JPH01249634A - 導電性ガラスおよびその製造方法 - Google Patents
導電性ガラスおよびその製造方法Info
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- JPH01249634A JPH01249634A JP7788588A JP7788588A JPH01249634A JP H01249634 A JPH01249634 A JP H01249634A JP 7788588 A JP7788588 A JP 7788588A JP 7788588 A JP7788588 A JP 7788588A JP H01249634 A JPH01249634 A JP H01249634A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は高強度を有する導電性ガラスおよびその製造方
法に関する６ ［面来の技術］ 近年、ガラスの表面に亜鉛、力ｌ・ミウム、インジウム
、錫等の酸１ヒ物を主成分とする透明導電膜を形成して
得られる導電性ガラスが太陽電池や各種デイスプレー等
の基板として、また透明な面発熱体として広く用いられ
ている一更に、これら透明導電膜の優れた赤外線反射性
能を利用した選択透過ガラス、いわゆる熱線反射ガラス
としての利用も広く行われている、 このように、導電性ガラスの応用範囲か拡大するにつれ
て高強度を有する導電性ガラスＩ＼の要望が高まってき
ている、この要望を満尽させるためにはガラスを軟（ヒ
温度吋近（０５０〜７００ ’Ｃ）まで加熱した後急冷
したり（虱冷強化）、あるいはガラスを加熱溶融したア
ルカリ塩に浸積・渫持（ｆヒ学強化）することによりガ
ラス表面に圧縮歪層を形成させた、いわゆる強１ヒガラ
スを利用することが最も有利であることか容易に予想さ
れる一一方、ガラス表面に透明導電膜を形成するには前
記の各種金属酸化物を通常薄膜形成手段に用いられる様
々な手段で形成ずれはよいか、材ｔ＋および手段の組合
せにより数多くの方法かあげられるなかでも透明導電膜
として要求される特性、およびコストや安全性の点から
（Ｚ Ｖ Ｄ法やスフ゛レー法等の熱分解法て行られる
酸化錫を主成分とした透明導電膜、あるいはスパッタ法
等の物理的手段て得られる酸化亜鉛を主成分とした透明
導電膜が好才れる。
法に関する６ ［面来の技術］ 近年、ガラスの表面に亜鉛、力ｌ・ミウム、インジウム
、錫等の酸１ヒ物を主成分とする透明導電膜を形成して
得られる導電性ガラスが太陽電池や各種デイスプレー等
の基板として、また透明な面発熱体として広く用いられ
ている一更に、これら透明導電膜の優れた赤外線反射性
能を利用した選択透過ガラス、いわゆる熱線反射ガラス
としての利用も広く行われている、 このように、導電性ガラスの応用範囲か拡大するにつれ
て高強度を有する導電性ガラスＩ＼の要望が高まってき
ている、この要望を満尽させるためにはガラスを軟（ヒ
温度吋近（０５０〜７００ ’Ｃ）まで加熱した後急冷
したり（虱冷強化）、あるいはガラスを加熱溶融したア
ルカリ塩に浸積・渫持（ｆヒ学強化）することによりガ
ラス表面に圧縮歪層を形成させた、いわゆる強１ヒガラ
スを利用することが最も有利であることか容易に予想さ
れる一一方、ガラス表面に透明導電膜を形成するには前
記の各種金属酸化物を通常薄膜形成手段に用いられる様
々な手段で形成ずれはよいか、材ｔ＋および手段の組合
せにより数多くの方法かあげられるなかでも透明導電膜
として要求される特性、およびコストや安全性の点から
（Ｚ Ｖ Ｄ法やスフ゛レー法等の熱分解法て行られる
酸化錫を主成分とした透明導電膜、あるいはスパッタ法
等の物理的手段て得られる酸化亜鉛を主成分とした透明
導電膜が好才れる。
才れる。
［発明か解決しようとする問題点］
しかしなから、これらの透明導電膜を強［ヒガラス上に
堆積させて得られるものには次のような問題点があった
、 すなわち、強化ガラス上に酸ｆヒ錫を主成分とする透明
導電膜を熱分解法で形成する場合、膜として良好な特性
を得るためには強化ガラスを高温（５００〜７００ ’
Ｃ）に加熱する必要があり、この際に強化ガラスとして
の強度が低下し所望の強度を渫持した導電性ガラスか得
