JPH01299607A - 無機多孔質膜 - Google Patents

無機多孔質膜

Info

Publication number
JPH01299607A
JPH01299607A JP13082788A JP13082788A JPH01299607A JP H01299607 A JPH01299607 A JP H01299607A JP 13082788 A JP13082788 A JP 13082788A JP 13082788 A JP13082788 A JP 13082788A JP H01299607 A JPH01299607 A JP H01299607A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
porous
support
pore diameter
average pore
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP13082788A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0457373B2 (ja
Inventor
Fumio Abe
文夫 安部
Hiroshi Mori
博 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Priority to JP13082788A priority Critical patent/JPH01299607A/ja
Priority to EP95115691A priority patent/EP0692303B1/en
Priority to DE68928924T priority patent/DE68928924T2/de
Priority to US07/357,268 priority patent/US4929406A/en
Priority to EP89305361A priority patent/EP0344011A1/en
Publication of JPH01299607A publication Critical patent/JPH01299607A/ja
Priority to US07/452,241 priority patent/US4971696A/en
Publication of JPH0457373B2 publication Critical patent/JPH0457373B2/ja
Priority to JP5272111A priority patent/JPH06198148A/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Filtering Materials (AREA)
  • Porous Artificial Stone Or Porous Ceramic Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野) 本発明は濾過、ガス分離等に使用される無機多孔質膜に
関する。
(従来技術) 無機多孔質膜の一種類として、1または複数層の多孔質
支持体の一側面に、同支持体の平均細孔径より小さい平
均細孔径を有する多孔質薄膜を一体的に備えてなる複層
構造の無機多孔質膜がある。
この種の多孔質膜は用途によって耐熱性、耐食性に優れ
ていることが要求されるが、特に高い濾過精度、分離精
度を要求される場合がある。この場合、濾過膜、分離膜
として機能する多孔質薄膜を所定の平均細孔径に形成し
ても同薄膜にピンホール、クラック等が存在すると濾過
精度、分離精度を著しく低下させることになるため、同
薄膜にピンホール、クラック等が存在しないように注意
することが必要である。
ところで、上記した複層構造の無機多孔質膜に関する発
明等は多数開示されており、かかる発明が開示された刊
行物の一例として特開昭60−156510号公報、特
開昭52−94512号公報を挙げることができる。
特開昭60−156510号公報にはクラックの生じな
い無機半透過膜の製法、具体的には焼結した無機酸化物
からなる多孔質支持体に無機膜形成コーティング材料の
懸濁液をコーティングして加熱することからなる製法が
開示されている。また、かかる製法において、多孔質支
持体の適確性は同支持体が有する孔寸法(平均細孔径)
により定まり、孔寸法が大きいと懸濁液中のゾル粒子が
同支持体内に侵入して膜を形成し得ないこと、好ましい
孔寸法として代表径0.1〜0.5μmを挙げている。
