JPH01252520A - ホウ素、炭素、窒素からなる繊維およびその製造法 - Google Patents
ホウ素、炭素、窒素からなる繊維およびその製造法Info
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- JPH01252520A JPH01252520A JP63079090A JP7909088A JPH01252520A JP H01252520 A JPH01252520 A JP H01252520A JP 63079090 A JP63079090 A JP 63079090A JP 7909088 A JP7909088 A JP 7909088A JP H01252520 A JPH01252520 A JP H01252520A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はホウ素、炭素、窒素からなる繊維およびその製
造法に関し、耐熱性、化学的安定性、耐熱衝撃性等に優
れた窒化ホウ素の物性とグラファイトの耐薬品性、高導
電性等の物性を併わせ持つ繊維に関するものであり、高
温耐食材料、導電性耐食材料等の各種複合材料用として
有用なものである。
造法に関し、耐熱性、化学的安定性、耐熱衝撃性等に優
れた窒化ホウ素の物性とグラファイトの耐薬品性、高導
電性等の物性を併わせ持つ繊維に関するものであり、高
温耐食材料、導電性耐食材料等の各種複合材料用として
有用なものである。
[従来技術]
従来より各種基材マトリクスと繊維材料を混合して強化
、あるいは複合機能を付与した材料は種々知られており
、この繊維材料として、ガラス繊維、炭素繊維、各種セ
ラミクス繊維等がある。このうちセラミクス繊維として
は、炭化ケイ素、窒化ケイ素等が知られているが、ホウ
素、炭素、窒素からなる繊維を得た例はない、ホウ素、
炭素、窒素からなる材料については、A、R,Badz
inら(Proc、Int、conf、cl+em、
Vap、Dep、3rd、1972.747−753)
がBCl3、CCl3 、N2 、H2を用い、化学気
相析出法(以下CVD法という)により得ているが、生
成物は粉状で得られる。
、あるいは複合機能を付与した材料は種々知られており
、この繊維材料として、ガラス繊維、炭素繊維、各種セ
ラミクス繊維等がある。このうちセラミクス繊維として
は、炭化ケイ素、窒化ケイ素等が知られているが、ホウ
素、炭素、窒素からなる繊維を得た例はない、ホウ素、
炭素、窒素からなる材料については、A、R,Badz
inら(Proc、Int、conf、cl+em、
Vap、Dep、3rd、1972.747−753)
がBCl3、CCl3 、N2 、H2を用い、化学気
相析出法(以下CVD法という)により得ているが、生
成物は粉状で得られる。
[問題点を解決するための手段]
本発明者らは、かかる従来の問題点に鑑み、鋭意検討の
結果、CVD法において、基体として特定の材料を選び
、反応を減圧下でおこなうことにより、本質的にホウ素
、炭素、窒素からなる繊維を得ることに成功し、本発明
に至ったものである。
結果、CVD法において、基体として特定の材料を選び
、反応を減圧下でおこなうことにより、本質的にホウ素
、炭素、窒素からなる繊維を得ることに成功し、本発明
に至ったものである。
本質的にホウ素、炭素、窒素からなり、CuKa線によ
るX線回折測定による2θが23〜27゜の範囲に回折
ピークを有し、アスペクト比が10以上であることを特
徴とする繊維であり、製造法はホウ素源ガス、炭素源ガ
スおよび窒素源ガスからなる混合ガスを金属基体を保持
した反応容器内に導入し、500m5+Hg以下の圧力
で化学気相析出法により該基体上に本質的にホウ素、炭
素、窒素からなり、CuKa線によるX線回折測定によ
る2θが23〜27°の範囲に回折ピークを有し、アス
ペクト比が10以上である繊維を形成することを特徴と
する繊維の製造法である。
るX線回折測定による2θが23〜27゜の範囲に回折
ピークを有し、アスペクト比が10以上であることを特
徴とする繊維であり、製造法はホウ素源ガス、炭素源ガ
スおよび窒素源ガスからなる混合ガスを金属基体を保持
した反応容器内に導入し、500m5+Hg以下の圧力
で化学気相析出法により該基体上に本質的にホウ素、炭
素、窒素からなり、CuKa線によるX線回折測定によ
る2θが23〜27°の範囲に回折ピークを有し、アス
ペクト比が10以上である繊維を形成することを特徴と
する繊維の製造法である。
本発明の繊維は窒化ホウ素と炭素の固溶体であるのか、
窒化ホウ素マトリックス中に炭素が均一に分散した連続
相からなるものかは定かでないところであるが、いずれ
にしても連続相からなるものであるのが特徴である0本
発明の繊維は本質的にホウ素、炭素、窒素からなるもの
であるが、原料ガスに由来する水素が含まれるものであ
る。
窒化ホウ素マトリックス中に炭素が均一に分散した連続
相からなるものかは定かでないところであるが、いずれ
にしても連続相からなるものであるのが特徴である0本
発明の繊維は本質的にホウ素、炭素、窒素からなるもの
であるが、原料ガスに由来する水素が含まれるものであ
る。
ホウ素、炭素、窒素の比は原子比でホウ素、窒素はほぼ
