JPH01305533A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH01305533A JPH01305533A JP63135595A JP13559588A JPH01305533A JP H01305533 A JPH01305533 A JP H01305533A JP 63135595 A JP63135595 A JP 63135595A JP 13559588 A JP13559588 A JP 13559588A JP H01305533 A JPH01305533 A JP H01305533A
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は搬送装置に係り、特に半導体ウェハ等の薄板を
搬送する搬送装置に関する。
搬送する搬送装置に関する。
(従来の技術)
近年、LSIデバイスの微細化に伴ない、従来無視する
ことができた塵が問題となってきており、ウェハ等の搬
送に際しても塵芥発生が少ない搬送装置が必要とされて
いる。一般に発塵を抑えるために搬送装置の駆動機構部
分と搬送動作部分とを仕切板により区分したり、搬送動
作機構部分に摩擦の大きなベル1〜.歯車を用いずに軸
受等の摩擦に小さい機構のみで構成している。
ことができた塵が問題となってきており、ウェハ等の搬
送に際しても塵芥発生が少ない搬送装置が必要とされて
いる。一般に発塵を抑えるために搬送装置の駆動機構部
分と搬送動作部分とを仕切板により区分したり、搬送動
作機構部分に摩擦の大きなベル1〜.歯車を用いずに軸
受等の摩擦に小さい機構のみで構成している。
例えば、第16図に示す搬送装置のように、駆動軸1に
接続される駆動機構部分は真空チャンバの真空壁面を兼
ねた仕切板2により搬送動作機構部分と区分されている
。そしてこの駆動軸1は磁性流体シール等の回転軸シー
ル機構4を介して駆動される。またこの駆動軸1にはア
ーム5が連結されており、このアーム5の先端部には半
導体ウェハ等の被搬送物を保持するための盆状の保持手
段6が設けられている。従って被搬送物は前記駆動軸1
を駆動させこの駆動軸1に固定されたアーム5を回転さ
せることによって搬送される。
接続される駆動機構部分は真空チャンバの真空壁面を兼
ねた仕切板2により搬送動作機構部分と区分されている
。そしてこの駆動軸1は磁性流体シール等の回転軸シー
ル機構4を介して駆動される。またこの駆動軸1にはア
ーム5が連結されており、このアーム5の先端部には半
導体ウェハ等の被搬送物を保持するための盆状の保持手
段6が設けられている。従って被搬送物は前記駆動軸1
を駆動させこの駆動軸1に固定されたアーム5を回転さ
せることによって搬送される。
ところが搬送距離を長くすると、アーム5の長さすなわ
ちAPを長くする必要があり、旋回半径が大きくなる。
ちAPを長くする必要があり、旋回半径が大きくなる。
このためこの搬送装置のまわりに設置される他の装置と
干渉しやすくなるという問題点があった。また旋回半径
が大きくなるためこの搬送装置を真空処理装置などに用
いた場合、真空チャンバの大きさが大きくなり、搬入出
口などの開口部も大きくなるためこの開口部における真
空シールの信頼性′が低下すると共に、真空排気に時間
がかかるという問題点があった。
干渉しやすくなるという問題点があった。また旋回半径
が大きくなるためこの搬送装置を真空処理装置などに用
いた場合、真空チャンバの大きさが大きくなり、搬入出
口などの開口部も大きくなるためこの開口部における真
空シールの信頼性′が低下すると共に、真空排気に時間
がかかるという問題点があった。
また搬送動作機構部としてはリンク機構を採用した特開
昭61−87351号公報、特開昭61−3341.7
号公報が知られている。
昭61−87351号公報、特開昭61−3341.7
号公報が知られている。
前者の搬送機構部は第17図に示すように、軸7゜8に
等しい長さのアーム9.]0が各々連結されており、こ
れらアー1% 9 、1.0の先端には等しい長さのア
ーA]、1..1.2が各々回転自在に連結されている
。
等しい長さのアーム9.]0が各々連結されており、こ
れらアー1% 9 、1.0の先端には等しい長さのア
ーA]、1..1.2が各々回転自在に連結されている
。
アーム!、1.12は各々回転自在に保持アーム14に
連結されている。駆動軸7,8は回転シール機構を介し
て上面か仕切板2である箱3の内部のI駆動機構により
Iψ動され、駆動軸7,8は夫々反対方向に同一角度で
回転する。
連結されている。駆動軸7,8は回転シール機構を介し
て上面か仕切板2である箱3の内部のI駆動機構により
Iψ動され、駆動軸7,8は夫々反対方向に同一角度で
回転する。
このような構成からなる搬送装置は、アーム9とアーA
]、 Oとが常に逆方向に回転し、アーム11がアー
1% 9の先端部の軸を中心にアーts 9の回転方向
と逆方向に回転するとともに、アーム]2がアーム10
の先端部の軸を中心にアーム10の回転方向と逆方向に
回転し、ケンブリバーツル機構により保持アーム14が
常に同一方向を向くため、保持アーム14の保持中心が
直線上を動作し搬送装置のまわりの他の装置と干渉しに
くい軌跡を有する利点がある。しかしながらこの搬送装
置は、保持アーム14を駆動軸7,8を結ぶ直線を越え
て動作させることができない。このため被搬送物をこの
搬送装置の両側に搬送するために、さらにこの搬送装置
全体を回転させる回転テーブル16を設ける必要があり
、真空処理装置の搬送装置に適用する場合には、真空シ
ールされた回転軸の内部にさらに真空シールされた2本
の駆動軸を設ける必要があり、真空シール部の構造が複
雑となる欠点があり、真空チャンバの仕切弁、大気弁の
開口部の高さを高くする必要がある。
]、 Oとが常に逆方向に回転し、アーム11がアー
1% 9の先端部の軸を中心にアーts 9の回転方向
と逆方向に回転するとともに、アーム]2がアーム10
の先端部の軸を中心にアーム10の回転方向と逆方向に
回転し、ケンブリバーツル機構により保持アーム14が
常に同一方向を向くため、保持アーム14の保持中心が
直線上を動作し搬送装置のまわりの他の装置と干渉しに
くい軌跡を有する利点がある。しかしながらこの搬送装
置は、保持アーム14を駆動軸7,8を結ぶ直線を越え
て動作させることができない。このため被搬送物をこの
搬送装置の両側に搬送するために、さらにこの搬送装置
全体を回転させる回転テーブル16を設ける必要があり
、真空処理装置の搬送装置に適用する場合には、真空シ
ールされた回転軸の内部にさらに真空シールされた2本
の駆動軸を設ける必要があり、真空シール部の構造が複
雑となる欠点があり、真空チャンバの仕切弁、大気弁の
開口部の高さを高くする必要がある。
また、アームの熱膨張などにより、アームの軸間距離が
変化すると、アーム9,10は90°以上回転できなく
なるかあるいは、90°以上回転させるために大きな駆
動トルクを必要とするようになり、各アームや、アーム
の連結軸に大きな荷重が負荷されるようになる欠点があ
る。
変化すると、アーム9,10は90°以上回転できなく
なるかあるいは、90°以上回転させるために大きな駆
動トルクを必要とするようになり、各アームや、アーム
の連結軸に大きな荷重が負荷されるようになる欠点があ
る。
後者の搬送動作機構部は第18図に示すように駆動軸1
7にアーム18が連結されており、仕切板2上に、回転
自在に設けられた軸19にはアーム20が連結されてい
る。アーム18の先端部には回転自在に保持アーム21
の中間部が連結されており、保持アーム21の一端部に
はさらにアーム20の先端部が回転自在に連結されてい
る。駆動軸17は回転軸シール機構4を介して仕切板2
