JPH01277149A - 室内の絶対圧力制御装置 - Google Patents
室内の絶対圧力制御装置Info
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- JPH01277149A JPH01277149A JP10680988A JP10680988A JPH01277149A JP H01277149 A JPH01277149 A JP H01277149A JP 10680988 A JP10680988 A JP 10680988A JP 10680988 A JP10680988 A JP 10680988A JP H01277149 A JPH01277149 A JP H01277149A
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- air
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 17
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- Ventilation (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は室内の絶対圧力制御装置に係り、特に大気圧が
変動しても室内の絶対圧力が設定圧力に精密制御される
室内の絶対圧力制御装置に関する。
変動しても室内の絶対圧力が設定圧力に精密制御される
室内の絶対圧力制御装置に関する。
半導体を始めとした微細加工産業分野においては、精密
位置決め用装置が多く用いられており、一般にこの種の
装置には、光学的測長器が備えられている。しかし、雲
囲気の圧力、すなわち気圧が変動すると、測長空間の屈
折率が変化し、その結果測長器の原理上、測長誤差が生
じ、精密位置決めが困難となる。したがって、光学的測
長器を用いる場合、それが設置される環境の絶対圧力を
一定に保つような制御が必要とされる。
位置決め用装置が多く用いられており、一般にこの種の
装置には、光学的測長器が備えられている。しかし、雲
囲気の圧力、すなわち気圧が変動すると、測長空間の屈
折率が変化し、その結果測長器の原理上、測長誤差が生
じ、精密位置決めが困難となる。したがって、光学的測
長器を用いる場合、それが設置される環境の絶対圧力を
一定に保つような制御が必要とされる。
従来、絶対圧力制御を実旌する装置としては、第3図に
示すような構成の装置が使用されていた。
示すような構成の装置が使用されていた。
第3図において、外気取入口1には、外気温・湿度を粗
調整する外調機2を介して外気ファン3及び風量検出器
4が接続されると共に、外気風量を調節する調節弁5を
介して空気調和機6が接続されており、さらに空気調和
機6は通気管7、空気濾過フィルタ(図示せず)を介し
て絶対圧力制御対象である環境試験室8に接続されてい
る。
調整する外調機2を介して外気ファン3及び風量検出器
4が接続されると共に、外気風量を調節する調節弁5を
介して空気調和機6が接続されており、さらに空気調和
機6は通気管7、空気濾過フィルタ(図示せず)を介し
て絶対圧力制御対象である環境試験室8に接続されてい
る。
環境試験室8には循環空気口9と排気空気口10が備え
られており、循環空気口9には循環空気量を調節する風
量調節弁11が接続され、さらに循環空気管12及び風
量検出器13を介して、空気調和機60人口側(上流側
)に接続されている。
られており、循環空気口9には循環空気量を調節する風
量調節弁11が接続され、さらに循環空気管12及び風
量検出器13を介して、空気調和機60人口側(上流側
)に接続されている。
一方、排気空気口10には排気ファン14と圧力調節弁
15が接続されている。ここで、風量検出器4.13、
風量調節弁5.11、圧力調節弁工5、および室内の絶
対圧力を測定する絶対圧力計16はそれぞれ信号線によ
り環境制御用コンピュータ17に接続されている。
15が接続されている。ここで、風量検出器4.13、
風量調節弁5.11、圧力調節弁工5、および室内の絶
対圧力を測定する絶対圧力計16はそれぞれ信号線によ
り環境制御用コンピュータ17に接続されている。
以上のような構成の絶対圧力制御装置にあっては、外気
取入口1、外調機2、外気ファン3を通って空気調和機
6に送られる空気は、風量検出器4の検出信号に応じて
風量調節弁5の弁開度を調節することによって、一定風
量に調節される。また、環境試験室8から循環空気口9
を通り、空気調和機6に戻る空気量は、風量検出器13
により風量を検出し、コンピュータ17からの信号によ
り一定風量となるように風量調節弁11の開度を変化さ
せることで調節される。したがって環境試験室8内に送
られる風量も一定に保たれる。該環境試験室8内に送ら