1;1であり、残部が炭素である。炭素量は80重量%
以上となる。
1;1であり、残部が炭素である。炭素量は80重量%
以上となる。
かかる本発明の繊維はCVD法において特定の基体を選
び、500maHg以下の減圧下にすることによりはじ
めて得られるものであり、基体としては金属、特に遷移
金属が好ましく、ニッケル、鉄等およびこれらの合金が
挙げられる。
び、500maHg以下の減圧下にすることによりはじ
めて得られるものであり、基体としては金属、特に遷移
金属が好ましく、ニッケル、鉄等およびこれらの合金が
挙げられる。
本発明によれば、直径1μm以下、アスペクト比10以
上の繊維状物が容易に得られるものである。金属、特に
ニッケルあるいは鉄系の材料が本発明において特異的に
優れている理由は必ずしも定かではないが、これらの材
料が触媒的な作用をし、繊維化が進行するものと考えら
れる6本発明においては500+amHg以下の減圧下
での反応が好ましく、これ以上では繊維状とはならず、
膜あるいは粉として得られる。また、10tsHg以下
では繊維径、長さのバラツキが大きくなり、好ましくな
い。
上の繊維状物が容易に得られるものである。金属、特に
ニッケルあるいは鉄系の材料が本発明において特異的に
優れている理由は必ずしも定かではないが、これらの材
料が触媒的な作用をし、繊維化が進行するものと考えら
れる6本発明においては500+amHg以下の減圧下
での反応が好ましく、これ以上では繊維状とはならず、
膜あるいは粉として得られる。また、10tsHg以下
では繊維径、長さのバラツキが大きくなり、好ましくな
い。
また、圧力を低くするほど他の条件が同一であれば繊維
中の炭素量は小さくなる。
中の炭素量は小さくなる。
本発明で用いる原料ガスとしては、特に限定されないが
、ホウ素源としてBC13等のハロゲン化ホウ素、窒素
源としてはNH3等の反応性の高いガスが好ましく、炭
素源としては、炭化水素、特に不飽和結合を有するガス
が好ましく、反応性等からアセチレンが最も好ましい、
また、これら原料ガスの量的関係については特に制限さ
れないがホウ素源ガスと窒素源ガスは少なくとも原子比
で、1:2以上が好ましい、炭素源ガスに対してホウ素
源ガスと窒素源ガスを増加すれば繊維中のBN含有量は
20重量%までは増加するが、これ以上ガス比を増大さ
せてもBN含有量は増加せず、BN粉末あるいは膜とし
て分離してしまう。
、ホウ素源としてBC13等のハロゲン化ホウ素、窒素
源としてはNH3等の反応性の高いガスが好ましく、炭
素源としては、炭化水素、特に不飽和結合を有するガス
が好ましく、反応性等からアセチレンが最も好ましい、
また、これら原料ガスの量的関係については特に制限さ
れないがホウ素源ガスと窒素源ガスは少なくとも原子比
で、1:2以上が好ましい、炭素源ガスに対してホウ素
源ガスと窒素源ガスを増加すれば繊維中のBN含有量は
20重量%までは増加するが、これ以上ガス比を増大さ
せてもBN含有量は増加せず、BN粉末あるいは膜とし
て分離してしまう。
反応温度は特に限定的ではないが、600℃以上が好ま
しい、これ以下では反応速度が極端に小さくなる0反応
速度の面からは反応温度は高い方が好ましいが、本発明
においては、基体として金属を用いており、この金属の
耐熱温度に依存し、1200℃程度以下での反応が推奨
される。また、温度を高くすると他の条件が同一の場合
、得られる繊維中の炭素量は小さくなる傾向がある。
しい、これ以下では反応速度が極端に小さくなる0反応
速度の面からは反応温度は高い方が好ましいが、本発明
においては、基体として金属を用いており、この金属の
耐熱温度に依存し、1200℃程度以下での反応が推奨
される。また、温度を高くすると他の条件が同一の場合
、得られる繊維中の炭素量は小さくなる傾向がある。
以下、実施例により本発明の詳細な説明する。
実施rIA1
内径40mm長さ1000mmの石英管からなる熱CV
D装置の中央に500mm X 20mmX 3mmの
ニッケル基板を設置し、BC13、C2H2およびNH
Iを原料とし、反応管中央を800℃に加熱した炉内に
導入した。それぞれのガス流量は次のとおりである。
D装置の中央に500mm X 20mmX 3mmの
ニッケル基板を設置し、BC13、C2H2およびNH
Iを原料とし、反応管中央を800℃に加熱した炉内に
導入した。それぞれのガス流量は次のとおりである。
B Cl 3 15cc/ l1inN H230c
c/ win C2H28cc/ win 炉内圧力は20mmHgに保持した。
c/ win C2H28cc/ win 炉内圧力は20mmHgに保持した。
以上の条件で6時間反応をおこなったのち、ガス導入と
基板加熱をやめ、炉内を真空排気、冷却した、基板上に
は黒色で長さ1〜5mm、径50〜500μmの針状物
質が2.8g生成した。これは炭素基準で約80%の収
率である。このものは直径0.1〜0゜3μm、長さ1
〜lOの繊維から構成されていた。このSEM写真を第
1図に示した。この繊維(生成繊維)の元素分析の結果
を第1表に示した。
基板加熱をやめ、炉内を真空排気、冷却した、基板上に
は黒色で長さ1〜5mm、径50〜500μmの針状物
質が2.8g生成した。これは炭素基準で約80%の収