の下方に配置される駆動装置により駆動される。アー1
%18.21.20の軸間距離AB、B五、DEと駆動
軸17と軸19の軸間距離AEとは次式の関係を満足す
るものとなっている。AB+BD>DE+AE。この例
では、保持アーム21の先端に被搬送物を保持するため
に静電チャック22が設けられている。このような構成
からなる搬送装置は、アーム18の回転方向とアーム2
0の回転方向とが常に同一であるが、保持アーム21が
アーム18の先端部を軸として、アーム18の回転方向
と同一方向に回転したり、また逆方向に回転したりする
ため、まわりの装置との干渉がおこりやすい。
7にアーム18が連結されており、仕切板2上に、回転
自在に設けられた軸19にはアーム20が連結されてい
る。アーム18の先端部には回転自在に保持アーム21
の中間部が連結されており、保持アーム21の一端部に
はさらにアーム20の先端部が回転自在に連結されてい
る。駆動軸17は回転軸シール機構4を介して仕切板2
の下方に配置される駆動装置により駆動される。アー1
%18.21.20の軸間距離AB、B五、DEと駆動
軸17と軸19の軸間距離AEとは次式の関係を満足す
るものとなっている。AB+BD>DE+AE。この例
では、保持アーム21の先端に被搬送物を保持するため
に静電チャック22が設けられている。このような構成
からなる搬送装置は、アーム18の回転方向とアーム2
0の回転方向とが常に同一であるが、保持アーム21が
アーム18の先端部を軸として、アーム18の回転方向
と同一方向に回転したり、また逆方向に回転したりする
ため、まわりの装置との干渉がおこりやすい。
第19図はこの搬送装置におけるアーム18の軸間距離
A B = 350+nm 、アーム2〕の軸間距離I
n=37.5nlTl、 7−ム20(7)軸間距離D
E = 31.7.5mn 、 駆動軸17と軸1
9の軸間距離A E = 67.5nwn 、保持中心
とアA18の先端の軸との距離B P = ]、50m
n+の具体例に対し、駆動軸17と軸19とを結ぶ直線
を基準として、アーム18の回転角度とアーム21の保
持中心とアーム18の先端の軸を結ぶ線分の傾斜角度と
の関係を示すグラフである。このグラフの傾きの正の部
分は、アーム18の回転方向と保持アーム21の回転方
向とが同一であり、このグラフの傾きが負の部分は夫々
の回転方向が逆方向となる。この具体例で示すようにこ
の搬送装置は、保持アー11の回転方向が途中で変化す
る。このため搬送軌跡がうねったものとなり、また、保
持アーム21が、アーム18の先端部を軸として、アー
ム18の回転方向と同一方向に回転する領域で、1駆動
軸17を中心とした旋回軌跡と、似かよった軌跡を有し
ており、搬送装置のまわりの他の装置との干渉がおこり
やすい欠点がある。第20図は、この搬送装置を、真空
処理装置に適用した例を示す。搬送装置は、準備室23
内に設けられ、準備室23に隣接した処理室24と大気
の間で被搬送物を搬送する。準備室23には、処理室2
4側に仕切弁25、大気側に大気弁26が設けられてお
り、被搬送物を準備室23内にとりこんだ後、大気弁z
6を閉し準備室23を真空排気し、仕切弁25を開いて
、被搬送物を処理室25内に搬送する。
A B = 350+nm 、アーム2〕の軸間距離I
n=37.5nlTl、 7−ム20(7)軸間距離D
E = 31.7.5mn 、 駆動軸17と軸1
9の軸間距離A E = 67.5nwn 、保持中心
とアA18の先端の軸との距離B P = ]、50m
n+の具体例に対し、駆動軸17と軸19とを結ぶ直線
を基準として、アーム18の回転角度とアーム21の保
持中心とアーム18の先端の軸を結ぶ線分の傾斜角度と
の関係を示すグラフである。このグラフの傾きの正の部
分は、アーム18の回転方向と保持アーム21の回転方
向とが同一であり、このグラフの傾きが負の部分は夫々
の回転方向が逆方向となる。この具体例で示すようにこ
の搬送装置は、保持アー11の回転方向が途中で変化す
る。このため搬送軌跡がうねったものとなり、また、保
持アーム21が、アーム18の先端部を軸として、アー
ム18の回転方向と同一方向に回転する領域で、1駆動
軸17を中心とした旋回軌跡と、似かよった軌跡を有し
ており、搬送装置のまわりの他の装置との干渉がおこり
やすい欠点がある。第20図は、この搬送装置を、真空
処理装置に適用した例を示す。搬送装置は、準備室23
内に設けられ、準備室23に隣接した処理室24と大気
の間で被搬送物を搬送する。準備室23には、処理室2
4側に仕切弁25、大気側に大気弁26が設けられてお
り、被搬送物を準備室23内にとりこんだ後、大気弁z
6を閉し準備室23を真空排気し、仕切弁25を開いて
、被搬送物を処理室25内に搬送する。
保持アーム21は、ブツシャ27.28により持ち」二
げられだ被搬送物の下方を移動するように構成されてお
り、被搬送物の保持アーム21への受は渡しは、ブツシ
ャ27.28によりおこなっている。この搬送装置は、
まわりの他の装置との干渉がおこりやすい欠点をもって
おり、被搬送物を安定に支えることができる範囲でブツ
シャ27をかだよせて配置しても、保持アーム2]の先
端を細く短かくしないと、ブツシャ27との干渉か起こ
るため保持アームの先端に設けた静電チャックの面積が
小さくなる欠点がある。またアーム18との干渉をさけ
るために、大気弁26の幅か大きくなる欠点が生じてい
る。
げられだ被搬送物の下方を移動するように構成されてお
り、被搬送物の保持アーム21への受は渡しは、ブツシ
ャ27.28によりおこなっている。この搬送装置は、
まわりの他の装置との干渉がおこりやすい欠点をもって
おり、被搬送物を安定に支えることができる範囲でブツ
シャ27をかだよせて配置しても、保持アーム2]の先
端を細く短かくしないと、ブツシャ27との干渉か起こ
るため保持アームの先端に設けた静電チャックの面積が
小さくなる欠点がある。またアーム18との干渉をさけ
るために、大気弁26の幅か大きくなる欠点が生じてい
る。
なお、第18図に示すように搬送装置に、さらに軸]9
の回転を抑制するブレーキ機構を設け、アーD E +
A、 Eなる関係を満足するように構成した搬送装置
は、保持アーム21がアーム18の先端部を軸としてア
ーム18の回転方向と常に反対方向に回転し、搬送装置
のまわりの他の装置との干渉がおこりにくく、また軌跡
にうねりがない。しかしながらこのような構成の搬送装
置は、アームの熱膨張などによりアームの軸間距離が変
化すると、うねりのある別の軌跡に、軌跡が極端に変化
してしまうか、あるいはアーム18が駆動軸17と軸1
9を結ぶ直線を越えて、回転できなくなってしまう欠点
がある。
の回転を抑制するブレーキ機構を設け、アーD E +
A、 Eなる関係を満足するように構成した搬送装置
は、保持アーム21がアーム18の先端部を軸としてア
ーム18の回転方向と常に反対方向に回転し、搬送装置
のまわりの他の装置との干渉がおこりにくく、また軌跡
にうねりがない。しかしながらこのような構成の搬送装
置は、アームの熱膨張などによりアームの軸間距離が変
化すると、うねりのある別の軌跡に、軌跡が極端に変化
してしまうか、あるいはアーム18が駆動軸17と軸1
9を結ぶ直線を越えて、回転できなくなってしまう欠点
がある。
(発明が解決しようとする課題)
従来の搬送装置においては、」二連のように搬送装置の
まわりに設置される他の装置と干渉しやすく、熱膨張な
どにより円滑な搬送ができない等の問題点があり、搬送
装置を真空処理装置に使用した場合に真空処理装置の大
型にする必要がある等の問題点があった。
まわりに設置される他の装置と干渉しやすく、熱膨張な
どにより円滑な搬送ができない等の問題点があり、搬送