れた空気は、排気空気口10、圧力調節弁15を介して
排気ファン14によって室外に排出される。ここで、制
御される環境試験室8内の絶対圧力は、絶対圧力計16
によって検出され、コンピュータ17から出力される制
御信号を基に、圧力調節弁15の弁開度を調節し、該弁
開度によって変化する圧力損失をもって設定圧力になる
ように制御がなされる。
取入口1、外調機2、外気ファン3を通って空気調和機
6に送られる空気は、風量検出器4の検出信号に応じて
風量調節弁5の弁開度を調節することによって、一定風
量に調節される。また、環境試験室8から循環空気口9
を通り、空気調和機6に戻る空気量は、風量検出器13
により風量を検出し、コンピュータ17からの信号によ
り一定風量となるように風量調節弁11の開度を変化さ
せることで調節される。したがって環境試験室8内に送
られる風量も一定に保たれる。該環境試験室8内に送ら
れた空気は、排気空気口10、圧力調節弁15を介して
排気ファン14によって室外に排出される。ここで、制
御される環境試験室8内の絶対圧力は、絶対圧力計16
によって検出され、コンピュータ17から出力される制
御信号を基に、圧力調節弁15の弁開度を調節し、該弁
開度によって変化する圧力損失をもって設定圧力になる
ように制御がなされる。
ここで、従来の風量調節弁5.11、圧力調節弁15に
使用される弁の特性を第4図に示す。第4図において、
弁開度と風量、圧力の関係に直線的な1:1の相互関係
が認められるのは開度20〜60%までであり、20%
以下の開度ではわずかな開度変化に対し、大きな風量、
圧力の変化が伴なう。一方、60%以上では弁開度を変
化させても、風量、圧力はさほど変わらない。
使用される弁の特性を第4図に示す。第4図において、
弁開度と風量、圧力の関係に直線的な1:1の相互関係
が認められるのは開度20〜60%までであり、20%
以下の開度ではわずかな開度変化に対し、大きな風量、
圧力の変化が伴なう。一方、60%以上では弁開度を変
化させても、風量、圧力はさほど変わらない。
このような特性を有する弁を使用した従来の絶対圧力制
御装置にあっては、次のような問題点があった。すなわ
ち、環境試験室8内の圧力を一定値である1気圧(−1
013,b、、)に制御しようとするとき、室外の圧力
、すなわち大気圧が低い場合、風量調節弁5の開度は全
開に近づき、圧力調節弁15の開度は全開に近づく。特
に、非常に低気圧の場合には、風量調節弁5は、60%
以上の開度となり、実際上、風量調節がなされない。
御装置にあっては、次のような問題点があった。すなわ
ち、環境試験室8内の圧力を一定値である1気圧(−1
013,b、、)に制御しようとするとき、室外の圧力
、すなわち大気圧が低い場合、風量調節弁5の開度は全
開に近づき、圧力調節弁15の開度は全開に近づく。特
に、非常に低気圧の場合には、風量調節弁5は、60%
以上の開度となり、実際上、風量調節がなされない。
また、圧力調節弁15は20%以下になり、わずかな弁
開度変化で室内圧力が大きく変化してしまい、制御精度
が著しく低下してしまう。
開度変化で室内圧力が大きく変化してしまい、制御精度
が著しく低下してしまう。
一方、大気圧が非常に高い場合には、上記とは逆に風量
調節弁5は20%以下の開度となり、風量調節が困難と
なると共に、圧力調節弁15は60%以上の開度となっ
てしまい、全く圧力調節がなされない結果となる。すな
わち、室内の圧力設定値と外気の圧力の差が大きい場合
には、制御ができないという問題を有していた。
調節弁5は20%以下の開度となり、風量調節が困難と
なると共に、圧力調節弁15は60%以上の開度となっ
てしまい、全く圧力調節がなされない結果となる。すな
わち、室内の圧力設定値と外気の圧力の差が大きい場合
には、制御ができないという問題を有していた。
本発明の目的は上述した欠点に鑑みなされたもので、室
内の圧力設定値と外気の圧力差が大きい場合においても
、該室内の圧力が精密に制御される室内の絶対圧力制御
装置を提供するにある。
内の圧力設定値と外気の圧力差が大きい場合においても
、該室内の圧力が精密に制御される室内の絶対圧力制御
装置を提供するにある。
前記目的を達成するために、本発明は、外気を室内に一
定量供給するための外気ファンと風量調節弁を備え、前
記室内の圧力を絶対圧力計により検出し、この絶対圧力
計の信号に基づいて室内の空気の排気路に設けられた圧
力調節弁の弁開度を調節することにより、前記室内の絶
対圧力を設定圧力になるよう調節する室内の絶対圧力制
御装置において、外気の圧力を求める手段を設け、該手
段によって求められた外気絶対圧力値に応じ、外気ファ
ン及び排気路に設けられた排気ファンの回転数を変化さ
せるようにしたものである。
定量供給するための外気ファンと風量調節弁を備え、前