さらにまた、かかる製法においてはクラックの発生を抑
制するなめ、コーテイング膜の乾燥に長時間乾燥、複雑
な超臨界乾燥等を採用し、かつ焼成時微速な昇温手段を
採用している。かかる製法により、多孔質支持体上にγ
−アルミナからなる多孔質薄膜が被覆された限外濾過膜
を得ている。
一方、特開昭52−94572号公報には複層構造の無
機多孔質膜において、多孔質支持体の平均細孔径は多孔
質薄膜の平均細孔径のlθ〜200.000倍、好まし
くは200〜20,000倍である旨開示されている。
(発明が解決しようとする課題) ところで、複層構造の無機多孔質膜における多孔質薄膜
のピンホール、クラックは同薄膜の形成時に発生する。
一般に、多孔質薄膜は微小粒子のゾル液を多孔質支持体
の一側に担持させ乾燥、焼成することにより形成される
。この場合、担持されたゾル液は多孔質支持体の細孔径
内に侵入するとともに、その表面にて濃縮現象が生じて
薄膜となるが、ゾル液中の粒子が局部的に支持体内に吸
込まれるとピンホールが発生し、また薄膜が局部的に厚
くなるとその後の乾燥、焼成時の熱収縮によりクラック
が発生する。本発明者は、特に多孔質支持体における最
大気孔径の細孔部分ではゾル液中の粒子が侵入し易いた
め、ピンホール、クラックが発生し易いとの知見を得て
いる。
従って、多孔質薄膜の形成時にピンホール、クラックの
発生を防止するには、多孔質支持体の最大気孔径を薄膜
との関係で規定することが必要である。しかしながら、
従来技術においては、上記したごとく支持体単独、また
は支持体および薄膜の平均細孔径に着目された例はある
が、支持体の最大気孔径について着目された例はなく、
薄膜にはピンホール、クラックが不可避的に存在してい
る。薄膜にピンホール、クラックが存在している場合に
は濾過精度、分離精度が低いことは勿論であるが、多孔
質膜の酸、アルカリ洗浄、スチーム殺菌時等に薄膜が支
持体から剥離するおそれがある。
従って、本発明の目的は、多孔質支持体の最大気孔径を
規定することにより多孔質薄膜でのピンホール、クラッ
クの発生を防止し、多孔質膜の濾過精度、分離精度を著
しく向上させることにある。
(課題を解決するための手段) 本発明は、lまたは複数層の多孔質支持体の一側面に、
同支持体の平均細孔径より小さい平均細孔径を有する多
孔質薄膜を備えてなる無機多孔質膜において、前記多孔
質薄膜が付着する層の最大気孔径が同薄膜の平均細孔径
の1〜250倍であることを特徴とするものである。
本発明において、多孔質支持体は無機質粒子例えばアル
ミナ、ジルコニア、チタニア等のセラミック、ホウケイ
酸ガラス等のガラス、ニッケル等の金属、炭素の焼結体
からなるパイプ状、平板状、ハニカム状等のもので、単
層、2層以上の複層構造のいずれであってもよい、支持
体が複層構造の場合には、多孔質薄膜の付着側に平均細
孔径が漸次小さくなるよう配列する。薄膜は支持体と同
様の材料からなるもので、例えば親水性であるアルミナ
、チタニア等からなる。
(発明の作用・効果) 本発明者の知見によれば、複層構造の無機多孔質膜にお
いては多孔質支持体の最大気孔径が多孔質薄膜の平均細
孔径の1〜250倍の場合、薄膜にピンホール、クラッ
クが発生しないことを確認している。かかる多孔質膜に
おいて、薄膜の平均細孔径は用途に基づいて設定される
とともに使用する原料の粒径、膜成形法により調節する
ことができる。このため、予じめ設定された薄膜の平均
細孔径の1〜250倍の最大気孔径を有する多孔質支持
体を選定し、同支持体の一側面に上記薄膜を形成すれば
同薄膜は実質的にピンホール、クラックが存在しないも
のとなる。従って、かがる多孔質膜は設定された極めて
高い濾過精度、分離精度を備え、ピンホール、クラック
等の影響を受けることがない。
しかして、多孔質支持体に関しては平均細孔径Davの
多孔質体の単層構造のもの、同多孔質体の一側面にこれ
より小さい平均細孔径D’avの多孔質体を付着した複
N構造のものであり、複層構造の場合各層は互いに同じ
組成で熱膨張が同一または近似“することが好ましい、
多孔質支持体の平均細孔径Dav、D’avは多孔質薄
膜の平均細孔径dayより大きいものであるが、薄膜の
平均細孔径davにより好ましい範囲が異なる。例えば
、限外濾過やガス分離等に用いる多孔質膜における薄膜
のdayは0.1μm以下であることが必要であり、こ
の場合の単層構造の支持体のDayは0.05μm〜3
μmであることが好ましく、複層構造の支持体のDav
は0.1 μm 〜30μm、D’avは1.un以下
であることが好ましい、また、精密濾過に用いる多孔質
膜における薄膜のdavは0.1μm〜10μmである