装置を真空処理装置に使用した場合に真空処理装置の大
型にする必要がある等の問題点があった。
そこで本発明は上記問題点を解決するために。
塵芥の発生が少なく、搬送装置のまわりの他の装置と干
渉しにくい軌跡を有し、小さなスペースに収納でき、位
置の固定された2つの回転軸を結ぶ直線を通過して、被
搬送物を搬送することが可能で、かつ、熱膨張などによ
り、アームの軸間距離が若干変化しても、軌跡が極端に
変化したり、あるいはアームの回転が阻害されることが
なく、スムーズな動作ができる搬送装置を提供すること
を目的とする。
渉しにくい軌跡を有し、小さなスペースに収納でき、位
置の固定された2つの回転軸を結ぶ直線を通過して、被
搬送物を搬送することが可能で、かつ、熱膨張などによ
り、アームの軸間距離が若干変化しても、軌跡が極端に
変化したり、あるいはアームの回転が阻害されることが
なく、スムーズな動作ができる搬送装置を提供すること
を目的とする。
(課題を解決するための手段)
本発明は」二記目的を達成するために2本の駆動軸の各
々に駆動アームを連結し、これらの駆動アームの先端に
各々アームを回転自在に連結し、さらにこれらのアーム
を互いに回転自在に連結するとともにこれらのアームの
いずれか一方に被搬送物の保持手段を設けた搬送装置を
提供する。
々に駆動アームを連結し、これらの駆動アームの先端に
各々アームを回転自在に連結し、さらにこれらのアーム
を互いに回転自在に連結するとともにこれらのアームの
いずれか一方に被搬送物の保持手段を設けた搬送装置を
提供する。
(作用)
駆動軸に連結された駆動アームを同一方向に回転させる
ことにより、各駆動アームとアームの第1、第2連結点
及びアームとアームの第3連結点が夫々を頂点とする三
角形を形成して動作しこの駆動アームに連結された保持
手段を有するアームを常に駆動アームとは逆方向に回転
させることかできる。そしてこの保持手段に載置された
被搬送物を1つの駆動軸を結ぶ線を通過して移動するこ
とが可能となる。
ことにより、各駆動アームとアームの第1、第2連結点
及びアームとアームの第3連結点が夫々を頂点とする三
角形を形成して動作しこの駆動アームに連結された保持
手段を有するアームを常に駆動アームとは逆方向に回転
させることかできる。そしてこの保持手段に載置された
被搬送物を1つの駆動軸を結ぶ線を通過して移動するこ
とが可能となる。
また熱膨張などによりアームの軸間距離が変化すると、
アーム相互の角度が若干変化するものの軌跡が極端に変
化したり、あるいはアームの回転が阻害されることがな
く、常にスムーズな動作が可能である。さらに2本の駆
動軸31.32を有しており、多様な軌跡で動作させる
ことができる。
アーム相互の角度が若干変化するものの軌跡が極端に変
化したり、あるいはアームの回転が阻害されることがな
く、常にスムーズな動作が可能である。さらに2本の駆
動軸31.32を有しており、多様な軌跡で動作させる
ことができる。
(実施例)
本発明の第1の実施例について第1図乃至第4図を参照
して説明する。37は被搬送物を保持する保持手段であ
り、この保持手段37は保持アーム35とこの保持アー
ム35の一端に固定された円盤状の静電チャック41と
で構成されている。この保持アーム35の中間部には駆
動アーム33の一端部が軸38と軸受にて回転自在に連
結されている。そして前記保持アーム35の他端には軸
39を中心に回転自在にアーム36の一端部か連結され
ている。アーム36の他端部はさらに駆動アーム34の
一端部が軸40と軸受にて回転自在に連結されている。
して説明する。37は被搬送物を保持する保持手段であ
り、この保持手段37は保持アーム35とこの保持アー
ム35の一端に固定された円盤状の静電チャック41と
で構成されている。この保持アーム35の中間部には駆
動アーム33の一端部が軸38と軸受にて回転自在に連
結されている。そして前記保持アーム35の他端には軸
39を中心に回転自在にアーム36の一端部か連結され
ている。アーム36の他端部はさらに駆動アーム34の
一端部が軸40と軸受にて回転自在に連結されている。
駆動アーAS:3:3.34の夫々他端部は夫々駆動軸
3】。
3】。
32に固定されており、これらの駆動4+1131,3
2は真空用の回転尋人機4を介して仕切板2の下方に延
出し、タイミングプーリー30aにより連結されている
。そして仕切板2の下方に配置されたステノプモ、−夕
30に一方の駆動軸が連結されている。なお前記静電チ
ャック41の中心と軸38と軸39とは駆動アーム33
と駆動アーム34とが重なったときに、その上に静電チ
ャック41の中心が重なるようにするため同一直線−に
からずらして配置されている。
2は真空用の回転尋人機4を介して仕切板2の下方に延
出し、タイミングプーリー30aにより連結されている
。そして仕切板2の下方に配置されたステノプモ、−夕
30に一方の駆動軸が連結されている。なお前記静電チ
ャック41の中心と軸38と軸39とは駆動アーム33
と駆動アーム34とが重なったときに、その上に静電チ
ャック41の中心が重なるようにするため同一直線−に
からずらして配置されている。
また本実施例は真空処理装置に用いるものであり、前記
仕切板2は真空チャンバの真空壁(図示せず)を兼ねて
いる。そしてこの仕切板2にはこの搬送装置を分解でき
るようにガスケラ1〜用溝と取付ボルト穴が形成されて
いる。
仕切板2は真空チャンバの真空壁(図示せず)を兼ねて
いる。そしてこの仕切板2にはこの搬送装置を分解でき
るようにガスケラ1〜用溝と取付ボルト穴が形成されて
いる。
第2図及び第3図は第1図の搬送装置を」二から見た平
面図であり、第2図は保持アーム35が前方−11= に伸びた状態を示し、第3図は駆動アーム33.34、
保持アーム35が重なった状態を示している。第4図は
、この搬送装置を真空処理装置に取り付けた例を示す。
面図であり、第2図は保持アーム35が前方−11= に伸びた状態を示し、第3図は駆動アーム33.34、
保持アーム35が重なった状態を示している。第4図は
、この搬送装置を真空処理装置に取り付けた例を示す。
ステップモータ30等の搬送装置の駆動装置部分は、仕
切板2および、真空処理装置まわりの保護板などにより
、被搬送物が搬送される空間とは区分されている。被搬
送物を搬送する保持アーム35および駆動アーム33.
34、アーム36からなる搬送動作機構部分は軸及び軸
受で連結しており、プーリー、ベルト、歯車などの塵芥
の発生しやすい機構要素を使用していないので、摩擦が
小さく、塵芥の発生も少ない。このためこの搬送装置は
被搬送物の搬送される空間での塵芥の発生を極力少なく
できる。
切板2および、真空処理装置まわりの保護板などにより
、被搬送物が搬送される空間とは区分されている。被搬
送物を搬送する保持アーム35および駆動アーム33.
34、アーム36からなる搬送動作機構部分は軸及び軸
受で連結しており、プーリー、ベルト、歯車などの塵芥
の発生しやすい機構要素を使用していないので、摩擦が
小さく、塵芥の発生も少ない。このためこの搬送装置は
被搬送物の搬送される空間での塵芥の発生を極力少なく
できる。
本実施例の搬送装置は、駆動アーム33.34の先端の
軸38.40が保持アーム35とアーム36により連結
されているため、軸38が駆動軸31と軸40を結ぶ直
線」二を通過でき、さらに軸40が駆動軸32と軸38
を結ぶ直線上を通過できる。また、駆動軸31.32が
タイミングベル1〜により連結されているので、第1.
第2駆動アーム33.34が同一方向に回転する。この
ため第3図に示すように、軸3]、、 38.40と、
軸32.38.40が順次にあるいは、同時に、−直線
」二に並んだ状態を経過でき、被搬送物を駆動軸31.
