JPH0152729B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0152729B2 JPH0152729B2 JP54016961A JP1696179A JPH0152729B2 JP H0152729 B2 JPH0152729 B2 JP H0152729B2 JP 54016961 A JP54016961 A JP 54016961A JP 1696179 A JP1696179 A JP 1696179A JP H0152729 B2 JPH0152729 B2 JP H0152729B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- scanning
- deflector
- scanned
- imaging lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 38
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/127—Adaptive control of the scanning light beam, e.g. using the feedback from one or more detectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/0005—Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
本発明は、光源から放射される光ビーム、例え
ばレーザービーム等を偏向変調制御することによ
り、高速度で走査する光ビーム走査装置に関する
ものである。 回転多面鏡或いはガルヴアノミラー等の偏向器
を用いて光源部からの光ビームを偏向走査し被走
査面上を走査する光ビーム走査装置に於いては、
被走査面上でのビームスポツトの強度が、被走査
面上に各点に於いてほぼ均一な値を有することが
望まれる。 従来の光ビーム走査装置においては被走査面上
を走査するために、回転多面鏡により、光ビーム
を偏向し、その偏向されたビームを被走査面にス
ポツトとし結像するための走査用結像レンズとし
てはy=ftanθやy=fθレンズ y:結像レンズの焦平面上に於いて、結像レンズ
の光軸から光ビームの結像位置までの距離 f:結像レンズの焦点距離 θ:結像レンズの光軸と結像レンズに入射す光ビ
ームのなす角 が用いられている。そのため結像レンズへのビー
ムの入射角が大きくなると、被走査面上の周辺の
スポツト強度が中央部のスポツト強度に比べて著
しく小さくなつてしまい画像の濃度ムラが生じ不
都合が生じた。 このため被走査面の全面にわたつてある一定強
度以上のスポツト強度を得ようとすると、被走査
面上の周辺の小さいスポツト強度を基準として考
えねばならなくなり、特開昭52−99836に示す如
く高出力の光源を使わなければならない。 本発明の目的は、被走査面上での光ビームのス
ポツト強度が一定である光ビーム走査装置を提供
する事にある。 本発明の光ビーム走査装置に於いては、偏向器
と被走査面の間に配される走査用の結像光学系の
歪曲収差係数をほぼ3/4とする事により、被走査
面上での光量の低下を防止したものである。この
歪曲収差係数を3/4の値を取る事により、被走査
面の中央部と周辺部でのビームスポツトの強度を
一定とすることができるのである。現実的には、
この歪曲収差係数はほぼ3/4の値であれば、被走
査面上でのスポツト強度を充分に均一にすること
が可能である。 更に、本発明の光ビーム走査装置に於いては、
光ビームに与える変調信号を制御する事により被
走査面上での光ビームのスポツトと等速で移動さ
せているものである。 すなわち等角速度回転多面鏡あるいは正弦振動
ガルヴアノミラー等の走査手段により変更された
ビームの走査用の結像光学系に対する入射角が時
間と共に変化する時、結像面での結像されたスポ
ツト位置の移動速度は非直線的に変化し一定では
ない。したがつて光ビームをon、off制御する光
変調器への情報信号として不等時間間隔信号を与
えることにより補正しているものである。 第1図は、レンズの歪曲収差係数Vと、被走査
面上でのスポツトの強度I(θ、V)の関係を示
す為の図で、縦軸にはスポツト強度I、横軸には
ビームが走査用の結像レンズと成す入射角θが取
られている。この被走査面上でのスポツト強度I
は、上記入射角θと結像レンズの歪曲収差係数V
をパラメータとして I(θ、V)=〔1+(V−1)tan2θ〕2/cosθ……(
1) で表わされる。但し光学配置は、被走査面が上記
結像レンズの一方の焦平面と合致した構成になつ
ている。上記(1)式を3次の範囲でθ近似すると I(θ、V)=1+2(V−1)θ2/1−1/2θ2…
…(2) I(θ、V)がθに関係なく1であるにはV=
3/4であればよい。すなわち3次の近似ではV=
3/4であるレンズは、、走査面でのスポツト強度が
完全に一様になる。このレンズは3次の近似の範
囲では y=f〔tanθ−3/8tan3θ〕 ……(3) と書かれる。この状態を示すのが第1図の1でな
る。尚、第1図に示す曲線2はV=1である所謂
f−sinθレンズ、3はV=2/3である所謂f−θ
レンズである。第1図に示す如く、V=3/4のレ
ンズを使用するのが良い。 第1図に示す曲線4はV=0の所謂f−tanθレ
ンズと呼ばれているもので、この図からも明らか
な様に、f−tanθレンズでは周辺部で大きな光量
欠損を生じるものである。 次に、斯様な歪み特性を有するレンズを使用し
た場合に、被走査面上でビームスポツトの等速性
を得る為のビーム変調に関して述べる。走査用の
結像レンズとしてV=3/4のf(tanθ−3/8tan3θ〕 レンズを用いた場合について述べる。 第1に偏向器が回転多面鏡のような等角速度偏
