JPH01297543A - Defect inspecting device - Google Patents
Defect inspecting deviceInfo
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- JPH01297543A JPH01297543A JP12810088A JP12810088A JPH01297543A JP H01297543 A JPH01297543 A JP H01297543A JP 12810088 A JP12810088 A JP 12810088A JP 12810088 A JP12810088 A JP 12810088A JP H01297543 A JPH01297543 A JP H01297543A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光記録媒体の光学的記録領域における傷等の
欠陥を検出する欠陥検査装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a defect inspection device for detecting defects such as scratches in an optical recording area of an optical recording medium.
［従来の技術及びその解決しようとする課題］レーザ光
によってデータのアクセスを行なう光カード等の光記録
媒体においては、実際にその光学的記録領域にデータを
書き込んで使用する前に光学的記録領域上に傷等の欠陥
が無いかどうかを検査し、データアクセスの際の誤動作
を防いでいる。[Prior art and problems to be solved] In optical recording media such as optical cards that access data using laser light, the optical recording area is The device is inspected for scratches and other defects to prevent malfunctions when accessing data.
従来、この種の光学的記録領域の検査は、顕微鏡等の光
学機器を用いて行なっているが、検査に手間がかかると
共に正確な結果が得られないという問題があった。Conventionally, this type of optical recording area inspection has been performed using optical equipment such as a microscope, but there have been problems in that the inspection is time-consuming and accurate results cannot be obtained.
［課題を解決するための手段］
上記従来の課題を解決する本発明の欠陥検査装置は、光
記録媒体の光学的記録領域を拡大する結像光学系と、該
結像光学系による拡大像を画像信号に変換し、該画像信
号から上記光学的記録領域の欠陥を検出する画像処理部
を備え、上記画像処理部を、画像信号を二値化レベルと
比較し画像信号の二値化を行なう二値化回路と、−に記
画像信号の二値化信号を一定のタイミングでカウントす
るカウント回路と、該カウント回路によるカウント結果
から光学的記録領域上の欠陥の総量を算出する演算回路
により構成したことを特徴とする。[Means for Solving the Problems] A defect inspection device of the present invention that solves the above-mentioned conventional problems includes an imaging optical system that expands the optical recording area of an optical recording medium, and an enlarged image by the imaging optical system. an image processing unit that converts the image signal into an image signal and detects defects in the optical recording area from the image signal; the image processing unit compares the image signal with a binarization level and binarizes the image signal; Consists of a binarization circuit, a counting circuit that counts the binarized signal of the image signal described in - at a fixed timing, and an arithmetic circuit that calculates the total amount of defects on the optical recording area from the count result by the counting circuit. It is characterized by what it did.
［実施例］
以下、本発明の一実施例について図面を参照して詳細に
説明する。[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第１図から第６図に本発明の一実施例を説明する。An embodiment of the present invention will be explained with reference to FIGS. 1 to 6.
本実施例の欠陥検査装置は、第１図に示す如く光記録媒
体である光メモリカート４の光学的記録領域４０（第３
図）を拡大する結像光学系としての顕微鏡ｌとカメラ２
及び画像処理部３によって構成されている。As shown in FIG. 1, the defect inspection apparatus of this embodiment is based on an optical recording area 40 (the third
Microscope 1 and camera 2 as an imaging optical system to magnify the image (Fig.)
and an image processing section 3.
［；記顕微鏡１には、光メモリカード４を載置するＸ−
Ｙオートステージ５と、Ｘ−Ｙオートステージ５のステ
ージコントローラ６と、焦点調節器７と、光、１！ｉ、
調節器８が設けられている。[;The microscope 1 has an X-
Y autostage 5, stage controller 6 of XY autostage 5, focus adjuster 7, light, 1! i,
A regulator 8 is provided.
１−記ＷＪ微鏡１は、第２図に示すように対物レンズ１
０と、リレーレンズ（接限レンズ）１１と、光源１２と
、ビームスプリッタ１３によって構成されている。ここ
で、光源１２は、視野照明を行なうためのものである。1- The WJ microscope 1 has an objective lens 1 as shown in FIG.
0, a relay lens (infrared lens) 11, a light source 12, and a beam splitter 13. Here, the light source 12 is for illuminating the field of view.