32を結ぶ直線を通過して、搬送することができる。ま
た、本実施例の搬送装置は、タイミングプーリーの歯数
比を選定することにより、駆動アーム33.34の回転
角度を選定することができ、しかも」二連の軸31.3
8.40と軸32.38.40とが順次に、あるいは同
時に、−直線」二に並んだ状態を経過して動作できるた
め、保持アーム35の回転方向を、駆動アーム33.3
4の回転方向に対し、常に逆方向にすることができる。
軸38.40が保持アーム35とアーム36により連結
されているため、軸38が駆動軸31と軸40を結ぶ直
線」二を通過でき、さらに軸40が駆動軸32と軸38
を結ぶ直線上を通過できる。また、駆動軸31.32が
タイミングベル1〜により連結されているので、第1.
第2駆動アーム33.34が同一方向に回転する。この
ため第3図に示すように、軸3]、、 38.40と、
軸32.38.40が順次にあるいは、同時に、−直線
」二に並んだ状態を経過でき、被搬送物を駆動軸31.
32を結ぶ直線を通過して、搬送することができる。ま
た、本実施例の搬送装置は、タイミングプーリーの歯数
比を選定することにより、駆動アーム33.34の回転
角度を選定することができ、しかも」二連の軸31.3
8.40と軸32.38.40とが順次に、あるいは同
時に、−直線」二に並んだ状態を経過して動作できるた
め、保持アーム35の回転方向を、駆動アーム33.3
4の回転方向に対し、常に逆方向にすることができる。
このためこの搬送装置は、うねりのない搬送軌跡を有し
ており、比較的短いアーム長さと、小さな駆動アームの
回転角度で、大きな搬送距離を得ることができ、まわり
に設置される他の装置と干渉しにくい軌跡を有している
。また本実施例の搬送装置の駆動アーム33゜34の回
転方向は同一であり、駆動アーム33.34の回転角度
比は、アーム35.36の軸38.39.40の軸間距
離BC,CDを三角形の2辺の長さとし、駆動アーム3
3.34の先端の軸38.40の軸間距離口丘を三角辺
の他の一辺の長さとして三角形が形成できることを条件
として決定されている。このためこの搬送装置は、熱膨
張により各アームの軸間距離が若干変化した場合、この
軸38.39.40を頂点とした三角形の頂角が若干変
化し、被搬送物の軌跡がわずかに変化するものの軌跡が
極端に変化したり、あるいはアームの回転が阻害される
ことがなく、常に円滑に動作することができる。本搬送
装置は真空処理装置内の搬送に適用するものであり、真
空中においては対流による熱の移動が気体できず、処理
により加熱された被搬送物を搬送することにより、各ア
ームに温度差が生じ、各アームが不均一に熱膨張するこ
とがあるがこのような場合においても、円滑に動作する
ことができる。
ており、比較的短いアーム長さと、小さな駆動アームの
回転角度で、大きな搬送距離を得ることができ、まわり
に設置される他の装置と干渉しにくい軌跡を有している
。また本実施例の搬送装置の駆動アーム33゜34の回
転方向は同一であり、駆動アーム33.34の回転角度
比は、アーム35.36の軸38.39.40の軸間距
離BC,CDを三角形の2辺の長さとし、駆動アーム3
3.34の先端の軸38.40の軸間距離口丘を三角辺
の他の一辺の長さとして三角形が形成できることを条件
として決定されている。このためこの搬送装置は、熱膨
張により各アームの軸間距離が若干変化した場合、この
軸38.39.40を頂点とした三角形の頂角が若干変
化し、被搬送物の軌跡がわずかに変化するものの軌跡が
極端に変化したり、あるいはアームの回転が阻害される
ことがなく、常に円滑に動作することができる。本搬送
装置は真空処理装置内の搬送に適用するものであり、真
空中においては対流による熱の移動が気体できず、処理
により加熱された被搬送物を搬送することにより、各ア
ームに温度差が生じ、各アームが不均一に熱膨張するこ
とがあるがこのような場合においても、円滑に動作する
ことができる。
またアームの軸間距離が若干変化しても円滑な動作がで
きるので組立の上でも余裕があり、組立が容易である。
きるので組立の上でも余裕があり、組立が容易である。
真空処理装置の搬送装置は、清浄および点検のため、定
期的に分解2組立される場合も多く、この搬送装置は、
その時の作業時間を短縮し、装置の稼動率を上げること
ができる。またこの搬送装置は、第3図に示すように、
駆動アーム33.34および保持アーム35の保持手段
37部分を一直線」二に重ね、たたむことができ、小さ
なスペースに収納可能である。
期的に分解2組立される場合も多く、この搬送装置は、
その時の作業時間を短縮し、装置の稼動率を上げること
ができる。またこの搬送装置は、第3図に示すように、
駆動アーム33.34および保持アーム35の保持手段
37部分を一直線」二に重ね、たたむことができ、小さ
なスペースに収納可能である。
第4図は第1図に示した真空処理装置とほぼ同等の真空
処理装置に本実施例を使用した例であり、図中の軌跡は
以下の寸法諸元で本実施例を実施した場合の保持中心点
の軌跡である。寸法諸元は駆動アーム33の軸間距離A
B = 30On+m 、 保持アーム35の軸間
距離BC=60mm、アーム36の軸間距離CD=30
m、駆動アーム34の軸間距離DE=183■、駆動軸
32.32の軸間距離A E = 155nwn 、
保持アームの保持中心と軸38の距離B P = 1
35nwn 、 保持アームの保持中心と軸38.軸
39のなす角/CBP=1.55.5° 駆動アーム3
3の回転角度に対する駆動アーム34の回転角度の比率
が1.4倍である。
処理装置に本実施例を使用した例であり、図中の軌跡は
以下の寸法諸元で本実施例を実施した場合の保持中心点
の軌跡である。寸法諸元は駆動アーム33の軸間距離A
B = 30On+m 、 保持アーム35の軸間
距離BC=60mm、アーム36の軸間距離CD=30
m、駆動アーム34の軸間距離DE=183■、駆動軸
32.32の軸間距離A E = 155nwn 、
保持アームの保持中心と軸38の距離B P = 1
35nwn 、 保持アームの保持中心と軸38.軸
39のなす角/CBP=1.55.5° 駆動アーム3
3の回転角度に対する駆動アーム34の回転角度の比率
が1.4倍である。
上記の寸法諸元による搬送装置によれば図中に示したよ
うにうねりがなく、直線に近い搬送軌跡=15− を有している。第5図は駆動軸31.32を結ぶ直線を
基準にしたときの第1駆動アーム33の回転角度と、保
持アーム35の保持中心点と軸38を結ぶ線の上記基準
線に対する角度との関係を示す線図であり、この線図に
示すように本実施例によれば傾きが常に負となる。傾き
が常に負であることは、第1駆動アーム33の回転方向
と、軸38を中心とした保持アーム35の回転方向とが
常に逆方向であることを示している。したがって、この
搬送装置は、まわりの他の装置との干渉がおこりにくい
ものとなっている。すなわち大気弁26の幅を小さくで
きる利点が得られ、第4図に示すようにブツシャ27を
等配に配置し、しかも搬送装置の保持アーム35に設け
る静電チャック41などの保持手段37部分の大きさを
大きくできる利点が得られている。
うにうねりがなく、直線に近い搬送軌跡=15− を有している。第5図は駆動軸31.32を結ぶ直線を
基準にしたときの第1駆動アーム33の回転角度と、保
持アーム35の保持中心点と軸38を結ぶ線の上記基準
線に対する角度との関係を示す線図であり、この線図に
示すように本実施例によれば傾きが常に負となる。傾き
が常に負であることは、第1駆動アーム33の回転方向
と、軸38を中心とした保持アーム35の回転方向とが
常に逆方向であることを示している。したがって、この
搬送装置は、まわりの他の装置との干渉がおこりにくい
ものとなっている。すなわち大気弁26の幅を小さくで
きる利点が得られ、第4図に示すようにブツシャ27を
等配に配置し、しかも搬送装置の保持アーム35に設け