られない 一方、酸化亜船を主成分とする透明導電膜を物理的手法
、例えばスパッター法により強１ヒガラス上に形成する
場合、強化ガラスを高温に加熱しなくとも良好な特性を
有する被膜か得られるなめ強度上の問題はないが、該被
膜は熱的安定性に７：（→、また成膜速度が約０．０１
μｍ ／分と非常に遅いためこのようにして得られる導
電性ガラスの特性は信頼性に欠け、また量産性の点から
も問題かあっな１ ［問題点を解決する手段］ 本発明は前記問題点を解決するなめになされたものであ
って、高強度を有する導電性ガラスを提［共するもので
ある６ すなわち本発明は第１図に示されるように風冷強化ある
いはｆヒ学強化により得られる強化ガラスを基体としそ
の表面に熱分解法により酸１ヒ亜鉛を形成して得られる
導電性ガラスおよびその製造方法である、 本発明において、強１ヒガラスの表面に酸ｆヒ亜紹を主
成分とする透明導電膜を形成するには２００〜５００
’Ｃに加熱された強１ヒガラスの表面に調整された原料
を蒸気、あるいは微小な液滴の形で接触させ熱分解酸［
上層部により薄膜を形成するＣ ＶＤ法あるいはスプレ
ー法が用いられる。本発明に用いることのできる亜鉛原
料としては（ＣＨ３’＋２Ｚｎ、（Ｃ２Ｈ５）２Ｚｎ、
ＺｎＣ４２，Ｚｎ （Ｃ２Ｈ３０２）２．Ｚｎ （Ｃ５
Ｈ７０２）２等があげられる４才な被膜の特性を向上さ
せる、特に被膜の抵抗を低くするなめには原料中に（Ｃ
Ｈ３） ３Ａｊｌｊ 、 （Ｃ２Ｈ、） ３ＡＬ 、
Ａ／ ＣＬ ３． Ａえ（Ｃ２Ｈ３０２） ３゜Ａｆ
（Ｃ，Ｈ７０□） ３． （Ｃ）（３） ３１ Ｉ
〕、 （Ｃ２１（５）３Ｉ ｎ、 Ｉ ｎＣ４３，Ｉ
ｎ （Ｃ５Ｈ７０２） ３等を混入させＡ４やＩｎが
ドープされた酸１ヒ亜釦を主成分とする被膜を形成する
ことがあげられ、またＧａ。
堆積させて得られるものには次のような問題点があった
、 すなわち、強化ガラス上に酸ｆヒ錫を主成分とする透明
導電膜を熱分解法で形成する場合、膜として良好な特性
を得るためには強化ガラスを高温（５００〜７００ ’
Ｃ）に加熱する必要があり、この際に強化ガラスとして
の強度が低下し所望の強度を渫持した導電性ガラスか得
られない 一方、酸化亜船を主成分とする透明導電膜を物理的手法
、例えばスパッター法により強１ヒガラス上に形成する
場合、強化ガラスを高温に加熱しなくとも良好な特性を
有する被膜か得られるなめ強度上の問題はないが、該被
膜は熱的安定性に７：（→、また成膜速度が約０．０１
μｍ ／分と非常に遅いためこのようにして得られる導
電性ガラスの特性は信頼性に欠け、また量産性の点から
も問題かあっな１ ［問題点を解決する手段］ 本発明は前記問題点を解決するなめになされたものであ
って、高強度を有する導電性ガラスを提［共するもので
ある６ すなわち本発明は第１図に示されるように風冷強化ある
いはｆヒ学強化により得られる強化ガラスを基体としそ
の表面に熱分解法により酸１ヒ亜鉛を形成して得られる
導電性ガラスおよびその製造方法である、 本発明において、強１ヒガラスの表面に酸ｆヒ亜紹を主
成分とする透明導電膜を形成するには２００〜５００
’Ｃに加熱された強１ヒガラスの表面に調整された原料
を蒸気、あるいは微小な液滴の形で接触させ熱分解酸［
上層部により薄膜を形成するＣ ＶＤ法あるいはスプレ
ー法が用いられる。本発明に用いることのできる亜鉛原
料としては（ＣＨ３’＋２Ｚｎ、（Ｃ２Ｈ５）２Ｚｎ、
ＺｎＣ４２，Ｚｎ （Ｃ２Ｈ３０２）２．Ｚｎ （Ｃ５
Ｈ７０２）２等があげられる４才な被膜の特性を向上さ
せる、特に被膜の抵抗を低くするなめには原料中に（Ｃ
Ｈ３） ３Ａｊｌｊ 、 （Ｃ２Ｈ、） ３ＡＬ 、
Ａ／ ＣＬ ３． Ａえ（Ｃ２Ｈ３０２） ３゜Ａｆ
（Ｃ，Ｈ７０□） ３． （Ｃ）（３） ３１ Ｉ
〕、 （Ｃ２１（５）３Ｉ ｎ、 Ｉ ｎＣ４３，Ｉ
ｎ （Ｃ５Ｈ７０２） ３等を混入させＡ４やＩｎが
ドープされた酸１ヒ亜釦を主成分とする被膜を形成する
ことがあげられ、またＧａ。
Ｓｉ、Ｓｎ等上記以外の不純物をドープしてもよい、ま
た２種類以上の不純物を同時に被膜中に混入させても良
い、更に基体に含まれるアルカリ成分が被膜中に拡散す
ることを防ぐ目的で二酸化珪素等を主成分とする薄膜を
基体と被膜の間に挿入しても良い。
た２種類以上の不純物を同時に被膜中に混入させても良
