JPH01249162A - レジスト液吐出装置 - Google Patents
レジスト液吐出装置Info
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- JPH01249162A JPH01249162A JP7705088A JP7705088A JPH01249162A JP H01249162 A JPH01249162 A JP H01249162A JP 7705088 A JP7705088 A JP 7705088A JP 7705088 A JP7705088 A JP 7705088A JP H01249162 A JPH01249162 A JP H01249162A
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- JP
- Japan
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- bellows
- resist liquid
- slit
- bellows pump
- discharge
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 12
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Coating Apparatus (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、レジスト液吐出装置に関する。
(従来の技術)
一般に、吐出液駁に精度が要求される工程、例えば半導
体製造における半導体ウェハのレジスト塗布工程におい
ては、ベローズポンプと称される液吐出用ポンプが使用
されている。
体製造における半導体ウェハのレジスト塗布工程におい
ては、ベローズポンプと称される液吐出用ポンプが使用
されている。
このベローズポンプを使用した装置例として、実開昭5
8−180630.特開昭59−100524、特開昭
59−100525、特公昭61−50658号公報等
にて開示されたものがある。
8−180630.特開昭59−100524、特開昭
59−100525、特公昭61−50658号公報等
にて開示されたものがある。
そして、上記ベローズポンプは一般に次のような動作に
て使用されている。
て使用されている。
第2図に示すように、ベローズポンプ(ト)の軸■に連
結したエアーシリンダ(3)に、エアー供給源0)から
供給される圧縮空気をソレノイドバルブ■内を流通させ
スピードコントローラ0を介して流入させる。この時エ
アーシリンダー〇、ベローズポンプ■を引張る方向すな
わちベローズポンプ(1)のベローズ内容積を増加させ
る方向に動作し、その結果逆止弁■を通して容器(ハ)
内のレジスト液(9)をベローズポンプω内に吸引する
。そして、センサー(io)が軸■を検出して動作する
位置に停止する。
結したエアーシリンダ(3)に、エアー供給源0)から
供給される圧縮空気をソレノイドバルブ■内を流通させ
スピードコントローラ0を介して流入させる。この時エ
アーシリンダー〇、ベローズポンプ■を引張る方向すな
わちベローズポンプ(1)のベローズ内容積を増加させ
る方向に動作し、その結果逆止弁■を通して容器(ハ)
内のレジスト液(9)をベローズポンプω内に吸引する
。そして、センサー(io)が軸■を検出して動作する
位置に停止する。
次に、ソレノイドバルブ0を動作させて圧縮空気の流通
を切換え、スピードコンl−ローラ(11)を介してエ
アーシリンダー(3)を上記と逆に動作させる。この時
;エアーシリンダー(3)は、ベローズポンプ0〕を押
す方向すなわちベローズポンプO)のべローズ内容積を
減少させる方向に動作し、その結果逆止弁(12)を通
してレジスト液(13)を吐出する。
を切換え、スピードコンl−ローラ(11)を介してエ
アーシリンダー(3)を上記と逆に動作させる。この時
;エアーシリンダー(3)は、ベローズポンプ0〕を押
す方向すなわちベローズポンプO)のべローズ内容積を
減少させる方向に動作し、その結果逆止弁(12)を通
してレジスト液(13)を吐出する。
そして、例えばセンサー(10)がオフになった時点か
ら制御装置(13)により所定の吐出量になるまでの時
間を計り、所定の時間になればソレノイド■を当初の状
態に戻し、再びベローズポンプ■でレジスト液(9)を
吸引する。以後、上記動作をくり返す。
ら制御装置(13)により所定の吐出量になるまでの時
間を計り、所定の時間になればソレノイド■を当初の状
態に戻し、再びベローズポンプ■でレジスト液(9)を
吸引する。以後、上記動作をくり返す。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、上述の従来装置では、吐出量を時間で制
御する構成のため、エアー供給源のエアー供給圧力が変