る静電チャック41などの保持手段37部分の大きさを
大きくできる利点が得られている。
以上のように、本実施例によれば塵芥の発生が少なく、
搬送装置のまわりの他の装置と干渉しにくく、搬送装置
駆動部をこえて被搬送物を搬送でき、熱膨張などにより
、アームの軸間距離が若干変化しても、軌跡が極端に変
化したり、あるいはアームの回転が阻害されることなく
スムーズな動作のできる搬送装置が提供できる。また多
様な軌跡を選択動作させることができ、アームが熱膨張
した場合でも、精度よく停止できる搬送装置を提供でき
る。さらに真空処理装置にも適用可能であり、塵芥発生
が少ない為、歩留りの高い真空処理装置を提供できる利
点があり、搬送装置のまわりの他の装置と干渉しにくく
、また小さなスペースに収納可能である為、真空チャン
バの大きさを小さくでき、準備室の排気時間を短くでき
、処理能力の高い真空処理装置を提供でき、また大気弁
。
搬送装置のまわりの他の装置と干渉しにくく、搬送装置
駆動部をこえて被搬送物を搬送でき、熱膨張などにより
、アームの軸間距離が若干変化しても、軌跡が極端に変
化したり、あるいはアームの回転が阻害されることなく
スムーズな動作のできる搬送装置が提供できる。また多
様な軌跡を選択動作させることができ、アームが熱膨張
した場合でも、精度よく停止できる搬送装置を提供でき
る。さらに真空処理装置にも適用可能であり、塵芥発生
が少ない為、歩留りの高い真空処理装置を提供できる利
点があり、搬送装置のまわりの他の装置と干渉しにくく
、また小さなスペースに収納可能である為、真空チャン
バの大きさを小さくでき、準備室の排気時間を短くでき
、処理能力の高い真空処理装置を提供でき、また大気弁
。
仕切弁等の開口部の大きさを小さくできる為、真空シー
ルの信頼性の高い、真空処理装置を提供できる総合的効
果がある。
ルの信頼性の高い、真空処理装置を提供できる総合的効
果がある。
次に第6図乃至第8図咎参照して本発明による第2の実
施例について説明する。なお第1の実施例と同一部分に
は同一符号を用い説明は省略する。
施例について説明する。なお第1の実施例と同一部分に
は同一符号を用い説明は省略する。
保持手段37は、ブツシャなどの他の装置との干渉をさ
けるために切欠部が形成されたお盆43とこのお盆43
に一端が固定された保持アーム35とで構成されている
。
けるために切欠部が形成されたお盆43とこのお盆43
に一端が固定された保持アーム35とで構成されている
。
第7図は第6図に示した第2の実施例を真空処理装置に
適用した例を示した平面図であり、第4図に示した第1
の実施例の寸法諸元により実施したものである。お盆4
3の切欠部は、処理室24の4本のブツシャ28および
大気中の真空吸着機能を有するブツシャ29をさけるよ
うに形成されている。
適用した例を示した平面図であり、第4図に示した第1
の実施例の寸法諸元により実施したものである。お盆4
3の切欠部は、処理室24の4本のブツシャ28および
大気中の真空吸着機能を有するブツシャ29をさけるよ
うに形成されている。
このような切欠部を形成しても、お盆のでっばり部は半
周共」二残っており、被搬送物を保持することができる
。
周共」二残っており、被搬送物を保持することができる
。
すなわち上記のように構成したことにより保持手段37
のブツシャへの挿入位置が略同範囲となるので被搬送物
の保持は静電チャックに限らず一部に切欠部を形成した
お盆等でも良い。またまわりの他の装置と干渉しにくい
軌跡を有しており、保持手段部分の大きさを大きくとる
ことができ、多様な保持手段の構造を選択することがで
きる。
のブツシャへの挿入位置が略同範囲となるので被搬送物
の保持は静電チャックに限らず一部に切欠部を形成した
お盆等でも良い。またまわりの他の装置と干渉しにくい
軌跡を有しており、保持手段部分の大きさを大きくとる
ことができ、多様な保持手段の構造を選択することがで
きる。
第8図は以下の寸法諸元による搬送装置を仕切弁25と
大気弁26とが直角に配置された真空処理装置に使用し
た例を示す。寸法諸元は駆動アーム33の軸間距離A+
3 =215n聞、保持アーム35の軸間距離B C−
60mm 、アー1136の軸間距離CD −30mm
。
大気弁26とが直角に配置された真空処理装置に使用し
た例を示す。寸法諸元は駆動アーム33の軸間距離A+
3 =215n聞、保持アーム35の軸間距離B C−
60mm 、アー1136の軸間距離CD −30mm
。
駆動アーl\34の軸間距離D E = 191.mm
、駆動軸31゜32の軸1iJj距離A E −84
nyn 、保持アームの保持中心と軸38の距離B P
= 1.]、5+nm 、 保持アームの保持中心
と軸38.軸39のなす角Zc B P =]、5]、
’ 、駆動アーム33の回転角度に対するl駆動アーム
34の回転角度の比率が1.15である。
、駆動軸31゜32の軸1iJj距離A E −84
nyn 、保持アームの保持中心と軸38の距離B P
= 1.]、5+nm 、 保持アームの保持中心
と軸38.軸39のなす角Zc B P =]、5]、
’ 、駆動アーム33の回転角度に対するl駆動アーム
34の回転角度の比率が1.15である。
この寸法諸元をもつ搬送装置は軌跡が円弧に近い軌跡で
あるが、駆動軸31.32がこの軌跡の近くに位置して
おり、この円弧の旋回中心の近くに駆動軸が位置するも
のとは異なり、駆動アーム33゜34の回転方向と、駆
動アー1133の先端の軸38を中心とした保持アーム
35の回転方向とが常に逆方向であり、うねりがない、
まわりの他の装置と干渉しにくい軌跡を有している。こ
のように本実施例は仕切弁25と大気弁26とが直角に
配置された真空処理装置にも適用することができ、この
場合真空チャンバをコンパクトに配置することができ、
真空処理装置全体の幅寸法を小さくすることができる。
あるが、駆動軸31.32がこの軌跡の近くに位置して
おり、この円弧の旋回中心の近くに駆動軸が位置するも
のとは異なり、駆動アーム33゜34の回転方向と、駆
動アー1133の先端の軸38を中心とした保持アーム
35の回転方向とが常に逆方向であり、うねりがない、
まわりの他の装置と干渉しにくい軌跡を有している。こ
のように本実施例は仕切弁25と大気弁26とが直角に
配置された真空処理装置にも適用することができ、この
場合真空チャンバをコンパクトに配置することができ、
真空処理装置全体の幅寸法を小さくすることができる。
次に本発明による第3の実施例について第9図を参照し
て説明する。なお、第2の実施例と同一部分には同一符
号を用い説明は省略する。
て説明する。なお、第2の実施例と同一部分には同一符
号を用い説明は省略する。
この実施例は、駆動アーム33が、保持アーム35の上
方に設けられており、軸38には駆動アーム33と保持
アーム35との間に間隔を形成するスペーサ44が設け
られている。このように構成することにより被搬送物が
駆動アーム33の下方を通過させることができる。前記
第1及び第2の実施例においては、駆動アーム33とア
ーム36とが同一高さにあるため、軸間距離、駆動アー
ムの回転角度比などの寸法諸元が駆動アーム33と長さ
の短いアーム36との干渉をさけるように決定されてい
たが、本実施例による搬送装置によれば、アーム相互の
干渉がなく、寸法諸元の選択がより自由となり、さらに
多様な搬送軌跡を選択することができる。
方に設けられており、軸38には駆動アーム33と保持
アーム35との間に間隔を形成するスペーサ44が設け
られている。このように構成することにより被搬送物が
駆動アーム33の下方を通過させることができる。前記
第1及び第2の実施例においては、駆動アーム33とア
ーム36とが同一高さにあるため、軸間距離、駆動アー
ムの回転角度比などの寸法諸元が駆動アーム33と長さ
の短いアーム36との干渉をさけるように決定されてい