い、更に基体に含まれるアルカリ成分が被膜中に拡散す
ることを防ぐ目的で二酸化珪素等を主成分とする薄膜を
基体と被膜の間に挿入しても良い。
［作用］
強化ガラス表面に熱分解法で酸化亜鉛を主成分とする透
明導電膜を形成することにより高強度を有する導電性ガ
ラスを得ることがてきる。
明導電膜を形成することにより高強度を有する導電性ガ
ラスを得ることがてきる。
実施例１
大きさが１５０Ｘ３００ｍｍ、厚みが３．２ｍｍのフロ
ート板ガラスを風冷強化して得られた強化ガラスを十分
に洗浄、乾燥し基板とした。この基板上に以下のように
して酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜を形成した。
ート板ガラスを風冷強化して得られた強化ガラスを十分
に洗浄、乾燥し基板とした。この基板上に以下のように
して酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜を形成した。
アルゴンカスて搬送された （Ｃ２Ｈ５）２Ｚｎ。
Ｈ２０、（Ｃ２Ｈ５） ３ Ｉ ｎ の蒸気および酸素
ガスの調整された混合気体を用い、Ｃ，Ｖ Ｄ法により
１００Ｔｏ ｒ ｒ−の圧力下２５０〜５００°Ｃに加
熱された基板上に０．０５−０．１μｍ 、／分の成膜
速度でインシラｌ＼がドープされた酸化亜鉛を主成分と
する透明導電膜を形成し、試料とした９得られた被膜の
厚みは０．６μｍであり、面積抵抗は１０Ω／・′口、
可視光の平均透過率は７５％であった。
ガスの調整された混合気体を用い、Ｃ，Ｖ Ｄ法により
１００Ｔｏ ｒ ｒ−の圧力下２５０〜５００°Ｃに加
熱された基板上に０．０５−０．１μｍ 、／分の成膜
速度でインシラｌ＼がドープされた酸化亜鉛を主成分と
する透明導電膜を形成し、試料とした９得られた被膜の
厚みは０．６μｍであり、面積抵抗は１０Ω／・′口、
可視光の平均透過率は７５％であった。
これらの試料について全反射応力測定法により表面応力
を測定した結果を第２図に示す。またこれらの試料を大
気中３００℃で３０分間加熱保持したか、被膜の特性及
び試料の表面応力に変化はみられなかった。
を測定した結果を第２図に示す。またこれらの試料を大
気中３００℃で３０分間加熱保持したか、被膜の特性及
び試料の表面応力に変化はみられなかった。
比較例として実施例に用いたものと同じ強化ガラスを基
板とし、ＣＶＤ法によりフッ素がトープされた酸化錫を
主成分とする透明導電膜を形成しな８成膜時の基板温度
は５２０ ’Ｃてあり、被膜の厚みは０６μｍ、面積抵
抗、可視光の平均透過率は各々１０９２７口、７３％て
あつ／こ。このようにして得られた導電性ガラスについ
て実施例と同し方法により表面応力を測定しな。結果を
第２図に示す。
板とし、ＣＶＤ法によりフッ素がトープされた酸化錫を
主成分とする透明導電膜を形成しな８成膜時の基板温度
は５２０ ’Ｃてあり、被膜の厚みは０６μｍ、面積抵
抗、可視光の平均透過率は各々１０９２７口、７３％て
あつ／こ。このようにして得られた導電性ガラスについ
て実施例と同し方法により表面応力を測定しな。結果を
第２図に示す。
また、基板に用いた強化ガラス及び強化されていないガ
ラスについて実施例と同し方法により表面応力を測定し
たところ、各々１１．５０ ｋ ｇ ／ ｃｍ２．０
ｋ 、ｑ、／’ｃ ｍ２（測定限界以下）であった。
ラスについて実施例と同し方法により表面応力を測定し
たところ、各々１１．５０ ｋ ｇ ／ ｃｍ２．０
ｋ 、ｑ、／’ｃ ｍ２（測定限界以下）であった。
実施例２
大きさか１００×１００Ｉｎ ｍ厚めか１．１ｍｍのソ
ータライムガラスを化学性ｆヒして得られた強化ガラス
を十分に洗浄、乾燥し基板としブご。この基板上に以下
のようにして酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜を形成
した。
ータライムガラスを化学性ｆヒして得られた強化ガラス
を十分に洗浄、乾燥し基板としブご。この基板上に以下
のようにして酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜を形成
した。
メタノールと水とからなる混合溶媒にＺｎ（Ｃ２Ｈ３０
２） ２およびＡｊ’、Ｃ１０を溶解さぜなものを原料