また、ＷＪ微鏡ｌで形成された光メモリカード４の拡大
像（第６図）は、リレーレンズ（接＋１［＋レンズ）１
１を通してカメラ２に結像される。In addition, the enlarged image (Fig. 6) of the optical memory card 4 formed with the WJ microscope l is the relay lens (+1 [+lens) 1
1 and is imaged onto camera 2.
上記画像処理部３は、第４図に示す如く同期分離回路３
１と、二値化回路３２と、基準′１［圧回路３３と、カ
ウント回路３４と、クロック発生回路３５と、演算回路
３６と、カウント表示部３７によって構成されている。The image processing section 3 includes a synchronous separation circuit 3 as shown in FIG.
1, a binarization circuit 32, a reference '1 pressure circuit 33, a count circuit 34, a clock generation circuit 35, an arithmetic circuit 36, and a count display section 37.
そして、画像処理部３の同期分離回路３１にカメラ２の
出力が接続されている。なお、２１はカメラドライバで
ある。また、画像処理部３の入力側において、カメラ２
にモニタ３８が接続されている。The output of the camera 2 is connected to the synchronization separation circuit 31 of the image processing section 3. Note that 21 is a camera driver. Also, on the input side of the image processing section 3, the camera 2
A monitor 38 is connected to.
この画像処理部３は、欠陥（傷、異物等）の光学的記録
領域４０に占める割合（欠陥率）を算出するものである
。This image processing section 3 calculates the proportion (defect rate) of defects (scratches, foreign objects, etc.) in the optical recording area 40.
上記同期分離回路３１は、カメラ２から送られる画像信
号より垂直同期信号と水平同期信号との分離を行ない、
同期信号を取り出してカウント回路３４に出力する。上
記二値化回路３２は、画像信号（電圧）と基準電圧回路
３３からの基準電圧を比較し画像信号の二値化を行なう
。The synchronization separation circuit 31 separates a vertical synchronization signal and a horizontal synchronization signal from the image signal sent from the camera 2,
The synchronization signal is extracted and output to the count circuit 34. The binarization circuit 32 compares the image signal (voltage) with the reference voltage from the reference voltage circuit 33 and binarizes the image signal.
上記基準電圧回路３３は、基準電圧（二値化レベル）を
発生させる。上記カウント担１路３４は、同期信号によ
ってタイミングを取り、画像信号の二値化信号をサンプ
リング周期によってカウントを行なう。The reference voltage circuit 33 generates a reference voltage (binary level). The counter 1 circuit 34 takes the timing based on the synchronization signal and counts the binary signal of the image signal according to the sampling period.
上記クロック発生回路３５は、サンプリング周期のクロ
ックを発生させる。上記演算回路３６は、カウント回路
３４のカウント結果にス（づき欠陥率を算出する。上記
カウント表示部３７は、演算回路３６より算出された欠
陥率をディジタル表示する。The clock generation circuit 35 generates a clock with a sampling period. The arithmetic circuit 36 calculates the defect rate based on the count result of the counting circuit 34. The count display section 37 digitally displays the defect rate calculated by the arithmetic circuit 36.
次に、上記の如く構成される欠陥検査装置の動作を説明
する。Next, the operation of the defect inspection apparatus configured as described above will be explained.
まず、Ｘ−Ｙオートステージ５上に検査する光メモリカ
ード４を載置し焦点調節器７及び光量調節器８を用いて
顕微鏡１の調節を行なう。First, the optical memory card 4 to be inspected is placed on the XY autostage 5, and the microscope 1 is adjusted using the focus adjuster 7 and the light amount adjuster 8.
その像はカメラ２によって画像信号に変換される。その
ときの画像信号の一例を第５図に示す。The image is converted into an image signal by the camera 2. An example of the image signal at that time is shown in FIG.
ここで、Ａはｌ走査線分の輝度信号であり、Ｂは同期信
号である。Here, A is a luminance signal for l scanning lines, and B is a synchronization signal.
光学的記録領域４０になんら欠陥が存在しない場合、」
二足輝度信号Ａはほぼ一定のレベルにあるが、第６図に
示すような欠陥がある場合は、図示のようしこ輝度信号
Ａに異常なレベル変化が生じる。なお、第６１’ｆｆｌ
において４１はトランクガイド等の規則パターンである
。If there is no defect in the optical recording area 40,
Although the bipedal luminance signal A is at a substantially constant level, if there is a defect as shown in FIG. 6, an abnormal level change occurs in the bipedal luminance signal A as shown in the figure. In addition, the 61st 'ffl
41 is a regular pattern such as a trunk guide.