記室内の圧力を絶対圧力計により検出し、この絶対圧力
計の信号に基づいて室内の空気の排気路に設けられた圧
力調節弁の弁開度を調節することにより、前記室内の絶
対圧力を設定圧力になるよう調節する室内の絶対圧力制
御装置において、外気の圧力を求める手段を設け、該手
段によって求められた外気絶対圧力値に応じ、外気ファ
ン及び排気路に設けられた排気ファンの回転数を変化さ
せるようにしたものである。
このように本発明方法にあっては、外気圧の状況に応じ
て、外気ファン及び排気ファンの回転数を変化させるこ
とにより、風量調節弁、圧力調節弁が制御性能の良い弁
開度領域において制御機能をはたらかせるようにした。
て、外気ファン及び排気ファンの回転数を変化させるこ
とにより、風量調節弁、圧力調節弁が制御性能の良い弁
開度領域において制御機能をはたらかせるようにした。
したがって、室内の圧力設定値と外気の圧力差が大きい
場合においても、該室内の圧力を精密に制御することが
できる。
場合においても、該室内の圧力を精密に制御することが
できる。
以下、図に示す実施例を用いて本発明の詳細な説明する
。
。
第1図は本発明の実施例の室内の絶対圧力制御装置の一
実施例を示す概略構成図で、第3図と同一部分には同一
符号が付しである。外気取入口1には、外気温・湿度を
粗調整する外胴機2を介して外気ファン3及び風量検出
器4が接続されており、さらに外気ファン3の下流側に
は外気風量を調節する調節弁5を介して空気調和機6が
接続されている。また、該空気調和機6の下流側は、循
環ファン18を介して絶対圧力制御対象である環境試験
室8に接続されている。
実施例を示す概略構成図で、第3図と同一部分には同一
符号が付しである。外気取入口1には、外気温・湿度を
粗調整する外胴機2を介して外気ファン3及び風量検出
器4が接続されており、さらに外気ファン3の下流側に
は外気風量を調節する調節弁5を介して空気調和機6が
接続されている。また、該空気調和機6の下流側は、循
環ファン18を介して絶対圧力制御対象である環境試験
室8に接続されている。
該環境試験室8には循環空気口9と排気空気口10が設
けられており、該循環空気口9には循環空気量を調節す
る風量調節弁11が接続されており、さらに循環空気管
12及び風量検出器13を介して、前記空気調和機6の
人口側(上流側)に接続されている。一方、前記排気空
気口10には排気ファン14と圧力調節弁15が接続さ
れている。該圧力調節弁15、前記風量検出器4.13
、風量調節弁5.11及び室内の絶対圧力を測定する絶
対圧力計16はそれぞれ信号線を介して循環制御用コン
ピュータ17に接続されている。
けられており、該循環空気口9には循環空気量を調節す
る風量調節弁11が接続されており、さらに循環空気管
12及び風量検出器13を介して、前記空気調和機6の
人口側(上流側)に接続されている。一方、前記排気空
気口10には排気ファン14と圧力調節弁15が接続さ
れている。該圧力調節弁15、前記風量検出器4.13
、風量調節弁5.11及び室内の絶対圧力を測定する絶
対圧力計16はそれぞれ信号線を介して循環制御用コン
ピュータ17に接続されている。
本実施例にあっては、環境試験室8の外部に、外気の絶
対圧力を検出する外気圧検出用の絶対圧力計19を設け
、該絶対圧力計19を信号線により、前記循環制御用コ
ンピュータ17に接続した構成としている。また、外気
ファン3及び排気ファン14のモータ(図示せず)の回
転数を制御するためのインバータユニット20.21が
設けられており、これらインバータユニット20.21
は信号線を介して循環制御用コンピュータ17に接続さ
れている。
対圧力を検出する外気圧検出用の絶対圧力計19を設け
、該絶対圧力計19を信号線により、前記循環制御用コ
ンピュータ17に接続した構成としている。また、外気
ファン3及び排気ファン14のモータ(図示せず)の回
転数を制御するためのインバータユニット20.21が
設けられており、これらインバータユニット20.21
は信号線を介して循環制御用コンピュータ17に接続さ
れている。
以上のような構成の絶対圧力制御装置にあって、圧力制
御は次のような方法でなされる。まず、外気圧検出用の
絶対圧力計19で検出された外気圧値は、循環制御用コ
ンピュータ17に送られる。
御は次のような方法でなされる。まず、外気圧検出用の
絶対圧力計19で検出された外気圧値は、循環制御用コ
ンピュータ17に送られる。
そして、この外気圧値の大きさに応じて、循環制御用コ
ンピュータ17で外気ファン3及び排気ファン14のモ
ータの適正回転数が演算、選択され、前記インバータユ
ニット20.21に周波数信号が送られる。該インバー
タユニット20.21は、周波数信号に応じた周波数を
出力し、外気ファン3及び排気ファン14の回転数を変