動したり、ソレノイドバルブの動作の変化、スピードコ
ントローラ、エアーシリンダーの動作の変化などがある
と、上記時間と吐出量との関係が変動する可能性が大で
あり、吐出量に再現性があるとは言い難い。
御する構成のため、エアー供給源のエアー供給圧力が変
動したり、ソレノイドバルブの動作の変化、スピードコ
ントローラ、エアーシリンダーの動作の変化などがある
と、上記時間と吐出量との関係が変動する可能性が大で
あり、吐出量に再現性があるとは言い難い。
本発明は、上述の従来事情に対処してなされたもので、
吐出量が正確で安定したレジスト液吐出装置を提供しよ
うとするものである。
吐出量が正確で安定したレジスト液吐出装置を提供しよ
うとするものである。
(al1題を解決するための手段)
すなわち本発明は、ベローズを変位させてベローズ内容
積を増減することによりレジスト液を吸引吐出するベロ
ーズポンプを備えたレジスト液吐出装置において、上記
ベローズ内容積の変位量を検出することにより吐出量を
制御する手段を備えたことを特徴とする。
積を増減することによりレジスト液を吸引吐出するベロ
ーズポンプを備えたレジスト液吐出装置において、上記
ベローズ内容積の変位量を検出することにより吐出量を
制御する手段を備えたことを特徴とする。
(作 用)
本発明レジスト液吐出装置では、ベローズポンプのベロ
ーズ内容積の変位量を検出することにより吐出量を制御
する手段を備えているので、従来のように外部条件に変
動があっても、吐出量はその影響を受けない。
ーズ内容積の変位量を検出することにより吐出量を制御
する手段を備えているので、従来のように外部条件に変
動があっても、吐出量はその影響を受けない。
(実施例)
以下、本発明レジスト液吐出装置の一実施例を図面を参
照して説明する。
照して説明する。
先ず、構成を説明する。
ベローズ(100)を有したベローズポンプ(101)
の吸引口(102)は逆止弁(103)に配管接続され
ており、この逆止弁(103)を介して容器(104)
に収容されているレジスト液(105)を吸引可能に構
成されている。一方、ベローズポンプ(101)の吐出
口(106)は逆止弁(107)に配管接続されており
、さらにノズル(108)が上記逆止弁(107)に配
管接続されている。
の吸引口(102)は逆止弁(103)に配管接続され
ており、この逆止弁(103)を介して容器(104)
に収容されているレジスト液(105)を吸引可能に構
成されている。一方、ベローズポンプ(101)の吐出
口(106)は逆止弁(107)に配管接続されており
、さらにノズル(108)が上記逆止弁(107)に配
管接続されている。
そして、逆止弁(107)を介してノズル(108)先
端からレジスト液(109)を吐出可能に構成されてい
る。
端からレジスト液(109)を吐出可能に構成されてい
る。
次に、ベローズポンプ(101)の駆動用の軸(110
)には、例えば直進動作型のエアーシリンダー(111
)が取着されており、 このエアーシリンダー(111
)を動作させることにより、上記ベローズポンプ(10
1)が吸引吐出動作を行う。
)には、例えば直進動作型のエアーシリンダー(111
)が取着されており、 このエアーシリンダー(111
)を動作させることにより、上記ベローズポンプ(10
1)が吸引吐出動作を行う。
また、エアーシリンダー(111)のエアー供給口A(
112)はベローズポンプ(111)の吸引速度を調整
するためのスピードコントローラ(113)に、エアー
供給口B (114)はベローズポンプ(101)の吐
出速度を調整するためのスピードコントローラ(115
)にそれぞれ接続されている。なおこのスピードコント
ローラA(113)、 B(115)はソレノイドバル
ブ(116)に配管接続されており、エアー供給源(1
17)から供給される圧縮空気の流通を上記ソレノイド
バルブ(116)によって切換えることにより1例えば
常時はベローズポンプ(101)が吸引状態にありソレ
ノイドバルブ(116)が動作時には吐出状態になるよ
うに構成されている。
112)はベローズポンプ(111)の吸引速度を調整
するためのスピードコントローラ(113)に、エアー
供給口B (114)はベローズポンプ(101)の吐
出速度を調整するためのスピードコントローラ(115
)にそれぞれ接続されている。なおこのスピードコント
ローラA(113)、 B(115)はソレノイドバル
ブ(116)に配管接続されており、エアー供給源(1
17)から供給される圧縮空気の流通を上記ソレノイド
バルブ(116)によって切換えることにより1例えば
常時はベローズポンプ(101)が吸引状態にありソレ
ノイドバルブ(116)が動作時には吐出状態になるよ
うに構成されている。
また、吐出量制御手段としてベローズポンプ(101)
の軸(110)の一端部には、光を透過する複数の穴例
えばスリット(11g)が所定間隔、形状に設けられた