カメラ２の画像信号は１画像処理部３の同期分離回路３
１と二（＋ｔｉ化回路３２に送られる。The image signal of camera 2 is 1 synchronization separation circuit 3 of image processing section 3
1 and 2 (sent to the +ti conversion circuit 32).
同期分離回路３１で画像信号から同期信号Ｂが取り出さ
れ、その同期信号Ｂがカウント回路３４に送られる。A synchronization signal B is extracted from the image signal by a synchronization separation circuit 31, and the synchronization signal B is sent to a count circuit 34.
二値化回路３２で画像信号の輝度信号Ａと基準電圧との
比較がなされ、輝度信号Ａの二値化が行なわれる。ロリ
ち、第５図に示す様に画像信号に基準電圧回路３３によ
って二値化レベルＣを設定し、二値化レベルＣを越えた
部分の時間に応じた二値化信号を発生するものである。A binarization circuit 32 compares the luminance signal A of the image signal with a reference voltage, and binarizes the luminance signal A. As shown in Figure 5, a binarization level C is set for the image signal by a reference voltage circuit 33, and a binarization signal is generated according to the time of the portion exceeding the binarization level C. be.
また、カウント回路３４では、同期信号Ｂによりタイミ
ングを取りクロック発生回路３５からのサンプリング周
期によって、二値化回路３２から送られた二値化レベル
をカウントする。Further, the count circuit 34 counts the binarization level sent from the binarization circuit 32 in accordance with the sampling period from the clock generation circuit 35, which is timed by the synchronization signal B.
そして、演算回路３６で、カウント回路３４によるカウ
ント値より二値化レベルＣを越えた部分の時間ｔの総和
を求め、光学的記録領域４ｏの全面積に対する欠陥の面
積比を欠陥率として算出する。最後に、カウント表示部
３７にその欠陥率をディジタル表示する。Then, the arithmetic circuit 36 calculates the sum of the times t of the portion exceeding the binarization level C from the count value by the counting circuit 34, and calculates the area ratio of defects to the total area of the optical recording area 4o as a defect rate. . Finally, the defect rate is digitally displayed on the count display section 37.
また、カメラ２からの画像信号は、モニタ３８に送られ
光学的記録領域４０の拡大像が映し出される。これによ
り、光学的記録領域４ｏの状ｙＥを直接確認することが
できる。Further, the image signal from the camera 2 is sent to the monitor 38, and an enlarged image of the optical recording area 40 is displayed. Thereby, the state yE of the optical recording area 4o can be directly confirmed.
なお、以上においてはカウント表示部３７及びモニタ３
８にＸ−Ｙオートステージ５からの位置情報を表示し欠
陥の位置を確認できるようにする。In addition, in the above, the count display section 37 and the monitor 3
8 displays the position information from the X-Y autostage 5 so that the position of the defect can be confirmed.
また、光記録光記録媒体として光メモリカート４を検査
する場合を示したが、光ディスクなどの光記録媒体にも
適用することができるのは言うまでもない。Moreover, although the case where the optical memory cart 4 is inspected as an optical recording medium has been shown, it goes without saying that the present invention can also be applied to optical recording media such as optical discs.
［発明の効果］
以北説明したように本発明の欠陥検査装置によれば、光
記録媒体の光学的記録領域を拡大する結像光学系と、該
結像光学系＆くよる拡大像を画像信号に変換し、該画像
信号から上記光学的記録領域の欠陥を検出する画像処理
部を備え、上記画像処理部を、画像信号を二値化レベル
と比較し画像信号の二値化を行なう二値化回路と、上記
画像信号の二値化信号を一定のタイミングでカウントす
るカウント回路と、該カウント回路によるカウント結果
から光学的記録領域上の欠陥の総量を算出する演算回路
により構成したので、光記録媒体の光学的記録領域上の
欠陥を自動的にかつ正確に検出できる効果が得られる。[Effects of the Invention] As described above, the defect inspection apparatus of the present invention includes an imaging optical system for enlarging the optical recording area of an optical recording medium, and an imaging optical system for generating an enlarged image by an image processing unit that converts the image signal into a signal and detects defects in the optical recording area from the image signal; It is composed of a digitizing circuit, a counting circuit that counts the binarized signal of the image signal at a fixed timing, and an arithmetic circuit that calculates the total amount of defects on the optical recording area from the counting result by the counting circuit. The effect of automatically and accurately detecting defects on the optical recording area of an optical recording medium can be obtained.