向器の場合、偏向角は時間に対し等速であるか
ら、結像レンズに入射する入射角θは θ=2ωt ω:偏向器(回転多面鏡)の角速度 t:時間 また結像レンズは y=f〔tanθ−3/8tan3θ〕=f〔tan
(2ωt)−3/8tan3(2ωt)〕……(4) の特性をもつ。 結像面(被走査面)におけるスポツトの走査速
度v(t)は v(t)=dy/dt=2ωf/cos2(2ωt)×
[1−9/8tan2(2ωt)]……(5) となる。また結像面上のyの位置(即ち時間t)
で1ケのドツトに相当する時間dtなる変調信号に
対応する結像面上のドツト巾dyは dy=2ωf/2cos2(2ωt)×[2−9/4tan2(2ωt
)]dt ……(6) である。 今等ドツト巾dy=k(k;定数)を得るために
は、位置y(時間t)での1ドツトに相当する時
間dtは dt=dy×2cos2(2ωt)/2ωf[2−9/4tan2
(2ωt)]=k×2cos2(2ωt)/2ωf[2−9/4tan
2(2ωt)]………(7) でなければならないこととなる。 (7)式はy=f〔tanθ−3/8tan3θ〕のレンズの半 画角における変調信号の間隔時間の式であるか
ら、偏向器が−β〜βだけ偏向するのに要する時
間を2δとし、t=δのときywf〔tanθ−3/8tan3θ
〕 レンズの光軸をとおるように偏向器が偏向するの
で、t=δのときが(7)式でのt=0の対応する。
それで(7)式のt−δとおいてやればよい。 すなわち記録される画素に対応する光変調器へ
の変調信号の間隔すなわち画素周波数は次式に従
つて出力されるべきである。 dt=k/2ωt 2cos2{2ω(t−δ)}
/[2−9/4tan2{2ω(t−δ)}]、(0≦t≦2
δ)………(8) これを第2図に示す。 この結果、走査の周辺にゆくに従つて間隔時間
が長くなり、変調器へ入力する変調周波数は小さ
くなる。 次に偏向が正弦振動がガルヴアノミラーのよう
な正弦振動偏向器の場合、ビームの偏向角すなわ
ち結像レンズに入射する入射角θは正弦振動をす
るミラーの振巾をφ0、周期を2π/ω、時間をt
とすると θ=2φ0sin(ωt) ………(9) であるから結像レンズは y=f〔tanθ−3/8tan3θ〕=f〔tan{2
φ0sin(ωt)}−3/8tan3{2φ0sin(ωt)}〕 の特性をもつ。 結像面(被走査面)におけるスポツトの走査速
度v(t)は v(t)=dy/dt=2ωfφ0cos(ωt)/cos
2{2φ0sin(ωt)}[1−9/8tan2{2φ0sin(ωt
)}]………(11) となり、前と同様にして、等ドツト巾dy=kを
得るためには、位置y(時間t)での画素周波数
は、 dt=dy/2φ0ωf×2cos2{2φ0sin(ωt)}
/cos(ωt)[2−9/4tan2{2φ0sin(ωt)}]=
k/2φ0ωf ×2cos2{2φ0sin(ωt)}/cos(ωt)
[2−9/4tan2{2φ0sin(ωt)}]………(12) でなければならない。 (12)式はy=f〔tanθ−3/8tan3θ〕レンズの半
画 角における画素周波数の式であるから、前と同様
にすることにより、変調器への入力信号の間隔す
なわちクロツク周波数は次式に従つて出力される
べきである。 dt=k/2ωφ0f×2cos2{2φ0sinω(t−
δ)}/cosω(t−δ)[2−9/4tan2{2φ0sinω
(t−δ)}]………(13) これを第3図に示す。 この場合も、走査の周辺にゆくに従つて間隔時
間が長くなり、変調器へ入力する変調周波数は小
さくなり、前記と同様の効果が生じる。 尚上記(13)式は3次の近似の範囲でスポツト
強度が完全に一致する結像レンズの場合の式であ
るが、高次においても同様にして達成できるもの
である。 いままでは結像レンズに入射するビームが平行
光であるが、結像レンズに入射するビームが発散
光であれ収束光であれ同様のことが言える。ただ
第4図に示す表記にしたがつて結像レンズの焦点
距離fを f〓≡{g^′−(1−g^′/f)t^} ………(14) と置きかえれば良く、容易に達成できるものであ
る。但し、第4図に示す如く、gは偏向器5と該
偏向器に入射する発散ビームの見かけ上のビーム
の発散点(光源)6の間の距離、t^は偏向5と結
像レンズ系7の前側主点Hまでの距離、g^′は結像
レンズ系7の後側主点H′びと被走査面8の間の
距離、g^は結像レンズ系の7の前側主点Hと前記
ビームの発散点6の間の距離である。尚、9は結
像レンズ系7から見た場合、前記発散点6が偏向
器5の偏向器5の偏向作用に伴つて形成する。円
弧上の虚光源である。 次に、本発明の光ビーム走査装置を用いた具体
的な実施例に関して述べる。 第5図と第6図は各々本発明を適用した光走査
記録装置の一実施例の基本的配置を示すものであ
る。第5図は偏向器に回転多面鏡を用いた場合、
第6図は偏向器にガルヴアノミラーを用いた場合
である。第5図においてレーザー発振器11より
発振されたレーザービームは光変調器12の入力
開口に導かれる。光変調器12によつて後述の如
く強度変調を受けたビームは、回転多面反射鏡1
3に入射する。回転多面反射鏡13は高精度の軸
受けに支えられた軸に取り付けられ、定速回転の
モータ14により回転される。回転多面鏡13で
偏向されるビームは、等角速度で偏向される。回
転多面鏡13で偏向されるビームは結像レンズ1
5に入射し感光材料16上に結像される。結像レ
ンズ15はy=f〔tanθ−3/8tan3θ〕の関係を有 し、その構成を以下に示す。 第7図はy=f(tanθ−3/8tan3θ)レンズの一 実施例を示すレンズ断面図、第8図は、このレン
ズの歪曲収差を示している。第7図に示す如くレ
ンズは凹レンズ25と凸レンズ26の二枚で構成