帯板状のスリット板(119)が取着されている。そし
て、このスリット板(119)の中間付近には、上記ス
リット(118)を検出するセンサー例えば透過型の光
センサ−A (120)が配置され、またベローズポン
プ(101)が吸引状態のときのスリット板(119)
先端位置付近にもこのスリット板(119)の有無を検
出する透過型の光センサ−B(121)が配置されてい
る。
の軸(110)の一端部には、光を透過する複数の穴例
えばスリット(11g)が所定間隔、形状に設けられた
帯板状のスリット板(119)が取着されている。そし
て、このスリット板(119)の中間付近には、上記ス
リット(118)を検出するセンサー例えば透過型の光
センサ−A (120)が配置され、またベローズポン
プ(101)が吸引状態のときのスリット板(119)
先端位置付近にもこのスリット板(119)の有無を検
出する透過型の光センサ−B(121)が配置されてい
る。
そして、例えば上記光センサ−B (121)がスリッ
ト板(119)を検出した位置を原点とし、スリット板
(119)が吐出状態となって移動する際に通過するス
リット(118)を透過型の光センサ−A (120)
で検出し、計数制御部(122)によって上記通過した
スリット(118)数を計数する。
ト板(119)を検出した位置を原点とし、スリット板
(119)が吐出状態となって移動する際に通過するス
リット(118)を透過型の光センサ−A (120)
で検出し、計数制御部(122)によって上記通過した
スリット(118)数を計数する。
このスリット(118)数と軸(110)の移動距離は
比例するので、このスリット(118)数とベローズ(
100)の内容積の変位量は比例関係にある。
比例するので、このスリット(118)数とベローズ(
100)の内容積の変位量は比例関係にある。
上記スリット(118)の計数値が所定の数値に達する
とソレノイドバルブ(116)の動作を復帰して、ベロ
ーズポンプ(101)を吐出状態から吸引状態に切換え
可能に構成されている。上記のように吐出量を制御する
手段が設けられている。
とソレノイドバルブ(116)の動作を復帰して、ベロ
ーズポンプ(101)を吐出状態から吸引状態に切換え
可能に構成されている。上記のように吐出量を制御する
手段が設けられている。
次に、動作について説明する。
先ず、ソレノイドバルブ(116)にエアー供給源(1
17)から圧縮空気を供給し、 この圧縮空気をスピー
ドコントローラA (113)によって流量調整してエ
アーシリンダー(111)のエアー供給口A (112
)に供給する。エアーシリンダー(111)は動作して
ベローズ(100)の内容積が増加する方向、第1図に
おいて下方向に軸(110)を移動させる。
17)から圧縮空気を供給し、 この圧縮空気をスピー
ドコントローラA (113)によって流量調整してエ
アーシリンダー(111)のエアー供給口A (112
)に供給する。エアーシリンダー(111)は動作して
ベローズ(100)の内容積が増加する方向、第1図に
おいて下方向に軸(110)を移動させる。
この時、ベローズ(100)の内容積は増加しようとし
、吐出口(106)側の逆止弁(107)は閉状態、吸
引口(102)側の逆止弁(103)は開状態になるの
で、吸引口(102)側の逆止弁(103)を介して容
器(104)に収容されているレジスト液(105)を
ベローズポンプ(101)内に吸引する。なお、この時
点でベローズポンプ(101)内にはレジスト液(10
5)が満杯になっているものとする。
、吐出口(106)側の逆止弁(107)は閉状態、吸
引口(102)側の逆止弁(103)は開状態になるの
で、吸引口(102)側の逆止弁(103)を介して容
器(104)に収容されているレジスト液(105)を
ベローズポンプ(101)内に吸引する。なお、この時
点でベローズポンプ(101)内にはレジスト液(10
5)が満杯になっているものとする。
軸(110)とスリット板(119)は、定められたス
トローク分だけエアーシリンダー(111)によって下
方向に移動して停止する。ここで、光センサ−B(12
1)でスリット板(119)を検出し、ここを原点すな
わち吐出の原点位置と共に、スリット(11,9)計数
の0点とする。
トローク分だけエアーシリンダー(111)によって下
方向に移動して停止する。ここで、光センサ−B(12
1)でスリット板(119)を検出し、ここを原点すな
わち吐出の原点位置と共に、スリット(11,9)計数
の0点とする。
次に、計数制御部(122)によりソレノイドバルブ(
116)を動作させてエアーシリンダー(111)に供
給する圧縮空気の流れを切換え、スピードコントローラ
B (115)を介してエアー供給口B (114)に
供給する。エアーシリンダー(111)はベローズ(1
00)の内容積が減少する方向、第1図において上方向
に軸(110)を移動するように動作する。