たが、本実施例による搬送装置によれば、アーム相互の
干渉がなく、寸法諸元の選択がより自由となり、さらに
多様な搬送軌跡を選択することができる。
さらに第4の実施例について第10図を参照して説明す
る。本実施例は仕切板2が被搬送物の搬送機構の一11
方にあり、駆動アーム34の下方にアーム36の一端が
軸40を中心に回転自在に連結されている。またアーム
36の他端はその下側に配置されたスペーサ44を介し
て保持アーム35の一端に軸39を中心に回転自在に連
結されている。そしてこの保持アーム35の中間部下側
には駆動アーム33が配置され軸38を中心に回転自在
に連結されている。前記保持アーム35の他端」二面に
は先が細く根本が太いピン45が設置され保持手段を形
成している。この実施例による搬送装置はアームおよび
保持手段からなる搬送動作機構部が上方より吊り下げら
れた形になっているので1つの処理室に対して1つの準
備室をもち1つの準備室に対して2つの搬送装置を配置
する真空処理装置に使用することができ、安価でコンパ
クトな真空処理装置を提供できる。またアームの厚さ方
向の位置関係はスペーサー等の長さを任意に換えること
が可能なので搬送方法に対応して多様な選択が可能であ
る。また本実施例においては被搬送物に形成される固定
用のくぼみあるいは穴に対応するピン45を保持手段と
しているのでアームの熱膨張などにより、搬送装置の停
止位置が若干変化した場合でも、被搬送物を確実にうけ
わたしできる利点を有している。本発明の搬送装置は、
被搬送物の形状かことなっても、同一の作用効果を奏す
る。
る。本実施例は仕切板2が被搬送物の搬送機構の一11
方にあり、駆動アーム34の下方にアーム36の一端が
軸40を中心に回転自在に連結されている。またアーム
36の他端はその下側に配置されたスペーサ44を介し
て保持アーム35の一端に軸39を中心に回転自在に連
結されている。そしてこの保持アーム35の中間部下側
には駆動アーム33が配置され軸38を中心に回転自在
に連結されている。前記保持アーム35の他端」二面に
は先が細く根本が太いピン45が設置され保持手段を形
成している。この実施例による搬送装置はアームおよび
保持手段からなる搬送動作機構部が上方より吊り下げら
れた形になっているので1つの処理室に対して1つの準
備室をもち1つの準備室に対して2つの搬送装置を配置
する真空処理装置に使用することができ、安価でコンパ
クトな真空処理装置を提供できる。またアームの厚さ方
向の位置関係はスペーサー等の長さを任意に換えること
が可能なので搬送方法に対応して多様な選択が可能であ
る。また本実施例においては被搬送物に形成される固定
用のくぼみあるいは穴に対応するピン45を保持手段と
しているのでアームの熱膨張などにより、搬送装置の停
止位置が若干変化した場合でも、被搬送物を確実にうけ
わたしできる利点を有している。本発明の搬送装置は、
被搬送物の形状かことなっても、同一の作用効果を奏す
る。
第11図は本発明による搬送装置の第5の実施例を示す
。この実施例は、アーム36に保持手段を設けた構造と
なっており、第3の実施例と比較すると、保持手段37
が設けられるアームが異なっているが、他は同一である
。すなわちこの例ではアーム36が保持アームとなり、
アーム35が長さの短いアームとなっている。以上述べ
た実施例は駆動アーム33.34が同一方向に回転し、
駆動アーム33の先端の軸38と駆動アー1134の先
端の軸40の軸間距離BDが、搬送動作にともない変化
するが。この軸間距離BDの値が、軸38.39.40
を頂点とした三角形を形成可能な範囲内で動作する。し
たがってこの三角形の一辺であるアーム36に保持手段
を設けたこの実施例は三角形の他の一辺であるアーム3
5に保持手段を設けた場合とでは、保持中心の軌跡が異
なるが、同一の作用、効果を奏する。
。この実施例は、アーム36に保持手段を設けた構造と
なっており、第3の実施例と比較すると、保持手段37
が設けられるアームが異なっているが、他は同一である
。すなわちこの例ではアーム36が保持アームとなり、
アーム35が長さの短いアームとなっている。以上述べ
た実施例は駆動アーム33.34が同一方向に回転し、
駆動アーム33の先端の軸38と駆動アー1134の先
端の軸40の軸間距離BDが、搬送動作にともない変化
するが。この軸間距離BDの値が、軸38.39.40
を頂点とした三角形を形成可能な範囲内で動作する。し
たがってこの三角形の一辺であるアーム36に保持手段
を設けたこの実施例は三角形の他の一辺であるアーム3
5に保持手段を設けた場合とでは、保持中心の軌跡が異
なるが、同一の作用、効果を奏する。
また以上の実施例の具体例として、アーム36の軸間距
離が、他のアームの軸間距離と比して、最も小さい具体
例のみをあげてきたが、これは第2図に示す如き位置に
あるとき、駆動アーム33とアーム36との干渉をさけ
るために、とっである措置である。後述の如く、アーム
35.36の軸間距離が長いほど軌跡の選択範囲が広く
なるが、必要な軌跡が得られれば、アーム35.36の
軸間距離は、短くて十分である。
離が、他のアームの軸間距離と比して、最も小さい具体
例のみをあげてきたが、これは第2図に示す如き位置に
あるとき、駆動アーム33とアーム36との干渉をさけ
るために、とっである措置である。後述の如く、アーム
35.36の軸間距離が長いほど軌跡の選択範囲が広く
なるが、必要な軌跡が得られれば、アーム35.36の
軸間距離は、短くて十分である。
本発明の搬送装置は、駆動アーム33.34の先端の軸
38.40およびアーム35.36を互に回転自在に連
結する軸39の3軸38.39.40を頂点とする三角
形が、形成可能な範囲内で駆動アーム33.34を回転
させることにより動作する。以上述べた実施例は、駆動
軸をタイミングプーリーにより連結し、駆動アーム33
.34の回転角度に対し、一定の比例関係を付与するこ
とにより、この三角形を形成する条件を満足させ動作し
ている。
38.40およびアーム35.36を互に回転自在に連
結する軸39の3軸38.39.40を頂点とする三角
形が、形成可能な範囲内で駆動アーム33.34を回転
させることにより動作する。以上述べた実施例は、駆動
軸をタイミングプーリーにより連結し、駆動アーム33
.34の回転角度に対し、一定の比例関係を付与するこ
とにより、この三角形を形成する条件を満足させ動作し
ている。
この三角形が形成可能の条件は、アーム35.36−2
3〜 の軸間距離BC,CDと、駆動アーム33.3/Iの回
転角度により決定される軸38.40の軸間距離テ■と
の間に下式の関係が成立することである。
3〜 の軸間距離BC,CDと、駆動アーム33.3/Iの回
転角度により決定される軸38.40の軸間距離テ■と
の間に下式の関係が成立することである。
1BC−C百l<BD<Bで+ζ■ ・・第1式この関
係式は軸3g、 39.40を頂点とする三角形の頂角
が00を越え]80°未満であることも表わしている。
係式は軸3g、 39.40を頂点とする三角形の頂角
が00を越え]80°未満であることも表わしている。
第12図は、駆動アーム33の軸間距離AB=300m
m、アーム35の軸間距離正δ=601翻、アーム36
の軸間距離CD=30nn、駆動アーム34の軸間距離
丁=183mm、 駆動軸31.32の軸間距離X正
=1.55n+mの具体例について、軸38.40の最
小軸間距離BD耐□=I正ε−で不■= 60−30
= 30 n聞。
m、アーム35の軸間距離正δ=601翻、アーム36
の軸間距離CD=30nn、駆動アーム34の軸間距離
丁=183mm、 駆動軸31.32の軸間距離X正
=1.55n+mの具体例について、軸38.40の最
小軸間距離BD耐□=I正ε−で不■= 60−30
= 30 n聞。
最大軸間距離
: J 602+302−2 X60X30Xcos1
20°= 73.4mmとしたときの駆動アーム33.