化させる。その結果、外気ファン3の送風量及び送風圧
力、並びに排気ファン14の排風量及び排風圧力が外気
圧の状態により変化することになる。
ンピュータ17で外気ファン3及び排気ファン14のモ
ータの適正回転数が演算、選択され、前記インバータユ
ニット20.21に周波数信号が送られる。該インバー
タユニット20.21は、周波数信号に応じた周波数を
出力し、外気ファン3及び排気ファン14の回転数を変
化させる。その結果、外気ファン3の送風量及び送風圧
力、並びに排気ファン14の排風量及び排風圧力が外気
圧の状態により変化することになる。
外気圧が環境試験室8内の圧力設定値より低い場合には
、外気ファン3の回転数を高くし、排気ファン14の回
転数を低くさせる。これによって、風量調節弁5が全開
に近づくことなく、30〜50%の開度領域で制御でき
るようにし、また圧力調節弁15が全開に近づけるのを
防ぎ、同様に30〜50%の開度で圧力調節ができるよ
うな制御が行われる。
、外気ファン3の回転数を高くし、排気ファン14の回
転数を低くさせる。これによって、風量調節弁5が全開
に近づくことなく、30〜50%の開度領域で制御でき
るようにし、また圧力調節弁15が全開に近づけるのを
防ぎ、同様に30〜50%の開度で圧力調節ができるよ
うな制御が行われる。
一方、外気圧が環境試験室8内の圧力設定値よりも高い
場合には、外気ファン3の回転数を低くし、排気ファン
14の回転数を増やすように制御し、この場合も同様に
風量調節弁5及び圧力調節弁15は、30〜50%の開
度領域で機能するようにしている。
場合には、外気ファン3の回転数を低くし、排気ファン
14の回転数を増やすように制御し、この場合も同様に
風量調節弁5及び圧力調節弁15は、30〜50%の開
度領域で機能するようにしている。
本実施例においては、外気圧に応じて外気ファン3及び
排気ファン14の回転数が20段階に分けて自動的に設
定されるようになっている。外気変動に伴い、外気ファ
ン3及び排気ファン14の回転数設定値も変化するが、
この場合の移行時に風量調節弁5.15の開度調節が追
従できるように、回転数変化率はIHz/分の速度で行
うようにしである。
排気ファン14の回転数が20段階に分けて自動的に設
定されるようになっている。外気変動に伴い、外気ファ
ン3及び排気ファン14の回転数設定値も変化するが、
この場合の移行時に風量調節弁5.15の開度調節が追
従できるように、回転数変化率はIHz/分の速度で行
うようにしである。
以上のようにして圧力制御がなされた場合における本実
施例の制御結果を従来例と比較したものを第2図に示す
。この第2図から明らかなように、本実施例の制御結果
22は従来例の制御結果23に比べて、設定圧力と外気
圧力の差に関係なく高い制御精度を有していることがわ
かる。
施例の制御結果を従来例と比較したものを第2図に示す
。この第2図から明らかなように、本実施例の制御結果
22は従来例の制御結果23に比べて、設定圧力と外気
圧力の差に関係なく高い制御精度を有していることがわ
かる。
なお、上述した実施例においては、外気圧検出用の絶対
圧力計19を用いた構成としたが、別にこれに限定され
るものではなく、例えば環境試験室8内の圧力と外気圧
間の差圧を検出する方法としてもよい。この場合におい
ては、環境試験室8内の絶対圧力計16の指示値を基準
に外気圧との差圧を検出し、外気圧力を求めればよい。
圧力計19を用いた構成としたが、別にこれに限定され
るものではなく、例えば環境試験室8内の圧力と外気圧
間の差圧を検出する方法としてもよい。この場合におい
ては、環境試験室8内の絶対圧力計16の指示値を基準
に外気圧との差圧を検出し、外気圧力を求めればよい。
以上説明したように本発明によれば、外気絶対圧力値に
応じ、外気ファン及び排気路に設けられた排気ファンの
回転数を変化させるようにし、これによって風量調節弁
及び圧力調節弁が制御性能の良い弁開度領域において制
御機能をはたらかせることができるようにしたので、室
内の圧力設定値と外気の圧力差が大きい場合においても
該室内の圧力を精密に制御できるという優れた効果を奏
する。
応じ、外気ファン及び排気路に設けられた排気ファンの
回転数を変化させるようにし、これによって風量調節弁
及び圧力調節弁が制御性能の良い弁開度領域において制
御機能をはたらかせることができるようにしたので、室
内の圧力設定値と外気の圧力差が大きい場合においても
該室内の圧力を精密に制御できるという優れた効果を奏
する。
第1図は本発明の実施例の絶対圧力制御装置を示す概略
構成図、第2図は本実施例と従来の制御結果例を示す図
、第3図は従来方法を実施する際に使用される室内の絶
対圧力制御装置の一例を示す概略構成図、第4図は絶対
圧力制御装置に用いられる調節弁の開度と風量及び弁出