116)を動作させてエアーシリンダー(111)に供
給する圧縮空気の流れを切換え、スピードコントローラ
B (115)を介してエアー供給口B (114)に
供給する。エアーシリンダー(111)はベローズ(1
00)の内容積が減少する方向、第1図において上方向
に軸(110)を移動するように動作する。
同時に、スリット板(119)も上方向に移動するので
光センサ−A (120)で通過するスリット(118
)を検出し計数制御部(122)で計数する。
光センサ−A (120)で通過するスリット(118
)を検出し計数制御部(122)で計数する。
この時、ベローズ(ioo)の内容積は減少しようとし
、吸引口(102)側の逆止弁(103)は閉状態、吐
出口(106)側の逆止弁(107)は開状態になるの
で、吐出口(106)側の逆止弁(107)を介してノ
ズル(108)先端からレジスト液(109)を吐出す
る。
、吸引口(102)側の逆止弁(103)は閉状態、吐
出口(106)側の逆止弁(107)は開状態になるの
で、吐出口(106)側の逆止弁(107)を介してノ
ズル(108)先端からレジスト液(109)を吐出す
る。
計数制御部(122)で計数していたスリット(118
)の計数値が予め設定された値に達する、すなわちベロ
ーズポンプ(101)によるレジスト液(100)の吐
出量が設定量に達すると、上記計数制御部(122)に
よりソレノイドバルブ(116)の動作を復帰させて吐
出を終え、上記した動作により再び吸引状態になる。
)の計数値が予め設定された値に達する、すなわちベロ
ーズポンプ(101)によるレジスト液(100)の吐
出量が設定量に達すると、上記計数制御部(122)に
よりソレノイドバルブ(116)の動作を復帰させて吐
出を終え、上記した動作により再び吸引状態になる。
したがって、スリット(118)数を計数することによ
り、つまりベローズ(100)内容積の変位量を検出す
ることによりレジスト液(109)の吐出量を制御する
ことができる。
り、つまりベローズ(100)内容積の変位量を検出す
ることによりレジスト液(109)の吐出量を制御する
ことができる。
例えば、ベローズポンプ(101)のベローズ(100
)内径を20m+φ、スリット板(119)のスリット
(118)の間隔を0.5mmとすると、スリット(1
18)の計数値が10でベローズ(100)が5mm縮
むので約1.57cc、計数値が20で約3.14cc
というようにスリット(118)の計数値に比例した量
だけ吐出させることができる。しかも、ベローズ(10
0)の内容量の変位を直接検出することにより吐出量を
制御することができるので、従来の時間制御による場合
のように、エアー供給圧力の変位、ソレノイドバルブ、
エアーシリンダーの動作変化等の影響を受けることはな
い。
)内径を20m+φ、スリット板(119)のスリット
(118)の間隔を0.5mmとすると、スリット(1
18)の計数値が10でベローズ(100)が5mm縮
むので約1.57cc、計数値が20で約3.14cc
というようにスリット(118)の計数値に比例した量
だけ吐出させることができる。しかも、ベローズ(10
0)の内容量の変位を直接検出することにより吐出量を
制御することができるので、従来の時間制御による場合
のように、エアー供給圧力の変位、ソレノイドバルブ、
エアーシリンダーの動作変化等の影響を受けることはな
い。
なお、上記実施例ではスリット板として帯板状のスリッ
ト板(119)を使用したものについて説明したが、他
の形状例えば分解能を上げるために円板状のものを使用
して直線運動を回転運動に変換する機構(図示せず)に
より上記円板状のスリット板(図示せず)を回転させて
スリットを検出するように構成してもよい。
ト板(119)を使用したものについて説明したが、他
の形状例えば分解能を上げるために円板状のものを使用
して直線運動を回転運動に変換する機構(図示せず)に
より上記円板状のスリット板(図示せず)を回転させて
スリットを検出するように構成してもよい。
さらに、センサーA(120)、B (121)として
透過型の光センサーを使用したが1反射型の光センサー
を使用してもよい。
透過型の光センサーを使用したが1反射型の光センサー
を使用してもよい。
上述のように本発明レジスト液吐出装置は、吐出量が正
確で安定しているので、上記説明のレジスト液を吐出す
る場合には半導体製造における半導体ウェハのレジスト
塗布工程のスピンコーターや、医薬品、食料品等の製造
に際し使用される高精度の液吐出装置として適用するこ
とができる。
確で安定しているので、上記説明のレジスト液を吐出す
る場合には半導体製造における半導体ウェハのレジスト
塗布工程のスピンコーターや、医薬品、食料品等の製造
に際し使用される高精度の液吐出装置として適用するこ
とができる。
一ヒ述したように本発明レジスト液吐出装置によれば、
吐出量が正確で安定してレジスト液を吐出することがで
きる。