34の動作可能範囲を、駆動軸3]、、32を結ぶ直線
を基準とした、駆動アーム33.34の回転角度との関
係において斜線で示し一24= たちのである。 アーム35と36とが]80°に開き
きってしまうと、次に閉じる動作がスムーズにゆかなく
なるため、この例は、第1式の条件より、よりきびしい
条件が与えられている。第12図に示す直線は、第1の
実施例の具体例における駆動アーム33と34の回転角
度の関係を示している。第13図は駆動アーム33.3
4を、第12図の斜線範囲で制御したときの保持中心の
移動範囲を示す。第12図。
20°= 73.4mmとしたときの駆動アーム33.
34の動作可能範囲を、駆動軸3]、、32を結ぶ直線
を基準とした、駆動アーム33.34の回転角度との関
係において斜線で示し一24= たちのである。 アーム35と36とが]80°に開き
きってしまうと、次に閉じる動作がスムーズにゆかなく
なるため、この例は、第1式の条件より、よりきびしい
条件が与えられている。第12図に示す直線は、第1の
実施例の具体例における駆動アーム33と34の回転角
度の関係を示している。第13図は駆動アーム33.3
4を、第12図の斜線範囲で制御したときの保持中心の
移動範囲を示す。第12図。
第13図は第1の実施例の具体例の搬送装置が、その動
作のすべての時点で軸38.39.40を頂点とする三
角形の軸39部分の頂角がOoを越え120°未満であ
ることを示しており、スムーズな動作が可能であること
を示している。
作のすべての時点で軸38.39.40を頂点とする三
角形の軸39部分の頂角がOoを越え120°未満であ
ることを示しており、スムーズな動作が可能であること
を示している。
第12図は、さらに駆動アーム33と34の回転角度は
必ずしも比例する必要はなく、局所的には、駆動アーム
33と34とを逆方向に回転させることも可能であり、
回転角度の大きな範囲における、おおまかな見地から、
駆動アーム33と駆動アーム34とを同一方向に回転さ
せさえすれば前述の実施例と同様な作用効果が得られる
ことを示している。
必ずしも比例する必要はなく、局所的には、駆動アーム
33と34とを逆方向に回転させることも可能であり、
回転角度の大きな範囲における、おおまかな見地から、
駆動アーム33と駆動アーム34とを同一方向に回転さ
せさえすれば前述の実施例と同様な作用効果が得られる
ことを示している。
また駆動機構部と、被搬送物の搬送動作機構部とを仕切
板2により区分することができるので駆動機構部はタイ
ミングベル1−にかえて、歯車を使用しても、被搬送物
に影響を与える塵芥の発生が少なく、またステップモー
タにかえて、DCモーターを使用し、リミットスイッチ
で停止動作しても作用効果は同一である。DCモーター
にかえて、ロータリーアクチュエータを使用してもよい
。駆動アーム33と34の回転角度が比例関係となる以
」−の実施例は、安価である利点を有している。
板2により区分することができるので駆動機構部はタイ
ミングベル1−にかえて、歯車を使用しても、被搬送物
に影響を与える塵芥の発生が少なく、またステップモー
タにかえて、DCモーターを使用し、リミットスイッチ
で停止動作しても作用効果は同一である。DCモーター
にかえて、ロータリーアクチュエータを使用してもよい
。駆動アーム33と34の回転角度が比例関係となる以
」−の実施例は、安価である利点を有している。
第14図は本発明の第6の実施例を示す。駆動軸31、
32は、回転軸シール機構4を介して各々別個ステップ
モータに接続されている。2個のステップモータは、マ
イコン等により、互いの回転角度に関連をもたせて制御
される。この制御範囲を前記第1式が成立し、軸38.
39.40を頂点とする三角形の頂角がOoを越え18
0°未満となるよう制御すれば作用は同一であり、効果
も同一である。
32は、回転軸シール機構4を介して各々別個ステップ
モータに接続されている。2個のステップモータは、マ
イコン等により、互いの回転角度に関連をもたせて制御
される。この制御範囲を前記第1式が成立し、軸38.
39.40を頂点とする三角形の頂角がOoを越え18
0°未満となるよう制御すれば作用は同一であり、効果
も同一である。
さらに、アーム33乃至36に温度センサを設け、マイ
コンによりアームの熱膨張量を計算し、軸間距離の変化
に応じて、駆動アーム33.34の回転角度を制御すれ
ば、アームの熱膨張がある場合でも、停止位置精度を高
めることが可能である。
コンによりアームの熱膨張量を計算し、軸間距離の変化
に応じて、駆動アーム33.34の回転角度を制御すれ
ば、アームの熱膨張がある場合でも、停止位置精度を高
めることが可能である。
また、停止位置誤差を計測し、マイコンにより駆動アー
ムの回転角度の修正量を計算し、制御すれば、停止位置
精度を高めることが可能である。
ムの回転角度の修正量を計算し、制御すれば、停止位置
精度を高めることが可能である。
第15図は、駆動アーム33の軸間距離A、 B二27
0m、アーム35の軸間距離B C=/1Onn+ 、
アーム36の軸間距離CD=4On+m、 駆動アー
ム34の軸間距離百E=230nwn、 駆動軸31
.32の軸間距離AE=65m、保持中心と軸38の距
離B P = 135mm 、 保持アームの保持中
心と軸38.軸39のなす角/CBP=109.5°の
具体例における、駆動アーム33.34の先端の軸38
.40の距離BDが 最小値B D、4g=J402+402−2X40X4
0Xcos(15)=]Omn最大値B Dmax”’
/402+402−2X40X40Xcos(150°
)=771mlの範囲に入るように、yAIil!I]
アーム3:L34の回転角度を制御したときの保持中心
の移動範囲を示す。
0m、アーム35の軸間距離B C=/1Onn+ 、
アーム36の軸間距離CD=4On+m、 駆動アー
ム34の軸間距離百E=230nwn、 駆動軸31
.32の軸間距離AE=65m、保持中心と軸38の距
離B P = 135mm 、 保持アームの保持中
心と軸38.軸39のなす角/CBP=109.5°の
具体例における、駆動アーム33.34の先端の軸38
.40の距離BDが 最小値B D、4g=J402+402−2X40X4
0Xcos(15)=]Omn最大値B Dmax”’
/402+402−2X40X40Xcos(150°
)=771mlの範囲に入るように、yAIil!I]
アーム3:L34の回転角度を制御したときの保持中心
の移動範囲を示す。
距離BDが零となる場合すなわち、軸38.40が一軸
上に重なる場合には、アーム35.36の位置が定まら
なくなり、またアーム35.36が開ききってしまうと
、次の閉じる動作がおこりにくくなるため、第15図の
領域は第1式の条件よりきびしい条件を満足するよう求
めたものである。この具体例の搬送装置は、広い移動領
域を有しており、2ケ所の処理位置をもつ真空処理装置
などに適用することができる。
上に重なる場合には、アーム35.36の位置が定まら
なくなり、またアーム35.36が開ききってしまうと
、次の閉じる動作がおこりにくくなるため、第15図の
領域は第1式の条件よりきびしい条件を満足するよう求
めたものである。この具体例の搬送装置は、広い移動領
域を有しており、2ケ所の処理位置をもつ真空処理装置
などに適用することができる。
また、2本の駆動軸を有しており、平面的に広がった領
域内で移動可能であるため、2つの駆動アームの回転角
度を関連づけて制御することにより、領域内の任意の位
置に搬送できる利点がある。
域内で移動可能であるため、2つの駆動アームの回転角
度を関連づけて制御することにより、領域内の任意の位
置に搬送できる利点がある。
さらに、保持アームを熱伝導率の低い材料で構成すれば
、アームの熱膨張を少なくでき、各々の軸受に磁性流体
シールを設け、軸受がら発生する若干の塵芥をシールす
ればさらに塵芥の発生が少なくできる。
、アームの熱膨張を少なくでき、各々の軸受に磁性流体
シールを設け、軸受がら発生する若干の塵芥をシールす
ればさらに塵芥の発生が少なくできる。
以上のように本発明によれば2個の駆動軸、この駆動軸
に連結された第1アーム及び第2アーム。
に連結された第1アーム及び第2アーム。
〜28−
第1アームに連結された第3アーム、第3アーム及び第
2アームに連結された第4アーム、第47−に設けられ
た保持手段とを有し、夫々のアームを回転可能に連結し
たので被搬送物を駆動部を越えて搬送でき、周囲に配置
された他の装置に干渉しにくく、さらに熱膨張等により
アームの軸間距離が若干変化しても円滑に被搬送物を搬
送することができる。また本発明の搬送装置は、多様な
寸法諸元の選択ができるので、真空処理装置に応じて多
様な搬送軌跡を選択することができる。
2アームに連結された第4アーム、第47−に設けられ
た保持手段とを有し、夫々のアームを回転可能に連結し
たので被搬送物を駆動部を越えて搬送でき、周囲に配置
された他の装置に干渉しにくく、さらに熱膨張等により
アームの軸間距離が若干変化しても円滑に被搬送物を搬
送することができる。また本発明の搬送装置は、多様な
寸法諸元の選択ができるので、真空処理装置に応じて多
様な搬送軌跡を選択することができる。
第1図は本発明による搬送装置の第1の実施例の斜視図
、第2図乃至第4図は平面図、第5図は保持手段の傾斜
角度と駆動アームの回転角度との関係を示す線図、第6
図は第2の実施例の斜視図、第7図及び第8図は平面図
、第9図は第3の実施例の斜視図、第10図は第4の実
施例の斜視図、第11図は第5の実施例の斜視図、第1
2図は2本の駆動アームの回転角度に関する線図、第1
3図は保持手段の保持中心の移動可能領域を示す説明図
、第14図は第6の実施例の斜視図、第15図は保持中
心の移動可能な領域を示す説明図、第16図及び第18
図は従来の搬送装置の斜視図、第17図は従来の搬送装
置の平面図、第19図は保持アームの傾斜角度とアーム
の回転角度との関係を示す線図、第20図は従来の搬送
軌跡を説明する平面図である。 2・仕切板 4・回転軸シール機構30・ ス
テップモータ 31,32・駆動軸33、34・・駆
動アーム 35.36・アー1137 保持手段
38.39.40・軸代理人 弁理士 則 近
憲 佑 同 第子丸 健 第2図 第6図 第7図 第10図 44 第11図 タイミー77′へ゛ルトによる 焉区重力アーム33の回転角度と 、駆hy−ム34の回転角度との関イ累二ど−ムI8め
