としたコンデンサの漏洩電流測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25098487A JPH0640118B2 (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | コンデンサの漏洩電流測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25098487A JPH0640118B2 (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | コンデンサの漏洩電流測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0192668A true JPH0192668A (ja) | 1989-04-11 |
| JPH0640118B2 JPH0640118B2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=17215944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25098487A Expired - Lifetime JPH0640118B2 (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | コンデンサの漏洩電流測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640118B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0333663A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-13 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2016114612A (ja) * | 2016-01-26 | 2016-06-23 | 日置電機株式会社 | コンデンサの検査方法 |
-
1987
- 1987-10-05 JP JP25098487A patent/JPH0640118B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0333663A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-13 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2016114612A (ja) * | 2016-01-26 | 2016-06-23 | 日置電機株式会社 | コンデンサの検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0640118B2 (ja) | 1994-05-25 |
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