が、この場合の単層構造の支持体のDavは0.5μm
〜30μmであることが好ましく、複層構造の支持体の
Davは3 Aim 〜30μm 、 D’avは0.
5 μm 〜10.czmであることが好ましい。支持
体のDay、D’avにおける下限値は流体の拡散抵抗
を無視できる限界から、またそれらの上限値は支持体の
強度、薄膜の製膜性等から決定される。なお、複層構造
の支持体は単層構造の支持体に比較して薄膜の厚みを薄
くでき、流体の拡散抵抗を小さくできる利点がある。
多孔質支持体の細孔率(気孔率)は25VO1%〜45
 vo1%であることが好ましく 、25 vo1%未
満の場合には多孔質薄膜の密着性が問題となり、かつ4
5vo1%を超えると支持体としての強度が問題となる
。また、支持体の膜厚は強度上9.5mm〜2mm程度
が好ましく、かつ複層構造における中間層の膜厚は拡散
抵抗上10μm〜150μm程度が好ましい。かかる支
持体は圧縮成形、鋳込成形、押出成形等公知の方法で成
形されたパイプ状、平板状、ハニカム状成形体を焼成し
て形成される。
多孔質支持体の最大気孔径に関しては、同支持体の最大
気孔径Dmax、D’max(Dmax−−・単層構造
、D’1lllLX ・・・複層構造の中間M)が多孔
質薄膜の平均細孔径の1〜250倍であり、この範囲は
薄膜にピンホール、クラックを発生させない条件である
。但し、複層構造の支持体においてはDmax≧D’m
axの関係にある。なお、本発明において最大気孔径は
後述する公知のバブルポイント法により測定している。
支持体のDmax、 D’maxと薄膜のdaVとの関
係の好ましい範囲は薄膜のdavの値によって異なる。
これらの比Dmax/day、D’max/davは薄
膜のdayが0.1μm未満の場合1〜100.day
が0゜1μm〜10μmの場合1〜25である。これら
の範囲においては、薄膜にピンホール、クラックを生じ
させることなく極めて薄くできて濾過、分離の精度およ
び効率を著しく向上させることができる薄膜davの値
によりDmax/day、 D’max/dayの範囲
が異なるのは、主として同薄膜の調整法の違いによるも
のである。
davの値が0.1μm未満の多孔質薄膜を調製する一
般的な方法としては、粒径0.4μm以下の微小粒子を
含むコロイド水溶液を湿式法にてコーティングするか、
気相法や圧縮成形法等による乾式法にてコーティングす
る方法が採られる。例えば湿式法にてコーティングする
場合、多孔質支持体をコロイド水溶液に浸漬すると同水
溶液は支持体の細孔の毛管吸引力にて支持体表面に引付
けられて濃縮現象が起る。コロイド水溶液中のゾル粒子
は水分濃度のわずかな変化でゲル化して支持体上に均一
に付着される。微小粒径のゾル粒子では侵入可能な細孔
が存在していても均一に製膜が可能である。乾式法で製
膜する場合においても、微小粒子は表面エネルギーが大
きいため支持体上に容易に付着凝集し、同様の効果を示
すものである。
これに対して、dayの値が0.1μm〜10μmの場
合には粒径0.4μm以上の比較的粒径が大きくて表面
エネルギーの小さい粒子を使用することから、粒子の支
持体の侵入を出来るかぎり阻止するには、粒子径と支持
体の最大気孔径とを比較的近似した値にする必要がある
なお、本発明にかかる多孔質膜においては、多孔質支持
体の最大気孔径Dmax、 D’maxと多孔質薄膜と
の膜厚t、支持体の平均細孔径Dav 、 D’avと
薄膜の平均細孔径dayとの関係を規定することが好ま
しい、支持体の最大気孔径と薄膜の膜厚との比Dmax
/l、D’max/lの下限はピンホールの発生を防止
するため、かつその上限はクラックの発生を防止するた
めに有効であって、上記比Dmax/l、D’max/
lは1〜5の範囲にあることが好ましい。薄膜を数回に
分けて担持させる場合には、すでに担持されている薄膜
を中間層としてその最大気孔径を考慮することが好まし
い。また、支持体の平均細孔径と薄膜の平均細孔径との
比Day/day、D’av/davは支持体に対する
薄膜の密着性に関係し、量比は1〜200倍であること
が好ましい、かかる比のさらに好ましい範囲は薄膜のd
avにより異なり、davが0.1 、tzm未溝の場
合1〜50.dayが0.1 μva 〜IQμmの場
合l〜lOであることが好ましい。
なお、多孔質薄膜の原料は耐熱性、耐食性に優れた無機
質粒子であって、その比表面積が数m2/g〜数100
m2/gであることが好ましい、また、耐食性の不要な
ガス分離用の膜においてはγ−アルミナも好ましいが、
耐食性が要求されるその他の用途の膜においてはα−ア