とし市販のスプレーカンを用い圧縮空気を搬送気体とし
たスプレー法により３００〜５００℃に加熱された基板
上に０．１−０．２μＩｎ 、／分の成膜速度でアルミ
ニウムか１へ−プされた酸化亜鉛を主成分とする透明導
電膜を形成し試料とした。
２） ２およびＡｊ’、Ｃ１０を溶解さぜなものを原料
とし市販のスプレーカンを用い圧縮空気を搬送気体とし
たスプレー法により３００〜５００℃に加熱された基板
上に０．１−０．２μＩｎ 、／分の成膜速度でアルミ
ニウムか１へ−プされた酸化亜鉛を主成分とする透明導
電膜を形成し試料とした。
得られた被膜の厚みは０６μｍてあり面積抵抗は１０Ω
、７口、可視光の平均透過率は７６％であった。これら
の試料についてオートグラフｌＳ−１０Ｔ型（島津製１
ヤ所）を用い、リング曲は強度試験を行い破壊応力を求
めた。結果を第３図に示す。
、７口、可視光の平均透過率は７６％であった。これら
の試料についてオートグラフｌＳ−１０Ｔ型（島津製１
ヤ所）を用い、リング曲は強度試験を行い破壊応力を求
めた。結果を第３図に示す。
また、これらの試料を大気中３００℃で３０分間加熱・
保持したか被膜の特性及び試料の破壊応力に変１ヒは認
められなかった９ 比較例として実施例に用いたものと同じ強化ガラスを基
板としスプレー法によりフッ素かＩ・−ブされた酸化錫
を主成分とする透明導電膜を形成した。成膜時の基板温
度は５５０°Ｃであり被膜の厚みは０６μｎ１、面積抵
抗、可視光の平均透過率は各々］０Ω／０．７０％であ
った９このようにして得られた導電性ガラスについて実
施例と同し方法により破壊応力を求めた。結果を第３図
に示す。
保持したか被膜の特性及び試料の破壊応力に変１ヒは認
められなかった９ 比較例として実施例に用いたものと同じ強化ガラスを基
板としスプレー法によりフッ素かＩ・−ブされた酸化錫
を主成分とする透明導電膜を形成した。成膜時の基板温
度は５５０°Ｃであり被膜の厚みは０６μｎ１、面積抵
抗、可視光の平均透過率は各々］０Ω／０．７０％であ
った９このようにして得られた導電性ガラスについて実
施例と同し方法により破壊応力を求めた。結果を第３図
に示す。
また、基板に用いた強化ガラスおよび強化されていない
ガラスについて実施例と同し方法により破壊応力を調へ
たところ、各々４５３０ ｋ ｇ 、／ ｃｍ２．１３
３０ｋｇ／ｃｍ２てあった。
ガラスについて実施例と同し方法により破壊応力を調へ
たところ、各々４５３０ ｋ ｇ 、／ ｃｍ２．１３
３０ｋｇ／ｃｍ２てあった。
［発明の効果］
本発明によれば、実施例から明らかなように高強度を有
する導電性ガラスを得ることができる。
する導電性ガラスを得ることができる。
第１図は本発明による導電性ガラスの構造を示したもの
である。 第２図は本発明の導電性ガラスの表面応力を示すもので
ある。 第３図は本発明の導電性ガラスの破壊応力を示すもので
ある。 特許出願人 日本板硝子株式会社 ■ 誓 ↓ 神、３）幻 第 ２ 図 ）を吟味化が゛ラス 一争−拳−“−゛−−゛−゛°−°−−−−°−゛−・ ・ ・ ・ νＯＯ 、、、−＃、と、Ｉ
である。 第２図は本発明の導電性ガラスの表面応力を示すもので
ある。 第３図は本発明の導電性ガラスの破壊応力を示すもので
ある。 特許出願人 日本板硝子株式会社 ■ 誓 ↓ 神、３）幻 第 ２ 図 ）を吟味化が゛ラス 一争−拳−“−゛−−゛−゛°−°−−−−°−゛−・ ・ ・ ・ νＯＯ 、、、−＃、と、Ｉ
Claims (2)
- （１）強化ガラスと熱分解法により形成された酸化亜鉛
を主成分とする透明導電膜とからなることを特徴とする
導電性ガラス。 - （２）強化ガラス表面に熱分解法により酸化亜鉛を主成
分とする透明導電膜を該強化ガラス表面の温度が２５０
〜５００℃で形成することを特徴とする導電性ガラスの
製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7788588A JPH01249634A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 導電性ガラスおよびその製造方法 |