率である。このものは直径0.1〜0゜3μm、長さ1
〜lOの繊維から構成されていた。このSEM写真を第
1図に示した。この繊維(生成繊維)の元素分析の結果
を第1表に示した。
また、この生成繊維を窒素ガス中2000℃で、1時間
熱処理しく焼成繊維)なところ形状の変化はなかった。
熱処理しく焼成繊維)なところ形状の変化はなかった。
また、元素分析をおこない結果を第1表に示した。生成
繊維と焼成繊維とをCuKa線によるX線回折測定をお
こない、この解析パターンを第3図(生成繊維)、第4
図(焼成繊維)に示した。第3図において、2θが20
〜30°においてブロードなピークを有し、無定形BN
と無定形Cの002の回折ピークが重なりあったもので
ある。この生成繊維は、結晶化度が低く、ブロードなパ
ターンとなることが特徴である。生成繊維を焼成して得
た繊維はこの熱処理により水素は除去され、X線回折線
はよりシャープになり、結晶性が向上したが、第4図に
示したとおり、2θが26°においてBNとCの002
の回折ピークが重なりあったピークとなるが、これはh
−BN、h−Cの002の回折ピーク(2θが26,5
°)よりも低角度であることが特徴であり、焼成によっ
ても回折ピークが顕著には鋭くならないものである。
繊維と焼成繊維とをCuKa線によるX線回折測定をお
こない、この解析パターンを第3図(生成繊維)、第4
図(焼成繊維)に示した。第3図において、2θが20
〜30°においてブロードなピークを有し、無定形BN
と無定形Cの002の回折ピークが重なりあったもので
ある。この生成繊維は、結晶化度が低く、ブロードなパ
ターンとなることが特徴である。生成繊維を焼成して得
た繊維はこの熱処理により水素は除去され、X線回折線
はよりシャープになり、結晶性が向上したが、第4図に
示したとおり、2θが26°においてBNとCの002
の回折ピークが重なりあったピークとなるが、これはh
−BN、h−Cの002の回折ピーク(2θが26,5
°)よりも低角度であることが特徴であり、焼成によっ
ても回折ピークが顕著には鋭くならないものである。
なお、元素分析において、C,H,Nは燃焼法により、
Bはアルカリ分解させたのちICPにより定量分析をお
こなった。
Bはアルカリ分解させたのちICPにより定量分析をお
こなった。
実施例2
炉内圧力を30 mm11gとする以外は実施例1と同
様にして、反応をおこなった。この結果径0.1〜1μ
mで10μm以下の種々の形状の繊維が0゜3g得られ
た。繊維の収率は約10%であった。
様にして、反応をおこなった。この結果径0.1〜1μ
mで10μm以下の種々の形状の繊維が0゜3g得られ
た。繊維の収率は約10%であった。
実施PA1と同様にして生成繊維、焼成繊維の元素分析
をおこなった。この結果を第1表に示した。
をおこなった。この結果を第1表に示した。
実施例3
炉内圧力を400 +u+IIgとする以外は実施例1
と同様にして、反応をおこなった。この結果、径0.0
5〜0.3μm、長さ1〜10μmの繊維が1.1g、
収率約30%であった0元素分析の結果を第1表に示し
た。また、SEM写真を第2図に示した。
と同様にして、反応をおこなった。この結果、径0.0
5〜0.3μm、長さ1〜10μmの繊維が1.1g、
収率約30%であった0元素分析の結果を第1表に示し
た。また、SEM写真を第2図に示した。
比較例1
炉内圧力を7005m1−1gに保持した以外は実施例
1と同じ条件で反応を行ったが繊維は得られず、ホウ素
、炭素、窒素から成る膜、および粉、炭素粉、BN粉し
か得られなかった。
1と同じ条件で反応を行ったが繊維は得られず、ホウ素
、炭素、窒素から成る膜、および粉、炭素粉、BN粉し
か得られなかった。
第1表
(以下余白)
[発明の効果]
本発明の繊維は、耐熱性、化学的安定性、耐熱衝撃性等
に優れた窒化ホウ素の物性とグラファイトの耐薬品性、
高導電性等の物性を併わせ持つものであり各種の材料と
複合させ、高温耐食材料、導電性耐食材料等あるいはf
、tilt波シールド材等として各種用途に供すことの
できるものであり、CVD法により容易に得ることがで
きるものである。
に優れた窒化ホウ素の物性とグラファイトの耐薬品性、
高導電性等の物性を併わせ持つものであり各種の材料と
複合させ、高温耐食材料、導電性耐食材料等あるいはf
、tilt波シールド材等として各種用途に供すことの
できるものであり、CVD法により容易に得ることがで
きるものである。
第1図、第2図、第3図および第4図は、それぞれ実施
例1、実施例3の繊維構造のSEM写真実施例1の生成
繊維、焼成繊維のX線回折パターンを示すものである。 手続補正書(方式) 昭和63年7月S日 特許庁長官 吉 1)文 毅 殿 1、 事件の表示 昭和63年特許願第79090号 2、発明の名称 ホウ素、炭素、窒素からなる繊維およびその製造法3、
補正をする者 事件との関係 特許出願人 代表者 和 1)角 平 4、代理人 住所 東京都千代田区神田錦町三丁目7番地1(興和−
橋ビル) 5、補正命令の日付 昭和63年6月8日 (発送口;昭和63年6月28日) 6、補正の対象 明細書の「図面の簡単な説明」の欄 7、補正の内容 明細書の第10頁第1O行〜第13行の「第1図、−−
一−−−示すものである。」なる記載を[第1図は実施