されており、偏向器13の偏向面Sから第1番目
のレンズ25までの距離は30mmである。以下デー
ターを示す。
ばレーザービーム等を偏向変調制御することによ
り、高速度で走査する光ビーム走査装置に関する
ものである。 回転多面鏡或いはガルヴアノミラー等の偏向器
を用いて光源部からの光ビームを偏向走査し被走
査面上を走査する光ビーム走査装置に於いては、
被走査面上でのビームスポツトの強度が、被走査
面上に各点に於いてほぼ均一な値を有することが
望まれる。 従来の光ビーム走査装置においては被走査面上
を走査するために、回転多面鏡により、光ビーム
を偏向し、その偏向されたビームを被走査面にス
ポツトとし結像するための走査用結像レンズとし
てはy=ftanθやy=fθレンズ y:結像レンズの焦平面上に於いて、結像レンズ
の光軸から光ビームの結像位置までの距離 f:結像レンズの焦点距離 θ:結像レンズの光軸と結像レンズに入射す光ビ
ームのなす角 が用いられている。そのため結像レンズへのビー
ムの入射角が大きくなると、被走査面上の周辺の
スポツト強度が中央部のスポツト強度に比べて著
しく小さくなつてしまい画像の濃度ムラが生じ不
都合が生じた。 このため被走査面の全面にわたつてある一定強
度以上のスポツト強度を得ようとすると、被走査
面上の周辺の小さいスポツト強度を基準として考
えねばならなくなり、特開昭52−99836に示す如
く高出力の光源を使わなければならない。 本発明の目的は、被走査面上での光ビームのス
ポツト強度が一定である光ビーム走査装置を提供
する事にある。 本発明の光ビーム走査装置に於いては、偏向器
と被走査面の間に配される走査用の結像光学系の
歪曲収差係数をほぼ3/4とする事により、被走査
面上での光量の低下を防止したものである。この
歪曲収差係数を3/4の値を取る事により、被走査
面の中央部と周辺部でのビームスポツトの強度を
一定とすることができるのである。現実的には、
この歪曲収差係数はほぼ3/4の値であれば、被走
査面上でのスポツト強度を充分に均一にすること
が可能である。 更に、本発明の光ビーム走査装置に於いては、
光ビームに与える変調信号を制御する事により被
走査面上での光ビームのスポツトと等速で移動さ
せているものである。 すなわち等角速度回転多面鏡あるいは正弦振動
ガルヴアノミラー等の走査手段により変更された
ビームの走査用の結像光学系に対する入射角が時
間と共に変化する時、結像面での結像されたスポ
ツト位置の移動速度は非直線的に変化し一定では
ない。したがつて光ビームをon、off制御する光
変調器への情報信号として不等時間間隔信号を与
えることにより補正しているものである。 第1図は、レンズの歪曲収差係数Vと、被走査
面上でのスポツトの強度I(θ、V)の関係を示
す為の図で、縦軸にはスポツト強度I、横軸には
ビームが走査用の結像レンズと成す入射角θが取
られている。この被走査面上でのスポツト強度I
は、上記入射角θと結像レンズの歪曲収差係数V
をパラメータとして I(θ、V)=〔1+(V−1)tan2θ〕2/cosθ……(
1) で表わされる。但し光学配置は、被走査面が上記
結像レンズの一方の焦平面と合致した構成になつ
ている。上記(1)式を3次の範囲でθ近似すると I(θ、V)=1+2(V−1)θ2/1−1/2θ2…
…(2) I(θ、V)がθに関係なく1であるにはV=
3/4であればよい。すなわち3次の近似ではV=
3/4であるレンズは、、走査面でのスポツト強度が
完全に一様になる。このレンズは3次の近似の範
囲では y=f〔tanθ−3/8tan3θ〕 ……(3) と書かれる。この状態を示すのが第1図の1でな
る。尚、第1図に示す曲線2はV=1である所謂
f−sinθレンズ、3はV=2/3である所謂f−θ
レンズである。第1図に示す如く、V=3/4のレ
ンズを使用するのが良い。 第1図に示す曲線4はV=0の所謂f−tanθレ
ンズと呼ばれているもので、この図からも明らか
な様に、f−tanθレンズでは周辺部で大きな光量
欠損を生じるものである。 次に、斯様な歪み特性を有するレンズを使用し
た場合に、被走査面上でビームスポツトの等速性
を得る為のビーム変調に関して述べる。走査用の
結像レンズとしてV=3/4のf(tanθ−3/8tan3θ〕 レンズを用いた場合について述べる。 第1に偏向器が回転多面鏡のような等角速度偏
向器の場合、偏向角は時間に対し等速であるか
ら、結像レンズに入射する入射角θは θ=2ωt ω:偏向器(回転多面鏡)の角速度 t:時間 また結像レンズは y=f〔tanθ−3/8tan3θ〕=f〔tan
(2ωt)−3/8tan3(2ωt)〕……(4) の特性をもつ。 結像面(被走査面)におけるスポツトの走査速
度v(t)は v(t)=dy/dt=2ωf/cos2(2ωt)×
[1−9/8tan2(2ωt)]……(5) となる。また結像面上のyの位置(即ち時間t)
で1ケのドツトに相当する時間dtなる変調信号に
対応する結像面上のドツト巾dyは dy=2ωf/2cos2(2ωt)×[2−9/4tan2(2ωt
)]dt ……(6) である。 今等ドツト巾dy=k(k;定数)を得るために
は、位置y(時間t)での1ドツトに相当する時
間dtは dt=dy×2cos2(2ωt)/2ωf[2−9/4tan2
(2ωt)]=k×2cos2(2ωt)/2ωf[2−9/4tan
2(2ωt)]………(7) でなければならないこととなる。 (7)式はy=f〔tanθ−3/8tan3θ〕のレンズの半 画角における変調信号の間隔時間の式であるか
ら、偏向器が−β〜βだけ偏向するのに要する時
間を2δとし、t=δのときywf〔tanθ−3/8tan3θ
〕 レンズの光軸をとおるように偏向器が偏向するの
で、t=δのときが(7)式でのt=0の対応する。