| EP19890400769 EP0335769B1 (fr) | 1988-03-30 | 1989-03-20 | Verre électroconducteur et procédé pour sa fabrication |
| DE1989603980 DE68903980T2 (de) | 1988-03-30 | 1989-03-20 | Elektroleitendes glas und verfahren zu seiner herstellung. |
| ES89400769T ES2037975T3 (es) | 1988-03-30 | 1989-03-20 | Procedimiento de fabricacion de un cristal electro-conductor. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7788588A JPH01249634A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 導電性ガラスおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01249634A true JPH01249634A (ja) | 1989-10-04 |
Family
ID=13646526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7788588A Pending JPH01249634A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 導電性ガラスおよびその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0335769B1 (ja) |
| JP (1) | JPH01249634A (ja) |
| DE (1) | DE68903980T2 (ja) |
| ES (1) | ES2037975T3 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2008083154A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Casio Comput Co Ltd | ガラス基板を薄くする方法、液晶表示素子の製造方法および液晶表示装置の製造方法 |
| JP2010502541A (ja) * | 2006-08-29 | 2010-01-28 | ピルキングトン・グループ・リミテッド | 低い抵抗率のドープ酸化亜鉛でコーティングされたガラス物品の製造方法及びその製造方法により製造されるコーティングされたガラス物品 |
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| JP3335384B2 (ja) * | 1991-12-26 | 2002-10-15 | 旭硝子株式会社 | 熱線遮断膜 |
| US5106653A (en) * | 1990-12-10 | 1992-04-21 | Ford Motor Company | Zinc oxide film having improved chemical durability |
| US5094882A (en) * | 1990-12-12 | 1992-03-10 | Ford Motor Company | Zinc oxide film growth rate accelerator |
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| DE10018671C2 (de) * | 2000-04-14 | 2002-09-26 | Nanogate Technologies Gmbh | Verfahren zur Erzeugung einer hydrophoben Oberfläche von Gegenständen aus silikatkeramischen Werkstoffen sowie Gegenstand mit einer hydrophoben Oberfläche |