ルミナ、チタニア、ジルコニア等が特に好ましい。薄膜
は支持体上に形成された後、焼成等の熱処理に付されて
安定化される。
(実施例) (1)多孔質支持体の調整 各種粒径の電融アルミナに無機バインダー、有機バイン
ダーを添加して混練坏土を調製し、押出成形法にて外径
10mm、内径7mm 、長さ150mn+のバイブを
形成し、これを乾燥後1500℃で3時間焼成した。こ
れにより、粒径の相違に起因する各種の平均細孔径を有
する単層構造の多孔質支持体を得た。これら支持体のい
くつかの内側面にα−アルミナの微粉からなる解膠した
スラリーを塗布し、乾燥後1000〜1300℃で3時
間焼成して複層構造の多孔質体を得た。新たに形成され
た層を中間層といいその膜厚は30μmであり、かつ同
中間層の平均細孔径D’avは微粉の粒度、焼成温度に
て調整した。得られた支持体の特性を第1表に示す。同
表の特性中履大気孔径Dmax、 D’maxの値はバ
ブルポイント法により測定したもの、平均細孔径Dav
、D’av値は水銀圧入法により測定したものである。
第1表 (2最大気孔径の測定(バブルポイント法)パイプ状の
各多孔質支持体を予め測定用液体内に1時間以上浸漬し
、その後50torr以下の減圧下で支持体内の気泡を
脱気する。脱気処理された支持体はその筒部両端を密閉
状態にして測定装置の液体槽内に設置し、その後支持体
の内孔内へ空気を徐々に加圧して付与し、気泡が最初に
発生した時点の空気圧P(発泡圧)を読み取る。この発
泡圧Pから最大気孔径を下記の式にて算出する。
なお、一般にθ・0.P>>hSであるため上記式は簡
略化される。測定に使用する液体は最大気孔径が0.4
2μm以上の支持体については水、0.42μm未満の
支持体についてはトリクロロフルオロエタンである。
(3)多孔質薄膜の調製 薄膜No、1:市販のアルミナゾル(日産化学株式会社
製、商品名アルミナゾル−200)をAl2O,分が5
wt%含むように水で希釈して担持液とし、これを多孔
質支持体の内側面に塗布する。その後室温で1時間次い
で60℃で1時間乾燥した後、100℃/hrの速度で
380°Cまで昇温してこれを3時間保持した。得られ
た薄膜の平均細孔径davは40Aである。
薄膜No、2:チタニウムイソプロポキシドをTiO2
分で5wt%含むエタノール水溶液中に水をTiO2モ
ル比の5倍添加し、これを2時間攪拌して担持液として
多孔質支持体の内側面に塗布する。その後の乾燥、熱処
理は薄膜N011と同様であり、day・50Aの薄膜
を得た。
薄膜Noj:平均粒径0.1μmのチタニア微粉を3w
t%含む水溶液に界面活性剤、有機解膠剤を添加し16
時間攪拌して担持液とし、これを支持体の内側面に塗布
する。その後の乾燥、熱処理については、熱処理である
焼成温度を1000℃とした以外は薄膜No、1と同様
であり、day・500Aの薄膜を得た。
薄膜No’、4:平均粒径065μmのα−アルミナを
用いた以外は薄膜N003と同様の調製法を採用して、
dav=200OAの薄膜を得た。
薄膜No、5:平均粒径3μmのα−アルミナを用いる
とともに焼成温度を1300℃とした以外は薄膜Noj
と同様の調製法を採用して、dav=1μmの薄膜を得
た。
なお、得られた薄膜の平均細孔径davは水銀圧入法ま
たはガス吸着法により測定した。
(4)多孔質膜の膜性能試験 各種の多孔質支持体の内側面に各種の多孔質薄膜を形成
してなる複層構造の多孔質膜につき、下記の純水透水量
、クロスフロー濾過、耐食性の各試験を行い第2表に示
す結果を得た。
純水透水量試験:蒸留水を0.5〜5kg/cm2の圧
力にて多孔質膜の一方側面から他方側面へ透過させ、単
位膜面積、単位時間、単位圧力光たりの透水量を算出す
る。
クロスフロー濾過試験+ 1100ppのマーカーを含
む水溶液(マーカーが蛋白質である場合は緩衝液)を2
.5m/secの速度、入口圧3 kg/cm2にて多
孔質膜の内孔を循環させるクロスフロー濾過を行い透過
液の分析を行ってマーカーの阻止率を算出する。なお、
マーカーとしては薄膜のdayの値に対応して牛血清ア
ルブミン(平均分子量65.000)、γ−グロブリン
(平均分子量156.000>、ブルーデキストラン(
平均分子量200万)、ユニホームラテックス(粒径1
.1μm)を用いた。
耐食性試験:多孔質膜を90℃のHCI水溶液(PH・
0)、NaOH水溶液(P)I=14)に168時間浸
漬し、薄膜におけるピンホール、クラックの有無を走査
型電子顕微鏡にて観察する。
第2表において、 *l、*2.$3:支持体が中間層を有する複層構造で