それで(7)式のt−δとおいてやればよい。 すなわち記録される画素に対応する光変調器へ
の変調信号の間隔すなわち画素周波数は次式に従
つて出力されるべきである。 dt=k/2ωt 2cos2{2ω(t−δ)}
/[2−9/4tan2{2ω(t−δ)}]、(0≦t≦2
δ)………(8) これを第2図に示す。 この結果、走査の周辺にゆくに従つて間隔時間
が長くなり、変調器へ入力する変調周波数は小さ
くなる。 次に偏向が正弦振動がガルヴアノミラーのよう
な正弦振動偏向器の場合、ビームの偏向角すなわ
ち結像レンズに入射する入射角θは正弦振動をす
るミラーの振巾をφ0、周期を2π/ω、時間をt
とすると θ=2φ0sin(ωt) ………(9) であるから結像レンズは y=f〔tanθ−3/8tan3θ〕=f〔tan{2
φ0sin(ωt)}−3/8tan3{2φ0sin(ωt)}〕 の特性をもつ。 結像面(被走査面)におけるスポツトの走査速
度v(t)は v(t)=dy/dt=2ωfφ0cos(ωt)/cos
2{2φ0sin(ωt)}[1−9/8tan2{2φ0sin(ωt
)}]………(11) となり、前と同様にして、等ドツト巾dy=kを
得るためには、位置y(時間t)での画素周波数
は、 dt=dy/2φ0ωf×2cos2{2φ0sin(ωt)}
/cos(ωt)[2−9/4tan2{2φ0sin(ωt)}]=
k/2φ0ωf ×2cos2{2φ0sin(ωt)}/cos(ωt)
[2−9/4tan2{2φ0sin(ωt)}]………(12) でなければならない。 (12)式はy=f〔tanθ−3/8tan3θ〕レンズの半
画 角における画素周波数の式であるから、前と同様
にすることにより、変調器への入力信号の間隔す
なわちクロツク周波数は次式に従つて出力される
べきである。 dt=k/2ωφ0f×2cos2{2φ0sinω(t−
δ)}/cosω(t−δ)[2−9/4tan2{2φ0sinω
(t−δ)}]………(13) これを第3図に示す。 この場合も、走査の周辺にゆくに従つて間隔時
間が長くなり、変調器へ入力する変調周波数は小
さくなり、前記と同様の効果が生じる。 尚上記(13)式は3次の近似の範囲でスポツト
強度が完全に一致する結像レンズの場合の式であ
るが、高次においても同様にして達成できるもの
である。 いままでは結像レンズに入射するビームが平行
光であるが、結像レンズに入射するビームが発散
光であれ収束光であれ同様のことが言える。ただ
第4図に示す表記にしたがつて結像レンズの焦点
距離fを f〓≡{g^′−(1−g^′/f)t^} ………(14) と置きかえれば良く、容易に達成できるものであ
る。但し、第4図に示す如く、gは偏向器5と該
偏向器に入射する発散ビームの見かけ上のビーム
の発散点(光源)6の間の距離、t^は偏向5と結
像レンズ系7の前側主点Hまでの距離、g^′は結像
レンズ系7の後側主点H′びと被走査面8の間の
距離、g^は結像レンズ系の7の前側主点Hと前記
ビームの発散点6の間の距離である。尚、9は結
像レンズ系7から見た場合、前記発散点6が偏向
器5の偏向器5の偏向作用に伴つて形成する。円
弧上の虚光源である。 次に、本発明の光ビーム走査装置を用いた具体
的な実施例に関して述べる。 第5図と第6図は各々本発明を適用した光走査
記録装置の一実施例の基本的配置を示すものであ
る。第5図は偏向器に回転多面鏡を用いた場合、
第6図は偏向器にガルヴアノミラーを用いた場合
である。第5図においてレーザー発振器11より
発振されたレーザービームは光変調器12の入力
開口に導かれる。光変調器12によつて後述の如
く強度変調を受けたビームは、回転多面反射鏡1
3に入射する。回転多面反射鏡13は高精度の軸
受けに支えられた軸に取り付けられ、定速回転の
モータ14により回転される。回転多面鏡13で
偏向されるビームは、等角速度で偏向される。回
転多面鏡13で偏向されるビームは結像レンズ1
5に入射し感光材料16上に結像される。結像レ
ンズ15はy=f〔tanθ−3/8tan3θ〕の関係を有 し、その構成を以下に示す。 第7図はy=f(tanθ−3/8tan3θ)レンズの一 実施例を示すレンズ断面図、第8図は、このレン
ズの歪曲収差を示している。第7図に示す如くレ
ンズは凹レンズ25と凸レンズ26の二枚で構成
されており、偏向器13の偏向面Sから第1番目
のレンズ25までの距離は30mmである。以下デー
ターを示す。
【表】
但し、Rは曲率半径、Dは軸上空気間隔又は軸
上肉厚、Nは屈折率である。 したがつて変調器12により(7)式の関係で変調
を受け、回転多面鏡13により偏向された光ビー
ムに対して、結像レンズ15により結像される像
は走査面(感光材料上)16上において矢印17
の方向を走査し、走査面上でのドツト巾は等し
く、また、被走査面の周辺でのスポツト強度は低
下しない。 第9図はy=f(tanθ−3/8tan3θ)レンズの他 の実施例のレンズ断面図、第10図はそのレンズ
の歪曲収差を示している。第9図に示す如く、レ
ンズは凹レンズ27、凸レンズ28及び凸レンズ
29の3枚により構成されており、偏向器13の
偏向面Sから第1番目のレンズ27までの距離は
40mmである。以下にデーターを示す。
上肉厚、Nは屈折率である。 したがつて変調器12により(7)式の関係で変調
を受け、回転多面鏡13により偏向された光ビー
ムに対して、結像レンズ15により結像される像
は走査面(感光材料上)16上において矢印17
の方向を走査し、走査面上でのドツト巾は等し
く、また、被走査面の周辺でのスポツト強度は低
下しない。 第9図はy=f(tanθ−3/8tan3θ)レンズの他 の実施例のレンズ断面図、第10図はそのレンズ
の歪曲収差を示している。第9図に示す如く、レ
ンズは凹レンズ27、凸レンズ28及び凸レンズ