、罵区動坤由17とfbk/q も 1乱3く直才裟乞
基準とした回転角度
、第2図乃至第4図は平面図、第5図は保持手段の傾斜
角度と駆動アームの回転角度との関係を示す線図、第6
図は第2の実施例の斜視図、第7図及び第8図は平面図
、第9図は第3の実施例の斜視図、第10図は第4の実
施例の斜視図、第11図は第5の実施例の斜視図、第1
2図は2本の駆動アームの回転角度に関する線図、第1
3図は保持手段の保持中心の移動可能領域を示す説明図
、第14図は第6の実施例の斜視図、第15図は保持中
心の移動可能な領域を示す説明図、第16図及び第18
図は従来の搬送装置の斜視図、第17図は従来の搬送装
置の平面図、第19図は保持アームの傾斜角度とアーム
の回転角度との関係を示す線図、第20図は従来の搬送
軌跡を説明する平面図である。 2・仕切板 4・回転軸シール機構30・ ス
テップモータ 31,32・駆動軸33、34・・駆
動アーム 35.36・アー1137 保持手段
38.39.40・軸代理人 弁理士 則 近
憲 佑 同 第子丸 健 第2図 第6図 第7図 第10図 44 第11図 タイミー77′へ゛ルトによる 焉区重力アーム33の回転角度と 、駆hy−ム34の回転角度との関イ累二ど−ムI8め
、罵区動坤由17とfbk/q も 1乱3く直才裟乞
基準とした回転角度
Claims (3)
- (1)2本の駆動軸と、これらの駆動軸に夫々その一端
が連結され前記駆動軸とともに回転する第1アームおよ
び第2アームと、この第1アームの他端に回転自在に連
結された第3アームと、この第3アームと前記第2アー
ムとに夫々回転自在に連結された第4アームと、この第
4アームに設けられた被搬送物の保持手段とを有するこ
とを特徴とする搬送装置。 - (2)前記第1アームおよび第2アームは、前記第3ア
ームと第4アームとの連結点と第3アームと第1アーム
との連結点とを結ぶ線分と、第3アームと第4アームと
の連結点と第4アームと第2アームとの連結点とを結ぶ
線分とで形成される角度が常に180°未満となるよう
に回転することを特徴とする請求項1記載の搬送装置。 - (3)前記駆動軸は回転軸シール機構を介して仕切板を
延出して所定の間隔をおいて立設され、この延出部に設
置された駆動機構により回転することを特徴とする請求
項1に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63135595A JPH01305533A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63135595A JPH01305533A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | 搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01305533A true JPH01305533A (ja) | 1989-12-08 |
Family
ID=15155494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63135595A Pending JPH01305533A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01305533A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5364222A (en) * | 1992-02-05 | 1994-11-15 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for processing wafer-shaped substrates |
EP0749188A2 (en) * | 1995-06-13 | 1996-12-18 | Nissin Electric Company, Limited | Rotary section current transmitting mechanism |
US6123502A (en) * | 1997-07-08 | 2000-09-26 | Brooks Automation, Inc. | Substrate holder having vacuum holding and gravity holding |
US6430469B2 (en) | 1995-07-19 | 2002-08-06 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
US6672819B1 (en) | 1995-07-19 | 2004-01-06 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
WO2008136292A1 (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Nabtesco Corporation | ロボットアーム |
CN103311162A (zh) * | 2013-06-28 | 2013-09-18 | 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 | 取晶机 |
JP2021019071A (ja) * | 2019-07-19 | 2021-02-15 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 |
-
1988
- 1988-06-03 JP JP63135595A patent/JPH01305533A/ja active Pending
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5364222A (en) * | 1992-02-05 | 1994-11-15 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for processing wafer-shaped substrates |
EP0749188A2 (en) * | 1995-06-13 | 1996-12-18 | Nissin Electric Company, Limited | Rotary section current transmitting mechanism |
EP0749188A3 (en) * | 1995-06-13 | 1997-03-05 | Nissin Electric Co Ltd | Power transmission mechanism with rotating part |
US5827080A (en) * | 1995-06-13 | 1998-10-27 | Nissin Electric Co., Ltd. | Rotary section current transmitting mechanism |
US7201551B2 (en) | 1995-07-19 | 2007-04-10 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
US6962472B2 (en) | 1995-07-19 | 2005-11-08 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
US6672819B1 (en) | 1995-07-19 | 2004-01-06 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
US6705828B2 (en) | 1995-07-19 | 2004-03-16 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
US6752580B2 (en) | 1995-07-19 | 2004-06-22 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
US6752579B2 (en) | 1995-07-19 | 2004-06-22 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
US6895685B2 (en) | 1995-07-19 | 2005-05-24 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
US6430469B2 (en) | 1995-07-19 | 2002-08-06 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
US7347656B2 (en) | 1995-07-19 | 2008-03-25 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
US6123502A (en) * | 1997-07-08 | 2000-09-26 | Brooks Automation, Inc. | Substrate holder having vacuum holding and gravity holding |
WO2008136292A1 (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Nabtesco Corporation | ロボットアーム |
US8677853B2 (en) | 2007-04-27 | 2014-03-25 | Nabtesco Corporation | Robot arm with temperature compensation |
CN103311162A (zh) * | 2013-06-28 | 2013-09-18 | 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 | 取晶机 |
JP2021019071A (ja) * | 2019-07-19 | 2021-02-15 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 |
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