ある場合(支持体No、3〜No、6)はD’n+ax
D’avの値 *4:耐食性試験前後のピンホール、クラックの有無 *5:マーカーとしてアルブミンを使用*6:マーカー
としてγ−グロブリンを使用*7:マーカーとしてブル
ーデキストランを使用*8:マーカーとしてユニホーム
ラテックスを使用 (以下余白) / / / / / / / / / 平均細孔径davが40人の薄膜を備えた多孔質膜No
、I〜No、4において、N091およびN092とN
013およびno、4とを比較した場合最大気孔径Dm
axの相違により前者のアルブミン阻止率が高く、99
%以上にも達している。また、多孔質膜No、 1とN
o、2とを比較した場合、膜厚の薄い薄膜を備えたN0
11は透水量、透過液量ともに大きくて効果的な濾過、
分離が可能である。なお、多孔質膜No、1.No、2
の薄膜成分はγ−アルミナであるため耐アルカリ性に劣
るが、同腹No、1.No、2は耐アルカリ性が要求さ
れない例えばガス分離等の用途に有効である。
平均細孔径davが50人の薄膜を備えた多孔質膜No
、5〜No、9から明らかなようにDmax/day、
D’max/davを適正な範囲に規定することにより
、ピンホールおよびクラックが無くてアルブミンをほぼ
完全に阻止できる多孔質膜N015〜N018を得るこ
とができる。これらの多孔質膜においては、支持体が中
間層を有する複層構造であって薄膜の厚みを薄くでき、
特に中間層の平均細孔径D’avが0.1μm以下でか
つ薄膜の厚みが1μm以下のものNo、?、No、8は
、透過液量が多くて極めて効率よく濾過、分離を行うこ
とができる。耐食性試験においては多孔質膜No、5〜
NO38にピンホール、クラックの発生が認められない
のに対し、NO19ではクラックが増大して薄膜に局部
的は剥離現象が認められかつアルブミンの阻止率が2%
までに低下した。
平均細孔径500 A以上の薄膜No、 10〜No、
I4においてはいずれもDmax/dav、D’max
/davが適正な範囲に規定されているため、ピンホー
ル、クラックが認められず、各マーカーに対する阻止率
がほぼ完全である。また、これらの多孔質膜は耐食性試
験によっても膜性能に何等の変化も認められなかった。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1または複数層の多孔質支持体の一側面に、同支持体の
    平均細孔径より小さい平均細孔径を有する多孔質薄膜を
    備えてなる無機多孔質膜において、前記多孔質薄膜が付
    着する層の最大気孔径が同薄膜の平均細孔径の1〜25
    0倍であることを特徴とする無機多孔質膜。
JP13082788A 1988-05-27 1988-05-27 無機多孔質膜 Granted JPH01299607A (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13082788A JPH01299607A (ja) 1988-05-27 1988-05-27 無機多孔質膜
EP95115691A EP0692303B1 (en) 1988-05-27 1989-05-26 Process for the production of an inorganic porous composite membrane
DE68928924T DE68928924T2 (de) 1988-05-27 1989-05-26 Verfahren zur Herstellung einer porösen anorganischen Kompositmembran
US07/357,268 US4929406A (en) 1988-05-27 1989-05-26 Process for producing an inorganic porous membrane
EP89305361A EP0344011A1 (en) 1988-05-27 1989-05-26 Inorganic porous membrane
US07/452,241 US4971696A (en) 1988-05-27 1989-12-18 Inorganic porous membrane
JP5272111A JPH06198148A (ja) 1988-05-27 1993-10-29 無機多孔質膜の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13082788A JPH01299607A (ja) 1988-05-27 1988-05-27 無機多孔質膜