29の3枚により構成されており、偏向器13の
偏向面Sから第1番目のレンズ27までの距離は
40mmである。以下にデーターを示す。
【表】
【表】
次に第5図の変調器12の画素周波数を(8)式の
dt=k/2ωf 2cos2(2ω(t−δ)}/〔2−9/
4tan2{2ω(t−δ)}〕 の関係を満すべく制御する電気回路を第5図と第
11図と第12図に従つて説明する。 第5図において、30はレーザービームが感光
材料16上を走査するに先立ち走査始点の基準と
なるべきビームデイテクト信号(以下BD信号と
略す。)を検出するホトデイテクターである。3
1は水晶等の発振器より得られる一定周波数のク
ロツク信号入力端子、32はカウンターでBD信
号によりクリアさクロツク信号をカウントし後述
する様な所定のカウント数に達した時点で端子3
3,34に出力する機能を有する。 35はフリツプフロツプ、36は積分回路、3
7は絶対値回路、38は折線近似による関数発生
器、39は電圧により発振周波数を制御し得る電
圧制御発振器(以後VCOを略す)、40は記録せ
んとする文字が一走査線分の画素列としてメモリ
ーされている例えばシフトレジスターで構成され
たラインバツフアー(不図示)から画素の白黒に
対応する“0”、“1”の信号を読み出すのに用い
られる画像クロツクの出力端子である。第2図の
動作を第11図示の波形図を参照しつつ説明する
ならば、第11図示11−1はBD信号の波形を
示し、BD信号の発生時点t21は構成される画面の
始点より場所的には走査方向に対し先立つ位置に
対応して設けられたものである。 カウンター32はBD信号によりクリアされ、
次に入力端子31よりのクロツク(第11図示1
1−2)をカウントし始める。 BD信号を検出するホトデイテクター30は走
査画面の始点より予じめ定められた位置に設けら
れており、従つてビームの走査速度とクロツクの
周波数に関連して時点t21からビームが画面の始
点に達した時点t22迄に発生するクロツクの数は
定められていることからカウンター32は出力端
子33に前記カウント数において信号を出力す
る。 同様にして画面の終点に相当する時点t23にお
いてカウンター32は出力端子34に信号を出力
する。 フリツプフロツプ35は出力端子33よりの信
号でセツトされ、出力端子34の信号によりリセ
ツトされ、出力端子41には第11図示−3の信
号が得られることになる。上記信号は積分回路3
6により積分され(第11図示11−4)、絶対
値回路37により端子42には第11図示11−
5の信号が得られ、次に折線近似回路による関数
発生器38により第11図示11−6の如く上述
した式(8)に示す所望の k/2ωt 2cos2{2ω(t−δ)}/[2−9/4ta
n2{2ω(t−δ)}] (∵δ=t22+t23/2) に近似する補正波形を得るものである。 (8)、(13)式はすべて3次の偏向領域((ωt)
について3次以下の展開)で dt=A{1+X(ωt)2} と展開され(ωt)について同じ関数形であるこ
とが分る。 ここでA、Xは定数である。そして(8)式の定数
Aをφ0で割つた値が(13)式での定数Aである。
またXは(8)、(13)式毎に異なる定数である。 これらの式の間の異なる定数AとXは、第11
図の信号11−6の波形を決定するもので、この
決定法は関数発生器の設定によつて容易に実現し
得る。 このようにして、(8)、(13)式にそれぞれ対応
する第2図、第3図に示す変調信号間隔の変化を
実現し得る。 前記補正波形11−6やVCO39に入力し、
その発振周波数を変化せしめるもので、第12図
には、ビームスポツトが被走査画面の周辺部を走
査する時のVCO39からの出力信号を12−1
に、同じく画面の中央部を走査する時のVCO3
9からの出力信号を12−2に示す。 以上の説明で明らかな様に走査画面の中心より
対称に周辺部に向うに従つて結像レンズ系の特性
を補正するべくレーザービームを変調する画像を
構成する画素周波数は所定の補正がなされるもの
である。 以上、偏向器として、等角速度回転ミラーにつ
いて実施した例を記述したが、偏向器が正弦振動
ミラーである場合も原理に従つて容易に出力画像
の歪みを除去することが可能である。
4tan2{2ω(t−δ)}〕 の関係を満すべく制御する電気回路を第5図と第
11図と第12図に従つて説明する。 第5図において、30はレーザービームが感光
材料16上を走査するに先立ち走査始点の基準と
なるべきビームデイテクト信号(以下BD信号と
略す。)を検出するホトデイテクターである。3
1は水晶等の発振器より得られる一定周波数のク
ロツク信号入力端子、32はカウンターでBD信
号によりクリアさクロツク信号をカウントし後述
する様な所定のカウント数に達した時点で端子3
3,34に出力する機能を有する。 35はフリツプフロツプ、36は積分回路、3
7は絶対値回路、38は折線近似による関数発生
器、39は電圧により発振周波数を制御し得る電
圧制御発振器(以後VCOを略す)、40は記録せ
んとする文字が一走査線分の画素列としてメモリ
ーされている例えばシフトレジスターで構成され
たラインバツフアー(不図示)から画素の白黒に
対応する“0”、“1”の信号を読み出すのに用い
られる画像クロツクの出力端子である。第2図の
動作を第11図示の波形図を参照しつつ説明する
ならば、第11図示11−1はBD信号の波形を
示し、BD信号の発生時点t21は構成される画面の
始点より場所的には走査方向に対し先立つ位置に
対応して設けられたものである。 カウンター32はBD信号によりクリアされ、
次に入力端子31よりのクロツク(第11図示1
1−2)をカウントし始める。 BD信号を検出するホトデイテクター30は走
査画面の始点より予じめ定められた位置に設けら
れており、従つてビームの走査速度とクロツクの