吐出量が正確で安定してレジスト液を吐出することがで
きる。
第1図は本発明レジスト液吐出装置の一実施例を示す構
成図、第2図は従来例を示す図である。 100・・・ベローズ、101・・・ベロースホンフ。 103、107・・・逆止弁、 110・・・軸、11
1・・・エアーシリンダー、 116・・・ソレノイドバルブ、 118・・・スリット、 119・・・スリット板
、120・・・センサーA、 121・・・センサー
B、122・・・計数制御部。
成図、第2図は従来例を示す図である。 100・・・ベローズ、101・・・ベロースホンフ。 103、107・・・逆止弁、 110・・・軸、11
1・・・エアーシリンダー、 116・・・ソレノイドバルブ、 118・・・スリット、 119・・・スリット板
、120・・・センサーA、 121・・・センサー
B、122・・・計数制御部。
Claims (1)
- ベローズを変位させてベローズ内容積を増減すること
によりレジスト液を吸引吐出するベローズポンプを備え
たレジスト液吐出装置において、上記ベローズ内容積の
変位量を検出することにより吐出量を制御する手段を備
えたことを特徴とするレジスト液吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63077050A JP2782679B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | レジスト処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63077050A JP2782679B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | レジスト処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01249162A true JPH01249162A (ja) | 1989-10-04 |
JP2782679B2 JP2782679B2 (ja) | 1998-08-06 |
Family
ID=13622956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63077050A Expired - Fee Related JP2782679B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | レジスト処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2782679B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04175479A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-23 | Kanbishi Denki Seizou Kk | ダイヤフラム式電磁ポンプ |
JPH04121484U (ja) * | 1991-04-17 | 1992-10-29 | 株式会社イワキ | 流体供給装置 |
US6193783B1 (en) | 1998-06-26 | 2001-02-27 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method for supplying a process solution |
US6299938B1 (en) | 1998-11-20 | 2001-10-09 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method of applying resist |
JP2005344672A (ja) * | 2004-06-07 | 2005-12-15 | Ckd Corp | 電磁弁切換方式ポンプ |
JP2006216743A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Toppan Printing Co Ltd | 逆止弁及びそれを用いた塗布装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56106451U (ja) * | 1980-01-16 | 1981-08-19 |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP63077050A patent/JP2782679B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56106451U (ja) * | 1980-01-16 | 1981-08-19 |
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