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5272111A Division JPH06198148A (ja) 1988-05-27 1993-10-29 無機多孔質膜の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01299607A true JPH01299607A (ja) 1989-12-04
JPH0457373B2 JPH0457373B2 (ja) 1992-09-11

Family

ID=15043633

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13082788A Granted JPH01299607A (ja) 1988-05-27 1988-05-27 無機多孔質膜

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01299607A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03267129A (ja) * 1990-03-16 1991-11-28 Ngk Insulators Ltd セラミック膜フイルタ
JPH03284329A (ja) * 1990-03-30 1991-12-16 Ngk Insulators Ltd セラミック膜フイルタおよびその製造方法
WO1995006514A1 (fr) * 1993-09-02 1995-03-09 The Dow Chemical Company Module a membrane de separation
JP2006503701A (ja) * 2002-10-25 2006-02-02 テクノロジ・アヴァンセ・エ・マンブラン・アンデュストゥリィエル 接線濾過膜およびその製造方法
JP2007503995A (ja) * 2003-09-04 2007-03-01 コリア リサーチ インスティテュートオフ゛ ケミカル テクノロシ゛ー 水/アルコール分離用チタニア複合膜とこれの製造方法
JP2008178810A (ja) * 2007-01-25 2008-08-07 Miyazaki Prefecture 無気泡ガス溶解方法
JP2013056318A (ja) * 2011-09-09 2013-03-28 Toshiba Corp 微細気泡形成装置
EP4052774A4 (en) * 2019-12-30 2022-11-16 Shenzhen Senior Technology Material Co., Ltd. WET FLEECE, METHOD OF MANUFACTURE THEREOF AND WATER TREATMENT MEMBRANE INCLUDING WET FLEECE

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3923654A (en) * 1974-05-30 1975-12-02 Owens Illinois Inc Ultrafiltration membrane
JPS5294572A (en) * 1975-12-29 1977-08-09 Commissariat Energie Atomique Filter made from inorganic matter
JPS553809A (en) * 1978-06-23 1980-01-11 Tdk Corp Dynamic membrane formation supporter and its manufacture
JPS5834006A (ja) * 1981-03-30 1983-02-28 グル−プマン・デテユ−ド・プ−ル・レ・セラミ−ク・アルミニユ−ズ フイルタ構体とその製法およびこれを用いた限外濾過装置
JPS58196818A (ja) * 1982-04-28 1983-11-16 セラヴエ−ル 濾過膜及びその製法
JPS5948646A (ja) * 1982-09-14 1984-03-19 Nec Corp 半導体電荷センサ
JPS6051518A (ja) * 1983-07-29 1985-03-23 セラヴエ−ル 濾過膜
JPS6127091A (ja) * 1984-07-17 1986-02-06 松下電器産業株式会社 高周波加熱装置
JPS61238304A (ja) * 1985-04-17 1986-10-23 Ngk Insulators Ltd セラミックフィルタの製造方法
JPS623782A (ja) * 1985-06-27 1987-01-09 エ−ピ−ブイ インタ−ナシヨナル リミテツド ビ−ルろ過方法及び装置
JPS6219175A (ja) * 1985-07-18 1987-01-27 酒井 清孝 血液用濾過装置
JPS62129104A (ja) * 1985-11-28 1987-06-11 Ngk Insulators Ltd セラミック管状フィルターの製造法