周波数に関連して時点t21からビームが画面の始
点に達した時点t22迄に発生するクロツクの数は
定められていることからカウンター32は出力端
子33に前記カウント数において信号を出力す
る。 同様にして画面の終点に相当する時点t23にお
いてカウンター32は出力端子34に信号を出力
する。 フリツプフロツプ35は出力端子33よりの信
号でセツトされ、出力端子34の信号によりリセ
ツトされ、出力端子41には第11図示−3の信
号が得られることになる。上記信号は積分回路3
6により積分され(第11図示11−4)、絶対
値回路37により端子42には第11図示11−
5の信号が得られ、次に折線近似回路による関数
発生器38により第11図示11−6の如く上述
した式(8)に示す所望の k/2ωt 2cos2{2ω(t−δ)}/[2−9/4ta
n2{2ω(t−δ)}] (∵δ=t22+t23/2) に近似する補正波形を得るものである。 (8)、(13)式はすべて3次の偏向領域((ωt)
について3次以下の展開)で dt=A{1+X(ωt)2} と展開され(ωt)について同じ関数形であるこ
とが分る。 ここでA、Xは定数である。そして(8)式の定数
Aをφ0で割つた値が(13)式での定数Aである。
またXは(8)、(13)式毎に異なる定数である。 これらの式の間の異なる定数AとXは、第11
図の信号11−6の波形を決定するもので、この
決定法は関数発生器の設定によつて容易に実現し
得る。 このようにして、(8)、(13)式にそれぞれ対応
する第2図、第3図に示す変調信号間隔の変化を
実現し得る。 前記補正波形11−6やVCO39に入力し、
その発振周波数を変化せしめるもので、第12図
には、ビームスポツトが被走査画面の周辺部を走
査する時のVCO39からの出力信号を12−1
に、同じく画面の中央部を走査する時のVCO3
9からの出力信号を12−2に示す。 以上の説明で明らかな様に走査画面の中心より
対称に周辺部に向うに従つて結像レンズ系の特性
を補正するべくレーザービームを変調する画像を
構成する画素周波数は所定の補正がなされるもの
である。 以上、偏向器として、等角速度回転ミラーにつ
いて実施した例を記述したが、偏向器が正弦振動
ミラーである場合も原理に従つて容易に出力画像
の歪みを除去することが可能である。
第1図は走査用のレンズの歪みとビームスポツ
トの強度の関係を示す図、第2図、第3図は各々
本発明に係る装置に於けるビーム変調信号の一例
を示す図、第4図は本発明の装置に於いて、走査
用のビームが平行ビームでない場合を説明する為
の図、第5図及び第6図は各々本発明の装置を適
用した記録装置の一実施例を示す図、第7図は本
発明の装置に用いる走査用の結像レンズの一実施
例の断面を示す図、第8図は第7図に示すレンズ
の歪曲収差を示す図、第9図は本発明の装置に用
いる走査用の結像レンズの他の実施例の断面を示
す図、第10図は第9図に示すレンズの歪曲収差
を示す図、第11図及び第12図は各々第5図に
示す装置の回路のタイムチヤートを示す図。 11……レーザー発振器、12……光変調器、
13……回転多面反射鏡、15……走査用結像レ
ンズ、16……被走査面、30……フオトデイテ
クター、32……カウンター回路、35……フリ
ツプフロツプ、36……積分回路、37……絶対
値回路、38……関数発生器、39……電圧制御
発振器。
トの強度の関係を示す図、第2図、第3図は各々
本発明に係る装置に於けるビーム変調信号の一例
を示す図、第4図は本発明の装置に於いて、走査
用のビームが平行ビームでない場合を説明する為
の図、第5図及び第6図は各々本発明の装置を適
用した記録装置の一実施例を示す図、第7図は本
発明の装置に用いる走査用の結像レンズの一実施
例の断面を示す図、第8図は第7図に示すレンズ
の歪曲収差を示す図、第9図は本発明の装置に用
いる走査用の結像レンズの他の実施例の断面を示
す図、第10図は第9図に示すレンズの歪曲収差
を示す図、第11図及び第12図は各々第5図に
示す装置の回路のタイムチヤートを示す図。 11……レーザー発振器、12……光変調器、
13……回転多面反射鏡、15……走査用結像レ
ンズ、16……被走査面、30……フオトデイテ
クター、32……カウンター回路、35……フリ
ツプフロツプ、36……積分回路、37……絶対
値回路、38……関数発生器、39……電圧制御
発振器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 光ビームを発生する光源部、該光源部からの
光ビームを偏向する偏向器、該偏向器により偏向
させた光ビームを被走査面上に結像する走査用の
結像光学系を有する光ビーム走査装置において、 前記結像光学系の歪曲収差係数はほぼ3/4であ
ることを特徴とする光ビーム走査装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1696179A JPS55110215A (en) | 1979-02-16 | 1979-02-16 | Light beam scanner |
US06/119,455 US4343531A (en) | 1979-02-16 | 1980-02-07 | Light beam scanning device with constant spot intensity and scan speed related modulating means |
DE3005704A DE3005704C2 (de) | 1979-02-16 | 1980-02-15 | Abtastvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1696179A JPS55110215A (en) | 1979-02-16 | 1979-02-16 | Light beam scanner |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS55110215A JPS55110215A (en) | 1980-08-25 |