| EP2061729A1 (en) * | 2006-08-29 | 2009-05-27 | Pilkington Group Limited | Method of making low resistivity doped zinc oxide coatings and the articles formed thereby |
| DE102015103857A1 (de) * | 2014-12-01 | 2016-06-02 | Schott Ag | Miniaturisiertes elektronisches Bauelement mit verringerter Bruchgefahr sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
| JP2018505515A (ja) | 2014-12-01 | 2018-02-22 | ショット アクチエンゲゼルシャフトＳｃｈｏｔｔ ＡＧ | シート状の独立した部材を有する蓄電システム、独立したシート状の部材、その製造方法、およびその使用 |
| WO2023067206A1 (es) * | 2021-10-21 | 2023-04-27 | Cristalería Pontevedresa S.L | Vidrio calefactable conductivo en masa para automoción, ferrocarril y naval |
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| JPH01194208A (ja) * | 1988-01-28 | 1989-08-04 | Asahi Glass Co Ltd | 透明導電膜 |
| JPH01242417A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-27 | Mitsubishi Metal Corp | 透明導電性酸化亜鉛膜の製造方法 |
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| FR2391966A1 (fr) * | 1977-05-23 | 1978-12-22 | Saint Gobain | Article verrier antistatique trempe chimiquement |
| JPS5826052A (ja) * | 1981-08-06 | 1983-02-16 | Asahi Glass Co Ltd | アルカリ拡散防止酸化ケイ素膜付ガラス体 |
| JPH0682625B2 (ja) * | 1985-06-04 | 1994-10-19 | シーメンス ソーラー インダストリーズ，エル．ピー． | 酸化亜鉛膜の蒸着方法 |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP7788588A patent/JPH01249634A/ja active Pending
-
1989
- 1989-03-20 ES ES89400769T patent/ES2037975T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1989-03-20 DE DE1989603980 patent/DE68903980T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-03-20 EP EP19890400769 patent/EP0335769B1/fr not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE68903980D1 (de) | 1993-02-04 |
| DE68903980T2 (de) | 1993-06-03 |
| EP0335769B1 (fr) | 1992-12-23 |
| EP0335769A2 (fr) | 1989-10-04 |
| ES2037975T3 (es) | 1993-07-01 |
| EP0335769A3 (en) | 1990-08-29 |
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