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3923654A (en) * 1974-05-30 1975-12-02 Owens Illinois Inc Ultrafiltration membrane
JPS5294572A (en) * 1975-12-29 1977-08-09 Commissariat Energie Atomique Filter made from inorganic matter
JPS553809A (en) * 1978-06-23 1980-01-11 Tdk Corp Dynamic membrane formation supporter and its manufacture
JPS5834006A (ja) * 1981-03-30 1983-02-28 グル−プマン・デテユ−ド・プ−ル・レ・セラミ−ク・アルミニユ−ズ フイルタ構体とその製法およびこれを用いた限外濾過装置
JPS58196818A (ja) * 1982-04-28 1983-11-16 セラヴエ−ル 濾過膜及びその製法
JPS5948646A (ja) * 1982-09-14 1984-03-19 Nec Corp 半導体電荷センサ
JPS6051518A (ja) * 1983-07-29 1985-03-23 セラヴエ−ル 濾過膜
JPS6127091A (ja) * 1984-07-17 1986-02-06 松下電器産業株式会社 高周波加熱装置
JPS61238304A (ja) * 1985-04-17 1986-10-23 Ngk Insulators Ltd セラミックフィルタの製造方法
JPS623782A (ja) * 1985-06-27 1987-01-09 エ−ピ−ブイ インタ−ナシヨナル リミテツド ビ−ルろ過方法及び装置
JPS6219175A (ja) * 1985-07-18 1987-01-27 酒井 清孝 血液用濾過装置
JPS62129104A (ja) * 1985-11-28 1987-06-11 Ngk Insulators Ltd セラミック管状フィルターの製造法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03267129A (ja) * 1990-03-16 1991-11-28 Ngk Insulators Ltd セラミック膜フイルタ
JPH03284329A (ja) * 1990-03-30 1991-12-16 Ngk Insulators Ltd セラミック膜フイルタおよびその製造方法
WO1995006514A1 (fr) * 1993-09-02 1995-03-09 The Dow Chemical Company Module a membrane de separation
JP2006503701A (ja) * 2002-10-25 2006-02-02 テクノロジ・アヴァンセ・エ・マンブラン・アンデュストゥリィエル 接線濾過膜およびその製造方法
JP2007503995A (ja) * 2003-09-04 2007-03-01 コリア リサーチ インスティテュートオフ゛ ケミカル テクノロシ゛ー 水/アルコール分離用チタニア複合膜とこれの製造方法
JP2008178810A (ja) * 2007-01-25 2008-08-07 Miyazaki Prefecture 無気泡ガス溶解方法
JP2013056318A (ja) * 2011-09-09 2013-03-28 Toshiba Corp 微細気泡形成装置
EP4052774A4 (en) * 2019-12-30 2022-11-16 Shenzhen Senior Technology Material Co., Ltd. WET FLEECE, METHOD OF MANUFACTURE THEREOF AND WATER TREATMENT MEMBRANE INCLUDING WET FLEECE
JP2022552913A (ja) * 2019-12-30 2022-12-20 シェンチェン シニア テクノロジー マテリアル カンパニー リミテッド 湿式不織布、その作製方法および湿式不織布を含む水処理膜

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0457373B2 (ja) 1992-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0692303B1 (en) Process for the production of an inorganic porous composite membrane
JP2873293B2 (ja) 複合体膜及びその製造方法
US5186833A (en) Composite metal-ceramic membranes and their fabrication
US20070138083A1 (en) Separation membrane
JPS60156510A (ja) クラツクの生じない無機半透過膜の製法
JPH05192545A (ja) 支持された微孔質セラミック膜
US10183242B2 (en) Porous inorganic membranes and method of manufacture
JP2004123533A (ja) 含浸−ローリング法による熱的安定性に優れたシリカ複合膜の製造方法
Terpstra et al. Preparation, characterization and some properties of tubular alpha alumina ceramic membranes for microfiltration and as a support for ultrafiltration and gas separation membranes
JPH01299607A (ja) 無機多孔質膜
Okubo et al. Preparation of a sol-gel derived thin membrane on a porous ceramic hollow fiber by the filtration technique
JPS63287504A (ja) 分離膜
JP2005503261A (ja) 新規の無機ナノろ過膜
KR100534013B1 (ko) 물/알코올 분리용 타이타니아 복합막과 이의 제조방법
JPH06198148A (ja) 無機多孔質膜の製造方法
JPH03267129A (ja) セラミック膜フイルタ
CA1336151C (en) Fine alpha alumina ultrafiltration membranes
JPH0243928A (ja) 無機多孔質膜
KR0139817B1 (ko) 복합멤브레인
CN109569313A (zh) 一种平板陶瓷分离膜及其喷涂制备方法
JPS61268302A (ja) 芳香族ポリスルホン複合半透膜の製造方法
JPH02102723A (ja) 無機多孔質膜
JPH07163848A (ja) 無機多孔質膜の製造方法
Benito et al. Preparation of multilayer ceramic systems for deposition of mesoporous membranes
JPH0571548B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070911

Year of fee payment: 15

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080911

Year of fee payment: 16

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080911

Year of fee payment: 16