JPH0152729B2 true JPH0152729B2 (ja) | 1989-11-09 |
Family
ID=11930695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1696179A Granted JPS55110215A (en) | 1979-02-16 | 1979-02-16 | Light beam scanner |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4343531A (ja) |
JP (1) | JPS55110215A (ja) |
DE (1) | DE3005704C2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57105715A (en) * | 1980-12-24 | 1982-07-01 | Canon Inc | Uniform scanning lens having high resolving power |
JPS58142662A (ja) * | 1982-02-18 | 1983-08-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線画像読取記録装置 |
US4524395A (en) * | 1983-04-22 | 1985-06-18 | Xerox Corporation | Multi-mode reproduction apparatus |
JPS61128218A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-16 | Ricoh Co Ltd | 2枚玉fθレンズ |
JPS61156020A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-15 | Ricoh Co Ltd | ポストオブジエクテイブ型光偏向器 |
JPS61172109A (ja) * | 1985-01-25 | 1986-08-02 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置用fθレンズ |
JPS61175616A (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-07 | Ricoh Co Ltd | 偏向光ビ−ム用レンズ系 |
JPH0746169B2 (ja) * | 1987-02-20 | 1995-05-17 | 富士ゼロックス株式会社 | 光ビ−ム走査装置用fθレンズ |
DE3883056T2 (de) * | 1987-04-27 | 1994-03-17 | Dainippon Screen Mfg | Optisches System für ein Lichtpunktabtastsystem. |
IT1210733B (it) * | 1987-05-13 | 1989-09-20 | Paolo Soardo | Programmabile proiettore per autoveicoli con ripartizione luminosa |
JPS63311320A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-20 | Canon Inc | 光走査装置 |
US4947039A (en) * | 1988-10-17 | 1990-08-07 | Eotron Corporation | Flat stationary field light beam scanning device |
JPH0391734A (ja) * | 1989-09-04 | 1991-04-17 | Eastman Kodatsuku Japan Kk | 放射線画像読取装置 |
US5633736A (en) * | 1995-03-28 | 1997-05-27 | Eastman Kodak Company | Scan lens and an optical scanner system incorporating two deflectors |
JP4909653B2 (ja) * | 2006-06-21 | 2012-04-04 | 株式会社リコー | 光走査装置及び画像形成装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3597536A (en) * | 1968-05-10 | 1971-08-03 | Gen Telephone & Elect | Dual beam laser display device employing polygonal mirror |
US3573849A (en) * | 1969-02-04 | 1971-04-06 | Bell Telephone Labor Inc | Pattern generating apparatus |
US3848087A (en) * | 1973-10-29 | 1974-11-12 | Rca Corp | Optical scanner control system |
US3961838A (en) * | 1975-01-10 | 1976-06-08 | Zygo Corporation | Apparatus for producing a scanning laser beam of constant linear velocity |