例1の繊維の形状の32M写真、第2図は実施例3の繊
維の形状の32M写真、第3図は実施例1の生成繊維の
X線回折パターン、第4図は実施例1の焼成繊維のX線
回折パターンを示すものである。]と補正する。
例1、実施例3の繊維構造のSEM写真実施例1の生成
繊維、焼成繊維のX線回折パターンを示すものである。 手続補正書(方式) 昭和63年7月S日 特許庁長官 吉 1)文 毅 殿 1、 事件の表示 昭和63年特許願第79090号 2、発明の名称 ホウ素、炭素、窒素からなる繊維およびその製造法3、
補正をする者 事件との関係 特許出願人 代表者 和 1)角 平 4、代理人 住所 東京都千代田区神田錦町三丁目7番地1(興和−
橋ビル) 5、補正命令の日付 昭和63年6月8日 (発送口;昭和63年6月28日) 6、補正の対象 明細書の「図面の簡単な説明」の欄 7、補正の内容 明細書の第10頁第1O行〜第13行の「第1図、−−
一−−−示すものである。」なる記載を[第1図は実施
例1の繊維の形状の32M写真、第2図は実施例3の繊
維の形状の32M写真、第3図は実施例1の生成繊維の
X線回折パターン、第4図は実施例1の焼成繊維のX線
回折パターンを示すものである。]と補正する。
Claims (2)
- (1)本質的にホウ素、炭素、窒素からなり、CuKα
線によるX線回折測定による2θが23〜27°の範囲
に回折ピークを有し、アスペクト比が10以上であるこ
とを特徴とする繊維。 - (2)ホウ素源ガス、炭素源ガスおよび窒素源ガスから
なる混合ガスを金属基体を保持した反応容器内に導入し
、500mmHg以下の圧力で化学気相析出法により該
基体上に本質的にホウ素、炭素、窒素からなり、CuK
α線によるX線回折測定による2θが23〜27°の範
囲に回折ピークを有し、アスペクト比が10以上である
繊維を形成することを特徴とする繊維の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63079090A JPH0699145B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ホウ素、炭素、窒素からなる繊維およびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP63079090A JPH0699145B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ホウ素、炭素、窒素からなる繊維およびその製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01252520A true JPH01252520A (ja) | 1989-10-09 |
JPH0699145B2 JPH0699145B2 (ja) | 1994-12-07 |
Family
ID=13680185
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63079090A Expired - Fee Related JPH0699145B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ホウ素、炭素、窒素からなる繊維およびその製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0699145B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5866059A (en) * | 1992-11-06 | 1999-02-02 | Central Glass Company, Limited | Polycrystalline BCN substance and method of producing same |
CN110589832A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-20 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种SiC纳米线及其制备方法和应用 |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP63079090A patent/JPH0699145B2/ja not_active Expired - Fee Related
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CN110589832A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-20 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种SiC纳米线及其制备方法和应用 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0699145B2 (ja) | 1994-12-07 |
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