入ロ圧力差の関係を示す特性図である。 1・・・外気取入口、 3・・・外気ファン、 4・・・風量検出器、 5・・・風量調節弁、 6・・・空気調和機、 8・・・環境試験室、 9・・・循環空気口、 10・・・排気空気口、 11・・・風量調節弁、 13・・・風量検出器、 14・・・排気ファン、 15・・・圧力調節弁、 16・・・絶対圧力計、 17・・・環境制御用コンピュータ、 19・・・絶対圧力計、 20.21・・・インバータユニット。 出願人 日立プラント建設株式会社 第1図 IO:i’TIL’l気0 20,11.4>バーyニ
ー/r第2図 晴間 (埼聞) 第3図 第4図 考=74f關浸、(%)
構成図、第2図は本実施例と従来の制御結果例を示す図
、第3図は従来方法を実施する際に使用される室内の絶
対圧力制御装置の一例を示す概略構成図、第4図は絶対
圧力制御装置に用いられる調節弁の開度と風量及び弁出
入ロ圧力差の関係を示す特性図である。 1・・・外気取入口、 3・・・外気ファン、 4・・・風量検出器、 5・・・風量調節弁、 6・・・空気調和機、 8・・・環境試験室、 9・・・循環空気口、 10・・・排気空気口、 11・・・風量調節弁、 13・・・風量検出器、 14・・・排気ファン、 15・・・圧力調節弁、 16・・・絶対圧力計、 17・・・環境制御用コンピュータ、 19・・・絶対圧力計、 20.21・・・インバータユニット。 出願人 日立プラント建設株式会社 第1図 IO:i’TIL’l気0 20,11.4>バーyニ
ー/r第2図 晴間 (埼聞) 第3図 第4図 考=74f關浸、(%)
Claims (1)
- (1)外気を室内に一定量供給するための外気ファンと
風量調節弁を備え、前記室内の圧力を絶対圧力計により
検出し、この絶対圧力計の信号に基づいて室内の空気の
排気路に設けられた圧力調節弁の弁開度を調節すること
により、前記室内の絶対圧力を設定圧力になるよう調節
する室内の絶対圧力制御装置において、外気の圧力を求
める手段を設け、該手段によって求められた外気絶対圧
力値に応じ、外気ファン及び排気路に設けられた排気フ
ァンの回転数を変化させるようにしたことを特徴とする
室内の絶対圧力制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10680988A JPH01277149A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 室内の絶対圧力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10680988A JPH01277149A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 室内の絶対圧力制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01277149A true JPH01277149A (ja) | 1989-11-07 |
Family
ID=14443178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10680988A Pending JPH01277149A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 室内の絶対圧力制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01277149A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03161810A (ja) * | 1989-11-20 | 1991-07-11 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 絶対圧力制御室の運転方法 |
JPH03224931A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-03 | Kajima Corp | 開閉式ドーム建築物の開閉部の制御方法 |
JP2007132538A (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-31 | Yamatake Corp | 室圧制御システム |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1988
- 1988-04-28 JP JP10680988A patent/JPH01277149A/ja active Pending
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