US4032888A (en) * | 1975-12-15 | 1977-06-28 | The Singer Company | Nonlinear scan drive reader with variable clock correction |
US4130339A (en) * | 1976-03-16 | 1978-12-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical system including optical system for detecting an information beam |
US4108532A (en) * | 1976-06-23 | 1978-08-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Light beam scanning device |
JPS53137631A (en) * | 1977-05-07 | 1978-12-01 | Canon Inc | Terminal unit for information processing |
US4160939A (en) * | 1977-09-13 | 1979-07-10 | Xerox Corporation | Motor speed control system |
US4178064A (en) * | 1978-04-27 | 1979-12-11 | Xerox Corporation | Real time grating clock for galvanometer scanners in laser scanning systems |
-
1979
- 1979-02-16 JP JP1696179A patent/JPS55110215A/ja active Granted
-
1980
- 1980-02-07 US US06/119,455 patent/US4343531A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-02-15 DE DE3005704A patent/DE3005704C2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS55110215A (en) | 1980-08-25 |
US4343531A (en) | 1982-08-10 |
DE3005704A1 (de) | 1980-08-28 |
DE3005704C2 (de) | 1993-12-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4178064A (en) | Real time grating clock for galvanometer scanners in laser scanning systems | |
US4717925A (en) | Optical scanner without extra convergent lens | |
JPH0152729B2 (ja) | ||
JP2584224B2 (ja) | 光ビ−ム記録装置 | |
US4274101A (en) | Laser recorder with piezoelectric bimorph focal length vibrator | |
EP0288970B1 (en) | Optical system for flyingspot scanning system | |
US4532552A (en) | Laser activating system for laser printing | |
JPH0527086B2 (ja) | ||
US4329012A (en) | Two-dimensional scanning device | |
US5151586A (en) | Scanning exposure device provided with intensity correction to compensate for scan angle | |
US7858923B2 (en) | Light beam scanning apparatus and image forming apparatus provided with the same | |
US4833489A (en) | Electrical f·θ correction system in a laser printer | |
JPH0132700B2 (ja) | ||
JPS60642B2 (ja) | 光走査装置 | |
US5218377A (en) | Laser printing device with control of oscillation amplitude | |
JPH08327922A (ja) | 走査光学系 | |
JPS6137606B2 (ja) | ||
KR100571809B1 (ko) | 광 주사장치 | |
JP2004272126A (ja) | 画像形成装置 | |
JPH05257080A (ja) | 半導体レーザ光学装置 | |
KR890002332B1 (ko) | 레이저 프린터의 전기적 f.θ보정계 | |
JPH09211370A (ja) | 走査光学装置およびポリゴンミラーカバー | |
JPH0459621B2 (ja) | ||
JPS6184620A (ja) | 連続調画像のレ−ザ走査記録装置 | |
JPH10149427A (ja) | 光学走査装置及び光学情報読取装置並びに光学情報記録装置 |