第１図は本発明の一実施例による欠陥検査装置の全体図
、第２図はその顕微鏡部分の構成図、第３図は光メモリ
カードの斜視図、第４図は画像処理部の構成ブロック図
、第５図は画像信号を示す図、第６図はＷＪ微鏡による
光メモリカードの光学的記録領域の結像例を示す図であ
るである。
ｌ：顕微鏡 ２：カメラ
３：画像処理部 ４：光メモリカードｌｏ：対物レン
ズ １１：リレーレンズ３１、同期分離回路
３２：二値化回路 ３３：基準電圧回路３４：カウント
回路
３５：クロック発生回路
３６：演算回路 ３７：カウント表示部３８：モニタ
４０：光学的記録領域
出願人 株式会社 シーエスケイ
第 １ 図
犯
ヵｊ」より壜 、□工、ユノ、だ：；ｌ［：ｈ第２図
第３図FIG. 1 is an overall diagram of a defect inspection device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a configuration diagram of its microscope portion, FIG. 3 is a perspective view of an optical memory card, and FIG. 4 is a configuration block diagram of an image processing section. , FIG. 5 is a diagram showing an image signal, and FIG. 6 is a diagram showing an example of imaging an optical recording area of an optical memory card by a WJ microscope. l: Microscope 2: Camera 3: Image processing unit 4: Optical memory card lo: Objective lens 11: Relay lens 31, synchronous separation circuit 32: Binarization circuit 33: Reference voltage circuit 34: Count circuit 35: Clock generation circuit 36: Arithmetic circuit 37: Count display section 38: Monitor 40: Optical recording area Applicant CSK Co., Ltd.
Claims (2)
系と、該結像光学系による拡大像を画像信号に変換し、
該画像信号から上記光学的記録領域の欠陥を検出する画
像処理部を備え、上記画像処理部を、画像信号を二値化
レベルと比較し画像信号の二値化を行なう二値化回路と
、上記画像信号の二値化信号を一定のタイミングでカウ
ントするカウント回路と、該カウント回路によるカウン
ト結果から光学的記録領域上の欠陥の総量を算出する演
算回路により構成したことを特徴とする欠陥検査装置。(1) an imaging optical system that expands the optical recording area of an optical recording medium; and converts the enlarged image by the imaging optical system into an image signal;
a binarization circuit that includes an image processing section that detects defects in the optical recording area from the image signal, and that binarizes the image signal by comparing the image processing section with a binarization level; Defect inspection characterized by comprising a counting circuit that counts the binary signal of the image signal at a fixed timing, and an arithmetic circuit that calculates the total amount of defects on the optical recording area from the count result of the counting circuit. Device.
映し出すモニタを接続したことを特徴とする請求項（１
）に記載の欠陥検査装置。(2) Claim (1) characterized in that the image processing unit is connected to a monitor that receives the image signal and displays the optical recording area.
) Defect inspection device described in .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12810088A JPH01297543A (en) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | Defect inspecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12810088A JPH01297543A (en) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | Defect inspecting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01297543A true JPH01297543A (en) | 1989-11-30 |
Family
ID=14976396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12810088A Pending JPH01297543A (en) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | Defect inspecting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01297543A (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5794636A (en) * | 1980-12-05 | 1982-06-12 | Fujitsu Ltd | Defect detecting device of disk substrate |
| JPS6211151A (en) * | 1985-07-08 | 1987-01-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Apparatus for inspecting surface flaw |
| JPS6348431A (en) * | 1986-08-19 | 1988-03-01 | Canon Inc | Lens inspecting device |
-
1988
- 1988-05-25 JP JP12810088A patent/JPH01297543A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5794636A (en) * | 1980-12-05 | 1982-06-12 | Fujitsu Ltd | Defect detecting device of disk substrate |
| JPS6211151A (en) * | 1985-07-08 | 1987-01-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Apparatus for inspecting surface flaw |
| JPS6348431A (en) * | 1986-08-19 | 1988-03-01 | Canon Inc | Lens inspecting device |
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